CN110214231A - 多级真空增压泵联接器 - Google Patents

Abstract

公开一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。用于多级真空泵的级间联接器包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。

Description

多级真空增压泵联接器

技术领域

本发明涉及一种用于多级真空增压泵的级间联接器、一种真空泵和一种方法。

背景技术

已知真空泵。通常采用这些泵作为真空系统的部件来排空设备。而且，使用这些泵来排空例如在半导体的生产中使用的制造装备。不是使用单个泵在单个级中实施从真空到大气的压缩，而是已知提供多级真空泵，其中每一级实施从真空转变到大气压力所需的完整压缩范围的一部分。

虽然此类多级真空泵提供若干优点，但是其也具有其自己的缺点。因此，期望提供一种用于多级真空泵的经改进的布置。

发明内容

根据第一方面，提供一种用于多级真空泵的级间联接器，其包括：第一联接面，所述第一联接面被构造成由多级真空泵的第一相邻级接收；第二联接面，所述第二联接面被构造成由多级真空泵的第二相邻级接收；以及再循环器，所述再循环器包括：形成在第一联接面中的再循环入口孔口；形成在第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。

所述第一方面认识到多级真空泵的问题在于气体可能积聚在级的排放侧上，这在其转子上导致应力。由于例如当泵入口通气时所述级排放出比后续级可以处理的气体更多的气体，因此气体可能积聚。因此，设置一种级间联接器。所述级间联接器可以用于多级泵。所述泵可以是真空泵。所述联接器可以包括第一联接面。所述第一联接面可以被构造、布置或定尺寸成接收、接合或连接泵的相邻级以限定、关闭或密封所述相邻级。所述联接器可以包括第二联接面。所述第二联接面可以被构造、布置或定尺寸成接收、接合或连接泵的另一相邻级以限定、关闭或密封所述相邻级。可以提供所述级间联接器以联接具有单独的定子壳体的级或者可以使用所述级间联接器来将单个定子壳体分隔成若干单独的级。所述联接器还可以包括再循环器。所述再循环器可以限定形成或设置在第一联接面中的再循环入口孔口或开口。所述再循环器还可以限定也形成或设置在第一联接面中的再循环出口孔口。所述再循环器还可以包括具有再循环阀的再循环管道。所述再循环管道和再循环阀可以被构造或布置成使再循环入口孔口与再循环出口孔口选择性地联接。以此方式，可以通过使所述出口孔口与所述入口孔口流体联接来减轻级中的压力，以便使积聚气体从所述第一级泵的一部分再循环到所述第一级泵的另一部分，以便减少转子上的应变。

在一个实施例中，再循环器在第一联接面和第二联接面之间容纳在级间联接器内。因此，再循环器可以定位在级间联接器自身内，这实现特别紧凑且自容式的布置，并且最小化多级泵的复杂性。而且，在级之间设置再循环器使再循环器与泵周围的较冷环境条件隔离，并且在其中固体材料很可能从所泵送介质冷凝的应用中，通过再循环器中升高的温度来降低冷凝的风险，从而降低其变得不可移动且无效的风险。

在一个实施例中，第一和第二联接面中的每一者的至少一部分被构造为板以密封多级真空泵的相应相邻级的端部。因此，所述联接面可以密封相邻的级，从而充当其壳体的一部分。

在一个实施例中，再循环入口孔口被定位成用于与第一相邻级的排放部流体连通，并且再循环出口孔口被定位成用于与第一相邻级的入口流体连通。因此，再循环器可以接收第一相邻级的排放，并且可以使所述排放、或其至少一部分经由阀再循环到第一相邻级的入口，以便减小跨越转子的压力不平衡。

在一个实施例中，第一联接面限定入口孔口以接收来自第一相邻级的排放，并且第二联接面限定出口孔口以将所述排放输送到第二相邻级，所述级间联接器限定被构造成使入口孔口与出口孔口流体联接的传输管道。因此，级间联接器还可以用于将气体从第一相邻级传输到第二相邻级。

在一个实施例中，入口孔口流体地位于第一相邻级的下游，并且出口孔口流体地位于第二相邻级的上游。因此，第一相邻级的排放可以从入口孔口提供并且经由出口孔口输送到第二相邻级的入口。

在一个实施例中，入口孔口包括入口再循环孔口，并且传输管道共享再循环管道的至少一部分。因此，可以通过共享入口孔口和入口再循环孔口和/或通过共享传输管道和再循环管道来减小联接器的复杂性。

在一个实施例中，再循环阀包括压力致动阀，所述压力致动阀可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差致动以使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。因此，再循环阀可以在两者之间的选定或预先确定的压力差下使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。换句话说，再循环阀可以具有脱离位置，其中再循环入口孔口和再循环出口孔口在小于选定压力差的压力差下流体脱离。当压力差大于选定或预先确定的压力差时，再循环入口孔口和再循环出口孔口可以于是流体联接。

在一个实施例中，再循环阀包括可移动构件，所述可移动构件可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位以使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。再循环阀可以被构造成使得所述构件通过平移移动移位。在此实施例中，所述可移动构件可以是活塞。再循环阀可以被构造成使得所述构件通过旋转或角移动移位。在此实施例中，所述可移动构件可以是枢转翻板。因此，可以设置活塞、翻板或可移动构件，其从关闭或阻塞再循环管道的位置移位或移动到打开或解封再循环管道的位置。

在一个实施例中，所述可移动构件在脱离位置中被偏置或加重并且可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位到联接位置。因此，所述活塞、翻板或可移动构件可以被偏置或加重到脱离位置中。所述活塞、翻板或可移动构件可以响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位到联接位置。

在一个实施例中，所述级间联接器包括第二再循环器，所述第二再循环器包括：形成在第二联接面中的第二再循环入口孔口；形成在第二联接面中的第二再循环出口孔口；以及具有第二再循环阀的第二再循环管道，所述第二再循环阀被构造成使第二再循环入口孔口与第二再循环出口孔口选择性地流体联接。因此，可以在联接器内设置另一个再循环器以在第二相邻级内实现气体再循环。

根据第二方面，提供一种多级真空泵，其包括：第一泵送级；第二泵送级；以及使第一泵送级与第二泵送级联接的第一方面的级间联接器。

根据第三方面，提供一种方法，其包括：设置第一联接面，所述第一联接面被构造成由多级真空泵的第一相邻级接收；设置第二联接面，所述第二联接面被构造成由多级真空泵的第二相邻级接收；以及设置再循环器，所述再循环器包括：形成在第一联接面中的再循环入口孔口；形成在第一联接面中的再循环出口孔口；以及具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。

在一个实施例中，所述方法包括使再循环器在第一联接面和第二联接面之间容纳在级间联接器内。

在一个实施例中，所述方法包括将第一和第二联接面中的每一者的至少一部分构造为板以密封多级真空泵的相应相邻级的端部。

在一个实施例中，所述方法包括将再循环入口孔口定位成用于与第一相邻级的排放部流体连通，并且将再循环出口孔口定位成用于与第一相邻级的入口流体连通。

在一个实施例中，所述方法包括：在第一联接面中限定入口孔口以接收来自第一相邻级的排放；在第二联接面中限定出口孔口以将所述排放输送到第二相邻级；以及限定被构造成使入口孔口与出口孔口流体联接的传输管道。

在一个实施例中，所述方法包括：将入口孔口流体地定位在第一相邻级的下游；以及将出口孔口流体地定位在第二相邻级的上游。

在一个实施例中，入口孔口包括入口再循环孔口，并且传输管道共享再循环管道的至少一部分。

在一个实施例中，再循环阀包括压力致动阀，并且所述方法包括响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。

在一个实施例中，再循环阀包括可移位构件，并且所述方法包括响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差使再循环入口孔口与再循环出口孔口联接。

在一个实施例中，所述方法包括所述构件在脱离位置中被偏置或加重并且可响应于再循环入口孔口和再循环出口孔口之间的选定压力差移位到联接位置。

在一个实施例中，所述方法包括提供第二再循环器，第二再循环器包括：形成在第二联接面中的第二再循环入口孔口；形成在第二联接面中的第二再循环出口孔口；以及具有第二再循环阀的第二再循环管道，所述第二再循环阀被构造成使第二再循环入口孔口与第二再循环出口孔口选择性地流体联接。

在所附独立和从属权利要求中阐述另外的特定和优选方面。从属权利要求的特征可以视情况并且按除权利要求中明确阐述的那些组合以外的组合与独立权利要求的特征组合。

在装置特征被描述为可操作以提供功能的情况下，将了解，这包括提供所述功能或者适于或被配置成提供所述功能的装置特征。

附图说明

现在将参考附图进一步描述本发明的实施例，其中：

图1A和图1B示出根据一个实施例的两级增压泵；

图2是在图1A和图1B的两级增压泵中使用的转子的透视图；

图3示出根据一个实施例的具有再循环器的级间联接器的布置；

图4示出根据一个实施例的具有再循环器的级间联接器的布置；

图5示出根据一个实施例的具有再循环器的级间联接器的布置；

图6示出具有包括翻板布置（flap arrangement）的再循环器的级间联接器的布置；并且

图7更详细地示出图6的翻板布置。

具体实施方式

在更详细地讨论实施例之前，首先将提供概述。实施例提供一种用于多级泵的联接器。所述联接器可以用于将相邻的级联接在一起。所述联接器通过防止大于损坏压力差的压力差出现在相邻的级内来帮助防止损坏出现在所述级内。当出现潜在损坏压力差时，联接器中的再循环阀操作成使相邻泵的排放侧与其入口侧联接，并且使气体从所述排放部再循环到所述入口，以便避免可能导致对转子或泵的损坏的压力差。可以为每一相邻级的泵提供额外的再循环器，每一再循环器设置在级间联接器的壳体内。为了简化联接器并且提供紧凑布置，再循环器可以共享被设置成用于在相邻的级之间传输气体的孔口和管道。

两级泵

图1A和图1B示出根据一个实施例的两级增压泵，通常为10。第一泵送级20经由级间联接器单元40与第二泵送级30联接。第一泵送级20具有第一级入口20A和第一级排放部20B。第二泵送级30具有第二级入口30A和第二级排放部30B。

联接器

级间联接器40由第一部分40A和第二部分40B形成。第一部分40A可释放地固定到第二部分40B。当使其在一起时，第一和第二部分40A、40B在级间联接器单元内限定通道130，在泵的操作期间，气体可以通过通道130。级间联接器单元40限定圆柱形空隙100，其延伸通过级间联接器单元40的宽度。第一部分40A形成空隙100的第一部分，并且第二部分40B形成空隙100的第二部分。空隙100分离以接收一件式转子50，如现在将更详细地描述的。

转子

图2是转子50的透视图。转子50是在利用若干对啮合凸轮的正移位式凸轮泵（lobepump）中使用类型的转子。每一转子具有围绕可旋转轴对称地形成的一对凸轮。每一凸轮55由曲线的交替切向区段限定。如所已知的，所述曲线可以具有任何合适形式，例如圆弧或内旋轮曲线和外旋轮曲线或者这些形式的组合。在此实例中，转子50是整体的，由单个金属元件机加工，并且圆柱形空隙58轴向延伸通过凸轮55以减小质量。

轴的第一轴向端部60接收在由第一泵送级20的顶板（未示出）提供的轴承内，并且从接收在第一级20的定子内的第一旋转叶片部分90A延伸。中间轴向部分80从第一旋转叶片部分90A延伸并且接收在空隙100内。空隙100在中间轴向部分80的表面上提供紧密配合，但是并不充当轴承。第二旋转叶片部分90B从中间轴向部分80轴向延伸并且接收在第二级30的定子内。第二轴向端部70从第二旋转叶片部分90B轴向延伸。第二轴向端部70由第二泵送级30的顶板（未示出）中的轴承接收。转子50被机加工为单个零件，其中切割器形成所述一对凸轮55的表面。轴向部分60、70、80被转动以形成第一旋转叶片部分90A和第二旋转叶片部分90B。

如将理解的，第二转子50（未示出）接收在第二空隙100内，第二空隙100也延伸通过级间联接器40的宽度，但是与第一空隙100侧向间隔开。第二转子50与上述转子50相同并且与其旋转偏移90°，使得两个转子50同步啮合。

泵级定子

返回到图1A，第一泵送级20包括整体定子22，在其内形成腔室24。腔室24在一端由顶板（未示出）密封，并且在另一端由级间联接器单元40密封。整体定子22具有第一内表面20C。在此实施例中，第一内表面20C由联接到直的区段的相等半圆形部分限定，所述直的区段在所述半圆形部分之间切向延伸以限定接收转子50的空隙/腔室24。然而，实施例还可以限定大致八字形横截面的空隙。第二泵送级30包括整体定子32，在其内形成腔室34。腔室34在一端由顶板（未示出）密封，并且在另一端由级间联接器单元40密封。整体定子32具有第二内表面30C，第二内表面30C限定接收转子50的稍微八字形横截面的腔室34。整体定子22、32的存在极大地增加了机械完整性并且降低了第一泵送级20和第二泵送级30的复杂性。在替代实施例中，顶板还可以集成到每一定子单元22、32中以形成铲斗型布置，此方法将进一步减少所存在部件的数量。

转子50的第一旋转叶片部分90A在操作中啮合并且跟随第一内表面20C以在第一级入口20A处压缩从上游设备或装置提供的气体，并且在第一级排放部20B处提供压缩气体。在第一级排放部20B处提供的压缩气体通过形成在级间联接器单元40的第一面110A中的入口孔口120A。第一面110A表示第一泵送级20和通道130之间的边界。压缩气体行进通过形成在级间联接器单元40内的通道130，并且通过级间联接器单元40的第二面110B中的出口孔口120B离开。第二面110B表示通道130和第二泵送级30之间的边界。在第二级入口30A处接收离开出口孔口120B的压缩气体。在第二级入口30A处接收的压缩气体由转子50的第二旋转叶片部分90B在第二旋转叶片部分90B啮合并跟随第二内表面30C时进一步压缩，并且气体经由第二级排放部30B离开。

组装

通常在翻转夹具上实施两级增压泵10的组装。使第一泵送级20的整体定子22固定到构建夹具。使顶板附接到定子22，并且然后使所述组件旋转通过180度。

使两个转子50下降到第一级定子22中。使级间联接器40的第一部分40A和第二部分40B在中间轴向部分80上共同滑动以将第一旋转叶片部分90A保持在第一泵送级20内。然后通常将级间联接器单元40的第一部分40A和第二部分40B用榫钉连接和螺栓连接在一起。然后使级间联接器40的组装好的半部附接到第一泵送级20的整体定子22。

现在小心地使第二泵送级30的整体定子32下降到第二旋转叶片部分90B上并使其附接到级间联接器单元40。

现在使顶板附接到第二级泵30的整体定子32。用两个顶板中的轴承保持两个转子50。

再循环阀

图3示出根据一个实施例的级间联接器的布置，通常为40C。在此实施例中，级间联接器40C由整体壳体形成。然而，将了解，可以同样地提供类似于上述那些布置的分开式壳体布置。

级间联接器40C位于第一泵送级20和第二泵送级30之间。级间联接器40C具有接收第一泵送级20的第一面110C以及接收第二泵送级30的相对的第二面110D。入口孔口120C（或多个孔口）形成在第一面110C中并且经由传输管道140联接到相对的第二面110D中的出口孔口120D（或多个孔口）。再循环入口孔口150（或多个孔口）也设置在第一面110C中并且经由再循环管道170A与也设置在第一面110C上的再循环出口孔口160A联接。

可移位阀构件180A由弹簧190A偏置到关闭位置中，其中阀构件180A关闭再循环入口孔口150以防止气体从再循环入口孔口150传输到再循环出口孔口160A。当再循环入口孔口150和再循环出口孔口160A之间的气体压力差足以克服弹簧190A的偏置时，阀构件180A朝向第二泵送级30轴向移位，并且使再循环入口孔口150与再循环出口孔口160A流体联接。气体然后经由再循环管道170A从再循环入口孔口150流动并且从再循环出口孔口160A中流出以降低第一泵送级20内的压力差。

图4示出级间联接器40D，其具有与图3的布置类似的布置，但是设置共享管道175，其使共享入口185（设置在第一面110E中）与再循环出口孔口160B（或也设置在第一面110E中的多个孔口）和出口孔口120E（或设置在第二面110F中的多个孔口）联接。设置阀构件180B，其由弹簧190B偏置以使再循环出口孔口160B与共享管道175密封。共享管道还用于在相邻的级之间从共享入口185到出口孔口120E传输气体。

当共享入口185和再循环出口孔口160B之间的压力差足以克服弹簧190B的偏置力并且使阀构件180B沿第一泵送级20的方向轴向移位时，气体可以经由共享管道175从共享入口185流到再循环出口孔口160B以便降低第一泵送级20内的压力差。

将了解，多种不同阀布置是可能的。特别地，如图5中示出，级间联接器单元40E的一个实施例设想了阀构件180C，其被加重和定向成在再循环管道175C内竖直移位。在所述布置中，阀的重量（单独或在竖直偏置的弹簧190C的帮助下）使阀保持在关闭位置，但是通过共享入口185C和再循环出口孔口160C之间的压力差移位。类似地，可竖直移位的构件可以按图3中所示类型的布置来实现。

在图3-5中示出的实施例中，阀构件由活塞布置表示。阀构件180A、180B、180C可按平移方向移位。在如图6和图7中示出的替代实施例中，阀构件由包括翻板180D的翻板布置提供，翻板180D通过铰链182连接到共享管道175D的表面。弹簧190C设置在铰链182周围以使翻板180D偏置到关闭位置中。在图6中所示的布置中，级间联接器单元40F位于第一泵送级20和第二泵送级30之间。如在图4中，通道130表示共享管道175D。此共享管道175D使第一面110I中的共享入口185D与一个或更多个再循环出口孔口160D并且与第二面110J中的一个或更多个出口孔口120G联接。

第一面110I清楚地表示第一泵送级20和级间联接器40F之间的边界。第二面110J与第二面110J的延伸部110J'一起清楚地表示级间联接器单元40F和第二级30之间的边界。共享管道175D由这两个边界之间的区域限定。

所述翻板布置位于共享管道175D内。其定位在出口孔口120G和再循环出口孔口160D之间的流动路径中。为了容纳翻板机构的大部分铰链182和弹簧190C，所述翻板布置已经径向定位在泵送腔室24、34的范围之外。

翻板180D被构造成围绕铰链182在如图示出的第一关闭位置和第二打开位置（未示出）之间枢转。翻板180D通过弹簧190C朝向第一关闭位置偏置。

虽然使用上文提及的级间联接器40C、40D、40E、40F来接合相邻级的两个定子，但是在一个实施例中，设置具有再循环阀的级间联接器，其装配在单个定子主体内，所述级间联接器分离所述单个定子主体内的相邻的级。

因此，可以看出，实施例提供联接多级真空泵的级的联接器。即，所述联接器位于多级真空泵的级之间。所述多级真空泵可以具有任何数目的级，并且一个或更多个联接器可以位于那些级中的任何相邻两个级之间，那些级不需要是所述泵的第一和第二级。联接器单元具有附接到相邻级的一对相对的面向外的联接面。所述联接器具有内部布置，所述内部布置使形成在一个联接面中的入口与形成在所述联接面中的出口联接。所述布置具有阀，所述阀响应于入口和出口之间的压力差使入口与出口选择性地联接。如果发生所谓的“气体倾泄”，其中过量气体被引入到所述级的排放部中，例如可以在使所述泵通气时发生，那么此联接器使来自相邻级的排放部的过量气体再循环回到所述级的入口，以便减少所述泵的所述级上的应变。实施例设想多种不同压力致动的阀布置。一些实施例还重新使用现有的级间传输管道来提供再循环器的一部分。

实施例提供并入到泵中间级中的减压阀（relief valve），其特别适于蛤壳式泵组装方法，并且适于并入到多级增压器设计中。实施例具有优于“外部”设备的占用面积的优点，并且可以使所有部分都被捕获（即，无法达到其波及体积（swept volume））。

将了解，一些泵具有大的级，其可以尝试泵送比后续级可以处理的气体更多的气体。在那些情况下，高压力将积聚在所述大的级和下一级之间。所述压力将导致机器的极高运行功率。可以用不同方式减轻所述压力：减慢机器的运行速度，减小大的级的移位并且其内部泄漏减轻压力；如果出口级处的压力将超过整个泵的出口压力，则气体可以被吹出到排放部中；如果所述压力不会那么高，或者不期望（出于其它原因）将大的级的出口连接到整个泵的排放部，则气体可以吹回到所述级的入口。第一种和最后一种情况类似之处在于反向泄漏和泵移位的相对大小改变；在第一种情况中，泄漏保持恒定、并且移位减小；在最后一种情况中，泄漏增加、并且移位恒定。

在实施例中，减压阀位于使一级与下一级隔离的分离器内，并且气体路径通过所述分离器中的通路。最显著的优点通常是减小占用面积。其它方法通常涉及在波及体积的外部周围的通路，显然需要增加泵的外部尺寸。在实施例中，阀可以是插入到分离器中的腔中的盒式部件。当级间板是与形成定子的主体的其余部分分离的部件时，分离器中的阀可以特别有利；在此情况下，所述阀可以在组装所述分离器之前被构建在适当位置，并且定子的其余部分及其部件被有效地捕获，无法释放到泵机构的其余部分中。

因此，可以看出，实施例提供两级增压蛤壳联接器（传输级/传输端口）。第一和第二级增压器转子两者都在常规机加工的一件式定子中运行。用于将气体从第一级运送到第二级的传输端口具有由沿着两个转子的轴线分开的两个半部组成的蛤壳设计。

实施例认识到常规增压器定子具有一件式设计。这些定子容易机加工，并且在转子故障的情况下非常坚固。然而，实施例还认识到，对于使用三个单独的定子部件（第一级定子、一件式传输级和第二级定子）的两级增压器，第二级增压器转子将必须是单独的部件以便组装泵。

实施例还认识到，如果使用一件式转子，则顶部和底部蛤壳定子可以容纳第一和第二级转子并且形成传输级。然而，这两个部件将必须被设计成非常刚性以避免机加工和组装期间的变形。因其大小，其也将相对难以机加工。

实施例使得能够使用一件式转子和容易机加工的部件。第一和第二级增压器转子两者都在常规机加工的一件式定子中运行。传输级将气体从第一级排放出口运送到第二级入口并且具有由沿着两个转子的轴线分开的两个半部组成的蛤壳设计。

实施例维持一件式定子的容易制造和高强度，但是使蛤壳用于传输级。这实现用于两级增压器的一件式转子设计的组装。实施例提供多级泵，特别是具有根部设计的那些。通过使用蛤壳传输级和一件式通孔定子，可以维持更严格的公差。通孔定子使得能够使用无尖端半径的转子，通常需要所述尖端半径来清除盲定子孔的拐角中的半径。部件的经提高的精度和更严格的公差控制可以实现五级根部设计，而不是将仍然能够具有相同低压力的六级或七级设计。

在一个实施例中，级间联接器的蛤壳半部延伸到泵的外部。在另一实施例中，级间联接器的蛤壳半部容纳在定子的一端中。特别地，蛤壳半部可以容纳在两个定子中的一者内，优选地在较短的第二级定子中。

虽然本文中已经参考附图详细公开了本发明的说明性实施例，但是应理解，本发明并不限于精确的实施例，并且本领域技术人员可以在不背离如由所附权利要求及其等价方案限定的本发明的范围的情况下实现各种改变和修改。

附图标记

两级增压泵	10; 10'
		第一级泵	20; 20'
第一级入口	20A; 20A'
		第一级排放部	20B
第一内表面	20C; 20C'
		第二级泵	30; 30'
第二级入口	30A
		第二级排放部	30B; 30B'
第二内表面	30C
		级间联接器	40; 40C
第一部分	40A; 40A'
		第二部分	40B; 40B'
转子	50; 50A; 50B
		第一轴向端部	60
第二轴向端部	70
		中间轴向部分	80; 80A
第一旋转叶片部分	90A
		第二旋转叶片部分	90B
空隙	100; 100'
		第一面	110A; 110C; 110E; 110G; 110I
第二面	110B; 110D; 110F; 110H; 110J; 110J'
		入口孔口	120A; 120A'; 120C
出口孔口	120B; 120B'; 120D; 120E; 120F; 120G
		通道	130; 130'
传输管道	140; 140'
		再循环入口孔口	150
再循环出口孔口	160A; 160B
		再循环管道	170A
共享管道	175; 175C; 175D
		阀构件	180A; 180B; 180C; 180D
铰链	182
		共享入口	185
弹簧	190A; 190B, 190C
		翻板布置	195
轴环	200; 200A
		半圆柱形元件	210A, 210B
螺钉孔口	220
		凹入面	230
表面	240
		圆柱形节段	250

Claims (17)

1.一种用于多级真空泵的级间联接器，包括：

第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；

第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及

再循环器，所述再循环器包括：

-形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；

-形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及

-具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。

2.根据权利要求1所述的级间联接器，其中，所述再循环器在所述第一联接面和所述第二联接面之间容纳在所述级间联接器内。

3.根据权利要求1或2所述的级间联接器，其中，所述第一和第二联接面中的每一者包括板，以便密封所述多级真空泵的所述相应相邻级的端部。

4.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述再循环入口孔口被定位成用于与所述第一相邻级的排放部流体连通，并且所述再循环出口孔口被定位成用于与所述第一相邻级的入口流体连通。

5.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述第一联接面限定入口孔口以接收来自所述第一相邻级的排放，并且所述第二联接面限定出口孔口以将所述排放输送到所述第二相邻级，所述级间联接器限定被构造成使所述入口孔口与所述出口孔口流体联接的传输管道。

6.根据权利要求5所述的级间联接器，其中，所述入口孔口流体地位于所述第一相邻级的下游，并且所述出口孔口流体地位于所述第二相邻级的上游。

7.根据权利要求5或6所述的级间联接器，其中，所述入口孔口包括所述入口再循环孔口，并且所述传输管道共享所述再循环管道的至少一部分。

8.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述再循环阀包括压力致动阀，所述压力致动阀可响应于所述再循环入口孔口和所述再循环出口孔口之间的选定压力差致动，以使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口联接。

9.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，其中，所述再循环阀包括阀构件，所述阀构件可响应于所述再循环入口孔口和所述再循环出口孔口之间的选定压力差移位，以使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口联接。

10.根据权利要求9所述的级间联接器，其中，所述再循环阀被构造成使得所述阀构件通过平移移位。

11.根据权利要求10所述的级间联接器，其中，所述阀构件是活塞。

12.根据权利要求9所述的级间联接器，其中，所述再循环阀被构造成使得所述阀构件通过旋转移位。

13.根据权利要求10所述的级间联接器，其中，所述阀构件是铰接翻板。

14.根据权利要求9至13中的任一项所述的级间联接器，其中，所述构件在脱离位置中被偏置或加重并且可响应于所述再循环入口孔口和所述再循环出口孔口之间的选定压力差移位到联接位置。

15.根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器，包括第二再循环器，所述第二再循环器包括：形成在所述第二联接面中的第二再循环入口孔口；形成在所述第二联接面中的第二再循环出口孔口；以及具有第二再循环阀的第二再循环管道，所述第二再循环阀被构造成使所述第二再循环入口孔口与所述第二再循环出口孔口选择性地流体联接。

16.一种多级真空泵，包括：

第一泵送级；

第二泵送级；以及

使所述第一泵送级与所述第二泵送级联接的根据前述权利要求中的任一项所述的级间联接器。

17.一种方法，包括：

设置第一联接面，所述第一联接面被构造成由所述多级真空泵的第一相邻级接收；

设置第二联接面，所述第二联接面被构造成由所述多级真空泵的第二相邻级接收；以及

设置再循环器，所述再循环器包括：

-形成在所述第一联接面中的再循环入口孔口；

-形成在所述第一联接面中的再循环出口孔口；以及

-具有再循环阀的再循环管道，所述再循环阀被构造成使所述再循环入口孔口与所述再循环出口孔口选择性地流体联接。