CN110299437A - 一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件及其制备方法,所述全无机QLEDs器件,自下而上依次包括ITO导电玻璃、经表面处理的NiO空穴传输层、CdZnSeS/ZnS量子点层、ZnMgO电子传输层和Al阴极。所述制备方法包括以下步骤:(a)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,清洗ITO导电玻璃;(b)将清洗后的ITO导电玻璃吹干,紫外处理;(c)取出处理后的ITO导电玻璃,旋涂经表面处理的NiO纳米颗粒溶液;(d)取量子点溶液旋涂到步骤(c)所得物上,退火;(e)取ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(d)所得物上,退火;(f)将步骤(e)所得物抽真空并蒸镀铝膜。本发明通过构建修饰空穴传输层,降低界面电荷猝灭几率,提高载流子浓度,平衡电子与空穴,提高器件性能。
Description
技术领域
本发明涉及量子点发光二极管及其制法,具体为一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件及其制备方法。
背景技术
随着科学技术的发展,发光器件由第一代LEDs器件发展到第三代QLEDs器件,最近几年由于QLEDs器件的各个层得到了较大的优化,使得QLEDs器件的发光强度、效率等得到了大幅度的提升。然而,QLEDs的寿命却未得到相应的提升。由于QLEDs的空穴层大都采用有机物,如PEDOT:PSS、TFB、PVB等,这些有机物受空气中的水氧影响较大,导致器件的寿命无法得到提升,而且PEDOT:PSS本身的吸水性也会对量子点的发光性能产生影响。
虽然NiO纳米颗粒受水氧影响较低,在空气中能保持稳定,但是研究表面,单单引入NiO纳米颗粒无法改善QLEDs器件的使用寿命,反而大幅度降低了QLEDs的发光性能。主要是因为量子点层和NiO层直接发生接触,而NiO纳米颗粒会对量子点产生荧光猝灭效应,导致QLEDs器件的性能大幅降低。因此如何解决NiO纳米颗粒对量子点本身的荧光猝灭效应以及提高QLEDs器件的发光性能和使用寿命仍然是目前的一个挑战。
发明内容
发明目的:为了克服现有技术中存在的不足,本发明目的是提供一种亮度较高、寿命较长的经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件,本发明的另一目的是提供一种成本低、重复性好的经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件及其制备方法。
技术方案:本发明所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件,自下而上依次包括ITO导电玻璃、经表面处理的NiO空穴传输层、CdZnSeS/ZnS量子点层、ZnMgO电子传输层和Al阴极。
ITO导电玻璃的厚度为150~200nm,经表面处理的NiO空穴传输层的厚度为30~40nm,CdZnSeS/ZnS量子点层的厚度为30~40nm,ZnMgO电子传输层的厚度为20~40nm,所述Al阴极的厚度为200~300nm。
上述经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,包含以下步骤:
(a)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在20~40℃超声机中清洗ITO导电玻璃5~20min;
(b)将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为15~30min;
(c)取出步骤(b)处理后的ITO导电玻璃,旋涂50~100ul、浓度为1~20mg/ml的经表面处理的NiO纳米颗粒溶液;
(d)取50~100ul、浓度为5~20mg/ml的量子点溶液旋涂到步骤(c)所得物上,转速为1000~5000r/min,时间为15~45s,在80~120℃退火5~15min;
(e)取50~100ul、浓度为15~45mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(d)所得物上,在60~100℃退火5~10min;
(f)将步骤(e)所得物抽真空至10-5~10-4Pa,并在700~900℃蒸镀铝膜,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
步骤(c)中,NiO纳米颗粒溶液的表面处理包含以下步骤:
(1)将NiO纳米颗粒溶解在氯苯、氯仿和正己烷任意一种溶剂中,配成1~20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)在1000~5000r/min转速下在ITO导电玻璃(1)上旋涂NiO纳米颗粒溶液10~60s;
(3)将旋涂NiO纳米颗粒溶液的ITO导电玻璃(1)室温下浸泡在浓度为5~20mg/ml的表面修饰溶液中0.5~3h,表面修饰溶液为不同碳链长度的巯基酸,包括三巯基丙酸、四巯基丁酸、五巯基戊酸、六巯基己酸、七巯基庚酸、八巯基辛酸、九巯基壬酸、十巯基癸酸、11-巯基十一烷酸;
(4)使用醇类有机物,包括甲醇、乙醇,清洗NiO薄膜表面1~5min,清洗后在50~100℃烘烤3~10min。
NiO纳米颗粒溶液的制备包含以下步骤:
(1)取1~5mmol的硬脂酸镍、0.4~2mmol的硬脂酸锂、5~10mmol的十八醇、10~20ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在60~100℃下除气20~40min;
(2)除气后升温至240~300℃,在氮气环境中反应3~5h;反应结束后降温至50~70℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml;
(3)待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中提纯,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心;
(4)再次加入正己烷,并重复上述操作2~3次,取最后离心的沉淀物,溶解在氯苯溶剂中。
有益效果:本发明和现有技术相比,具有如下显著性特点:
1、与未经处理的无机QLEDs相比,经过NiO薄膜表面处理后的QLEDs的亮度和电流效率得到较大幅度的提升;
2、与未经处理的无机QLEDs相比,NiO对量子点的荧光猝灭效应得到较大的缓解,提升了量子点的发光效率;
3、与未经处理的无机QLEDs相比,经过NiO薄膜表面处理后的QLEDs的寿命得到了大幅的提升。
4、通过将带巯基功能团的长链化学分子链接至NiO纳米颗粒表面后,构建新型修饰空穴传输层,降低界面电荷猝灭几率,提高载流子浓度,平衡电子与空穴,到提高器件性能的目的;
5、无机空穴传输层相比于有机材料,抗水、氧特性更佳,具有更好的稳定性;
6、有利于减化制备工艺,降低成本,结果重复性良好,易于实现大规模生产和商业化。
附图说明
图1为本发明的全无机QLEDs器件的结构示意图。
图2为本发明经表面处理的NiO空穴传输层2的结构示意图。
图3为本发明实施例6所制得的QLEDs器件与对比例QLEDs器件的性能对比图。
具体实施方式
如图1,全无机QLEDs器件自下而上依次为ITO导电玻璃1、经表面处理的NiO空穴传输层2、CdZnSeS/ZnS量子点层3、ZnMgO电子传输层4和Al阴极5。
实施例1
(1)取1mmol的硬脂酸镍、0.4mmol的硬脂酸锂、5mmol的十八醇、10ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在60℃下除气20min,除气后升温至240℃,在氮气环境中反应3h;反应结束后降温至50℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作2次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在氯苯溶剂中,配成1mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在20℃超声机中清洗厚度为150nm的ITO导电玻璃5min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为15min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在1000r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂50ulNiO纳米颗粒溶液10s,室温下浸泡在浓度为5mg/ml的三巯基丙酸表面修饰溶液中0.5h,使用甲醇,清洗1min,清洗后在50℃烘烤3min,经表面处理的NiO空穴传输层2的厚度为30nm;
(5)用移液枪吸取50ul、浓度为5mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为1000r/min,时间为15s,在80℃退火5min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为30nm;
(6)取50ul、浓度为15mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在60℃退火5min,ZnMgO电子传输层4的厚度为20nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至10-5Pa,并在700℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为200nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
三巯基丙酸也为四巯基丁酸、五巯基戊酸、六巯基己酸、七巯基庚酸、八巯基辛酸、九巯基壬酸、十巯基癸酸、11-巯基十一烷酸等不同碳链长度的巯基酸。
实施例2
(1)取5mmol的硬脂酸镍、2mmol的硬脂酸锂、10mmol的十八醇、20ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在100℃下除气40min,除气后升温至300℃,在氮气环境中反应5h;反应结束后降温至70℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作3次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在氯仿溶剂中,配成20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在40℃超声机中清洗厚度为200nm的ITO导电玻璃20min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为30min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在5000r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂100ul NiO纳米颗粒溶液60s,室温下浸泡在浓度为20mg/ml的五巯基戊酸表面修饰溶液中3h,使用甲醇或乙醇,清洗5min,清洗后在100℃烘烤10min,经表面处理的NiO空穴传输层2的厚度为40nm;
(5)用移液枪吸取100ul、浓度为20mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为5000r/min,时间为45s,在120℃退火15min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为40nm;
(6)取100ul、浓度为45mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在100℃退火10min,ZnMgO电子传输层4的厚度为40nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至10-4Pa,并在900℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为300nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
实施例3
(1)取3mmol的硬脂酸镍、1.2mmol的硬脂酸锂、7mmol的十八醇、15ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在80℃下除气30min,除气后升温至270℃,在氮气环境中反应4h;反应结束后降温至60℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作3次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在正己烷溶剂中,配成1~20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在30℃超声机中清洗厚度为175nm的ITO导电玻璃12min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为22min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在3000r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂75ulNiO纳米颗粒溶液35s,室温下浸泡在浓度为12mg/ml的七巯基庚酸表面修饰溶液中1.8h,使用乙醇,清洗3min,清洗后在75℃烘烤6min,经表面处理的NiO空穴传输层2的厚度为35nm;
(5)用移液枪吸取75ul、浓度为12mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为3000r/min,时间为30s,在100℃退火10min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为35nm;
(6)取75ul、浓度为30mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在80℃退火8min,ZnMgO电子传输层4的厚度为30nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至0.00005Pa,并在800℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为250nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
实施例4
(1)取2mmol的硬脂酸镍、0.8mmol的硬脂酸锂、6mmol的十八醇、12ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在65℃下除气25min,除气后升温至250℃,在氮气环境中反应3.5h;反应结束后降温至55℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作2次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在正己烷溶剂中,配成3mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在25℃超声机中清洗厚度为160nm的ITO导电玻璃7min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为17min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在1800r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂60ulNiO纳米颗粒溶液20s,室温下浸泡在浓度为7mg/ml的十巯基癸酸表面修饰溶液中1.2h,使用甲醇,清洗2min,清洗后在60℃烘烤4min,经表面处理的NiO空穴传输层2的厚度为32nm;
(5)用移液枪吸取55ul、浓度为7mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为2000r/min,时间为18s,在90℃退火7min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为35nm;
(6)取60ul、浓度为17mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在70℃退火6min,ZnMgO电子传输层4的厚度为25nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至0.00003Pa,并在750℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为250nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
实施例5
(1)取4mmol的硬脂酸镍、1.8mmol的硬脂酸锂、9mmol的十八醇、18ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在90℃下除气38min,除气后升温至290℃,在氮气环境中反应4.5h;反应结束后降温至65℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作3次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在氯苯溶剂中,配成18mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在38℃超声机中清洗厚度为195nm的ITO导电玻璃18min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为28min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在4500r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂90ulNiO纳米颗粒溶液50s,室温下浸泡在浓度为18mg/ml的七巯基庚酸表面修饰溶液中2h,使用甲醇,清洗4min,清洗后在90℃烘烤8min,经表面处理的NiO空穴传输层2的厚度为38nm;
(5)用移液枪吸取90ul、浓度为19mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为4500r/min,时间为40s,在110℃退火13min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为38nm;
(6)取90ul、浓度为40mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在90℃退火9min,ZnMgO电子传输层4的厚度为35nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至0.00008Pa,并在880℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为280nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
实施例6
(1)取2mmol的硬脂酸镍、0.6mmol的硬脂酸锂、9mmol的十八醇、13ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在100℃下除气28min,除气后升温至300℃,在氮气环境中反应3h;反应结束后降温至50℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作3次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在氯苯溶剂中,配成20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在22℃超声机中清洗厚度为160nm的ITO导电玻璃5~20min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为30min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在5000r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂60ulNiO纳米颗粒溶液60s,室温下浸泡在浓度为20mg/ml的11-巯基十一烷酸表面修饰溶液中3h,使用甲醇,清洗5min,清洗后在100℃烘烤4min,经表面处理的NiO空穴传输层2的厚度为35nm,11-巯基十一烷酸处理后的NiO薄膜表面形态如图2所示;
(5)用移液枪吸取100ul、浓度为20mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为2000r/min,时间为35s,在100℃退火15min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为40nm;
(6)取50ul、浓度为20mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在60℃退火10min,ZnMgO电子传输层4的厚度为38nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至10-5Pa,并在800℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为200nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
对比例
(1)取2mmol的硬脂酸镍、0.6mmol的硬脂酸锂、9mmol的十八醇、13ml的十八烯置于三颈烧瓶中,在100℃下除气28min,除气后升温至300℃,在氮气环境中反应3h;反应结束后降温至50℃,获得深绿色溶液,并加入甲醇和正己烷各30ml,待NiO纳米颗粒溶解在正己烷中,加入乙醇和乙酸乙酯的混合物,静置并离心,再次加入正己烷,并重复上述操作3次提纯,取最后离心的沉淀物,溶解在氯苯溶剂中,配成20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,在22℃超声机中清洗厚度为160nm的ITO导电玻璃5~20min;
(3)用氮气枪将清洗后的ITO导电玻璃吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为30min;
(4)取出处理后的ITO导电玻璃,在5000r/min转速下,在ITO导电玻璃1上旋涂60ulNiO纳米颗粒溶液60s;
(5)用移液枪吸取100ul、浓度为20mg/ml的CdZnSeS/ZnS量子点溶液旋涂到步骤(4)所得物上,转速为2000r/min,时间为35s,在100℃退火15min,CdZnSeS/ZnS量子点层3的厚度为40nm;
(6)取50ul、浓度为20mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(5)所得物上,在60℃退火10min,ZnMgO电子传输层4的厚度为38nm;
(7)将步骤(6)所得物抽真空至10-5Pa,并在800℃蒸镀铝膜,Al膜的厚度为200nm,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
将实施例6与对比例所制备的QLEDs器件的性能进行比较,从图3中可以看出,经过11-巯基十一烷酸处理后的QLEDs器件(实施例6所制备的)的最大亮度接近10000cd/m2,而未经过11-巯基十一烷酸处理的QLEDs器件(对比例所制备的)的最大亮度只有不到1000cd/m2。在4V左右,两者的电流密度相差不大,但是经过11-巯基十一烷酸处理后的亮度却是未经处理的亮度的10倍左右,因而电流效率相差约10倍。
Claims (10)
1.一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件,其特征在于:自下而上依次包括ITO导电玻璃(1)、经表面处理的NiO空穴传输层(2)、CdZnSeS/ZnS量子点层(3)、ZnMgO电子传输层(4)和Al阴极(5)。
2.根据权利要求1所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件,其特征在于:所述ITO导电玻璃(1)的厚度为150~200nm,所述经表面处理的NiO空穴传输层(2)的厚度为30~40nm,CdZnSeS/ZnS量子点层(3)的厚度为30~40nm,所述ZnMgO电子传输层(4)的厚度为20~40nm,所述Al阴极(5)的厚度为200~300nm。
3.一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于包含以下步骤:
(a)分别采用去离子水、丙酮、异丙醇,清洗ITO导电玻璃(1);
(b)将清洗后的ITO导电玻璃(1)吹干,并放置在紫外处理机中,处理时间为15~30min;
(c)取出步骤(b)处理后的ITO导电玻璃(1),旋涂50~100ul、浓度为1~20mg/ml的经表面处理的NiO纳米颗粒溶液;
(d)取50~100ul、浓度为5~20mg/ml的量子点溶液旋涂到步骤(c)所得物上,转速为1000~5000r/min,时间为15~45s,退火;
(e)取50~100ul、浓度为15~45mg/ml的ZnMgO纳米颗粒溶液旋涂到步骤(d)所得物上,退火;
(f)将步骤(e)所得物抽真空并在700~900℃蒸镀铝膜,即制得经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件。
4.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(a)中,清洗在超声机中进行,超声时间为5~20min,温度为20~40℃。
5.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(c)中,NiO纳米颗粒溶液的表面处理包含以下步骤:
(1)将NiO纳米颗粒溶解在氯苯、氯仿和正己烷任意一种溶剂中,配成1~20mg/ml的NiO纳米颗粒溶液;
(2)在1000~5000r/min转速下在ITO导电玻璃(1)上旋涂NiO纳米颗粒溶液10~60s;
(3)将旋涂NiO纳米颗粒溶液的ITO导电玻璃(1)室温下浸泡在浓度为5~20mg/ml的表面修饰溶液中0.5~3h;
(4)使用醇类有机物清洗NiO薄膜表面1~5min,清洗后在50~100℃烘烤3~10min。
6.根据权利要求5所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(3)中,表面修饰溶液为不同碳链长度的巯基酸,包括三巯基丙酸、四巯基丁酸、五巯基戊酸、六巯基己酸、七巯基庚酸、八巯基辛酸、九巯基壬酸、十巯基癸酸、11-巯基十一烷酸。
7.根据权利要求5所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(4)中,醇类有机物包括甲醇、乙醇。
8.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(d)中,退火的温度为80~120℃,时间为5~15min。
9.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(e)中,退火的温度为60~100℃,时间为5~10min。
10.根据权利要求3所述的一种经表面处理的NiO薄膜的全无机QLEDs器件的制备方法,其特征在于:所述步骤(f)中,抽真空至10-5~10-4Pa。
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