CN110293223B - 一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法 - Google Patents

一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，该方法包括：一、向蝶形石墨模具的筒体与下模组成的腔体内装填Mo‑W粉末，采用上模预压形成钼钨粉层；二、向钼钨粉层上装填钨粉形成钨粉层，然后盖上上模进行真空热压烧结，得蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；三、将蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理，经机加工得蝶形钼钨双金属复合旋转靶。本发明采用Mo‑W粉末作为复合旋转靶的基体材料，有效提高了复合旋转靶中靶面与基体的结合强度，避免了使用过程中靶面与基体的开裂分层，延长了复合旋转靶的使用寿命，解决了钼钨金属复合靶的复合压制分层和烧结以及锻打开裂问题，且提高了复合旋转靶的一次成形成品率。

Description

一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法
技术领域
本发明属于难熔金属加工技术领域，具体涉及一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法。
背景技术
蝶形钼钨双金属复合旋转靶用作医用X-射线管中的旋转阳极，是目前医用CT机的主要部件，它的直径通常在50mm～250mm。对蝶形钼钨双金属复合旋转靶的要求比较严格，不仅要求其表面尺寸精度高、靶面的密度高，且要求靶面有较高的抗热震性，以保障靶材在高速旋转下的动平衡。
国内外医用CT机的常用靶材为钼基钨靶，即以钼为基体、以钨为靶面的Mo/W复合靶。钼的密度为钨的一半左右，其比热容为钨的二倍，因此钼基钨靶的靶材既解决了靶材的散热性，又减少了靶材的体积和重量，提高了靶材的使用寿命。目前，该研究领域的发展存在两方面问题：一是如何提高钼钨复合靶组织的致密化、均匀化和稳定性；二是如何提高钼层和钨层之间的结合强度，同时保证在高温下服役不开裂。
钼钨双金属复合旋转靶的常用制备方法为粉末冶金法和化学气相沉积法。化学气相沉积法生产效率低，沉积(钨)材料利用率仅为10％左右，导致靶材生产成本高，且沉积钨层靶面的致密度不高。目前，国内外常用靶材的制备方法为粉末冶金法，主要流程为压制、烧结和锻打。粉末冶金法有几个重要的环节有待解决，其一是采用单纯的钨粉和钼粉压制，由于钨粉和钼粉的弹性后效不同很容易分层；其二是烧结过程中，钨层与基体钼层的收缩率不一致，由于拉应力作用而导致开裂的几率非常高；其三是在后续锻打成形时，由于钼钨变形应力不同导致金属沿垂直于锻造方向流动速率不同，Mo/W结合处会产生较大的应力，宏观表现为沿钼钨界面产生裂纹。因此，虽然粉末冶金法材料消耗少，生产成本低，但其流程长，在压制、烧结和锻打过程中钼基和钨层分层倾向大，成品率低。以上两种方法制备的产品一般很难达到较高的致密度，或多或少夹杂一定量的孔洞残留，这将严重影响产品的使用性能。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供了一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法。该方法采用Mo-W粉末作为复合旋转靶的基体材料，减轻了复合旋转靶的质量，增大了复合旋转靶的热容量，有效提高了复合旋转靶中靶面与基体的结合强度，避免了使用过程中靶面与基体的开裂分层，延长了复合旋转靶的使用寿命，解决了钼钨金属复合靶的复合压制分层和烧结以及锻打开裂问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体与下模组成的腔体内预先装填Mo-W粉末并将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模进行预压，形成钼钨粉层；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层上装填钨粉并将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层，然后盖上上模进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述钨粉与步骤一中Mo-W粉末的装填质量比为(3～20)：(10～60)；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
本发明采用Mo-W粉末作为复合旋转靶的基体材料，采用钨粉作为复合旋转靶的靶面材料，首先保证了复合旋转靶的优良的导热性能，同时钨靶面在电子束轰击下产生大量X射线，完全满足了复合旋转靶的使用功能；由于复合旋转靶使用过程中需安装在X-射线管的转子上进行高速旋转，钨的密度较高，质量较大，纯钨靶材的启动力矩增大，转子的轴承负荷增加，X-射线管的寿命降低，不利于CT机的长时间工作，而钼的密度仅为钨的一半左右，比热容为钨的二倍左右，本发明采用Mo-W粉末作为复合旋转靶的基体材料，在保留复合旋转靶较高致密度的同时，大大减轻了复合旋转靶的质量，增大了复合旋转靶的热容量，增大了复合旋转靶的输出功率，延长了X-射线管的使用寿命，有利于CT机的长时间工作；另外，本发明采用Mo-W粉末作为复合旋转靶的基体材料，真空热压烧结过程中基体材料中的W与靶面材料中的W发生扩散现象，并产生粘结作用，有效提高了复合旋转靶中靶面与基体的结合强度，避免了使用过程中靶面与基体的开裂分层。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤一中所述Mo-W粉末中钨的质量含量为3％～20％。Mo-W粉末中W含量太少，不利于基体材料与靶面材料的结合，W含量过高，则W质量太高，基体材料的传热效果明显下降；因此上述钨含量的Mo-W粉末既减轻了复合旋转靶的质量，又不影响基体材料的传热效果，保证了基体材料与靶面材料的结合效果。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤一中所述预压的压力为15MPa～20MPa。预压压力过低会影响钼钨粉层表面的平整度，压力过高会降低钼钨粉层与钨粉层的结合力，因此优选上述预压的压力范围，在保证钼钨粉层表面的平整度的前体下，提高了钼钨粉层与钨粉层的结合力。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤一和步骤二中整理成蝶形采用的整理工具均为蝶形薄聚四氟乙烯刮片。聚四氟乙烯为轻质高分子材料，易于加工成蝶形且不污染物料，避免了采用金属材质刮片的操作安全隐患，有利于蝶形形状的边角规整。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤二中所述钨粉与步骤一中Mo-W粉末的装填质量比为1：3。上述优选装填质量比的钨粉与Mo-W粉末制备得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶，既具有优良的导热性能，满足复合旋转靶的使用功能，同时又有效减轻了复合旋转靶的质量，增大了复合旋转靶的热容量；另外，上述优选装填质量比的钨粉与Mo-W粉末制备得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶中，靶面与基体的结合强度得到提高，使用过程中靶面与基体的不易开裂分层，使用寿命得到延长。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤二中所述真空热压烧结的条件为：真空度不超过1×10-2Pa，温度1500℃～1800℃，压力45MPa～55MPa，时间2h～6h。采用上述高温高压的真空热压烧结条件，有利于提高蝶形钼钨双金属复合旋转靶的致密度，且在常规热压模具的使用要求范围内，提高了本发明方法的适用性。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，所述真空热压烧结的升温速率为15℃/min～25℃/min。采用上述升温速率，及提高了真空热压烧结的效率，又有利于钼钨粉层和钨粉层中低熔点杂质的挥发，提高了蝶形钼钨双金属复合旋转靶的质量。
上述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤三中所述热处理的温度为1200℃～1500℃，保温时间为30min～60min。采用上述参数进行热处理，有效消除了蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品中的内应力，避免因内应力出现的裂纹、崩边等现象，提高了蝶形钼钨双金属复合旋转靶的成品率。
本发明与现有技术相比具有以下优点：
1、本发明采用Mo-W粉末作为复合旋转靶的基体材料，在满足复合旋转靶使用功能的前提下，大大减轻了复合旋转靶的质量，增大了复合旋转靶的热容量，有效提高了复合旋转靶中靶面与基体的结合强度，避免了使用过程中靶面与基体的开裂分层，延长了复合旋转靶的使用寿命。
2、本发明的复合旋转靶大大减轻了靶材的质量，从而减轻了X-射线管中转子的轴承负荷，延长了X-射线管的使用寿命，有利于CT机的长时间工作。
3、本发明采用真空热压烧结工艺使钼钨基体和钨靶面成型，制备复合旋转靶，避免了化学气相沉积法材料利用率低的弊端，成功解决了钼钨金属复合靶的复合压制分层和烧结以及锻打开裂问题，且大大缩短了复合旋转靶的制备工序，提高了复合旋转靶的一次成形成品率。
4、本发明对蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理，使其组织和性能得到进一步优化，并消除内应力，最终得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶适宜于工业化应用；同时，蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品的尺寸规整，只需要少量切削即可得到目的规格尺寸的蝶形钼钨双金属复合旋转靶，相对于现有技术中的粉末冶金和化学气相沉积的方法，进一步减少了后续工艺流程，提高了复合旋转靶的成品率和利用率，具有明显的成本优势。
5、本发明制备方法简单，工艺流程短，成本低、材料利用率高，而且易于实现批量生产。
6、本发明制备的蝶形钼钨双金属复合旋转靶的相对密度(即靶面材料密度相对于钨的理论密度)可达97％以上，材料利用率和复合旋转靶的成品率均可高达95％以上。
下面结合附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
附图说明
图1是本发明蝶形石墨模具中的粉末填充过程示意图。
附图标记说明
1—筒体；2—下模；3—钼钨粉层；
4—钨粉层；5—上模。
具体实施方式
如图1所示，本发明蝶形石墨模具中的粉末填充过程为：首先向蝶形石墨模具的筒体1与下模2组成的腔体内预先装填Mo-W粉末，经整理后盖上上模5进行预压形成钼钨粉层3，然后在钼钨粉层3上装填钨粉，将钨粉的表面整理成蝶形后盖上上模5，形成钨粉层4。
实施例1
本实施例包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体1与下模2组成的腔体内预先装填500g的Mo-W粉末并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模5在15MPa的压力条件下进行预压，形成钼钨粉层3；所述Mo-W粉末中钨的质量含量为3％；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层3上装填150g钨粉并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层4，然后盖上上模5进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述真空热压烧结的条件为：真空度0.8×10-2Pa，温度1500℃，压力55MPa，时间2h，升温速率为15℃/min；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品在1200℃的条件下进行热处理30min，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
经检测，本实施例得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶的相对密度为98.5％，外径尺寸为60mm，钨靶面与钼钨基材结合牢固且微观组织均匀细小。
实施例2
本实施例包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体1与下模2组成的腔体内预先装填750g的Mo-W粉末并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模5在20MPa的压力条件下进行预压，形成钼钨粉层3；所述Mo-W粉末中钨的质量含量为5％；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层3上装填250g钨粉并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层4，然后盖上上模5进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述真空热压烧结的条件为：真空度1.0×10-2Pa，温度1800℃，压力45MPa，时间6h，升温速率为25℃/min；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品在1500℃的条件下进行热处理60min，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
经检测，本实施例得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶的相对密度为98.2％，外径尺寸为80mm，钨靶面与钼钨基材结合牢固且微观组织均匀细小。
实施例3
本实施例包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体1与下模2组成的腔体内预先装填1000g的Mo-W粉末并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模5进行在18MPa的压力条件下进行预压，形成钼钨粉层3；所述Mo-W粉末中钨的质量含量为10％；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层3上装填400g钨粉并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层4，然后盖上上模5进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述真空热压烧结的条件为：真空度0.8×10-2Pa，温度1700℃，压力50MPa，时间4h，升温速率为20℃/min；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品在1250℃的条件下进行热处理40min，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
经检测，本实施例得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶的相对密度为97.8％，外径尺寸为100mm，钨靶面与钼钨基材结合牢固且微观组织均匀细小。
实施例4
本实施例包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体1与下模2组成的腔体内预先装填2000g的Mo-W粉末并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模5在20MPa的压力条件下进行预压，形成钼钨粉层3；所述Mo-W粉末中钨的质量含量为15％；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层3上装填600g钨粉并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层4，然后盖上上模5进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述真空热压烧结的条件为：真空度0.8×10-2Pa，温度1750℃，压力55MPa，时间4h，升温速率为20℃/min；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品在1350℃的条件下进行热处理45min，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
经检测，本实施例得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶的相对密度为97.5％，外径尺寸为150mm，钨靶面与钼钨基材结合牢固且微观组织均匀细小。
实施例5
本实施例包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体1与下模2组成的腔体内预先装填3000g的Mo-W粉末并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模5在18MPa的压力条件下进行预压，形成钼钨粉层3；所述Mo-W粉末中钨的质量含量为20％；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层3上装填1000g钨粉并采用蝶形薄聚四氟乙烯刮片将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层4，然后盖上上模5进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述真空热压烧结的条件为：真空度0.8×10-2Pa，温度1800℃，压力55MPa，时间4h，升温速率为20℃/min；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品在1250℃的条件下进行热处理40min，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
经检测，本实施例得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶的相对密度为97.2％，外径尺寸为200mm，钨靶面与钼钨基材结合牢固且微观组织均匀细小。
以上所述，仅是本发明的较佳实施例，并非对本发明作任何限制。凡是根据发明技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、变更以及等效变化，均仍属于本发明技术方案的保护范围内。

Claims (6)

1.一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
步骤一、向蝶形石墨模具的筒体(1)与下模(2)组成的腔体内预先装填Mo-W粉末并将Mo-W粉末的表面整理成蝶形，然后盖上上模(5)进行预压，形成钼钨粉层(3)；所述预压的压力为15MPa～20MPa；
步骤二、向步骤一中形成的钼钨粉层(3)上装填钨粉并将钨粉的表面整理成蝶形，形成钨粉层(4)，然后盖上上模(5)进行真空热压烧结，得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品；所述真空热压烧结的条件为：真空度不超过1×10-2Pa，温度1500℃～1800℃，压力45MPa～55MPa，时间2h～6h；
步骤三、将步骤二中得到的蝶形钼钨双金属复合旋转靶粗品进行热处理，然后经机加工得到蝶形钼钨双金属复合旋转靶。
2.根据权利要求1所述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤一中所述Mo-W粉末中钨的质量含量为3％～20％。
3.根据权利要求1所述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤一和步骤二中整理成蝶形采用的整理工具均为蝶形薄聚四氟乙烯刮片。
4.根据权利要求1所述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤二中所述钨粉与步骤一中Mo-W粉末的装填质量比为1：3。
5.根据权利要求1所述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，所述真空热压烧结的升温速率为15℃/min～25℃/min。
6.根据权利要求1所述的一种蝶形钼钨双金属复合旋转靶的制备方法，其特征在于，步骤三中所述热处理的温度为1200℃～1500℃，保温时间为30min～60min。
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Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1314883A (en) * 1970-05-28 1973-04-26 Mullard Ltd Manufacturing target electrodes for x-ray tubes
US4224273A (en) * 1972-12-07 1980-09-23 U.S. Philips Corporation Method of manufacturing a laminated rotary anode for use in an x-ray tube
JPS63169307A (ja) * 1987-01-06 1988-07-13 Tokyo Tungsten Co Ltd Ｗ又はＷ合金／Ｍｏ又はＭｏ合金張り合わせ材料の製造方法
CN1093828A (zh) * 1993-04-13 1994-10-19 西北有色金属研究院 碟形钼基钨靶的制造方法
JP2000123767A (ja) * 1998-10-16 2000-04-28 Toshiba Corp Ｘ線管用ターゲットおよびそれを用いたｘ線管
JP3292507B2 (ja) * 1991-09-05 2002-06-17 株式会社東芝 Ｘ線管用陽極、その製造方法およびｃｔ用ｘ線管
CN101290852A (zh) * 2008-06-03 2008-10-22 西安理工大学 一种大功率X线管用WMo石墨复合阳极靶材的制备方法
CN202434461U (zh) * 2011-12-22 2012-09-12 王建军 旋转型大容量大功率x线管
CN103255379A (zh) * 2013-04-16 2013-08-21 洛阳高新四丰电子材料有限公司 一种平面显示器用钼钨合金溅射靶材及其制备方法
CN103329239A (zh) * 2011-01-19 2013-09-25 普兰西欧洲股份公司 旋转式x射线阳极
CN103945971A (zh) * 2011-11-25 2014-07-23 普兰西欧洲股份公司 用于生产耐高温复合主体的工艺
CN204094143U (zh) * 2014-09-29 2015-01-14 西安瑞福莱钨钼有限公司 一种用于制备多层靶材压坯的填粉装置
CN106513684A (zh) * 2016-11-10 2017-03-22 洛阳科威钨钼有限公司 一种钨钼合金旋转靶材的生产方法
CN106531599A (zh) * 2016-10-28 2017-03-22 安泰天龙钨钼科技有限公司 一种x射线管用钨铼‑钼合金旋转阳极靶材及其制备方法
CN108977777A (zh) * 2018-08-06 2018-12-11 株洲佳邦难熔金属股份有限公司 一种x射线管用钨铼-钼合金层复合阳极靶材及其制备方法
CN109065425A (zh) * 2018-07-06 2018-12-21 健康力（北京）医疗科技有限公司 用于ct球管的阳极靶盘及其制备方法
CN109590476A (zh) * 2018-12-21 2019-04-09 合肥工业大学 一步法制备高致密度WRe/TZM梯度复合材料的方法
CN208796946U (zh) * 2018-09-30 2019-04-26 汕头高新区聚德医疗科技有限公司 一种ct球管的阳极
CN109702191A (zh) * 2018-12-21 2019-05-03 西安瑞福莱钨钼有限公司 一种高精度动平衡旋转阳极靶材的制备方法

Patent Citations (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1314883A (en) * 1970-05-28 1973-04-26 Mullard Ltd Manufacturing target electrodes for x-ray tubes
US4224273A (en) * 1972-12-07 1980-09-23 U.S. Philips Corporation Method of manufacturing a laminated rotary anode for use in an x-ray tube
JPS63169307A (ja) * 1987-01-06 1988-07-13 Tokyo Tungsten Co Ltd Ｗ又はＷ合金／Ｍｏ又はＭｏ合金張り合わせ材料の製造方法
JP3292507B2 (ja) * 1991-09-05 2002-06-17 株式会社東芝 Ｘ線管用陽極、その製造方法およびｃｔ用ｘ線管
CN1093828A (zh) * 1993-04-13 1994-10-19 西北有色金属研究院 碟形钼基钨靶的制造方法
JP2000123767A (ja) * 1998-10-16 2000-04-28 Toshiba Corp Ｘ線管用ターゲットおよびそれを用いたｘ線管
CN101290852A (zh) * 2008-06-03 2008-10-22 西安理工大学 一种大功率X线管用WMo石墨复合阳极靶材的制备方法
CN103329239A (zh) * 2011-01-19 2013-09-25 普兰西欧洲股份公司 旋转式x射线阳极
CN103945971A (zh) * 2011-11-25 2014-07-23 普兰西欧洲股份公司 用于生产耐高温复合主体的工艺
CN202434461U (zh) * 2011-12-22 2012-09-12 王建军 旋转型大容量大功率x线管
CN103255379A (zh) * 2013-04-16 2013-08-21 洛阳高新四丰电子材料有限公司 一种平面显示器用钼钨合金溅射靶材及其制备方法
CN204094143U (zh) * 2014-09-29 2015-01-14 西安瑞福莱钨钼有限公司 一种用于制备多层靶材压坯的填粉装置
CN106531599A (zh) * 2016-10-28 2017-03-22 安泰天龙钨钼科技有限公司 一种x射线管用钨铼‑钼合金旋转阳极靶材及其制备方法
CN106513684A (zh) * 2016-11-10 2017-03-22 洛阳科威钨钼有限公司 一种钨钼合金旋转靶材的生产方法
CN109065425A (zh) * 2018-07-06 2018-12-21 健康力（北京）医疗科技有限公司 用于ct球管的阳极靶盘及其制备方法
CN108977777A (zh) * 2018-08-06 2018-12-11 株洲佳邦难熔金属股份有限公司 一种x射线管用钨铼-钼合金层复合阳极靶材及其制备方法
CN208796946U (zh) * 2018-09-30 2019-04-26 汕头高新区聚德医疗科技有限公司 一种ct球管的阳极
CN109590476A (zh) * 2018-12-21 2019-04-09 合肥工业大学 一步法制备高致密度WRe/TZM梯度复合材料的方法
CN109702191A (zh) * 2018-12-21 2019-05-03 西安瑞福莱钨钼有限公司 一种高精度动平衡旋转阳极靶材的制备方法

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