CN110109486B - 一种移载机构及检测设备 - Google Patents

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Abstract

本发明实施例公开了一种移载机构及检测设备，该移载机构包括：机台，设置在机台上且相对设置的第一载台和第二载台，驱动第一载台的第一驱动单元，驱动第二载台的第二驱动单元，第一传感组件，以及第二传感组件；控制器，控制器分别与第一驱动单元、第一传感组件、第二驱动单元和第二传感组件电连接，控制器用于控制第一驱动单元和第二驱动单元同步运动以带动第一载台和第二载台进行同步运动，还获取第一传感组件采集的第一载台的第一传感信号并调整第一载台的位置，以及获取第二传感组件采集的第二载台的第二传感信号并调整第二载台的位置。本发明实施例，降低了长时间移动造成的累积误差，提高了移动位置准确性。

Description

一种移载机构及检测设备
技术领域
本发明实施例涉及电机技术，尤其涉及一种移载机构及检测设备。
背景技术
在显示面板制造过程中，显示不良的产生是不可避免的。显示不良与材料和工艺都有关系，发光材料、阵列层、金属电极层(栅极、源极及漏极)、绝缘层和封框胶等材料和在制作以上材料层的工艺中任何步骤出现缺陷都能够产生显示不良。基于此，目前显示面板制造的工序中，还包括面板检测工序，如此可避免不良显示面板流入市场。
现有的面板表面缺陷检测设备中采用双轴移载马达驱动载台运动，继而带动待检测基板移动，然而双轴移载马达在长时间移动后，可能会产生累积误差，导致实际移动位置偏移目标位置。
发明内容
本发明实施例提供一种移载机构及检测设备，以解决实际移动位置偏移目标位置的问题。
本发明实施例提供了一种移载机构，包括：
机台，设置在所述机台上且相对设置的第一载台和第二载台，驱动所述第一载台的第一驱动单元，驱动所述第二载台的第二驱动单元，第一传感组件，以及第二传感组件；
控制器，所述控制器分别与所述第一驱动单元、所述第一传感组件、所述第二驱动单元和所述第二传感组件电连接，所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元同步运动以带动所述第一载台和所述第二载台进行同步运动，还获取所述第一传感组件采集的所述第一载台的第一传感信号并调整所述第一载台的位置，以及获取所述第二传感组件采集的所述第二载台的第二传感信号并调整所述第二载台的位置。
进一步地，所述第一载台和所述第二载台沿第一方向排布；
所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元沿第二方向进行同步往复运动以带动所述第一载台和所述第二载台沿所述第二方向进行同步往复运动，所述第一方向和所述第二方向交叉。
进一步地，所述第一传感组件和所述第二传感组件均为位移传感器。
进一步地，所述机台具有第一位置线，所述第一传感组件包括第一传感器，所述第一传感器设置在所述第一位置线上且设置在所述第一载台的移动路径上，所述第二传感组件包括第二传感器，所述第二传感器设置在所述第一位置线上且设置在所述第二载台的移动路径上。
进一步地，所述第一位置线为载台初始位置；
所述控制器用于在检测到所述第一载台移动至所述第一位置线以及所述第二载台移动至所述第一位置线时，判定所述第一载台和所述第二载台回到初始位置。
进一步地，所述第一位置线包括第一载台极限位置和第二载台极限位置中的至少一种；
所述控制器用于在检测到所述第一载台移动至所述第一载台极限位置或者所述第二载台极限位置时，判定载台处于极限位置；或者，
所述控制器用于在检测到所述第二载台移动至所述第一载台极限位置或者所述第二载台极限位置时，判定载台处于极限位置。
进一步地，所述第一载台极限位置与相邻的所述机台边缘的间距大于或等于载台安全距离，所述第二载台极限位置与相邻的所述机台边缘的间距大于或等于所述载台安全距离。
进一步地，所述第一传感器和所述第二传感器均为限位开关。
进一步地，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元均为直线电机。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种检测设备，包括：图像采集单元和如上所述的移载机构，待检测基板放置在所述移载机构中，所述图像采集单元用于采集所述移载机构中待检测基板的图像。
本发明实施例中，控制器驱动第一驱动单元和第二驱动单元以带动第一载台和第二载台运动，同时控制器还根据第一传感信号和第二传感信号调整驱动控制信号并控制相应驱动单元以调整第一载台和第二载台同步移动至目标位置，实现了实时调整第一载台和第二载台的位置，降低了第一载台和第二载台的移动误差，降低了在长时间移动后移载机构的累计误差，使得载台实际移动位置与目标位置保持一致，第一载台和第二载台实现了同步移载，不会出现双轴同步差造成的待检测基板被拉扯破裂的问题，提高了移动位置准确性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本发明实施例提供的一种移载机构的示意图；
图2是本发明实施例提供的一种移载机构的示意图；
图3是本发明实施例提供的一种移载机构的示意图；
图4是本发明实施例提供的一种移载机构的示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下将参照本发明实施例中的附图，通过实施方式清楚、完整地描述本发明的技术方案，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
参考图1所示，为本发明实施例提供的一种移载机构的示意图。本实施例提供的移载机构可以设置在面板表面缺陷检测设备中，移载机构用于承载待检测基板。本实施例提供的移载机构包括：
机台10，设置在机台10上且相对设置的第一载台21和第二载台31，驱动第一载台21的第一驱动单元22，驱动第二载台31的第二驱动单元32，第一传感组件23，以及第二传感组件33；控制器40，控制器40分别与第一驱动单元22、第一传感组件23、第二驱动单元32和第二传感组件33电连接，控制器40用于控制第一驱动单元22和第二驱动单元32同步运动以带动第一载台21和第二载台31进行同步运动，还获取第一传感组件23采集的第一载台21的第一传感信号并调整第一载台21的位置，以及获取第二传感组件33采集的第二载台31的第二传感信号并调整第二载台31的位置。
本实施例中，第一载台21和第二载台31相对设置，每个载台是一个位置周，实现了双轴移载功能。第一载台21和第二载台31组成的载台结构用于承载待检测基板50。可选第一载台21和第二载台31上均设置有吸嘴，则待检测基板50通过吸嘴被吸附固定在第一载台21和第二载台31上。
本实施例中，第一驱动单元22用于驱动第一载台21，第二驱动单元32用于驱动第二载台31。具体的，控制器40分别给第一驱动单元22和第二驱动单元32传输驱动控制信号，以此控制第一驱动单元22和第二驱动单元32实现同步运动，从而带动第一载台21和第二载台31进行同步运动，相应的带动待检测基板50移动。
本实施例中，还设置有第一传感组件23以及第二传感组件33，第一传感组件23用于采集第一载台21的位置信息即第一传感信号并发送给控制器40，第二传感组件33用于采集第二载台31的位置信息即第二传感信号并发送给控制器40。控制器40根据第一传感信号确定第一载台21的位置，以及根据第二传感信号确定第二载台31的位置，以此检测第一驱动单元22和第二驱动单元32是否将第一载台21和第二载台31同步移动至目标位置，若否，则调整发送给驱动单元的驱动控制信号以控制相应驱动单元以使第一载台21和第二载台31同步移动至目标位置。由此实现双轴移载机构的同动。需要说明的是，控制器在检测到其中一个驱动单元出现故障，还会控制另一驱动单元停止，避免第一载台和第二载台拉扯其上的基板而造成基板破裂。
例如，控制器40检测到第一载台21在第一驱动单元22的驱动下已经移动至目标位置，但是第二载台31在第二驱动单元32的驱动下未到达目标位置，则控制器40调节传输给第二驱动单元32的驱动控制信号以使第二载台31到达目标位置。
基于双轴移载机构的双轴特点，在此目标位置并不是指某个位置点，而是目标位置线，第一载台21和第二载台31同步移动至目标位置是指第一载台21和第二载台31同步移动至目标位置线。
可选第一载台21和第二载台31沿第一方向排布，控制器40用于控制第一驱动单元22和第二驱动单元32沿第二方向进行同步往复运动以带动第一载台21和第二载台31沿第二方向进行同步往复运动，第一方向和第二方向交叉。在此可选第一方向为X方向，第二方向为Y方向，第一载台21和第二载台31沿+Y&-Y方向进行同步往复运动，其目的在于，便于面板表面缺陷检测设备中的图像采集单元对整个基板进行图像采集。
需要说明的是，图1在平面上示出了各个部件，但实际工艺中，各个部件可能位于不同平面，如控制器40、第一驱动单元22和第二驱动单元32位于机台10下方等，在本发明中不进行具体示例。
可选的，第一驱动单元和第二驱动单元均为直线电机。第一驱动单元驱动第一载台沿第二方向做往复运动，第二驱动单元驱动第二载台沿第二方向做往复运动，可选第一驱动单元和第二驱动单元为直线电机，控制第一载台和第二载台在第二方向的直线上做往复运动。
本实施例中，控制器驱动第一驱动单元和第二驱动单元以带动第一载台和第二载台运动，同时控制器还根据第一传感信号和第二传感信号调整驱动控制信号并控制相应驱动单元以调整第一载台和第二载台同步移动至目标位置，实现了实时调整第一载台和第二载台的位置，降低了第一载台和第二载台的移动误差，降低了在长时间移动后移载机构的累计误差，使得载台实际移动位置与目标位置保持一致，第一载台和第二载台实现了同步移载，不会出现双轴同步差造成的待检测基板被拉扯破裂的问题，提高了移动位置准确性。
示例性的，在上述技术方案的基础上，如图2所示可选第一传感组件23和第二传感组件33均为位移传感器。本实施例中，第一载台21上设置有一个位移传感器，该位移传感器可以检测到第一载台21的位移并将位移信息发送给控制器40。第二载台31上设置有一个位移传感器，该位移传感器可以检测到第二载台31的位移并将位移信息发送给控制器40。控制器40驱动第一驱动单元22和第二驱动单元32，并根据第一载台21和第二载台31的位移信息调节驱动控制信号，以使第一载台21和第二载台31同步移动至目标位置。
示例性的，在上述技术方案的基础上，如图3所示可选机台10具有第一位置线11，第一传感组件23包括第一传感器，第一传感器设置在第一位置线11上且设置在第一载台21的移动路径上，第二传感组件33包括第二传感器，第二传感器设置在第一位置线11上且设置在第二载台31的移动路径上。
本实施例中，第一传感器设置在第一载台21的移动路径上，当第一载台21到达第一传感器所在位置，则触发第一传感器产生第一传感信号并发送给控制器40。第二传感器设置在第二载台31的移动路径上，当第二载台31到达第二传感器所在位置，则触发第二传感器产生第二传感信号并发送给控制器40。控制器40根据第一传感器和第二传感器的传感信号对第一载台21和第二载台31的位置进行校验调整。需要说明的是，一次往复运动中，载台会至少一次经过传感器，则载台每一次到达传感器位置，控制器40都会根据第一传感器和第二传感器的传感信号对第一载台21和第二载台31的位置进行误差校验调整。如此矫正了第一载台21和第二载台31的移动误差，不会产生长时间移动造成的累积误差。因此载台实际移动位置与目标位置可达到一致。
可选的，第一位置线11为载台初始位置；控制器40用于在检测到第一载台21移动至第一位置线11以及第二载台31移动至第一位置线11时，判定第一载台21和第二载台31回到初始位置。
本实施例中，一次往复运动中，载台从载台初始位置出发移动并回到载台初始位置。第一载台21回到载台初始位置时，第一传感器被触发并产生第一传感信号，控制器40接收到该第一传感信号可判定第一载台21到达载台初始位置。第二载台31回到载台初始位置时，第二传感器被触发并产生第二传感信号，控制器40接收到该第二传感信号可判定对第二载台31到达载台初始位置。
若控制器40检测到第一载台21和第二载台31均到达载台初始位置，才判定第一载台21和第二载台31在一次往复运动中正确回到载台初始位置，并控制执行下一次往复运动。若检测到第一载台21和第二载台31中只有一个到达载台初始位置，则控制器40会控制驱动另一个载台回到载台初始位置，再控制执行下一次往复运动，无需手动调整载台回复原点。在每次往复运动中，载台均从载台初始位置出发并复位，不会有长时间移动的累积误差。
如图4所示可选第一位置线包括第一载台极限位置FLS和第二载台极限位置RLS中的至少一种；控制器40用于在检测到第一载台21移动至第一载台极限位置或者第二载台极限位置时，判定载台处于极限位置；或者，控制器40用于在检测到第二载台31移动至第一载台极限位置或者第二载台极限位置时，判定载台处于极限位置。
本实施例中，可选机台10包括多个位置线，如FLS、RLS，还包括载台起始位置DOG。可选第一载台极限位置为载台在+Y方向移动时的极限位置，超过该极限位置，载台可能与机台产生摩擦，造成载台或机台损害；可选第二载台极限位置为载台在-Y方向移动时的极限位置，超过该极限位置，载台可能与机台产生摩擦，造成载台或机台损害。
基于此，第一载台极限位置设置有两个传感器(未图示)，分别检测第一载台21和第二载台31是否达到该位置，并在检测到第一载台21或第二载台31到达该位置时，向控制器40发送传感信号，控制器40判定有载台到达该极限位置时，控制第一、第二驱动单元停止再控制第一、第二驱动单元使两个载台复位至载台初始位置，开始下一次往复运动。同理，载台到达第二载台极限位置的判断方式和处理方式与第一载台极限位置相同，不再重复说明。
可选第一载台极限位置与相邻的机台边缘的间距H1大于或等于载台安全距离，第二载台极限位置与相邻的机台边缘的间距H2大于或等于载台安全距离。载台安全距离是指载台边缘与机台边缘之间的安全距离，超过该距离，载台和机台之间容易产生磨损进而损坏。
可选的，第一传感器和第二传感器均为限位开关。限位开关具有多个限位拨片，当有物体抵触限位拨片时，限位开关产生传感信号。本实施例中，限位开关可设置在载台初始位置处、第一载台极限位置处和第二载台极限位置处，载台移动并接触到限位开关时，限位开关会产生传感信号并发送给控制器进行处理，控制器可确定载台所处位置。
基于同一发明构思，本发明实施例还提供了一种检测设备，该检测设备包括：图像采集单元和如上任意实施例所述的移载机构，待检测基板放置在移载机构中，图像采集单元用于采集移载机构中待检测基板的图像。本实施例中，龙门设置在机台上，图像采集单元设置在龙门上，图像采集单元在龙门做步进运动，进而可以采集到待检测基板的整个图像。本实施例中，可选待检测基板为任意一种显示面板，还可选为其它需要检测的面板，在本发明中不进行具体限定。
本实施例中，检测设备采用该移载机构，能够实现稳定的定位精度，在定位精度误差过大时也可快速回复原本定位精度，避免了累积误差。与现行双轴移载马达相比，不会在长时间移动后产生累积误差，实现了实际移动位置与目标位置保持一致，还能控制载台正确回至原点位置；与现行非同动移载装置相比，不会出现载台误差过大导致基板拉扯破裂的问题，在其中一轴故障时另一轴可以即时停下；采用同动轴双传感组件，当任一位置轴被移动后，可执行复位回原点以回到正确位置，无需手动调整位置。实现了同动移动，不会有启动不同步或速度不同步导致基板拉扯破裂问题。
注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整、相互结合和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。

Claims (10)

1.一种移载机构，其特征在于，包括：
机台，设置在所述机台上且相对设置的第一载台和第二载台，驱动所述第一载台的第一驱动单元，驱动所述第二载台的第二驱动单元，第一传感组件，以及第二传感组件；
控制器，所述控制器分别与所述第一驱动单元、所述第一传感组件、所述第二驱动单元和所述第二传感组件电连接，所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元同步运动以带动所述第一载台和所述第二载台进行同步运动，还获取所述第一传感组件采集的所述第一载台的第一传感信号并调整所述第一载台的位置，以及获取所述第二传感组件采集的所述第二载台的第二传感信号并调整所述第二载台的位置；
一次往复运动中，载台从载台初始位置出发移动并回到载台初始位置；
所述第一载台回到载台初始位置时，所述第一传感组件被触发并产生第一传感信号，所述控制器接收到所述第一传感信号则判定所述第一载台到达载台初始位置；所述第二载台回到载台初始位置时，所述第二传感组件被触发并产生所述第二传感信号，所述控制器接收到所述第二传感信号则判定所述第二载台到达载台初始位置；
若所述控制器检测到第一载台和第二载台均到达载台初始位置，才判定第一载台和第二载台在一次往复运动中正确回到载台初始位置，并控制执行下一次往复运动；
若检测到第一载台和第二载台中只有一个到达载台初始位置，则所述控制器控制驱动另一个载台回到载台初始位置，再控制执行下一次往复运动。
2.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述第一载台和所述第二载台沿第一方向排布；
所述控制器用于控制所述第一驱动单元和所述第二驱动单元沿第二方向进行同步往复运动以带动所述第一载台和所述第二载台沿所述第二方向进行同步往复运动，所述第一方向和所述第二方向交叉。
3.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述第一传感组件和所述第二传感组件均为位移传感器。
4.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述机台具有第一位置线，所述第一传感组件包括第一传感器，所述第一传感器设置在所述第一位置线上且设置在所述第一载台的移动路径上，所述第二传感组件包括第二传感器，所述第二传感器设置在所述第一位置线上且设置在所述第二载台的移动路径上。
5.根据权利要求4所述的移载机构，其特征在于，所述第一位置线为载台初始位置；
所述控制器用于在检测到所述第一载台移动至所述第一位置线以及所述第二载台移动至所述第一位置线时，判定所述第一载台和所述第二载台回到初始位置。
6.根据权利要求4所述的移载机构，其特征在于，所述第一位置线包括第一载台极限位置和第二载台极限位置中的至少一种；
所述控制器用于在检测到所述第一载台移动至所述第一载台极限位置或者所述第二载台极限位置时，判定载台处于极限位置；或者，
所述控制器用于在检测到所述第二载台移动至所述第一载台极限位置或者所述第二载台极限位置时，判定载台处于极限位置。
7.根据权利要求6所述的移载机构，其特征在于，所述第一载台极限位置与相邻的所述机台边缘的间距大于或等于载台安全距离，所述第二载台极限位置与相邻的所述机台边缘的间距大于或等于所述载台安全距离。
8.根据权利要求4所述的移载机构，其特征在于，所述第一传感器和所述第二传感器均为限位开关。
9.根据权利要求1所述的移载机构，其特征在于，所述第一驱动单元和所述第二驱动单元均为直线电机。
10.一种检测设备，其特征在于，包括：图像采集单元和如权利要求1-9任一项所述的移载机构，待检测基板放置在所述移载机构中，所述图像采集单元用于采集所述移载机构中待检测基板的图像。
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