JPS63169307A - W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法 - Google Patents
W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法Info
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- JPS63169307A JPS63169307A JP15787A JP15787A JPS63169307A JP S63169307 A JPS63169307 A JP S63169307A JP 15787 A JP15787 A JP 15787A JP 15787 A JP15787 A JP 15787A JP S63169307 A JPS63169307 A JP S63169307A
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- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 229910001182 Mo alloy Inorganic materials 0.000 title claims description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 title description 6
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 title description 5
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims abstract description 54
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 40
- 229910001080 W alloy Inorganic materials 0.000 claims abstract description 18
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims abstract description 10
- 238000005242 forging Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000004663 powder metallurgy Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000002648 laminated material Substances 0.000 claims description 11
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000005245 sintering Methods 0.000 abstract description 13
- 238000003825 pressing Methods 0.000 abstract description 10
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 5
- 238000011109 contamination Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 abstract description 3
- 239000010953 base metal Substances 0.000 abstract 2
- 238000000465 moulding Methods 0.000 abstract 1
- 238000009740 moulding (composite fabrication) Methods 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 241001562081 Ikeda Species 0.000 description 1
- 229910000979 O alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005338 heat storage Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、X線管用ターゲットの材料として用いられる
W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料とその
製造方法に関し、特に加工性の優れたW又はW合金/M
o又はMo合金張り合わせ材料とその製造方法に関する
。
W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料とその
製造方法に関し、特に加工性の優れたW又はW合金/M
o又はMo合金張り合わせ材料とその製造方法に関する
。
[従来の技術]
一般に、X線管用ターゲットは、その特性として、高負
荷に耐え、且つ、高融点であることが要求される。そこ
で、従来はRe−W/Mo張り合わせ材料をX線管用タ
ーゲットとして用いていた。
荷に耐え、且つ、高融点であることが要求される。そこ
で、従来はRe−W/Mo張り合わせ材料をX線管用タ
ーゲットとして用いていた。
ここで、第2図に示すとおり、Re−W/Mo張り合わ
せ材料の製造方法を説明する。
せ材料の製造方法を説明する。
まず+ Mo粉末の層1上に厚さ約4mmの5%Re−
Wの粉末居2を設けてなる粉末体を得る為に。
Wの粉末居2を設けてなる粉末体を得る為に。
3〜6 ton / cm2の圧力のプレスを加える粉
末プレス工程a、これを1800〜2000°Cの温度
で焼結する焼結工程す、焼結体をさらに、熱間鍛造率3
0〜50%で鍛造する熱間鍛造工程C9鍛造した張り合
わせ材を示するように成形する熱間成形工程d、最後に
、φ70〜100+nXt5〜10nの寸法に切削して
製品とする製品切削工程eを経ることにより+ Mo層
7及びRe−W合金層8からなるRe−W/Mo張り合
わせ材料を製造している。
末プレス工程a、これを1800〜2000°Cの温度
で焼結する焼結工程す、焼結体をさらに、熱間鍛造率3
0〜50%で鍛造する熱間鍛造工程C9鍛造した張り合
わせ材を示するように成形する熱間成形工程d、最後に
、φ70〜100+nXt5〜10nの寸法に切削して
製品とする製品切削工程eを経ることにより+ Mo層
7及びRe−W合金層8からなるRe−W/Mo張り合
わせ材料を製造している。
[発明が解決しようとする問題点コ
ところで、近年、ターゲットの特性を向上させるために
、ターゲット自身を大型化(大径化、厚板化)して、タ
ーゲットの蓄熱容置を大きくする方法が採用される傾向
がある。
、ターゲット自身を大型化(大径化、厚板化)して、タ
ーゲットの蓄熱容置を大きくする方法が採用される傾向
がある。
従来の製造方法では3 ton/c+++2のプレス圧
力及び、1800’Cの焼結温度が塑性加工が可能な焼
結体を得る為の最低必要条件である。
力及び、1800’Cの焼結温度が塑性加工が可能な焼
結体を得る為の最低必要条件である。
しかしながら、大径化、厚板化(φ120〜180mm
X tlO〜20++ua)されるに従い、粉末材料
をプレスする際に、プレス圧力の伝ばんに不均一が生じ
易(、また、装置の大型化を招く等の不都合があった。
X tlO〜20++ua)されるに従い、粉末材料
をプレスする際に、プレス圧力の伝ばんに不均一が生じ
易(、また、装置の大型化を招く等の不都合があった。
しかも、このような圧力のばらつきに起因して。
その後の工程である鍛造、圧延及び成形工程において、
材料割れ、特に、Re−W5に割れ等の異常が生じ9歩
留りが0〜70%と低いという欠陥があった。
材料割れ、特に、Re−W5に割れ等の異常が生じ9歩
留りが0〜70%と低いという欠陥があった。
また、焼結工程において、1800℃以上の高温で焼結
するため、W又はW合金層の表面が焼結炉の炉材や高温
不純物等の異物に汚染され、或いは9表面の微小クヂッ
クや、微小な異物の付着により表面の結晶組織の異常を
招き、結果的に割れの原因ともなっている。
するため、W又はW合金層の表面が焼結炉の炉材や高温
不純物等の異物に汚染され、或いは9表面の微小クヂッ
クや、微小な異物の付着により表面の結晶組織の異常を
招き、結果的に割れの原因ともなっている。
そこで9本発明の目的は、上記欠点に鑑み、製造装置を
大型化することなく、材料割れ及び異物汚染を除去し、
材料の大型化及び厚板化の要請に合致したW又はW合金
層Mo又はMo合金張り合わせ材料とその製造方法を提
供することである。
大型化することなく、材料割れ及び異物汚染を除去し、
材料の大型化及び厚板化の要請に合致したW又はW合金
層Mo又はMo合金張り合わせ材料とその製造方法を提
供することである。
[問題点を解決するための手段]
本発明よればW Mo又はMo合金の粉末上にW又はW
合金の粉末を設けてなる粉末材料と、該粉末材料上に設
けてなるMo粉末とを、同時に粉末冶金を施して、前記
粉末材料より生成された材料層と前記Mo粉末より生成
された被覆層とを形成した後、熱間鍛造及び熱間成形を
施し、最後に。
合金の粉末を設けてなる粉末材料と、該粉末材料上に設
けてなるMo粉末とを、同時に粉末冶金を施して、前記
粉末材料より生成された材料層と前記Mo粉末より生成
された被覆層とを形成した後、熱間鍛造及び熱間成形を
施し、最後に。
前記被覆層を削除することを特徴とするW又はW合金層
Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法が得られる
。
Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法が得られる
。
すなわち9本発明は、難加工性材料であるW。
W合金(Re−W、Th 02− W、Ru−W、Zr
02−W等)とMo合金(Hf−Mo l Z r
02−Mo tA1203−Mo 、C0−Mo等)と
からなる張り合わせ材料の製造過程、特に鍛造、圧延等
の塑性加工中における材料割れを防止するために、この
張り合わせ材料の出発原料であるW又はW合金層 M
。
02−W等)とMo合金(Hf−Mo l Z r
02−Mo tA1203−Mo 、C0−Mo等)と
からなる張り合わせ材料の製造過程、特に鍛造、圧延等
の塑性加工中における材料割れを防止するために、この
張り合わせ材料の出発原料であるW又はW合金層 M
。
又はMo合金からなる粉末材料を、純Mo粉末で覆うよ
うに粉末プレスする粉末冶金法を提供するものである。
うに粉末プレスする粉末冶金法を提供するものである。
[実施例コ
本発明の実施例について図面を参照して説明する。
まず、プレス後で層厚29.0+n、平均粒径3゜8μ
mのMo粉末層1上に、プレス後で層厚4゜Q +n、
平均粒径2.0ursの5%Re−W粉末層2を設けて
なるφ150mmの粉末材料3と、この粉末材料3上を
被覆するように設けられたプレス後で層厚2.Osm、
平均粒径3.8μmの純?vIo粉末4とを準備する。
mのMo粉末層1上に、プレス後で層厚4゜Q +n、
平均粒径2.0ursの5%Re−W粉末層2を設けて
なるφ150mmの粉末材料3と、この粉末材料3上を
被覆するように設けられたプレス後で層厚2.Osm、
平均粒径3.8μmの純?vIo粉末4とを準備する。
粉末プレス工程aにおいて、準備した粉末材料3と純M
o粉末4とを同時にプレス圧力2 ton/cm2でプ
レスする。
o粉末4とを同時にプレス圧力2 ton/cm2でプ
レスする。
尚、材料粉末3を被覆する純Mo粉末4の粒径は、Re
−W粉末層2の粒径よりも大きなものを用いるものとし
9次工程の焼結時の収縮率が一致する粉末粒径を選択す
るとか望ましい。焼結時のRe−W粉末層2の剥離を回
避するためである。
−W粉末層2の粒径よりも大きなものを用いるものとし
9次工程の焼結時の収縮率が一致する粉末粒径を選択す
るとか望ましい。焼結時のRe−W粉末層2の剥離を回
避するためである。
次に、焼結工程すにおいて、1800°Cの焼結温度で
、粉末材料3を焼結し、MO層7とRe−W合金層8と
を形成する材料層5と、同時に純M。
、粉末材料3を焼結し、MO層7とRe−W合金層8と
を形成する材料層5と、同時に純M。
粉末4を焼結してなる被覆層6とが形成される。
よって、材料層5の表面は被覆層6に覆われることから
、焼結炉の炉材や高温不純物等によりRe−W合金層8
の表面が異物汚染される心配はなく9表面の微小クラッ
クや、微小な異物の付着による表面の結晶組織の異常を
防止し、結果的に。
、焼結炉の炉材や高温不純物等によりRe−W合金層8
の表面が異物汚染される心配はなく9表面の微小クラッ
クや、微小な異物の付着による表面の結晶組織の異常を
防止し、結果的に。
割れの一原因を除去することになる。
次に、熱間鍛造工程C9熱間成形工程dを被田層6を残
したまま行う。これは、純Moからなる被覆層6自身は
、加工性が高いものであることから、プレス等の不均一
な応力の影響を低減することができるため、下層部のR
e−W合金層8に対し。
したまま行う。これは、純Moからなる被覆層6自身は
、加工性が高いものであることから、プレス等の不均一
な応力の影響を低減することができるため、下層部のR
e−W合金層8に対し。
ばらつきの少ない応力を与えることができるからである
。
。
その結果1層厚8〜18mmのMO層79層厚約2mm
のRe−W合金層8.B厚約1m+eの被覆層6が得ら
れ9図示する通りの形状に加工することができ8割れ、
クラック等の異常は認められなかった。
のRe−W合金層8.B厚約1m+eの被覆層6が得ら
れ9図示する通りの形状に加工することができ8割れ、
クラック等の異常は認められなかった。
最後に、製品切削工程eにおいて、材料層5を被覆して
いる被覆層6を旋盤加工、研磨により切削し、或いは適
当な酸等により溶解して所望の形状の合金張り合わせ材
料を得た。
いる被覆層6を旋盤加工、研磨により切削し、或いは適
当な酸等により溶解して所望の形状の合金張り合わせ材
料を得た。
[発明の効果]
以上の説明のとおり9本発明によれば、粉末材料と、粉
末材料上に設けたMo粉末とを同時に粉末冶金を施すこ
とにより、製造工程中の材料割れを防止することができ
るから9歩留りの良い、高品質のW又はW合金/Mo又
はMo合金材料を提供することができる。
末材料上に設けたMo粉末とを同時に粉末冶金を施すこ
とにより、製造工程中の材料割れを防止することができ
るから9歩留りの良い、高品質のW又はW合金/Mo又
はMo合金材料を提供することができる。
第1図は本発明の実施例に係わる製造工程を示す工程図
、第2図は従来の製造工程を示す工程図である。 1・・・Mo粉末層、2・・・Re−W粉末層、3・・
・粉末材料、4・・・純Mo粉末、5・・・材料層、6
・・・被覆層。 7・・・Mo層、8・・・Re−W合金層、a・・・粉
末プレス工程、b・・・焼結工程、C・・・熱間鍛造工
程、d・・・熱間成形工程、e・・・製品切削工程。 代理人(7783)弁理士池田憲保 手続補正書(自発) 昭和62年2月13日 特許庁長官 黒 1)明 雄 殿 1、事件の表示 昭和62年特許願昭157号 2、発明の名称 W又はW合金/Mo又はMO合合金張合わせ材料の製造
方法 3、補正する者 事件との関係 特許出願人 名 称 東京タングステン株式会社4、代理人
〒105 住 所 東京都港区西新橋1丁目4番10号(ほか2名
)l−′ 5、補正の対象 I)明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 ■)■明細書の第2頁下から第4行に「張り合わせ材を
示する」とあるを「張り合わせ材を図示する」に訂正す
る。 ■明細書の第4頁下から第8行に「本発明よれば」とあ
るを「本発明によれば」に訂正する。 ■明細書の第5頁第4行にrMo合金」とあるを「Mo
、Mo合金」に訂正する。
、第2図は従来の製造工程を示す工程図である。 1・・・Mo粉末層、2・・・Re−W粉末層、3・・
・粉末材料、4・・・純Mo粉末、5・・・材料層、6
・・・被覆層。 7・・・Mo層、8・・・Re−W合金層、a・・・粉
末プレス工程、b・・・焼結工程、C・・・熱間鍛造工
程、d・・・熱間成形工程、e・・・製品切削工程。 代理人(7783)弁理士池田憲保 手続補正書(自発) 昭和62年2月13日 特許庁長官 黒 1)明 雄 殿 1、事件の表示 昭和62年特許願昭157号 2、発明の名称 W又はW合金/Mo又はMO合合金張合わせ材料の製造
方法 3、補正する者 事件との関係 特許出願人 名 称 東京タングステン株式会社4、代理人
〒105 住 所 東京都港区西新橋1丁目4番10号(ほか2名
)l−′ 5、補正の対象 I)明細書の発明の詳細な説明の欄 6、補正の内容 ■)■明細書の第2頁下から第4行に「張り合わせ材を
示する」とあるを「張り合わせ材を図示する」に訂正す
る。 ■明細書の第4頁下から第8行に「本発明よれば」とあ
るを「本発明によれば」に訂正する。 ■明細書の第5頁第4行にrMo合金」とあるを「Mo
、Mo合金」に訂正する。
Claims (1)
- 1)Mo又はMo合金の粉末上にW又はW合金の粉末を
設けてなる粉末材料と、該粉末材料上に設けてなるMo
粉末とを、同時に粉末冶金を施して、前記粉末材料より
生成された材料層と前記Mo粉末より生成された被覆層
とを形成した後、熱間鍛造及び熱間成形を施し、最後に
、前記被覆層を削除することを特徴とするW又はW合金
/Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15787A JPS63169307A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15787A JPS63169307A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS63169307A true JPS63169307A (ja) | 1988-07-13 |
JPH049842B2 JPH049842B2 (ja) | 1992-02-21 |
Family
ID=11466203
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15787A Granted JPS63169307A (ja) | 1987-01-06 | 1987-01-06 | W又はW合金/Mo又はMo合金張り合わせ材料の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS63169307A (ja) |
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---|---|---|---|---|
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-
1987
- 1987-01-06 JP JP15787A patent/JPS63169307A/ja active Granted
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