CN110192060A - 隔热结构以及液体供给系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种隔热结构以及液体供给系统，其能够保持隔热性并且能够抑制隔热部件的破损。所述隔热结构具备：隔热部件(520)，其被设置在2个部件之间，并且由热传导率低于所述2个部件的材料构成；被滑动部件(530)，其设置成可相对于所述隔热部件(520)滑动，至少2个所述隔热部件(520)在相对于压缩方向而平行方向上并排配置，至少1个所述被滑动部件(530)被配置在相邻的所述隔热部件(520)之间，并且所述隔热部件(520)与所述被滑动部件(530)，在朝向相对于压缩方向而垂直的垂直方向的移动分别被允许的状态下被配置。

Description

隔热结构以及液体供给系统

技术领域

本发明涉及一种在彼此固定的2个部件的连接部中所设置的隔热结构、以及具备该隔热结构的液体供给系统。

背景技术

为了使液氮、液氦等超低温液体在循环流道循环，已知利用具有由波纹管形成的泵室的液体供给系统的技术。在这样的液体供给系统中，需要将系统内部维持在超低温的状态下。因此，尤其在彼此固定的2部件中的一个部件被暴露于大气中而容易造成热量向系统内部传递的这种情况下，需要在上述的2部件的连接部设置隔热结构。

此外，在大型的液体供给系统的情况下，需要提高各部件的强度。从提高强度的观点出发，优选使用不锈钢、铜合金等金属材料作为各部件的材料，但由于这些材料热传导率高，因而不适合用作结构隔热结构的部件的材料。作为强度高的低热传导率的材料，存在氧化锆等陶瓷材料。然而，这种陶瓷材料的压缩负荷强，但拉伸强度弱，此外还存在如下缺点，即，在作用有相对于剪切方向的力的情况下容易破裂。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-177667号公报

专利文献2:日本特开2009-2252号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的目的在于提供一种可保持隔热性并且可抑制隔热部件破损的隔热结构以及液体供给系统。

用于解决课题的方案

本发明为了解决上述课题而采用以下方案。

即，本发明的隔热结构的特征在于，被设置在彼此固定且施加有压缩方向的力的2个部件的连接部中，

隔热部件，其被设置在所述2个部件之间，并且由热传导率低于所述2部件的材料构成；以及

被滑动部件，其设置成可相对于所述隔热部件滑动，

至少2个所述隔热部件在相对于压缩方向而平行方向上并排配置，至少1个所述被滑动部件被配置在相邻的所述隔热部件之间，并且所述隔热部件与所述被滑动部件，在朝向相对于压缩方向而垂直的垂直方向的移动分别被允许的状态下被配置。

根据本发明，隔热部件在朝向相对于由2部件形成的压缩方向而垂直的垂直方向的移动被允许的状态下配置，即使在该垂直方向上受到力，也只过是相对于被滑动部件而滑动。因此，隔热部件上几乎不会作用有朝向剪切方向的力。根据以上内容，能够抑制隔热部件破损的情况。

优选为，具备树脂制限制部件，所述树脂制限制部件限制所述隔热部件以及所述被滑动部件朝向相对于压缩方向而垂直的垂直方向的移动量。

由此，能抑制隔热部件以及被滑动部件大幅度地错位。

优选为，

所述限制部件被固定在所述2部件之内的一个部件和另一个部件的某一个上，并且

在与所述一个部件和所述另一个部件之中未固定有所述限制部件的部件相接的隔热部件上、且在未固定有所述限制部件的所述部件一侧的端部，设置有与所述限制部件上所设置的突出部卡合的凹部。

若采用这种结构，能够消除或者抑制2个部件的压缩方向的力作用于限制部件的情况。

此外，还优选为，

所述限制部件被固定在所述2个部件之内的一个部件和另一个部件的某一个上，并且，

所述一个部件和所述另一个部件之中未固定有所述限制部件的部件与所述隔热部件之间，配置强度高于所述限制部件的弹性部件，并且

在所述弹性部件上、且在未固定有所述限制部件的所述部件一侧的端部，设置有与所述限制部件上所设置的突出部卡合的凹部。

采用这种结构的情况下，能够消除或者抑制2个部件的压缩方向的力作用于限制部件的情况。

优选为，在所述2个部件之内的一个部件的相对于压缩方向而平行的平行方向的一侧与另一侧的各侧，配置有所述2部件之内的另一个部件，在相对于压缩方向而平行的平行方向上、且在所述一个部件与所述另一个部件之间分别配置有所述隔热结构。

由此，隔热部件在被2部件的压缩方向的力限制而未被拉伸方向的力限制的状态下被配置。因此，隔热部件上未作用有拉伸方向的力。

此外，本发明的液体供给系统其特征在于，具备：

内部具备泵室的容器；

所述容器内，在垂直方向上进行往复移动的轴部件；以及

与所述轴部件同心设置、且伴随着该轴部件的往复移动而伸缩的波纹管，

所述轴部件具备轴本体部、和对所述波纹管进行支承的支承部件，

所述轴本体部与支承部件的连接部中具备上述的隔热结构。

发明效果

如以上说明那样，根据本发明的隔热结构，能够保持隔热性，并且能够抑制隔热部件破损。

附图说明

图1为本发明的实施例所涉及的液体供给系统的概要结构图。

图2为本发明的实施例所涉及的外壳部与内壳部的连接部中的隔热结构的示意性剖视图。

图3为本发明的实施例所涉及的轴本体部与支承部件的连接部中的隔热结构的示意性剖视图。

图4为表示本发明的实施例所涉及的外壳部与内壳部的连接部中的隔热结构的变形例1的示意性剖视图。

图5为表示本发明的实施例所涉及的外壳部与内壳部的连接部中的隔热结构的变形例2的示意性剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图并基于实施例，例示地详细说明用于实施本发明的方式。另，在该实施例中记载的结构部件的尺寸、材质、形状、其相对配置等，只要未特别记载，则本发明的范围并不仅仅局限于此。

(实施例)

参照图1～图3对本发明的实施例所涉及的液体供给系统进行说明。本实施例所涉及的液体供给系统例如优选用于使超导设备维持在超低温状态下。即、在超导设备中，始终需要冷却超导线圈等。在此，通过始终向具备超导线圈等的被冷却装置供给超低温液体(液氮、液氦)，从而被冷却装置始终得到冷却。更具体而言，通过设计穿过被冷却装置的循环流道，并且，在该循环流道中安装本实施例所涉及的液体供给系统，从而可使超低温液体循环，进而可始终冷却被冷却装置。

＜液体供给系统的整体结构＞

图1为本发明的实施例所涉及的液体供给系统整体的概要结构图，并且为剖面地图示出液体供给系统整体的概要结构的图。另外，在图1中图示出以包含中心轴线的平面进行切断后的截面的概要结构。

本实施例所涉及的液体供给系统10具备：液体供给系统本体(以下称作系统本体100)、在内部设置有系统本体100的真空容器200、和配管(吸入管310以及送出管320)。系统本体100与真空容器200彼此固定。

吸入管310及送出管320均从真空容器200的外部进入到真空容器200的内部，与系统本体100连接。真空容器200的内部被密封，真空容器200的内部中的系统本体100、吸入管310及送出管320的外侧的空间被维持在真空状态下。由此，该空间具备隔热功能。液体供给系统10通常被设置在水平面上。在设置有液体供给系统10的状态下，图1中的上方为垂直方向上方，图1中的下方为垂直方向下方。

系统本体100具备成为驱动源的线性致动器110、通过线性致动器110而在垂直方向上进行往复移动的轴部件120、和容器130。另外，线性致动器110可固定在任意的地方，所固定的地方既可以是固定在容器130上，也可以是固定在其他未图示的地方。另外，在本实施例中，线性致动器110通过致动器保持部件111而被固定在容器130上。容器130具备外壳部131、和被设置在外壳部131的内部的内壳部132。上述的外壳部131与内壳部132通过连接部J1连接。轴部件120被设置成：从容器130的外部经由外壳部131的顶部所设置的开口部131a而进入到容器内部。此外，在外壳部131的底部设置有流体(超低温液体)的吸入口131b及送出口131c。上述的吸入管310被连接于设置有吸入口131b的位置，送出管320被连接于设置有送出口131c的位置。

在外壳部131的内部，除了内壳部132以外，还具备多个部件，通过由上述的内壳部132以及多个部件划分出的多个空间，形成多个泵室和液体的流道等。以下对该外壳部131的内部的结构进行更详细地说明。

轴部件120具备：轴本体部121、和用于支承波纹管(第一波纹管141、第二波纹管142以及第四波纹管152)的支承部件122。上述的轴本体部121与支承部件122通过连接部J2连接。支承部件122具有：中心轴部122a、设置成包围中心轴部122a的外周面侧的圆筒部122b、和将上述的中心轴部122a与圆筒部122b连结的连结部122c。而且，在圆筒部122b的上端设置有上端侧外向法兰部122b1，在圆筒部122b的下端设置有下端侧外向法兰部122b2。

内壳部132具备大致圆筒状躯体部132a、被设置在躯体部132a的中央附近的第一内向法兰部132b1、和底板部132c。内壳部132与外壳部131一体设置，从而即使在轴部件120进行往复移动的过程中，仍可以维持内壳部132相对于外壳部131静止的状态。

在内壳部132中的躯体部132a的内部且在周向上，以隔开间隔的方式形成有多个被设置在比第一内向法兰部132b1更靠下方、且在轴向上延伸的第一流道132a1。此外，在躯体部132a的内部且在比设置有第一流道132a1的区域更加靠近径向外侧，还设置有由轴向上延伸的圆筒状的空间构成的第二流道132a2。此外，在内壳部132的底部形成有流道132d，并且朝向径向外侧延伸、与第一流道132a1相连的流道132d均一地形成为圆周状。而且，在内壳部132中的底板部132c形成有流道132c1，并且朝向径向外侧延伸的流道132c1均一地形成为圆周状。即，上述的流道132d以及流道132c1被构成为，供流体从中心轴线侧向径向外侧呈放射状360°全方位流动。

此外，在容器130的内部设置有伴随着轴部件120的往复移动而伸缩的第一波纹管141以及第二波纹管142。上述的第一波纹管141以及第二波纹管142在垂直方向上并排配置。第一波纹管141的上端侧被固定在支承部件122中的圆筒部122b的上端侧外向法兰部122b1，第一波纹管141的下端侧被固定在内壳部132的第一内向法兰部132b1。此外，第二波纹管142的上端侧被固定在内壳部132的第一内向法兰部132b1，第二波纹管142的下端侧被固定在支承部件122中的圆筒部122b的下端侧外向法兰部122b2。而且，通过包围第一波纹管141的外周面而成的空间，形成第一泵室P1，通过包围第二波纹管142的外周面而成的空间，形成第二泵室P2。

此外，在容器130的内部还设置有伴随着轴部件120的往复移动而伸缩的第三波纹管151以及第四波纹管152。第三波纹管151的上端侧被固定在轴部件120中的轴本体部121，第三波纹管151的下端侧被固定在外壳部131的顶部。由此来堵塞设置在外壳部131的开口部131a。第四波纹管152的上端侧被固定在内壳部132上所设置的第二内向法兰部132b2，第四波纹管152的下端侧被固定在支承部件122的连结部122c。由此，支承部件122中的中心轴部122a的周围的空间与穿过第一泵室P1的流道被隔开。

而且，在容器130的内部还设置有4个止回阀160(根据安装的位置，适当地称作第一止回阀160A，第二止回阀160B，第三止回阀160C以及第四止回阀160D)。上述的止回阀160均由被设置在与轴部件120同一轴上的环状部件构成。此外，上述的止回阀160均被构成为，允许流体从径向内侧朝向外侧流动，阻止流体从径向外侧朝向内侧流动。

第一止回阀160A与第三止回阀160C被设置在穿过第一泵室P1的流道上。上述的第一止回阀160A以及第三止回阀160C通过第一泵室P1的泵作用起到阻止流动的流体的反流的作用。更具体而言，相对于第一泵室P1，在上游侧设置有第一止回阀160A，在下游侧设置有第三止回阀160C。更具体而言，第一止回阀160A被设置在形成在内壳部132的底部的流道132d上。此外，第三止回阀160C被设置在形成于内壳部132中所设置的第二内向法兰部132b2的附近的流道上。

而且，第二止回阀160B与第四止回阀160D被设置在穿过第二泵室P2的流道上。上述的第二止回阀160B以及第四止回阀160D通过第二泵室P2的泵作用起到阻止流动的流体的反流的作用。更具体而言，相对于第二泵室P2，在上游侧设置有第二止回阀160B，在下游侧设置有第四止回阀160D。更具体而言，第二止回阀160B被设置在形成于内壳部132的底板部132c的流道132c1上。此外，第四止回阀160D被设置在内壳部132的第一内向法兰部132b1的附近。

＜液体供给系统整体的动作说明＞

对液体供给系统整体的动作进行说明。通过线性致动器110而使轴部件120下降时，第一波纹管141收缩，第二波纹管142延伸。此时，第一泵室P1的流体压力降低，因此第一止回阀160A成为开阀的状态，第三止回阀160C成为闭阀的状态。由此，从液体供给系统10的外部通过吸入管310而被输送的流体(参照箭头S10)，从吸入口131b被吸入到容器130内，并贯穿通过第一止回阀160A(参照箭头S11)。然后，贯穿通过第一止回阀160A的流体穿过内壳部132中的躯体部132a的内部的第一流道132a1被输向第一泵室P1。此外，由于第二泵室P2的流体压力升高，因此第二止回阀160B成为闭阀的状态，第四止回阀160D成为开阀的状态。由此，第二泵室P2内的流体贯穿通过第四止回阀160D，并被输向被设置在躯体部132a中的第二流道132a2(参照箭头T12)。之后，流体穿过送出口131c，并通过送出管320，被输向液体供给系统10的外部(参照箭头T10)。

而且，在通过线性致动器110而使轴部件120上升时，第一波纹管141延伸，第二波纹管142收缩。此时，第一泵室P1的流体压力升高，因此第一止回阀160A成为闭阀状态，第三止回阀160C成为开阀状态。由此，第一泵室P1内的流体贯穿通过第三止回阀160C(参照箭头T11)，并被输向被设置在躯体部132a中的第二流道132a2。之后，流体穿过送出口131c，并通过送出管320，被输向液体供给系统10的外部(箭头T10参照)。此外，由于第二泵室P2的流体压力降低，因此第二止回阀160B成为开阀的状态，第四止回阀160D成为闭阀的状态。由此，从液体供给系统10的外部通过吸入管310而被输送的流体(箭头S10参照)，从吸入口131b被吸入至容器130内，并贯穿通过第二止回阀160B(参照箭头S12)。然后，贯穿通过第二止回阀160B的流体被输向第二泵室P2。

如上所述，在本实施例所涉及的液体供给系统10中，轴部件120在下降时或上升时均能够供液体从吸入管310侧向送出管320侧流动。因此能够抑制所谓的脉动。

在如上方式所构成的液体供给系统10中，尤其需要使系统本体100的内部维持在超低温的状态下。在本实施例所涉及的液体供给系统10的情况下，关于从外壳部131向内壳部132的路径和从轴部件120中的大气侧向容器130的内部侧的路径，热量容易传递。因此，在本实施例所涉及的液体供给系统10中，在外壳部131与内壳部132的连接部J1、和轴部件120中的轴本体部121与支承部件122的连接部J2中设置隔热结构。以下对各个隔热结构进行说明。

＜连接部J1的隔热结构＞

外壳部131与内壳部132通过在不需要隔热结构的部位所设置的固定结构(未图示)而被固定。而且，外壳部131与内壳部132的连接部J1被构成为通过二者而作用有压缩方向的力，并且起到相对于压缩方向的力而进行支承的作用。另一方面，如上所述，连接部J1具有隔热功能，以使外部的热不会传递到系统本体100的内部。以下，参照图2对连接部J1的结构进行说明。

内壳部132的外周面上设置有外向法兰部132e。此外，在外壳部131的顶部附近以隔着向外法兰部132e的方式还设置有一对板状部分131X、131Y。而且，在向外法兰部132e与一个板状部分131X之间、和外向法兰部132e与另一个板状部分131Y之间分别设置有隔热结构500A、500B。另外，上述的隔热结构500A、500B以轴部件120的中心轴线为中心，在周向上以隔开间隔的方式被设置有多个。此外，并未特别地图示，但是还设置有对外壳部131与内壳部132之间的间隙进行密封的密封部件。

隔热结构500A、500B为同样的结构，因此仅针对前者的结构进行说明。隔热结构500A具备：大致圆筒状限制部件510、多个圆筒状隔热部件520、和多个圆筒状被滑动部件530。限制部件510由隔热性高的树脂材料构成，其外周面511由圆柱面构成。该限制部件510通过螺栓540而被固定在外壳部131的一个板状部分131X上。另外，限制部件510的内周面上设置有阶梯面512，并且以该阶梯面512与螺栓540的头部抵接的方式构成。此外，限制部件520的下端仅仅置于内壳部132的外向法兰部132e之上，而并非固定。另外，隔热结构500B中的限制部件510相对于内壳部132的外向法兰部132e而固定，其下端置于外壳部131的另一个板状部分131Y之上，而并非固定。

隔热部件520由隔热性以及压缩性优异的脆性材料(氧化锆等陶瓷等)构成。另外，隔热部件520由热传导率至少低于外壳部131以及内壳部132的材料构成。在本实施例中，设置有4个隔热部件520。另，在本发明中，至少设置2个隔热部件即可，其个数并未受到限定。此外，被滑动部件530放射率低、且与隔热部件520之间由不易滑动的不锈钢、铝等材料构成。在本实施例中，设置有3个被滑动部件530。另，在本发明中，至少设置1个被滑动部件即可，其个数并未受到限定。

而且，相对于外壳部131与内壳部132(更具体而言，一个板状部分131X与外向法兰部132e)的压缩方向，隔热部件520与被滑动部件530在平行方向上交替配置。此外，隔热部件520与被滑动部件530以在它们的内侧插入有限制部件510的方式被配置。另外，在限制部件510的外周面511与隔热部件520的内周面之间、以及限制部件510的外周面511与被滑动部件530的内周面之间设置有微小的间隙。此外，隔热部件520与被滑动部件530均未被粘接等。

通过以上的结构，隔热部件520在被外壳部131与内壳部132的压缩方向的力限制而未被拉伸方向的力限制的状态下被配置。此外，被滑动部件530在被外壳部131与内壳部132的压缩方向的力限制而未被拉伸方向的力限制的状态下被配置，并且被配置在相邻的隔热部件520之间、且以相对于上述的隔热部件520可滑动的方式被设置。而且，隔热部件520与被滑动部件530在朝向相对于外壳部131与内壳部132的压缩方向而垂直的垂直方向的移动分别被允许的状态下被配置。此外，如上所述，限制部件510可发挥出对隔热部件520以及被滑动部件530向上述垂直方向的移动量进行限制的作用。

如上所述，相对于隔热部件520而作用有压缩方向的力，未作用有拉伸方向的力。此外，当超低温液体成为在系统本体100的内部循环的状态时，外壳部131与内壳部132的温度差变大，从而内壳部132相对于外壳部131而收缩。因此，外向法兰部132e相对于外壳部131，向图2中右侧移动。由此，关于隔热结构500A，图中下方被拉向右侧，关于隔热结构500B，图中上方被接向右侧，因此上述的隔热结构500A、500B上作用有倾斜力。由此，树脂制的限制部件510以倾斜的方式变形。此外，作为隔热结构500A中的4个隔热部件520，由于在隔热部件520之间配置容易滑动的被滑动部件530，因此越是位于下方的隔热部件520，越向图中右侧错位。而且，作为隔热结构500B中的4个隔热部件520，越是位于上方的隔热部件520，越向图中右侧错位。

＜连接部J2的隔热结构＞

在对轴部件120中的轴本体部121和支承部件122进行固定的部位设置有连接部J2。以下，参照图3对轴本体部121与支承部件122的固定结构、以及具有隔热功能的连接部J2的结构进行说明。

具有在内周面侧形成有内螺纹的圆筒部711、和被设置在圆筒部711的下方的内向法兰部712的第一环状部件710通过螺栓紧固的方式而被固定在轴本体部121。此外，具有在内周面侧形成有内螺纹的圆筒部721、和被设置在圆筒部721的上方的外向法兰部722的第二环状部件720通过螺栓紧固的方式而被固定在支承部件122。上述的第一环状部件710以及第二环状部件720由金属等构成。而且，第二环状部件720的内周面侧与外周面侧分别设置有隔热结构。为了方便，将前者称作第一隔热结构600A，将后者称作第二隔热结构600B。

第一隔热结构600A具备：大致圆筒状限制部件610A、多个圆筒状隔热部件620A、和多个圆筒状被滑动部件630A。限制部件610A由隔热性高的树脂材料构成，其内周面由圆柱面构成。该限制部件610A被设置为，其外周面与第二环状部件720的内周面嵌合。

隔热部件620A由隔热性以及压缩性优异的脆性材料(氧化锆等陶瓷等)构成。另外，隔热部件620A至少由热传导率低于轴本体部121以及支承部件122的材料构成。在本实施例中，设置有3个隔热部件620A。另，在本发明中，至少设置有2个隔热部件即可，其个数并未受到限定。此外，被滑动部件630A放射率低、且与隔热部件620A之间由不易滑动的不锈钢、铝等材料构成。在本实施例中，设置有2个被滑动部件630A。另，在本发明中，至少设置有1个被滑动部件即可，其个数并未受到限定。

而且，隔热部件620A与被滑动部件630A相对于轴本体部121与支承部件122(更具体而言，轴本体部121的下端与支承部件122的上端)的压缩方向，而在平行方向上交替配置。此外，隔热部件620A与被滑动部件630A以被插入在限制部件610A的内侧的方式配置。另外，在限制部件610A的内周面与隔热部件620A的外周面之间、以及限制部件610A的内周面与被滑动部件630A的外周面之间设置有微小的间隙。此外，隔热部件620A与被滑动部件630A均未被粘接等。

通过以上的结构，隔热部件620A在被轴本体部121与支承部件122的压缩方向的力限制而未被拉伸方向的力限制的状态下被配置。此外，被滑动部件630A在被轴本体部121与支承部件122的压缩方向的力限制而未被拉伸方向的力限制的状态下被配置，并且被配置在相邻的隔热部件620A之间、且以相对于上述的隔热部件620A可滑动的方式被配置。而且，隔热部件620A与被滑动部件630A在朝向相对于轴本体部121与支承部件122的压缩方向而垂直的垂直方向的移动分别被允许的状态下被配置。此外，如上所述，限制部件610A可发挥出对隔热部件620A以及被滑动部件630A向上述垂直方向的移动量进行限制的作用。

关于第二隔热结构600B，同样具备：大致圆筒状限制部件610B、多个圆筒状隔热部件620B、和多个圆筒状被滑动部件630B。限制部件610B由隔热性高的树脂材料构成，其内周面由圆柱面构成。该限制部件610B被设置在为，其外周面与第一环状部件710的内周面嵌合。

隔热部件620B由隔热性以及压缩性优异的脆性材料(氧化锆等陶瓷等)构成。另外、隔热部件620B至少由热传导率低于轴本体部121以及支承部件122的材料构成。在本实施例中，设置有3个隔热部件620B。另，在本发明中，至少设置2个隔热部件即可，其个数并未受到限定。此外，被滑动部件630B放射率低、且隔热部件620B之间由不易滑动的不锈钢、铝等材料构成。在本实施例中，设置有2个被滑动部件630B。另，在本发明中，至少设置有1个被滑动部件即可，其个数并未受到限定。

而且，隔热部件620B与被滑动部件630B相对于轴本体部121与支承部件122(更具体而言，被固定在轴本体部121的第一环状部件710的内向法兰部712、和被固定在支承部件122的第二环状部件720的外向法兰部722)的压缩方向，而在平行方向上交替配置。此外，隔热部件620B与被滑动部件630B以插入限制部件610B的内侧的方式配置。另外，在限制部件610B的内周面与隔热部件620B的外周面之间、以及限制部件610B的内周面与被滑动部件630B的外周面之间设置有微小的间隙。此外，隔热部件620B与被滑动部件630B均未被粘接等。

通过以上的结构，隔热部件620B在被轴本体部121与支承部件122的拉伸方向的力限制而未被压缩方向的力限制的状态下被配置。此外，被滑动部件630B在被轴本体部121与支承部件122的拉伸方向的力限制而未被压缩方向的力限制的状态下被配置，并且被配置在相邻的隔热部件620B之间、且以相对于上述的隔热部件620B可滑动的方式被设置。而且，隔热部件620B与被滑动部件630B在朝向相对于轴本体部121与支承部件122的压缩方向而垂直的垂直方向的移动分别被允许的状态下被配置。此外，如上所述，限制部件610B可发挥出对隔热部件620B以及被滑动部件630B向上述垂直方向的移动量进行限制的功能。

根据以上内容，相对于隔热部件620A、620B而作用有压缩方向的力，未作用有拉伸方向的力。此外，当超低温液体成为在系统本体100的内部循环的状态时，轴本体部121与支承部件122的温度差变大，从而支承部件122以直径变小的方式收缩。此外，第一环状部件710以及第二环状部件720也是以越靠下方直径越小的方式收缩。伴随于此，限制部件610A、610B以越靠下方直径越小的方式变形。而且，关于隔热部件620A、620B，越是配置在下方的隔热部件620A、620B，收缩量越大。然而，各个隔热部件620A、620B仅在被滑动部件630A、630B之间滑动，因此可抑制作用于各个隔热部件620A、620B的剪切应力。此外，为了驱动泵而使轴运转时，轴的上方和下方有可能因驱动的振动等而变得倾斜，但即使在这种情况下，各个隔热部件620A、620B也仅在被滑动部件630A、630B之间滑动，因此可抑制作用于各个隔热部件620A、620B的剪切应力。

＜本实施例所涉及的隔热结构的优点＞

根据本实施例所涉及的隔热结构，由热传导率低于作为隔热对象的2部件的材料构成的隔热部件520、620A、620B在被由2部件形成的压缩方向的力限制而未被拉伸方向的力限制的状态下被配置。因此，隔热部件520、620A、620B上，未作用有拉伸方向的力。此外，隔热部件520、620A、620B在朝向相对于由2部件形成的压缩方向而垂直的垂直方向的移动被允许的状态下被配置，即使在该垂直方向上受到力，也只不过是相对于被滑动部件530、630A、630B而滑动。因此，隔热部件520、620A、620B上，几乎不会作用有朝向剪切方向的力。根据以上内容，能够抑制隔热部件520、620A、620B破损的情况。因此，根据本实施例所涉及的隔热结构，可保持隔热性，并且可抑制隔热部件520、620A、620B破损。

(其他)

被设置在上述的连接部J1中的隔热结构的情况下，外壳部131中的一对板状部分131X、131Y与内壳部132中的外向法兰部132e之间作用有压缩力时，限制部件510上作用有压缩力。即、隔热结构500A中，限制部件510的图中下端所设置的法兰部513通过隔热部件520与内壳部132的向外法兰部132e而被压缩。此外，隔热结构500B中，限制部件510的图中下端所设置的法兰部513通过隔热部件520与外壳部131的板状部分131Y而被压缩。另外，被设置在限制部件510的法兰部513起到使构成隔热结构的各种部件(限制部件510、多个隔热部件520和多个被滑动部件530)整个操作的作用。即，若在限制部件510上交替安装多个隔热部件520和多个被滑动部件530，上述的多个隔热部件520以及被滑动部件530被法兰部513支承。由此，构成隔热结构的上述的各种部件可作为1元件来操作。

限制部件510由树脂材料构成，因此当作用有大的压缩力时，会导致塑性变形。在此，对限制部件510上未作用有大的压缩力的方式而改良后的结构进行说明。

(变形例1)

图4为表示本发明的实施例所涉及的外壳部与内壳部的连接部中的隔热结构的变形例1的示意性剖视图。在图4中还图示出将图中圈出的部分放大后的图。另外，基本的结构与上述实施例中参照图2进行说明了的结构相同，因此针对同一结构标注同一符号，并适当省略其说明。另外，在图4中图示出外壳部131的板状部分131X与内壳部132的外向法兰部132e之间所设置的隔热结构500C。另，内壳部132的外向法兰部132e与外壳部131的板状部分131Y之间也采用同样的隔热结构。

变形例1所涉及的隔热结构500C与上述实施例的情况同样地，具备：大致圆筒状限制部件510、多个圆筒状隔热部件520、和多个圆筒状被滑动部件530。由于限制部件510的结构也如上述实施例中所说明那样，因此省略其说明。该限制部件510通过螺栓540而被固定在外壳部131的一个板状部分131X。另外，限制部件510的下端仅仅置于内壳部132的外向法兰部132e之上而并非固定这一点也与上述实施例的情况相同。

隔热部件520以及被滑动部件530的结构也基本上与上述实施例的情况相同。另，本变形例的情况下，在与内壳部132的外向法兰部132e相接的隔热部件520a上，在与外向法兰部132e接触的接触面侧且外向法兰部132e的内周面侧设置有环状凹部521，所述环状凹部521与作为被设置在限制部件510上的突出部的、法兰部513卡合。另外，内壳部132相当于外壳部131与内壳部132之中未固定有限制部件520的部件。

以如上方式构成的变形例1所涉及的隔热结构500C也可获得与上述实施例中表示的隔热结构500A、500B同样的效果。此外，在本变形例1所涉及的隔热结构500C的情况下，被设置在限制部件510上的法兰部513位于环状凹部521内。因此，能够消除或者抑制压缩力作用于外向法兰部513的情况。因此，能够抑制限制部件510发生塑性变形或者损伤的情况。另外，在本变形例中示出如下情况，即，被设置在限制部件510上的法兰部513构成为，与被设置在隔热部件520a上的环状凹部521卡合。然而也可以构成为，例如，限制部件510上设置至少一个突出部(突起)，在隔热部件520a上设置环状凹部、或者设置至少一个非环状的凹部，从而使它们卡合。

(变形例2)

图5为表示本发明的实施例所涉及的外壳部与内壳部的连接部中的隔热结构的变形例2的示意性剖视图。在图5中还图示出将图中圈出的部分放大后的图。另外，基本的结构与上述实施例中参照图2进行说明了的结构相同，因此针对同一结构标注同一符号，并适当省略其说明。另外，在图5中图示出外壳部131的板状部分131X与内壳部132的外向法兰部132e之间所设置的隔热结构500D。另，内壳部132的外向法兰部132e与外壳部131的板状部分131Y之间也采用同样的隔热结构。

变形例2所涉及的隔热结构500D与上述实施例的情况同样地，具备：大致圆筒状限制部件510、多个圆筒状隔热部件520、和多个圆筒状被滑动部件530。由于限制部件510的结构也如上述实施例所说明那样，因此省略其说明。该限制部件510通过螺栓540而被固定在外壳部131的一个板状部分131X。另外，限制部件510的下端仅仅置于内壳部132的外向法兰部132e之上而并非固定这一点也与上述实施例的情况相同。

隔热部件520以及被滑动部件530的结构也与上述实施例的情况相同。另，在本变形例的情况下，在内壳部132的外向法兰部132e与隔热部件520之间配置强度高于限制部件510的环状的弹性部件550，以使二者相接。该弹性部件550由不锈钢等金属构成。另外，内壳部132相当于外壳部131与内壳部132之中未固定有限制部件520的部件。

此外，弹性部件550上，在与外向法兰部132e接触的接触面侧且外向法兰部132e的内周面侧设置有环状凹部550a，所述环状凹部550a与作为被设置在限制部件510上的突出部的、法兰部513卡合。

以如上方式构成的变形例2所涉及的隔热结构500D也可获得与上述实施例中表示的隔热结构500A、500B同样的效果。此外，本变形例2所涉及的隔热结构500D的情况下，被设置在限制部件510上的法兰部513位于环状凹部550a内。因此，能够消除或者抑制压缩力作用于法兰部513的情况。因此，能够限制部件510发生塑性变形或者损伤的情况。另外，本变形例中示出如下情况，即，被设置在限制部件510上的法兰部513构成为，与被设置在弹性部件550上的环状凹部550a卡合。然而也可以构成为，例如，限制部件510上设置至少1个突出部(突起)，在弹性部件550上设置环状凹部、或者设置至少一个非环状凹部，从而使它们卡合。

此外，上述实施例以及变形例1、2中示出了限制部件510通过螺栓540而被固定的情况。在该固定结构部中还优选使用防松垫片、防松紧定螺钉，以使限制部件510不易松动。此外，作为固定方法，如连接部J2那样，不使用螺栓那样的紧固部件来固定限制部件610A、610B的方法(例如，缩小与其他部件的公差来进行固定的方法、销定位等方法)。而且，连接部J2也可应用与上述的变形例1、2所示的结构相同的结构。但，在该情况下，被设置在限制部件上的突出部被构成为向径向内侧突出，且隔热部件或弹性部件上所设置的凹部(与突出部卡合的凹部)被设置在外周面侧。

符号说明

10 液体供给系统；

100 系统本体；

110 线性致动器；

111 致动器保持部件；

120 轴部件；

121 轴本体部；

122 圆筒部；

122a 上端侧外向法兰部；

122b 下端侧外向法兰部；

123 连结部；

130 容器；

131 外壳部；

131a 开口部；

131b 吸入口；

131c 送出口；

131X、131Y 板状部分；

132 内壳部；

132a 躯体部；

132a1 第一流道；

132a2 第二流道；

132b1 第一内向法兰部；

132b2 第二内向法兰部；

132c 底板部；

132c1 流道；

132d 流道；

132e 外向法兰部；

141 第一波纹管；

142 第二波纹管；

151 第三波纹管；

152 第四波纹管；

160 止回阀；

160A 第一止回阀；

160B 第二止回阀；

160C 第三止回阀；

160D 第四止回阀；

200 真空容器；

201、202 内向法兰部；

310 吸入管；

320 送出管；

500A、500B、500C、500D 隔热结构；

510，610A，610B 限制部件；

511 外周面；

512 阶梯面；

513 法兰部；

520、520a、620A、620B 隔热部件；

521 环状凹部；

530，630A，630B 被滑动部件；

540 螺栓；

550 弹性部件；

550a 环状凹部；

600A 第一隔热结构；

600B 第二隔热结构；

710 第一环状部件；

711 圆筒部；

712 内向法兰部；

720 第二环状部件；

721 圆筒部；

722 外向法兰部；

J1、J2 连接部；

P1 第一泵室；

P2 第二泵室。

Claims (6)

1.一种隔热结构，其特征在于，被设置在彼此固定且施加有压缩方向的力的2个部件的连接部中，

所述隔热结构具备：

隔热部件，其被设置在所述2个部件之间，并且由热传导率低于所述2个部件的材料构成；以及

被滑动部件，设置成可相对于所述隔热部件滑动，

至少2个所述隔热部件在相对于压缩方向而平行方向上并排配置，至少1个所述被滑动部件被配置在相邻的所述隔热部件之间，并且所述隔热部件与所述被滑动部件在朝向相对于压缩方向而垂直的垂直方向的移动分别被允许的状态下被配置。

2.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，

具备树脂制限制部件，所述树脂制限制部件限制所述隔热部件以及所述被滑动部件朝向相对于压缩方向而垂直的垂直方向的移动量。

3.根据权利要求2所述的隔热结构，其特征在于，

所述限制部件被固定在所述2个部件之内的一个部件和另一个部件的某一个上，并且

在与所述一个部件和所述另一个部件之中未固定有所述限制部件的部件相接的隔热部件上、且在未固定有所述限制部件的所述部件一侧的端部，设置有与所述限制部件上所设置的突出部卡合的凹部。

4.根据权利要求2所述的隔热结构，其特征在于，

所述限制部件被固定在所述2个部件之内的一个部件和另一个部件的某一个上，并且

所述一个部件和所述另一个部件之中未固定有所述限制部件的部件与所述隔热部件之间，配置强度高于所述限制部件的弹性部件，并且

在所述弹性部件上、且在未固定有所述限制部件的所述部件一侧的端部，设置有与所述限制部件上所设置的突出部卡合的凹部。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的隔热结构，其特征在于，

在所述2个部件之内的一个部件的相对于压缩方向而平行的平行方向的一侧与另一侧的各侧，配置有所述2部件之内的另一个部件，在相对于压缩方向而平行的平行方向上、且在所述一个部件与所述另一个部件之间分别配置有所述隔热结构。

6.一种液体供给系统，其特征在于，具备：

内部具备泵室的容器；

所述容器内，在垂直方向上进行往复移动的轴部件；以及

与所述轴部件同心设置、且伴随着该轴部件的往复移动而伸缩的波纹管，

所述轴部件具备轴本体部、和对所述波纹管进行支承的支承部件，

所述轴本体部与支承部件的连接部中具备权利要求1～4中任一项所述的隔热结构。