CN110137076A - 新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法 - Google Patents
新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN110137076A CN110137076A CN201910464444.3A CN201910464444A CN110137076A CN 110137076 A CN110137076 A CN 110137076A CN 201910464444 A CN201910464444 A CN 201910464444A CN 110137076 A CN110137076 A CN 110137076A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- sic
- protective film
- power device
- preparation
- high annealing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 title claims abstract description 46
- 238000000137 annealing Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 23
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 73
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 53
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 claims abstract description 23
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims abstract description 10
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 9
- VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N tetrachloromethane Chemical compound ClC(Cl)(Cl)Cl VZGDMQKNWNREIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 claims description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 11
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 claims description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 8
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 235000011114 ammonium hydroxide Nutrition 0.000 claims description 7
- 239000012495 reaction gas Substances 0.000 claims description 5
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 claims description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 11
- 230000004913 activation Effects 0.000 abstract description 9
- 230000002633 protecting effect Effects 0.000 abstract description 6
- 238000002347 injection Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007924 injection Substances 0.000 abstract description 4
- 238000012876 topography Methods 0.000 abstract description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 19
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 12
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 150000001721 carbon Chemical class 0.000 description 3
- CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N carbon carbon Chemical compound C.C CREMABGTGYGIQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000002309 gasification Methods 0.000 description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 241000264877 Hippospongia communis Species 0.000 description 1
- 208000037656 Respiratory Sounds Diseases 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/0445—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide
- H01L21/045—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising crystalline silicon carbide passivating silicon carbide surfaces
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/324—Thermal treatment for modifying the properties of semiconductor bodies, e.g. annealing, sintering
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本发明涉及SiC功率器件领域,尤指一种新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法。首先,对注入离子和去除掩膜的SiC样片进行标准清洗;然后,采用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜;最后,将制成的双层碳膜进行高温退火,使得双层碳膜重构成双层石墨烯;便可得到本发明所述的SiC功率器件高温退火保护膜。本发明以SiC衬底为原材料在其表面制备高质量石墨烯,使其作为SiC功率器件离子注入后高温退火的保护膜;本发明的石墨烯保护膜制备工艺简单,并且具有较佳的保护效果,不污染设备。此外,本发明所制备得到的保护膜为双层石墨烯,不但表面光滑、致密,而且纯度高、高温稳定性好,可以有效地保护SiC晶圆衬底高温退火激活过程中的表面形貌。
Description
技术领域
本发明涉及SiC功率器件领域,尤指一种新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法。
背景技术
SiC材料作为第三代半导体材料,具有许多优越的特性,从而使SiC器件与传统器件相比优势明显,一致被认为是最具潜力的半导体器件。但是,SiC材料的一些独特性质也为其工艺制造技术带来了新的要求。由于SiC材料的杂质扩散系数较低,使得离子注入成为SiC器件选区掺杂的最佳办法。但是注入到SiC材料内部的杂质离子基本处于晶格间隙位置,为了让这些杂质离子替位到晶格点位置上,需要对离子注入后的SiC材料进行高温激活退火,退火温度对于N型杂质一般高于1400℃,P型为1600℃-1800℃。在这样高的退火温度下,SiC中的硅会挥发再沉积,导致退火后的晶圆表面出现台阶簇,使得晶圆表面形貌变差,从而严重影响器件性能。
为了解决这一问题,高温激活退火时一般会在SiC晶圆表面覆盖一层保护层,从而抑制硅的挥发和沉积。目前应用最为广泛的保护层是碳保护膜,这是因为①碳与SiC不会在高温下发生反应;②碳保护膜具有一定硬度,有效抑制SiC中硅的析出;③高温激活退火之后,碳保护膜可以通过氧化等方法有效去除,不会对器件性能造成影响。
目前比较常用的碳保护膜形成方法是光刻胶碳化法。如专利CN102386100A中记载:方法为首先将光刻胶旋涂在SiC晶圆上;之后利用烘箱烘焙带有光刻胶的SiC晶圆,使得光刻胶中的溶剂部分挥发;最后在高温炉中将带有光刻胶的SiC晶圆加热至一定温度,使得光刻胶中的有机物碳化形成碳膜。但由光刻胶形成的碳保护膜存在以下问题:
首先,光刻胶除了含有树脂、感光物质PAC和溶剂三种主要成分之外,还含有稳定剂、阻聚剂、粘度控制剂、染料及增塑剂等多种成分。上述成分中除了含有C、H、O元素之外,还可能含有N、P等元素甚至金属元素。也就是说光刻胶作为碳保护膜的成膜物质,其本身并不纯净,这导致形成的碳保护膜也不纯净。不纯的碳保护膜的保护作用将大打折扣,或者导致碳保护膜的重复性变差;而且一般的碳保护膜去除方法可能无法去除碳保护膜中的杂质,导致碳保护膜残留,从而严重影响器件性能及成品率;带有不纯净碳保护膜的SiC晶圆在高温激活退火过程中可能会对激活退火设备造成污染。
其次,光刻胶碳化形成的碳保护膜中碳碳之间的结合方式并不确定,这样的碳保护膜在经历1800℃的高温激活退火之后,碳碳之间的结合方式可能发生变化,从而使碳膜出现孔洞或裂纹,这将严重影响碳保护膜的保护效果,甚至可能导致碳保护膜失去保护作用。
综上所述,光刻胶的不纯净性导致光刻胶碳化形成的碳保护膜保护效果差、难完全去除并且易污染激活退火设备;光刻胶碳化形成的碳保护膜中碳碳结合方式的不确定性导致碳保护膜的高温稳定性差,从而严重影响保护效果。
发明内容
为解决上述问题,本发明提供一种新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,工艺简单,并且具有较佳的保护效果,不污染设备。
为实现上述目的,本发明采用的技术方案是:一种新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其制备步骤如下:
S1,对离子注入后且去除掩膜的SiC样片进行标准清洗;
S2,采用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜;
S3,将制成的双层碳膜进行高温退火,使得双层碳膜重构成双层石墨烯。
进一步地,在S1中,所述标准清洗包括以下步骤:先使用NH4OH+H2O2试剂浸泡SiC样片,取出后烘干,再使用HCl+ H2O2试剂浸泡SiC样片。
其中,SiC样片浸泡NH4OH+H2O2试剂和HCl+ H2O2试剂的时间均为10分钟。
进一步地,在S2的CVD法中,以气态CCl4为反应气体,Ar为载气,反应原理为SiC+CCl4→2C+Si Cl4↑。
其中,反应时间为20-120min。
进一步地,在S3中,将双层碳膜置于流速为25-100m1/min的Ar气中。
进一步地,在S3中,高温退火温度为1000-1200℃,高温退火为时间为10-30分钟。
本发明还保护一种经过上述制备方法所得到的SiC功率器件高温退火保护膜。
本发明的有益效果在于:本发明以SiC衬底为原材料在其表面制备高质量石墨烯,使其作为SiC功率器件离子注入后高温退火的保护膜;本发明的石墨烯保护膜制备工艺简单,并且具有较佳的保护效果,不污染设备。
此外,本发明所制备得到的保护膜为双层石墨烯,不但表面光滑、致密,而且纯度高、高温稳定性好,可以有效地保护SiC晶圆衬底高温退火激活过程中的表面形貌。
附图说明
图1 是本发明的工艺流程图。
具体实施方式
请参阅图1的工艺流程图所示,本发明关于一种新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法如下:首先,对离子注入后且去除掩膜的SiC样片进行标准清洗;然后,采用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜;最后,将制成的双层碳膜进行高温退火,使得双层碳膜重构成双层石墨烯;便可得到本发明所述的SiC功率器件高温退火保护膜。
下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。本申请可以以多种不同的形式来实现,并不限于本实施例所描述的实施方式。提供以下具体实施方式的目的是便于对本申请公开内容更清楚透彻的理解。
实施例1
S1:对离子注入后且去除注入掩膜的SiC样片进行标准清洗:即先使用NH4OH+H2O2试剂浸泡样片10分钟,取出后烘干,以去除样品表面有机残余物;再使用HCl+ H2O2试剂浸泡样片10分钟,取出后烘干,以去除离子污染物。
S2: 用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜:将SiC样片放入CVD设备腔体中,并且抽真空,Ar流量80ml/min排气10min。衬底加热到800℃,其中以气态CCl4为反应气体,Ar为载气,CCl4气化温度65℃,载气Ar流量50ml/min反应时间为20min。
S3: 双层碳膜重构成双层石墨烯:双层碳膜制备完成后,停止CCl4气体的通入,降低Ar流量为25ml/min,衬底升温到1000℃热处理30min,待双层碳膜重构成双层石墨烯后停止衬底加热,在Ar气体保护下使衬底降温到室温。
实施例2
S1:离子注入后且去除注入掩膜的SiC样片进行标准清洗:即先使用NH4OH+H2O2试剂浸泡样片10分钟,取出后烘干,以去除样品表面有机残余物;再使用HCl+ H2O2试剂浸泡样片10分钟,取出后烘干,以去除离子污染物。
S2: 用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜:将SiC样片放入CVD设备腔体中,并且抽真空,Ar流量80ml/min排气10min。衬底加热到900℃,其中以气态CCl4为反应气体,Ar为载气,CCl4气化温度70℃,载气Ar流量60ml/min反应时间为60min。
S3: 双层碳膜重构成双层石墨烯:双层碳膜制备完成后,停止CCl4气体的通入,提高Ar流量为80ml/min,衬底升温到1050℃热处理15min,待双层碳膜重构成双层石墨烯后停止衬底加热,在Ar气体保护下使衬底降温到室温。
实施例3
S1:离子注入后且去除注入掩膜的SiC样片进行标准清洗:即先使用NH4OH+H2O2试剂浸泡样片10分钟,取出后烘干,以去除样品表面有机残余物;再使用HCl+ H2O2试剂浸泡样片10分钟,取出后烘干,以去除离子污染物。
S2: 用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜:将SiC样片放入CVD设备腔体中,并且抽真空,Ar流量80ml/min排气10min。衬底加热到1100℃,其中以气态CCl4为反应气体,Ar为载气,CCl4气化温度80℃,载气Ar流量80ml/min反应时间为120min。
S3: 双层碳膜重构成双层石墨烯:双层碳膜制备完成后,停止CCl4气体的通入,提高Ar流量为100ml/min,衬底升温到1200℃热处理10min,待双层碳膜重构成双层石墨烯后停止衬底加热,在Ar气体保护下使衬底降温到室温。
需进一步的说明的是,上述实施例将CVD法在SiC样片表面制备的双层石墨烯应用于 SiC 功率器件,具有如下优势:
1)石墨烯是人类已知强度最高的物质,比钻石还坚硬,强度比世界上最好的钢铁还要高上100倍,达到1060GPa,将其作为成膜材料能够阻止高温退火过程中,SiC 晶圆表面 Si的析出。
2)石墨烯导热性能优异,导热系数达到5300W/m·K,比金刚石和碳纳米管都高。将其作为成膜材料能够在SiC 晶圆高温退火时,保证SiC 晶圆表面温度一致,更好的保护SiC晶圆衬底高温退火激活过程中的表面形貌。
3)石墨烯是碳原子采用sp2杂化形成的具有蜂巢状的二维晶格结构,这种结构非常稳定,不会在高温下出现微裂纹和微孔洞。
4)石墨烯具有较大的弹性模量,形成的保护膜与SiC晶圆之间不会产生过大应力,从而避免了石墨烯保护膜脱落及微裂纹现象的发生。
5)石墨烯是由单纯的碳原子构成,其成分纯净,这样的保护膜不会污染设备,同时易于去除,不易残留。
以上实施方式仅仅是对本发明的优选实施方式进行描述,并非对本发明的范围进行限定,在不脱离本发明设计精神的前提下,本领域普通工程技术人员对本发明的技术方案作出的各种变形和改进,均应落入本发明的权利要求书确定的保护范围内。
Claims (8)
1.一种新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于,制备步骤如下:
S1,对离子注入后且去除掩膜的SiC样片进行标准清洗;
S2,采用CVD法在SiC样片表面制备双层碳膜;
S3,将制成的双层碳膜进行高温退火,使得双层碳膜重构成双层石墨烯。
2.根据权利要求1所述的新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于,在S1中,所述标准清洗包括以下步骤:先使用NH4OH+H2O2试剂浸泡SiC样片,取出后烘干,再使用HCl+ H2O2试剂浸泡SiC样片。
3.根据权利要求2所述的新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于:SiC样片浸泡NH4OH+H2O2试剂和HCl+ H2O2试剂的时间均为10分钟。
4.根据权利要求1所述的新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于:在S2的CVD法中,以气态CCl4为反应气体,Ar为载气,反应原理为SiC+ CCl4→2C+Si Cl4↑。
5.根据权利要求4所述的新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于:反应时间为20-120min。
6.根据权利要求1所述的新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于:在S3中,将双层碳膜置于流速为25-100m1/min的Ar气中。
7.根据权利要求1所述的新型SiC功率器件高温退火保护膜的制备方法,其特征在于:在S3中,高温退火温度为1000-1200℃,高温退火为时间为10-30分钟。
8.一种使用权利要求1-7任一项制备方法所得的SiC功率器件高温退火保护膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910464444.3A CN110137076A (zh) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910464444.3A CN110137076A (zh) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN110137076A true CN110137076A (zh) | 2019-08-16 |
Family
ID=67583123
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910464444.3A Pending CN110137076A (zh) | 2019-05-30 | 2019-05-30 | 新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN110137076A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113066720A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-02 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种碳化硅衬底退火工艺及碳化硅衬底退火设备 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102583331A (zh) * | 2012-01-03 | 2012-07-18 | 西安电子科技大学 | 基于Ni膜辅助退火和Cl2反应的大面积石墨烯制备方法 |
CN102602923A (zh) * | 2012-04-11 | 2012-07-25 | 西安电子科技大学 | 以SiC为基底的石墨烯制备方法 |
CN102924119A (zh) * | 2012-11-23 | 2013-02-13 | 西安电子科技大学 | 基于3C-SiC与氯气反应的Cu膜退火图形化石墨烯制备方法 |
JP2015153789A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | トヨタ自動車株式会社 | SiC基板を利用する半導体装置とその製造方法 |
KR20160057522A (ko) * | 2014-11-13 | 2016-05-24 | 포항공과대학교 산학협력단 | 탄화규소 반도체 소자의 제조 방법 |
-
2019
- 2019-05-30 CN CN201910464444.3A patent/CN110137076A/zh active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102583331A (zh) * | 2012-01-03 | 2012-07-18 | 西安电子科技大学 | 基于Ni膜辅助退火和Cl2反应的大面积石墨烯制备方法 |
CN102602923A (zh) * | 2012-04-11 | 2012-07-25 | 西安电子科技大学 | 以SiC为基底的石墨烯制备方法 |
CN102924119A (zh) * | 2012-11-23 | 2013-02-13 | 西安电子科技大学 | 基于3C-SiC与氯气反应的Cu膜退火图形化石墨烯制备方法 |
JP2015153789A (ja) * | 2014-02-10 | 2015-08-24 | トヨタ自動車株式会社 | SiC基板を利用する半導体装置とその製造方法 |
KR20160057522A (ko) * | 2014-11-13 | 2016-05-24 | 포항공과대학교 산학협력단 | 탄화규소 반도체 소자의 제조 방법 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113066720A (zh) * | 2021-03-19 | 2021-07-02 | 珠海格力电器股份有限公司 | 一种碳化硅衬底退火工艺及碳化硅衬底退火设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2854201B2 (ja) | シリコン結晶の製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイト部品およびその製造方法 | |
Hourai et al. | Behavior of defects induced by metallic impurities on Si (100) surfaces | |
JPWO2008120469A1 (ja) | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
CN110137076A (zh) | 新型SiC功率器件高温退火保护膜及其制备方法 | |
JP2009065112A (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
WO2011016392A1 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
CN107946180A (zh) | 一种在碳化硅基片上快速生长氧化层的方法 | |
WO2002025718A1 (fr) | Plaquette de recuit et son procede de fabrication | |
JP4511378B2 (ja) | SOI基板を用いた単結晶SiC層を形成する方法 | |
EP2045836B1 (en) | Method for producing semiconductor substrate | |
JPH05213697A (ja) | 多結晶質シリコンの製造に使用するガラス質炭素被覆グラファイトチャックおよびその製造方法 | |
CN105324834A (zh) | 硅晶圆的热处理方法 | |
JP4278635B2 (ja) | 炭化珪素半導体装置の製造方法 | |
US5759426A (en) | Heat treatment jig for semiconductor wafers and a method for treating a surface of the same | |
JP2009164590A (ja) | エピタキシャルウェーハ及びその製造方法 | |
KR19990087649A (ko) | 실리콘 단결정 및 실리콘 단결정 박막의 제조방법 | |
KR20160057522A (ko) | 탄화규소 반도체 소자의 제조 방법 | |
CN106611700B (zh) | 一种碳化硅表面氧化膜的制备方法 | |
KR102318313B1 (ko) | 단결정질 실리콘의 반도체 웨이퍼 및 반도체 웨이퍼를 제조하는 방법 | |
KR20220029585A (ko) | 탄소도프 실리콘 단결정 웨이퍼 및 그의 제조방법 | |
CN107623029B (zh) | 欧姆接触结构制备工艺及结构 | |
JP2009049219A (ja) | 炭化珪素半導体素子の製造方法 | |
CN111199882A (zh) | 一种soi作为衬底的晶圆外延制造方法 | |
KR20090059251A (ko) | 고저항 실리콘 웨이퍼 제조 방법 | |
CN106298471A (zh) | 碳化硅半导体器件的退火方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190816 |
|
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |