CN110274918A - 缺陷确认装置、缺陷确认方法及计算机可读的存储介质 - Google Patents

Abstract

提高确认缺陷的作业中的确认精度。提供一种缺陷确认装置，用于确认检查对象物上有无缺陷，其具有获取部和输出控制部。获取部针对检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。输出控制部通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出缺陷图像数据和基准图像数据。

Description

缺陷确认装置、缺陷确认方法及计算机可读的存储介质

技术领域

本发明涉及缺陷确认装置、缺陷确认方法及计算机可读的存储介质。详细而言，本发明涉及例如检查印刷基板上的布线图案等各种图案或在用于制造印刷基板的抗蚀剂等各种掩模等的基体上形成的各种图案等的技术。本发明尤其涉及例如可视地输出检查对象物的图像和作为用于比较的基准的基准图像的技术。

背景技术

例如，提出有用于对在印刷基板等的基体上形成有布线图案等各种图案的对象物确认各种图案的缺陷的缺陷确认装置(例如参照专利文献1的记载)。

在该缺陷确认装置中，例如，同时以并列的状态显示拍摄检查对象物的一部分而得到的检查图像和作为比较对象的基准图像。此时，用户通过将检查图像与基准图像进行比较，能够确认检查图像所拍摄到的部位有无缺陷。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-91161号公报

然而，在上述专利文献1的技术中，例如，当观察比较检查图像与基准图像时，由于视线在检查图像与基准图像之间移动，因而可能会漏看真正的缺陷。进而，例如，由于因视线的移动引起的用户疲劳的累积等，导致可能会容易漏看真正的缺陷。即，可能会降低确认缺陷的作业的确认精度。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于，提高确认缺陷的作业的确认精度。

用于解决问题的手段

为了解决上述问题，第一形态的缺陷确认装置用于确认检查对象物上有无缺陷，具有获取部和输出控制部。所述获取部，针对所述检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。所述输出控制部，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第二形态的缺陷确认装置为，根据第一形态的缺陷确认装置，所述输出控制部通过所述输出部以可视方式一起输出所述缺陷图像数据和用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。

第三形态的缺陷确认装置为，根据第一或第二形态的缺陷确认装置，所述输出控制部通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第四形态的缺陷确认装置为，根据第三形态的缺陷确认装置，还具有输入部，该输入部用于根据用户的动作输入信号，所述输出控制部响应于所述输入部根据用户的第一动作输入的第一信号，停止通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据的交替输出处理。

第五形态的缺陷确认装置为，根据第四形态的缺陷确认装置，所述输出控制部响应于所述交替输出处理的停止，通过所述输出部一起输出所述缺陷图像数据和能够被用户识别的缺陷图像的要素，或者一起输出所述基准图像数据和能够被用户识别的基准图像的要素。

第六形态的缺陷确认装置为，根据第五形态的缺陷确认装置，所述输出控制部在停止所述交替输出处理之后，响应于所述输入部根据用户的第二动作输入的第二信号，通过所述输出部在所述同一显示区域上重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第七形态的缺陷确认装置为，根据第一至第五中的任一形态的缺陷确认装置，所述输出控制部通过所述输出部将所述同一显示区域上的图像数据的可视输出状态，从第一输出状态经由第二输出状态而迁移至第三输出状态；所述第一输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的第一图像数据；所述第二输出状态重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据；所述第三输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的不同于所述第一图像数据的第二图像数据。

第八形态的缺陷确认方法，用于确认检查对象物上有无缺陷，具有第一步骤和第二步骤。在所述第一步骤中，针对所述检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据。在所述第二步骤中，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出在所述第一步骤中获取的所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第九形态的缺陷确认方法为，根据第八形态的缺陷确认方法，在所述第二步骤中，通过所述输出部以可视方式一起输出所述缺陷图像数据和用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。

第十形态的缺陷确认方法为，根据第八或第九形态的缺陷确认方法，在所述第二步骤中，通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第十一形态的缺陷确认方法为，根据第十形态的缺陷确认方法，在所述第二步骤中，响应于输入部根据用户的第一动作输入的第一信号，停止通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据的交替输出处理。

第十二形态的缺陷确认方法为，根据第十一形态的缺陷确认方法，在所述第二步骤中，响应于所述交替输出处理的停止，通过所述输出部一起输出所述缺陷图像数据和能够被用户识别的缺陷图像的要素，或者一起输出所述基准图像数据和能够被用户识别的基准图像的要素。

第十三形态的缺陷确认方法为，根据第十二形态的缺陷确认方法，在所述第二步骤中，在停止所述交替输出处理之后，响应于所述输入部根据用户的第二动作输入的第二信号，通过所述输出部在所述同一显示区域上重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

第十四形态的缺陷确认方法，根据第八至第十二中的任一形态的缺陷确认方法，在所述第二步骤中，通过所述输出部将所述同一显示区域上的图像数据的可视输出状态，从第一输出状态经由第二输出状态而迁移至第三输出状态；所述第一输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的第一图像数据；所述第二输出状态以重叠方式以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据；所述第三输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的不同于所述第一图像数据的第二图像数据。

第十五形态的计算机可读存储介质，存储有程序，当在信息处理装置中通过控制部的处理器执行所述程序时，执行：第一步骤，针对检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据；和第二步骤，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出在所述第一步骤中获取的所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

发明的效果

根据第一形态的缺陷确认装置及第八形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，如果在同一显示区域上按时间顺序可视地输出同一尺寸的同一部分的缺陷图像数据和基准图像数据，则用户不移动视线就能够比较缺陷图像与基准图像。由此，例如，用户不容易漏看检查对象物的真正的缺陷，且不容易疲劳。其结果，例如，能够提高确认检查对象物的缺陷的作业中的确认精度。

根据第二形态的缺陷确认装置及第九形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，如果可视地一起输出缺陷图像数据和用于使有可能存在缺陷的部分能够在视觉上被识别的要素，则用户能够容易发现检查对象物上的真正的缺陷。其结果，例如，用户能够高精度地确认检查对象物上有无缺陷。

根据第三形态的缺陷确认装置及第十形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，如果在同一显示区域上交替可视地输出同一尺寸的同一部分的缺陷图像数据和基准图像数据，则用户不移动视线就能够容易比较缺陷图像与基准图像。由此，例如，用户能够容易发现检查对象物上的真正的缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认检查对象物的缺陷的作业中的确认精度。

根据第四形态的缺陷确认装置及第十一形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，如果用户能够停止交替可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的处理，则能够平心静气地确认检查对象物上有无真正的缺陷。

根据第五形态的缺陷确认装置及第十二形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，用户能够识别由显示部显示的图像基于缺陷图像数据及基准图像数据中的哪一数据。由此，例如，用户能够容易发现检查对象物上的真正的缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认检查对象物的缺陷的作业中的确认精度。

根据第六形态的缺陷确认装置及第十三形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，如果以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据，则用户能够容易识别基于缺陷图像数据可视地输出的缺陷图像与基于基准图像数据输出的基准图像之间的差异。

根据第七形态的缺陷确认装置及第十四形态的缺陷确认方法中的任一者，例如，如果存在以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的时间带，则用户能够容易识别基于缺陷图像数据可视地输出的缺陷图像与基于基准图像数据输出的基准图像之间的差异。

根据第十五形态的计算机可读存储介质，能够获得与第一形态的缺陷确认装置及第八形态的缺陷确认方法相同的效果。

附图说明

图1是示出第一实施方式的缺陷检查系统的一个例子的概要结构的图。

图2是示出检查装置的一个例子的功能结构的图。

图3是示出缺陷确认装置的一个例子的电气结构的图。

图4是示出缺陷确认装置的一个例子的功能结构的图。

图5是示出缺陷选择画面的一个例子的图。

图6是示出缺陷确认画面的一个例子的图。

图7是示出基准确认画面的一个例子的图。

图8是示出第一实施方式的缺陷确认装置的动作流程的一个例子的流程图。

图9是示出第一实施方式的缺陷确认装置的动作流程的一个例子的流程图。

图10是示出第一实施方式的缺陷确认装置的动作流程的一个例子的流程图。

图11是示出第二实施方式的基准确认画面的一个例子的图。

图12是示出第三实施方式的重叠确认画面的一个例子的图。

图13是示出第四实施方式的缺陷确认装置的动作流程的一个例子的流程图。

图14是示出第四实施方式的缺陷确认装置的动作流程的一个例子的流程图。

附图标记说明

1：检查装置

2：通信线路

3：缺陷确认装置

30：信息处理装置

31：通信部

32：输入部

33：输出部

34：存储部

35：控制部

35a：运算处理部

35b：存储器

90：基板

100：缺陷确认系统

351：信号接收部

352：获取部

353：存储控制部

354：输出控制部

Ar1：第一显示区域

Ar2：第二显示区域

Ar3：第三显示区域

B1：停止按键

B2：下一步按键

B3：重叠实施按键

B4：重叠取消按键

Fm11、Fm12：显示要素

Im1：缺陷图像

Im12B：重叠图像

Im2、Im2A：基准图像

Mk1：第一标志

Mk2：第二标志

Mk3：第三标志

Pg1：程序(计算机程序)

RM1：存储介质

Sn1：缺陷确认画面

Sn2、Sn2A：基准确认画面

Sn3B：重叠确认画面

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的各实施方式进行说明。在附图中，对于具有相同的结构及功能的部分赋予相同的附图标记，并在下述说明中省略重复说明。附图为示意性示出的图。

(1.第一实施方式)

(1-1.缺陷检查系统的概要)

图1是示出第一实施方式的包括缺陷确认装置3的缺陷确认系统100的一个例子的概要结构的图。缺陷确认系统100具有经由通信线路2使检查装置1与缺陷确认装置3可通信地连接的结构。对于通信线路2，可适用LAN(Local Area Network：局域网)或公共线路等各种网络线路或电缆等有线线路等。网络线路例如可以是在检查装置1与缺陷确认装置3之间使用预先设定的规定的通信协议等能够进行数据通信的任何的网络线路。通信线路2可以连接多个检查装置1，也可以连接多个缺陷确认装置3。

(1-2.检查装置的概要)

图2是示出第一实施方式的检查装置1的一个例子的功能结构的框图。检查装置1例如具有操作部11、显示部12、控制部13、移动机构14、摄像部15、处理部16、存储装置17以及通信部18。

操作部11例如能够响应操作者的操作而向检查装置1输入指示。操作部11可包括例如各种按键类、键盘及鼠标等。操作部11例如也可适用跟踪球、操纵杆及触摸屏等。

显示部12例如具有能够可视地输出各种数据的功能。显示部12例如可以包括液晶显示器或有机EL显示器等各种显示器。显示部12例如也可以包括发光二极管(LED：LightEmitting Diode)或电灯等各种发光部等。

控制部13例如具有能够整体控制检查装置1的各部的动作的功能。该控制部13例如具有中央处理单元(CPU：Central Processing Unit)等的运算处理电路和RAM(RandomAccess Memory：随机存取存储器)等存储部，并能够通过由运算处理电路执行存储装置17中存储的程序来实现各种功能。该控制部13例如能够通过将控制信号发送到显示部12、移动机构14、摄像部15、处理部16、存储装置17及通信部18等各部，来控制各部的动作。控制部13的功能的至少一部分功能例如可以由专用的电子电路等硬件构成。

移动机构14例如具有保持检查的对象物(也称为检查对象物)并能够使该检查对象物相对于摄像部15相对移动的功能。作为检查对象物，例如可采用基板90等。该移动机构14例如能够基于来自控制部13的控制信号使保持基板90的载台移动。另外，例如，移动机构14能够利用编码器等传感器检测基板90或载台的位置，并将该位置传递给控制部13。在此，例如，移动机构14也可以具有使摄像部15相对于检查对象物相对移动的结构。

摄像部15例如具有能够拍摄作为检查对象物的基板90的表面(也称为被检查面)的功能。对于摄像部15，例如可适用具有与普通CCD相机相同功能的摄像部。摄像部15例如可以通过对在基板90的被检查面上分割成预先设定的规定大小的每个区域(分割区域也称为区块)进行拍摄来获取图像数据，并将这些图像数据传递到处理部16。

处理部16例如具有如下功能，即，能够对由摄像部15获取的各图像数据进行预先设定的规定的图像识别处理，并判断被检查面上是否存在缺陷。规定的图像识别处理例如包括用于与捕捉(获取、拍摄)到的不存在缺陷的区块的图像数据进行比较的图案匹配处理等。在此，例如，能够通过对拍摄基板90的被检查面上的每个分割的区块而得到的图像数据进行规定的图像识别，来判断被检查面的每个区块是否存在缺陷。

进而，处理部16例如具有如下功能，即，能够基于被检查面的每个区块是否存在缺陷的判断结果，创建与缺陷相关的信息(也称为缺陷信息)，并将该缺陷信息传递到控制部13。缺陷信息例如可以包括：用于确定捕捉到被判断为存在缺陷的区块的图像数据(也称为缺陷图像数据)的识别信息、示出区块位置的信息、示出区块尺寸的信息、示出被判断为区块中存在缺陷的区域(也称为缺陷区域)位置的信息以及示出该缺陷区域尺寸的信息。例如可以针对作为一个检查对象物的每一个基板90创建缺陷信息。此时，例如可以创建针对一个以上的基板90包括一个以上的缺陷信息的缺陷信息组。缺陷信息例如也可以包括缺陷图像数据的缩略图数据。

在此，缺陷图像数据的识别信息例如包括数据文件名等。由此，例如，可实现缺陷图像数据与缺陷信息相关联的状态。就示出区块的位置的信息而言，例如包括区块的中心位置等规定位置的坐标等。作为规定位置的坐标，例如，可以使用直接示出基板90上的位置的坐标。就示出区块尺寸的信息而言，例如包括基板90上的纵横尺寸等。就示出缺陷区域位置的信息而言，例如包括区块上的缺陷区域的中心位置等规定位置的坐标等。就示出缺陷区域位置的信息而言，例如也可以使用直接示出基板90上的位置的坐标。就示出缺陷区域尺寸的信息而言，例如可以是示出缺陷区域的纵横尺寸的信息，也可是示出图像数据的像素数的信息。在此，例如，缺陷图像数据也可以是捕捉了基板90的整个被检查面的图像数据。此时，缺陷信息例如也可以不包括示出区块位置的信息以及示出区块尺寸的信息。

另外，处理部16例如还可以具有如下功能，即，基于被检查面的每个区块是否存在缺陷的判断结果，创建与捕捉到不存在缺陷的区块的图像数据(也称为标准图像数据)相关的信息(也称为标准信息)，并将该标准信息传递到控制部13。标准信息例如可以包括：用于确定捕捉到被判断为不存在缺陷的区块的标准图像数据的识别信息以及示出区块尺寸的信息。标准图像数据的识别信息例如包括数据文件名等。由此，例如，实现标准图像数据与标准信息相关联的状态。就示出区块尺寸的信息而言，例如包括基板90的纵横尺寸等。

在此，例如，标准图像数据也可以是捕捉到基板90的整个被检查面的图像数据。在该情况下，例如，也可以在处理部16或缺陷确认装置3中，基于与缺陷图像数据相关联的缺陷信息，从标准图像数据中提取与缺陷图像数据对应的后述的基准图像数据。在该情况下，例如，可以基于缺陷信息中包含的示出区块位置的信息和示出区块尺寸的信息，从标准图像数据中提取与缺陷图像数据对应的基准图像数据。

存储装置17例如能够基于控制部13的控制，存储由摄像部15获得的图像数据以及由处理部16获得的包括1个以上缺陷信息的缺陷信息组等。该存储装置17例如可以包括硬盘或闪存等存储介质。在此，就存储装置17中存储的由摄像部15获得的图像数据而言，例如包括捕捉到不存在缺陷的区块等的标准图像数据、以及捕捉到被判断为存在缺陷的区块的缺陷图像数据。对于不同的基板90，存储装置17也可以将捕捉到对应的区块的标准图像数据与缺陷图像数据以相关联的状态存储。标准图像数据，例如可以在后述的缺陷确认装置3中用作捕捉到不存在缺陷的区块的、构成比较基准的图像数据(也称为基准图像数据)。另外，存储装置17例如可以存储用于实现控制部13的各种功能的程序以及各种数据等。

通信部18例如具有能够经由通信线路2与缺陷确认装置3之间进行数据通信的功能。该通信部18例如能够响应于来自缺陷确认装置3的请求，将存储于存储装置17中的缺陷图像数据、该缺陷图像数据的缺陷信息、以及与该缺陷图像数据对应的基准图像数据等，发送到缺陷确认装置3。缺陷图像数据以及与该缺陷图像数据对应的基准图像数据，是捕捉到作为检查对象物的基板90的被检查面的同一尺寸的同一部分的图像数据。该通信部18例如也可以发送标准图像数据以及标准信息等。

此外，在上述的说明中，通过拍摄基板90的被检查面的每个区块来进行检查，但是也可以不分割区块而拍摄基板90的被检查面来进行检查。此时，可以在进行了检查之后，将基板的被检查面分割成区块，并将判断为存在缺陷的区块作为缺陷图像数据。另外，也可以不将基板90的被检查面分割成区块，将包括被判断为存在缺陷的位置的规定区域图像作为缺陷图像数据。

(1-3.缺陷确认装置的结构)

图3是示出缺陷确认装置3的电气结构的一个例子的框图。缺陷确认装置3例如为如下的装置：用于将由检查装置1判断为存在缺陷的缺陷图像数据，作为存在捕捉到缺陷的可能性的待确认对象(也称为确认对象)即图像数据，从而确认是否存在真正的缺陷(也称为真正缺陷)。换言之，缺陷确认装置3是用于确认检查对象物上有无缺陷的装置。

如图3所示，缺陷确认装置3例如是通过计算机等信息处理装置30实现的，具有经由总线Bu1连接的通信部31、输入部32、输出部33、存储部34、控制部35以及驱动器36。

通信部31例如具有能够经由通信线路2而与检查装置1之间进行数据通信的功能。该通信部31例如能够接收从检查装置1的通信部18发送来的缺陷图像数据、该缺陷图像数据的缺陷信息以及与该缺陷图像数据对应的基准图像数据等。该通信部31例如也可以接收从检查装置1的通信部18发送来的标准图像数据。

输入部32例如具有能够输入与使用缺陷确认装置3的用户的动作等对应的信号的功能。输入部32例如可以包括操作部、麦克风以及各种传感器等。操作部可以包括能够输入与用户的操作对应的信号的鼠标以及键盘等。麦克风能够输入与用户的声音对应的信号。各种传感器能够输入与用户的移动对应的信号。

输出部33例如具有能够输出图像数据等各种信息的功能。输出部33例如可以包括显示部、投影仪以及扬声器等。显示部例如能够将各种信息以用户可识别的形态可视地输出。显示部例如可适用液晶显示器以及有机EL显示器等。在显示部中，显示面板起到可视地输出各种信息的区域(也称为显示区域)的作用。该显示部也可以具有与输入部32一体化而成的触摸屏的形态。投影仪例如能够将各种信息以用户可识别的形态输出到屏幕等被投影物上。在此，投影仪与被投影物协同动作(联动)，从而作为将各种信息以用户可识别形态可视地输出的显示部发挥作用。此时，例如，发挥在被投影物上可视地输出各种信息的区域作为显示区域的作用。扬声器例如能够将各种信息以用户可识别的形态可听地输出。

存储部34例如具有能够存储各种信息的功能。该存储部34例如包括硬盘或闪存等存储介质。在存储部34中，例如，也可以采用具有1个存储介质的结构、一体地具有2个以上存储介质的结构、以及具有将2个以上存储介质分为2个以上部分的结构中的任一结构。存储部34例如可存储计算机程序(以下简称为程序)Pg1及各种数据Id1。各种数据Id1例如可包括由通信部31接收的缺陷图像数据和该缺陷图像数据的缺陷信息。另外，各种数据Id1例如可包括由通信部31接收的与缺陷图像数据对应的基准图像数据或标准图像数据。

控制部35例如包括用作处理器的运算处理部35a以及临时存储信息的存储器35b等。运算处理部35a例如可适用中央运算部(CPU)等电气线路。此时，运算处理部35a例如可以具有1个以上的处理器。存储器35b例如可适用随机存取存储器(RAM)等。在运算处理部35a中，例如，通过读取和执行存储于存储部34的程序Pg1，能够将信息处理装置30用作缺陷确认装置3发挥功能。通过控制部35中的各种信息处理而临时获得的各种信息可适当存储在存储器35b等中。

驱动器36例如是能够拆装便携式存储介质RM1的部分。在驱动器36中，例如，可以在安装有存储介质RM1的状态下，在该存储介质RM1与控制部35之间进行数据交换。在此，例如，通过将存储有程序Pg1的存储介质RM1安装到驱动器36，可以将程序Pg1从存储介质RM1读取并存储到存储部34内。在该情况下，存储介质RM1存储程序Pg1，并且是计算机可读的存储介质。另外，例如，可以将缺陷图像数据以及该缺陷图像数据的缺陷信息等从存储介质RM1读取到存储部34内，从而作为各种数据Id1的至少一部分存储。另外，例如，也可以将与缺陷图像数据对应的基准图像数据或标准图像数据等从存储介质RM1读取到存储部34内，从而作为各种数据Id1的至少一部分存储。

图4是示出通过运算处理部35a中的处理实现的缺陷确认装置3的功能结构的一个例子的框图。图4例示了通过在运算处理部35a中执行程序Pg1实现的数据处理的各种功能。

如图4所示，运算处理部35a例如具有信号接收部351、获取部352、存储控制部353以及输出控制部354，来作为要实现的功能结构。例如，使用存储器35b作为这些各部351～354中的处理的工作空间。此外，由运算处理部35a实现的功能结构的至少一部分的功能例如可以由专用的电子电路等硬件构成。

信号接收部351例如具有接收由输入部32输入的信号的功能。

获取部352例如具有如下功能：能够从通信部31、存储部34或驱动器36等，针对作为检查对象物的基板90的同一尺寸的同一部分，获取缺陷图像数据以及与该缺陷图像数据对应的基准图像数据。另外，获取部352例如具有能够获取该缺陷图像数据的缺陷信息的功能。

存储控制部353例如具有如下功能：能够将通过运算处理部35a中的处理获得的各种数据存储到存储部34和存储器35b的至少一者中。

输出控制部354例如具有如下功能：通过输出部33能够在显示部的同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出缺陷图像数据、以及与该缺陷图像数据对应的基准图像数据。由此，用户不移动视线，就能够比较缺陷图像数据的缺陷图像和与该缺陷图像数据对应的基准图像数据的基准图像。因此，例如，用户不容易漏看检查对象物上的真正缺陷，并且不容易疲劳。其结果，例如，能够提高确认检查对象物的缺陷的作业的确认精度。

在此，对可视地示出缺陷图像数据及基准图像数据等的画面的显示例进行说明。

图5是示意性地示出用于选择由输出部33可视地输出的1个基板90的缺陷图像数据的画面(也称为缺陷选择画面)Sn0的一个例子的图。如图5所示，在缺陷选择画面Sn0中，例如存在第一显示区域Ar1、第二显示区域Ar2以及第三显示区域Ar3。第一显示区域Ar1例如是用于显示缺陷信息的区域。第二显示区域Ar2是用于显示图像的区域。在图5的例子中，在第二显示区域Ar2显示1个基板90的1个以上的缺陷图像数据的缩略图Si1。第三显示区域Ar3是示出基板90中的缺陷图像数据的区块位置的区域。在图5的例子中，在基板90的整体的图像(也称为整体图像)Su0上，缺陷图像数据的区块的外缘由框Fr1表示。在该缺陷选择画面Sn0中，用户能够用鼠标指针M1选择在第二显示区域Ar2中显示的1个以上的缺陷图像数据的缩略图Si1中的所期望的缩略图Si1。由此，能够从1个以上的缺陷图像数据中选择所期望的缺陷图像数据作为用于确认有无真正缺陷的确认对象即缺陷图像数据。在此，鼠标指针M1的动作例如可以由输出控制部354响应于根据用户在输入部32的动作输入的信号，并基于由信号接收部351接收的信号而显示。另外，在图5的例子中，能够通过用鼠标指针M1按下确认开始按键(图中所示的“Check Start”按键)B0，来开始如下动作，即，从1个以上的缺陷图像数据开始自动按顺序地选择任意的缺陷图像数据，来作为用于确认有无真正缺陷的确认对象的缺陷图像数据。

图6是示出用于确认缺陷的画面(也称为缺陷确认画面)Sn1的一个例子的图。如图6所示，缺陷确认画面Sn1例如与缺陷选择画面Sn0同样地，具有第一显示区域Ar1、第二显示区域Ar2以及第三显示区域Ar3。在缺陷确认画面Sn1中，例如在第二显示区域Ar2中放大显示在缺陷选择画面Sn0等中选择的作为确认对象的缺陷图像数据的图像(也称为缺陷图像)Im1。在图6的例子中，缺陷图像Im1中包括基板90上的各种图案Pt1。此时，例如，也可以在第三显示区域Ar3中的整体图像Su0上，改变框Fr1或框Fr1内的显示形态，以能够将第二显示区域Ar2中显示的缺陷图像Im1的区块与其他区块相区别。

图7是示出可视地输出基准图像数据的画面(也称为基准确认画面)Sn2的一个例子的图。如图7所示，基准确认画面Sn2是将在缺陷确认画面Sn1中的第二显示区域Ar2中显示的缺陷图像Im1变更为与该缺陷图像Im1对应的基准图像数据的图像(也称为基准图像)Im2的画面。此时，例如，在第二显示区域Ar2中显示的缺陷图像Im1以及基准图像Im2可以是与被检查面的同一尺寸的同一部分具有同一尺寸的图像。

在此，如果按时间顺序至少各一次显示图6中所示的缺陷确认画面Sn1与图7中所示的基准确认画面Sn2，则用户不移动视线就能够比较在同一第二显示区域Ar2上按时间顺序显示的缺陷图像Im1与基准图像Im2。由此，例如用户不容易漏看基板90上的真正缺陷，并且不容易疲劳。其结果，例如，能够提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。在此，例如，可以在显示了缺陷确认画面Sn1之后，显示基准确认画面Sn2，也可以在显示基准确认画面Sn2之后，显示缺陷确认画面Sn1。此时，对于缺陷确认画面Sn1与基准确认画面Sn2之间的切换，例如，可以基于预先设定的规则自动切换，也可以响应于输入部32根据用户的动作输入的信号而手动切换。

另外，在此，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够通过输出部33可视地输出缺陷图像数据以及用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。在该情况下，例如，如图6所示，也可以在缺陷确认画面Sn1中的缺陷图像Im1处，用显示要素Fm11、Fm12指示检查装置1中被判断为存在缺陷的缺陷区域。该显示要素Fm11、Fm12可采用定位成分别包围缺陷区域的框。在输出控制部354中，缺陷图像Im1中的缺陷区域的位置及尺寸例如可基于缺陷信息中所包括的缺陷区域的位置及尺寸的信息等来设定。如果采用这种结构，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，用户能够高精度地确认基板90上有无缺陷。

另外，在此，输出控制部354例如也可以通过输出部33在显示部的同一显示区域交替地以可视方式输出缺陷图像数据与基准图像数据。在该情况下，例如，也可以交替地显示图6所示的缺陷确认画面Sn1与图7所示的基准确认画面Sn2。此时，例如，缺陷确认画面Sn1与基准确认画面Sn2可以在预先设定的时刻进行切换。作为该预先设定的时刻，例如，可采用预先设定的时间间隔的时刻。如果采用这种结构，例如，在同一第二显示区域Ar2中，对同一尺寸的同一部分，交替可视地输出缺陷图像数据与基准图像数据。因此，用户不移动视线就能够容易地比较缺陷图像Im1与基准图像Im2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

另外，在此，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够响应于输入部32根据用户的第一动作输入的第一信号，停止通过输出部33在同一第二显示区域Ar2中交替地以可视方式输出缺陷图像数据与基准图像数据的处理(也称为交替输出处理)。在该情况下，例如，也可以在交替地显示图6所示的缺陷确认画面Sn1和图7所示的基准确认画面Sn2时，在显示缺陷确认画面Sn1及基准确认画面Sn2的任一者的状态下停止显示的切换。在图6的例子中，如果通过用鼠标指针M1按下缺陷确认画面Sn1的停止按键(图中所示的“STOP”按键)B1使显示的切换停止，则维持显示缺陷确认画面Sn1的状态。在图7的例子中，如果通过用鼠标指针M1按下基准确认画面Sn2的停止按键B1来使显示的切换停止，则维持显示基准确认画面Sn2的状态。如果采用这种结构，例如，用户可以按照自己的节奏平心静气地确认检查对象物上有无真正缺陷。

此外，在图6及图7的例子中，也可以通过用鼠标指针M1再次按下停止按键B1来解除停止显示切换的状态。即，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够响应于输入部32根据用户的规定动作输入规定信号，解除停止通过输出部33在同一第二显示区域Ar2交替地以可视方式输出缺陷图像数据与基准图像数据的交替输出处理的状态，从而恢复交替输出处理。在此，停止按键B1例如可以示出响应于鼠标指针M1的第一次按压押下而通过颜色变化或文字变更停止交替输出处理的状态，也可以示出响应于鼠标指针M1的第二次按压而通过颜色变化或文字变更执行交替输出处理的状态。颜色变化例如可适用所谓的反转处理。文字变更例如可适用停止(STOP)与重新开始(RESTART)之间的文字变更等。

另外，在此，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够响应于交替输出处理的停止，通过输出部33输出缺陷图像数据以及能够被用户识别的缺陷图像的要素。就缺陷图像的要素而言，例如只要是用户能够识别正在显示缺陷图像Im1的要素即可。缺陷图像的要素例如可适用通过输出部33显示在缺陷图像Im1的附近或缺陷图像Im1上的第一标志Mk1。第一标志Mk1例如可适用图6所示的特定的文字要素(在图6的例子中为“缺陷”)、特定的图案、特定的字母组合、包围缺陷图像Im1的特定的框或缺陷图像Im1的特定的背景颜色等。如果采用这种结构，例如，用户能够识别显示的图像是缺陷图像Im1还是基准图像Im2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

另外，在此，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够响应于交替输出处理的停止，通过输出部33输出基准图像数据以及能够被用户识别的基准图像的要素。基准图像的要素例如也可以是能够被用户识别显示有基准图像Im2的要素。基准图像的要素例如可适用通过输出部33显示在基准图像Im2的附近或基准图像Im2上的第二标志Mk2。第二标志Mk2例如可适用图7所示的特定的文字要素(在图7的例子中为“基准”)、特定的图案、特定的字母组合、包围基准图像Im2的特定的框或基准图像Im2的特定的背景色等。如果采用这种结构，例如，用户能够识别显示的图像是缺陷图像Im1还是基准图像Im2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

另外，在图6及图7的例子中，也可以通过用鼠标指针M1按下下一步按键(图中所示的“NEXT”按键)B2，将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据。即，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够响应于输入部32根据用户的规定动作输入规定信号，通过输出部33按时间顺序至少各一次以可视方式输出下一个缺陷图像数据和与该下一个缺陷图像数据对应的基准图像数据。另外，也可以不显示图5的缺陷选择画面，而如图6及图7的例子那样顺序显示通过检查获得的缺陷图像数据及基准图像数据。

(1-4.缺陷确认装置的动作)

关于使用缺陷确认装置3确认检查对象物上有无缺陷的缺陷确认方法，图8至图10是示出缺陷确认装置3的动作流程的一个例子的流程图。该动作流程例如响应于用户经由输入部32输入的信号而开始。在此，例如，对通过用鼠标指针M1按下缺陷选择画面Sn0的确认开始按键B0来自动从1个以上的缺陷图像数据中选择任意的缺陷图像数据作为确认对象即缺陷图像数据的动作流程的一个例子进行说明。

首先，在图8的步骤S1中，获取部352获取1个以上的基板90中的作为1个检查对象物的1个基板90的缺陷信息。在此，获取部352例如可以经由通信线路2及通信部31从检查装置1获取缺陷信息组中的1个缺陷信息，也可以从存储部34或存储介质RM1获取缺陷信息组中的1个缺陷信息。

接着，在步骤S2中，获取部352获取作为确认对象的1个缺陷图像数据。在此，获取部352例如基于步骤S1中获取的缺陷信息中所含的识别信息，来获取1个缺陷图像数据。获取部352例如可以经由通信线路2及通信部31从检查装置1获取1个缺陷图像数据，也可以从存储部34或存储介质RM1获取1个缺陷图像数据。

接着，在步骤S3中，获取部352获取与步骤S2中获取的1个缺陷图像数据对应的1个基准图像数据。在此，获取部352例如可以从检查装置1经由通信线路2及通信部31，获取捕捉到与步骤S2中获取的1个缺陷图像数据相同的区块的1个标准图像数据，来作为基准图像数据，也可以从存储部34或存储介质RM1获取。另外，获取部352例如也可以基于缺陷信息，从捕捉到基板90的整个被检查面的标准图像数据中，提取与缺陷图像数据对应的基准图像数据，由此获取1个基准图像数据。以这种方式，例如，在步骤S1至步骤S3的处理中，例如针对作为检查对象物的基板90的同一尺寸的同一部分，获取部352能够获取有可能已捕捉到缺陷的缺陷图像数据、以及作为与该缺陷图像数据对应的基准的基准图像数据。

接着，在步骤S4中，输出控制部354通过输出部33将步骤S2中获取的缺陷图像数据可视地输出在显示区域上。此时，例如，通过输出部33显示图6所示的缺陷确认画面Sn1。

接着，在步骤S5中，输出控制部354判断是否停止交替输出处理。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的第一动作输入的第一信号，则输出控制部354不判断为停止交替输出处理，而进入步骤S6。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的第一动作输入的第一信号，则输出控制部354判断为停止交替输出处理，从而进入图9的步骤S21。

在步骤S6中，运算处理部35a判断是否将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的动作输入规定的信号，则不判断为将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据，而进入步骤S7。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的动作输入规定的信号，则判断为将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据，从而进入步骤S10。

在步骤S7中，输出控制部354通过输出部33将在步骤S3中获取的基准图像数据可视地输出在与在步骤S4中可视地输出缺陷图像数据的显示区域相同的显示区域内。此时，例如，通过输出部33显示图7所示的基准确认画面Sn2。换言之，例如，通过步骤S4及步骤S7的处理，输出控制部354能够通过输出部33在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出在步骤S2中获取的缺陷图像数据以及在步骤S3中获取的基准图像数据。由此，例如，通过在同一显示区域上按时间顺序可视地输出同一尺寸的同一部分的缺陷图像数据和基准图像数据，从而使用户不移动视线就能够比较缺陷图像Im1与基准图像Im2。因此，例如，用户不容易漏看基板90的真正缺陷，并且不容易疲劳。其结果，例如，能够提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

接着，在步骤S8中，输出控制部354判断是否停止交替输出处理。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的第一动作输入的第一信号，则输出控制部354不判断为停止交替输出处理，而进入步骤S9。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的第一动作输入的第一信号，则输出控制部354判断为停止交替输出处理，从而进入图10的步骤S31中。

在步骤S9中，运算处理部35a判断是否将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的动作输入规定的信号，则不判断为将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据，并返回步骤S4。此时，例如，反复执行步骤S4至步骤S9的处理，直至判断为将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据为止。换言之，例如，在步骤S4至步骤S9的处理中，输出控制部354能够执行如下的交替输出处理，即，通过输出部33在同一显示区域上交替可视地输出缺陷图像数据和与该缺陷图像数据对应的基准图像数据。此时，例如，能够通过输出部33交替地显示图6所示的缺陷确认画面Sn1和图7所示的基准确认画面Sn2。由此，例如，通过在同一显示区域上交替可视地输出同一尺寸的同一部分的缺陷图像数据和基准图像数据，从而用户不移动视线就能够容易地比较缺陷图像Im1与基准图像Im2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

另一方面，在步骤S9中，例如，如果输入部32根据用户的动作输入规定的信号，则判断为将作为确认对象的缺陷图像数据转移至下一个缺陷图像数据，并进入步骤S10。此时，例如，关于确认有无真正缺陷的缺陷图像数据，可考虑在该缺陷图像数据的缺陷信息中添加表示已确认完毕的信息或者表示确认结果的信息的形态。

在步骤S10中，运算处理部35a基于在步骤S1中获取的缺陷信息，判断作为1个检查对象物的1个基板90的所有缺陷图像数据是否都已作为确认对象。在此，例如，如果通过运算处理部35a判断为1个基板90的所有缺陷图像数据并非都已作为确认对象，则返回步骤S2。此时，获取部352例如基于在步骤S1中获取的缺陷信息中所含的识别信息，获取作为下一个确认对象的1个缺陷图像数据。另外，在步骤S10中，例如，如果通过运算处理部35a判断为1个基板90的所有缺陷图像数据都已作为确认对象，则进入步骤S11。

在步骤S11中，运算处理部35a判断是否确认完作为所有检查对象物的所有基板90有无真正缺陷。在此，例如，运算处理部35a能够基于检查装置1的存储装置17、存储部34及存储介质RM1中的任一者中存储的缺陷信息组，判断是否确认完所有基板90有无真正缺陷。在此，例如，如果通过运算处理部35a没有判断为确认完所有基板90有无真正缺陷，则返回步骤S1。此时，获取部352例如获取1个以上的基板90中的作为下一个检查对象物的下一个基板90的缺陷信息。另外，在步骤S11中，如果通过运算处理部35a判断为确认完所有基板90有无真正缺陷，则结束本动作流程。

在图9的步骤S21中，输出控制部354通过输出部33可视地输出缺陷图像数据。在此，例如，当从图8的步骤S5进入步骤S21时，成为如下状态，即，输出控制部354响应于输入部32根据用户的第一动作输入的第一信号，由输出部33停止交替输出处理，从而使输出部33可视地输出缺陷图像数据。由此，例如，能够维持通过输出部33显示图6所示的缺陷确认画面Sn1的状态。像这样，例如，如果用户能够停止交替可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的交替输出处理，则用户能够按照自己的节奏平心静气地确认基板90上有无真正缺陷。

在该步骤S21中，例如，输出控制部354也可以通过输出部33可视地输出缺陷图像数据，同时输出用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。在该情况下，例如，如图6所示，能够在缺陷确认画面Sn1中的缺陷图像Im1上，用显示要素Fm11、Fm12示出在检查装置1中被判断为存在缺陷的缺陷区域。如果采用这样的结构，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，用户能够高精度地确认基板90上有无缺陷。

另外，例如，当从图8的步骤S5进入步骤S21时，在该步骤S21中，输出控制部354也可以响应于交替输出处理的停止，通过输出部33输出缺陷图像数据以及能够被用户识别的缺陷图像的要素。就缺陷图像的要素而言，例如是显示缺陷图像Im1时能够被用户识别的要素即可。缺陷图像的要素例如可适用通过输出部33显示在缺陷图像Im1的附近或缺陷图像Im1上的第一标志Mk1。第一标志Mk1例如可适用图6所示的特定的文字要素、特定的图案、特定的字母组合、包围缺陷图像Im1的特定的框或缺陷图像Im1的特定的背景色等。如果采用这样的结构，例如，用户能够识别显示的图像是缺陷图像Im1还是基准图像Im2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

在接下来的步骤S22中，输出控制部354判断是否已输入用于切换显示的图像的信号。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的规定动作输入用于切换显示的图像的规定信号，则进入步骤S23。另一方面，在步骤S22中，例如，如果输入部32根据用户的规定动作输入用于切换显示的图像的规定信号，则进入图10的步骤S31。由此，例如，用户能够手动切换通过输出部33在以可视方式输出有缺陷图像数据的显示区域上以可视方式输出与该缺陷图像数据对应的基准图像数据的显示。如果采用这种结构，用户例如能够在任意时刻将由输出部33显示的画面从图6所示的缺陷确认画面Sn1切换为图7所示的基准确认画面Sn2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，用户能够高精度地确认基板90上有无缺陷。

在接下来的步骤S23中，输出控制部354判断是否重新开始交替输出处理。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的规定动作输入用于重新开始交替输出处理的规定信号，则输出控制部354不判断为重新开始交替输出处理，则返回步骤S21。在此，在反复进行步骤S21至步骤S23的处理的期间，输出控制部354停止输出部33的交替输出处理，从而维持可视地输出缺陷图像数据的状态。例如，维持通过输出部33显示图6所示的缺陷确认画面Sn1的状态。另一方面，在步骤S23中，例如，输入部32根据用户的规定动作输入用于重新开始交替输出处理的规定信号，则输出控制部354判断为重新开始交替输出处理，并返回图8的步骤S4。由此，解除停止交替输出处理的状态。

在图10的步骤S31中，输出控制部354通过输出部33可视地输出基准图像数据。在此，例如，当从图8的步骤S8进入步骤S31时，输出控制部354成为如下状态，即，响应于输入部32根据用户的第一动作输入的第一信号，停止输出部33的交替输出处理，从而通过输出部33可视地输出基准图像数据。由此，例如，能够维持通过输出部33显示图7所示的基准确认画面Sn2的状态。像这样，例如，如果用户能够停止交替可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的交替输出处理，则用户能够根据自己的节奏平心静气地确认基板90上有无真正缺陷。

在该步骤S31中，例如，输出控制部354也可以响应于交替输出处理的停止，通过输出部33输出基准图像数据以及能够被用户识别的基准图像的要素。基准图像的要素例如是显示基准图像Im2时能够被用户识别的要素即可。基准图像的要素例如可适用通过输出部33显示在基准图像Im2的附近或基准图像Im2上的第二标志Mk2。第二标志Mk2例如可适用图7所示的特定的文字要素、特定的图案、特定的字母组合、包围基准图像Im2的特定的框或基准图像Im2的特定的背景色等。如果采用这种结构，例如，用户能够识别显示的图像是缺陷图像Im1还是基准图像Im2。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，能够进一步提高确认基板90的缺陷的作业的确认精度。

在接下来的步骤S32中，输出控制部354判断是否已输入用于切换显示的图像的信号。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的规定动作输入用于切换显示的图像的规定信号，则进入步骤S33。另一方面，在步骤S32中，例如，如果输入部32根据用户的规定动作输入了用于切换显示的图像的规定信号，则进入图9的步骤S21。由此，例如，用户能够手动切换通过输出部33在以可视方式输出有基准图像数据的显示区域上以可视方式输出与该基准图像数据对应的缺陷图像数据的显示。如果采用这种结构，则用户例如能够在任意的时刻将由输出部33显示的画面从图7所示的基准确认画面Sn2切换为图6所示的缺陷确认画面Sn1。由此，例如，用户能够容易发现基板90上的真正缺陷。其结果，例如，用户能够高精度地确认基板90上有无缺陷。

在接下来的步骤S33中，输出控制部354判断是否重新开始交替输出处理。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的规定动作输入用于重新开始交替输出处理的规定信号，则输出控制部354不判断为重新开始交替输出处理，并返回步骤S31。在此，在重复执行步骤S31至步骤S33的处理的期间，输出控制部354通过输出部33使交替输出处理停止，从而维持可视地输出基准图像数据的状态。例如，维持通过输出部33显示图7所示的基准确认画面Sn2的状态。另一方面，在步骤S33中，例如，如果输入部32根据用户的规定动作输入用于重新开始交替输出处理的规定信号，则输出控制部354判断为重新开始交替输出处理，从而返回图8的步骤S7。由此，解除停止交替输出处理的状态。

根据上述动作流程，用户例如不移动视线就能比较缺陷图像Im1与基准图像Im2，从而能够确认基板90上有无真正缺陷。在缺陷确认装置3中，例如，也可以响应于输入部32根据用户的动作输入的信号，将表示用户关于有无真正缺陷的确认结果的信息添加到缺陷信息等中。另外，例如，用户也可以根据关于有无真正缺陷的确认结果，将基板90分类为合格品和不合格品。

(1-5.第一实施方式的总结)

如以上所述，在第一实施方式的缺陷确认装置3中，例如，在同一显示区域上按时间顺序可视地输出同一尺寸的同一部分的缺陷图像数据和基准图像数据。因此，用户例如不移动视线就能够比较缺陷图像Im1与基准图像Im2。由此，例如，用户不容易漏看作为检查对象物的基板90的真正缺陷，并且不容易疲劳。其结果，例如，能够提高确认作为检查对象物的基板90的缺陷的作业的确认精度。

(2.其他实施方式)

本发明不限定于上述的第一实施方式，在不脱离本发明的主旨的范围内可以记性各种变更、改良等。

(2-1.第二实施方式)

在上述第一实施方式中，例如，基准图像数据不限于由检查装置1中的摄像部15获得的标准图像数据或者从标准图像数据提取的图像数据。基准图像数据也可以是由检查装置1以外的装置获得的标准图像数据或者从该标准图像数据提取的图像数据。进而，基准图像数据例如也可以是与由计算机辅助设计(computer-aided design：CAD)的技术等描绘作为检查对象物的基板90而成的设计图相关的图像。此时，例如，基准图像数据也可以是仅用线条绘制基板90的被检查面的形状而成的图像数据，进而也可以是将颜色添加到各部分而成的图像数据。在采用这种结构的情况下，例如，如图11所示，可以采用基准确认画面Sn2A取代上述基准确认画面Sn2，该基准确认画面Sn2A将在第二显示区域Ar2上显示的图像设为基于由CAD技术等创建的基准图像数据的基准图像Im2A。

(2-2.第三实施方式)

在上述各实施方式中，例如，也可以存在可视地输出缺陷图像数据的第一期间与可视地输出基准图像数据的第二期间相重复的期间。在该情况下，例如，输出控制部354也可以具有如下功能：能够通过输出部33将同一显示区域上的图像数据的可视输出状态从第一输出状态经由第二输出状态迁移至第三输出状态。在此，第一输出状态是可视地输出缺陷图像数据以及基准图像数据中的一方的图像数据(也称为第一图像数据)的状态。第二输出状态是可视地输出缺陷图像数据与基准图像数据相重叠的状态。第三输出状态是可视地输出缺陷图像数据及基准图像数据中的与第一图像数据不同的其他图像数据(也称为第二图像数据)的状态。在此，例如，如果第一图像数据是缺陷图像数据，则第二图像数据是基准图像数据，例如，如果第一图像数据是基准图像数据，则第二图像数据是缺陷图像数据。由此，例如，通过上述的步骤S4及步骤S7的处理，输出控制部354能够在通过输出部33在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出在步骤S2中获取的缺陷图像数据和在步骤S3中获取的基准图像数据时，将同一显示区域上的图像数据的可视输出状态从第一输出状态经由第二输出状态迁移至第三输出状态。

在该情况下，在第二输出状态中，例如可考虑以半透明的显示形态可视地输出第一图像数据及第二图像数据中的至少一方的结构。在此，例如，如果基于基准图像数据的基准图像Im2A是仅用线条绘制被检查面的形状而成的图像数据，则也可以在第二输出状态中，以简单重叠的方式可视地输出第一图像数据及第二图像数据。图12是示出第三实施方式的重叠确认画面Sn3B的一个例子的图。重叠确认画面Sn3B是基于上述的缺陷确认画面Sn1及基准确认画面Sn2、Sn2A，而在同一第二显示区域Ar2上，显示出以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的图像(也称为重叠图像)Im12B的画面。重叠图像Im12B例如具有将同一尺寸的同一部分的缺陷图像Im1与基准图像Im2，Im2A相重叠的显示形态。

像这样，例如，如果存在以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的时间带，则用户能够容易识别基于缺陷图像数据而可视地输出的缺陷图像Im1与基于基准图像数据而输出的基准图像Im2、Im2A之间差异。

另外，在此，输出控制部354例如也可以具有如下功能：能够在通过输出部33实现第二输出状态时，输出缺陷图像数据、基准图像数据、以及能够被用户识别的重叠图像的要素。重叠图像的要素例如是显示重叠图像Im12B时能够被用户识别的要素即可。重叠图像的要素例如可适用通过输出部33显示在重叠图像Im12B的附近或者重叠图像Im12B上的第三标志Mk3。第三标志Mk3例如可适用图12所示的特定的文字要素(在图12的例子中为“重叠”)、特定的图案、特定的字母组合、包围重叠图像Im12B的特定的框或者重叠图像Im12B的特定的背景色等。如果采用这种结构，例如，则用户能够识别显示的图像是重叠图像Im12B。

(2-3.第四实施方式)

另外，在上述各实施方式中，例如，输出控制部354也可以具有如下功能：在停止交替输出处理之后，能够响应于输入部32根据用户的第二动作输入的第二信号，通过输出部33在同一显示区域上以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据。在该情况下，例如，输出控制部354也可以响应于输入部32根据用户的第二动作输入的第二信号，通过输出部33从可视地输出缺陷图像数据的状态变化为以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的状态。另外，例如，输出控制部354也可以响应于输入部32根据用户的第二动作输入的第二信号，通过输出部33从可视地输出基准图像数据的状态变化为以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的状态。

例如，在图6所示的缺陷确认画面Sn1中，可考虑如下的形态：通过用鼠标指针M1按下重叠实施按键B3，使输出控制部354通过输出部33将显示的画面从缺陷确认画面Sn1变化为图12所示的重叠确认画面Sn3B。另外，例如，在图11所示的基准确认画面Sn2A中，可考虑如下的形态：通过用鼠标指针M1按下重叠实施按键B3，使输出控制部354通过输出部33将显示的画面从基准确认画面Sn2A变化为图12所示的重叠确认画面Sn3B。另外，此时，例如，在重叠确认画面Sn3B中，也可以通过用鼠标指针M1按下重叠取消按键B4，使输出控制部354通过输出部33将显示的画面从重叠确认画面Sn3B变化为缺陷确认画面Sn1，也可以将显示的画面从重叠确认画面Sn3B变化为基准确认画面Sn2A。采用这样的形态，例如，用户也能够容易识别缺陷图像数据的缺陷图像Im1与基准图像数据的基准图像Im2、Im2A之间的差异。

在采用上述结构的情况下，例如，也可以取代图9所示的动作流程，执行图13所示的动作流程，并取代图10所示的动作流程，执行图14所示的动作流程。图13及图14是示出第四实施方式的缺陷确认装置3的动作流程的一个例子的流程图。图13的动作流程是在图9所示的动作流程的步骤S22与步骤S23之间插入步骤S22A，进而添加了步骤S22B及步骤S22C的动作流程。图14的动作流程是在图10所示的动作流程的步骤S32与步骤S33之间插入步骤S32A，进而添加了步骤S32B及步骤S32C的动作流程。在此，将说明图13及图14的动作流程中的、与图9及图10的动作流程不同的、步骤S22A、S22B、S22C及步骤S32A、S32B、S32C。

在图13的步骤S22A中，输出控制部354判断是否执行以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的处理(也称为重叠显示处理)。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的第二动作输入第二信号，则输出控制部354不判断为执行重叠显示处理，并进入步骤S23。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的第二动作输入第二信号，则输出控制部354判断为执行重叠显示处理，从而进入步骤S22B。

在步骤S22B中，输出控制部354通过输出部33执行重叠显示处理。由此，例如，输出控制部354使输出部33停止交替输出处理之后，能够响应于输入部32根据用户的第二动作输入的第二信号，使输出部33在同一显示区域上以重叠的方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据。此时，例如，可考虑如下的形态，即，输出控制部354将由输出部33显示的画面从图6所示的缺陷确认画面Sn1变化为图12所示的重叠确认画面Sn3B。如果采用这种结构，则用户能够容易识别缺陷图像数据的缺陷图像Im1与基准图像数据的基准图像Im2、Im2A之间的差异。

在步骤S22C中，输出控制部354判断是否取消在同一显示区域上以重叠方式可视地输出缺陷图像数据和基准图像数据的状态(也称为重叠显示状态)。在此，例如，在输入部32根据用户的规定动作输入规定信号之前，输出控制部354不判断为取消重叠显示状态，并重复步骤S22C的判断。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的规定动作输入规定的信号，则输出控制部354判断为取消重叠显示状态，从而返回图13的步骤S21。

在图14的步骤S32A中，输出控制部354判断是否执行将缺陷图像数据与基准图像数据以重叠方式可视地输出的重叠显示处理。在此，例如，如果输入部32没有根据用户的第二动作输入第二信号，则输出控制部354不判断为执行重叠显示处理，并进入步骤S33。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的第二动作输入第二信号，则输出控制部354判断为执行重叠显示处理，从而进入步骤S32B。

在步骤S32B中，输出控制部354通过输出部33执行重叠显示处理。由此，例如，输出控制部354使输出部33停止交替输出处理之后，能够响应于输入部32根据用户的第二动作输入的第二信号，通过输出部33在同一显示区域上将缺陷图像数据与基准图像数据以重叠方式可视地输出。此时，例如，可考虑如下的形态，即，输出控制部354通过输出部33将显示的画面从图11所示的基准确认画面Sn2A变化为图12所示的重叠确认画面Sn3B。如果采用这样的结构，则用户能够容易识别缺陷图像数据的缺陷图像Im1与基准图像数据的基准图像Im2、Im2A之间的差异。

在步骤S32C中，输出控制部354判断是否取消在同一显示区域上将缺陷图像数据与基准图像数据以重叠方式可视地输出的重叠显示状态。在此，例如，在输入部32根据用户的规定动作输入规定的信号之前，输出控制部354不判断为取消重叠显示状态，并反复步骤S32C的判断。另一方面，例如，如果输入部32根据用户的规定动作输入规定信号，则输出控制部354判断为取消重叠显示状态，并返回图14的步骤S31。

(2-4.其他)

例如，在上述各实施方式中，输出控制部354也可以不使输出部33执行交替输出处理，而使输出部33在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出缺陷图像数据和基准图像数据。此时，首先输出缺陷图像数据及基准图像数据中的哪一个图像数据都可以。采用这种结构，例如，用户也能不移动视线就能够比较在同一第二显示区域Ar2上按时间顺序显示的缺陷图像Im1与基准图像Im2。由此，例如，用户不容易漏看基板90上的真正缺陷，且不容易疲劳。其结果，例如，能够提高确认作为检查对象物的基板90的缺陷的作业中的确认精度。

例如，在上述各实施方式中，也可以放大或缩小缺陷图像数据的缺陷图像Im1。此时，例如，响应于缺陷图像数据的缺陷图像Im1的放大及缩小，也放大及缩小基准图像数据的基准图像Im2、Im2A即可。

例如，在上述各实施方式中，就显示要素Fm11、Fm12而言，也可以根据在缺陷区域中捕捉到的部位的种类，而设为使用户能够区别的不同的显示形态的要素。再次，作为部位的种类，例如可列举出实施了电镀的部位及附着有阻焊剂的部位等。另外，作为不同的显示形态的要素，例如可列举出颜色不同的框等。在该情况下，在缺陷信息中例如包括示出部位的种类的信息即可。

例如，在上述各实施方式中，当作为1个检查对象物的1个基板90上存在作为多个确认对象的多个缺陷图像数据时，也可以通过获取部352优先获取预先设定的重要度高的部位的缺陷图像数据。由此，例如，输出控制部354能够通过输出部33优先可视地输出重要度高的部位的缺陷图像数据。

例如，在上述各实施方式中，作为显示要素Fm11、Fm12，也可以取代分别以包围缺陷区域方式来定位缺陷区域的框，而采用指示缺陷区域的箭头等其他形态的要素。

例如，在上述各实施方式中，作为检查对象物，也可以采用不同于基板90的制品等其他物体。

当然，可以将分别构成上述一实施方式及各种变形例的全部或一部分在不矛盾的范围内适当地组合。

Claims (15)

1.一种缺陷确认装置，用于确认检查对象物上有无缺陷，其特征在于，具有：

获取部，针对所述检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据；和

输出控制部，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

2.根据权利要求1所述的缺陷确认装置，其特征在于，

所述输出控制部通过所述输出部以可视方式一起输出所述缺陷图像数据和用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。

3.根据权利要求1所述的缺陷确认装置，其特征在于，

所述输出控制部通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

4.根据权利要求3所述的缺陷确认装置，其特征在于，

还具有输入部，该输入部用于根据用户的动作来输入信号，

所述输出控制部，响应于所述输入部根据用户的第一动作输入的第一信号，停止通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据的交替输出处理。

5.根据权利要求4所述的缺陷确认装置，其特征在于，

所述输出控制部，响应于所述交替输出处理的停止，通过所述输出部一起输出所述缺陷图像数据和能够被用户识别的缺陷图像的要素，或者一起输出所述基准图像数据和能够被用户识别的基准图像的要素。

6.根据权利要求5所述的缺陷确认装置，其特征在于，

所述输出控制部，在停止所述交替输出处理之后，响应于所述输入部根据用户的第二动作输入的第二信号，通过所述输出部在所述同一显示区域上重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的缺陷确认装置，其特征在于，

所述输出控制部，通过所述输出部将所述同一显示区域上的图像数据的可视输出状态，从第一输出状态经由第二输出状态而迁移至第三输出状态，

所述第一输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的第一图像数据，

所述第二输出状态重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据，

所述第三输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的不同于所述第一图像数据的第二图像数据。

8.一种缺陷确认方法，用于确认检查对象物上有无缺陷，其特征在于，具有：

第一步骤，针对所述检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据；和

第二步骤，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出在所述第一步骤中获取的所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

9.根据权利要求8所述的缺陷确认方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，通过所述输出部以可视方式一起输出所述缺陷图像数据和用于使有可能存在缺陷的部分能够被用户在视觉上识别的要素。

10.据权利要求8所述的缺陷确认方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

11.据权利要求10所述的缺陷确认方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，响应于输入部根据用户的第一动作输入的第一信号，停止通过所述输出部在所述同一显示区域上交替以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据的交替输出处理。

12.据权利要求11所述的缺陷确认方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，响应于所述交替输出处理的停止，通过所述输出部一起输出所述缺陷图像数据和能够被用户识别的缺陷图像的要素，或者一起输出所述基准图像数据和能够被用户识别的基准图像的要素。

13.据权利要求12所述的缺陷确认方法，其特征在于，

在所述第二步骤中，在停止所述交替输出处理之后，响应于所述输入部根据用户的第二动作输入的第二信号，通过所述输出部在所述同一显示区域上重叠地以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。

14.根据权利要求8至12中任一项所述的缺陷确认方法，其特征在于，

在所述第二步骤，通过所述输出部将所述同一显示区域上的图像数据的可视输出状态，从第一输出状态经由第二输出状态而迁移至第三输出状态，

所述第一输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的第一图像数据，

所述第二输出状态以重叠方式以可视方式输出所述缺陷图像数据和所述基准图像数据，

所述第三输出状态以可视方式输出所述缺陷图像数据以及所述基准图像数据中的不同于所述第一图像数据的第二图像数据。

15.一种计算机可读存储介质，存储有程序，其特征在于，

当在信息处理装置中通过控制部的处理器执行所述程序时，执行：

第一步骤，针对检查对象物的同一尺寸的同一部分，获取有可能捕捉到缺陷的缺陷图像数据和作为基准的基准图像数据；和

第二步骤，通过输出部在同一显示区域上按时间顺序至少各一次以可视方式输出在所述第一步骤中获取的所述缺陷图像数据和所述基准图像数据。