CN110104958A - 一种碱性二氧化硅溶胶减反膜及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种碱性SiO₂溶胶减反膜及其制备方法。本发明采用溶胶‑凝胶法制备了碱催化的SiO₂溶胶，加入SiO₂颗粒并稀释，然后将其涂敷在玻璃基片上制备减反膜，采用沸水处理减反膜，其透光率可进一步增大，表现出优良的减反增透性能。此外，所述的碱催化的SiO₂溶胶还可以采用Pluronic F‑127进行改性，制得性能更佳的减反膜。本发明方法具有所需原料少、制备方法简单、设备简单和生产成本低、薄膜性能好且易于工业化生产等优点。

Description

一种碱性二氧化硅溶胶减反膜及其制备方法

技术领域

本发明属于太阳能电池技术领域，具体涉及一种碱性SiO₂溶胶减反膜及其制备方法。

背景技术

近些年来，由于国家对于绿色新能源的大力提倡，太阳能被视为最清洁环保的能源而被广泛运用于各个领域，太阳能光伏行业由此得到了迅速的发展，尤其是对太阳能电池的研究发展。由于太阳能电池转换效率低，这使新型减反射溶胶-凝胶涂料的开发成为研究的热门，SiO₂减反膜就是其中之一。减反膜又被称为增透膜，即可以在太阳能光伏玻璃上增加一层减反膜来减少反射光从而增加对太阳能的利用率。然而减反膜的结构多种多样，不同结构的减反膜也会有不同的减反效果，一些方面的性能也会存在差异。这几年减反膜结构的研究也有了许多突破，Yoshida等发现天蛾的翅膀上有突起的纳米点阵结构，并通过一系列的实验进一步证实了这样的点阵结构能起到明显的减反作用。

制备SiO₂减反膜的方法不断在创新，Thomas第一次通过溶胶-凝胶法制备出减反膜。随着对该方法和其他方法的不断研究，人们发现利用溶胶-凝胶法制备SiO₂减反膜的方法具有工艺要求低、过程容易控制、溶胶均匀等优点。这样制成的SiO₂减反膜虽然具有比较优良的光学性能，可并不具备疏水性，容易在空气中受潮而使其寿命变短，在一定程度上限制了该减反膜的应用，这就需要对减反膜进行改性，张晔等利用具有疏水基团的聚合物对碱性SiO₂溶胶进行疏水改性，工艺执行简便，同时改良后疏水能力明显提高，防潮能力强，也可以通过利用氨水和六甲基二氮硅烷热处理膜来达到此目的。由于太阳能设备通常被置于环境不好的户外或是屋顶，所以这就需要用于设备的减反膜要有良好的自洁能力，可用自洁功能好的TiO₂与SiO₂混合镀膜，进行结构性能上的优化。在材料上镀上减反膜后往往都需要进行干燥，干燥方式有许多，不同的干燥条件对减反膜透射率的影响也会有所不同，它会导致薄膜表面的粗糙程度和孔隙率的差异，从而影响其性能的优劣。理论上为了让单层减反膜的增透率达到100％，要求增透膜的折射率约为1.23且薄膜的折射率越低增透性越好，但目前已知介质材料的最小折射率要大于这个数值。由于材料的折射率和其密度有关，即可以通过在减反膜表面引入孔隙率，形成均匀多孔材料，减少散射，让折射率显著降低，使透光率增加。

发展至今，对于SiO₂减反膜的镀膜方式的探究也有了一些进展，要制备纳米多孔二氧化硅薄膜首先要制备出纳米二氧化硅，而纳米二氧化硅的制备方法有很多，本发明运用溶胶-凝胶法制备碱催化的SiO₂溶胶，加入SiO₂颗粒并稀释，然后将其涂敷在玻璃基片上制备减反膜，并对其进行沸水处理，得到的碱性SiO₂溶胶减反膜具有较好的透光率。本发明具有所需原料少、制备方法简单、设备简单和生产成本低、薄膜性能好且易于工业化生产等优点。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足，提供一种碱性SiO₂溶胶减反膜及其制备方法。

本发明的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，包括以下制备步骤：

(1)用溶胶-凝胶法制备碱性SiO₂溶胶；

(2)制备SiO₂颗粒；

(3)将步骤(1)得到的碱性SiO₂溶胶与步骤(2)制得的SiO₂颗粒混合，制成颗粒混合溶胶；

(4)将步骤(3)得到的颗粒混合溶胶用无水乙醇稀释，然后涂敷在干净的玻璃基片上得到碱性SiO₂溶胶减反膜；

(5)对碱性SiO₂溶胶减反膜进行沸水处理。

进一步的，步骤(1)中碱性SiO₂溶胶的制备方法为：将正硅酸四乙酯：无水乙醇：去离子水：氨水以摩尔比1：35-45：2：0.5-0.9混合，搅拌得到。

进一步的，步骤(2)中所述的SiO₂颗粒由TEOS，Brij-56，CATB和缓冲溶液制备得到。

进一步的，步骤(3)中所述的的SiO₂颗粒质量为碱性SiO₂溶胶质量的0.04-0.07％。

进一步的，步骤(4)中所述的颗粒混合溶胶与无水乙醇的体积比为1:2-5。

进一步的，步骤(4)中所述的涂覆方式为静态滴加，单面旋涂一次。

进一步的，在上述制备方法中，所述的碱性SiO₂溶胶还可采用Pluronic F-127进行改性的碱性SiO₂溶胶；其中Pluronic F-127改性碱性SiO₂溶胶的各原料摩尔比为TEOS：无水乙醇：去离子：氨水：Pluronic F-127＝1：35-45：2：0.5-0.9：(4.4-9.9)×10^-3，加原料时先加Pluronic F-127，再依次加入TEOS、无水乙醇、去离子水、氨水。

本发明制备的碱性SiO₂溶胶减反膜的有益效果在于：

(1)溶胶制备过程中选用的催化剂对减反膜的性质影响非常大，与酸催化相比，碱催化制备的减反膜其减反增透效果更好。

(2)减反膜的制备工艺对膜透光率的影响也很大，采用静态滴加，单面旋涂一次的方法，艺简单，膜层透光率好。

(3)沸水处理以及混入多孔结构的SiO₂颗粒可以提高膜层孔隙率从而达到提高减反膜透光率的目的。特别是碱溶胶中混入SiO₂颗粒涂敷的减反膜在大部分波长范围内透光率普遍在93％以上，并且透光率曲线变化平缓，而碱溶胶中混入SiO₂颗粒涂敷的减反膜再经过沸水处理后透光率进一步增大，最大透光率达到94.6％，比空白玻璃增大了5.8％，表现出优良的减反增透性能。

(4)通过适量Pluronic F-127对碱性SiO₂溶胶改性，得到的改性溶胶粒径较小，涂敷的减反膜强度和透光率均比未改性有一定程度的增加。同样的，沸水处理以及混入多孔结构的SiO₂颗粒可以提高膜层透光率。

附图说明

图1为本发明的碱性SiO₂溶胶减反膜的扫描电镜图；

图2为不同方式处理后的碱性SiO₂溶胶减反膜的扫描电镜图；

图3为酸性、碱性SiO₂溶胶减反膜的横截面SEM图；

图4为不同稀释比例的混颗粒的碱性SiO₂减反膜的透光率对比图；

图5为不同方式镀膜对碱性SiO₂减反膜透光率的影响曲线图；

图6为碱性SiO₂减反膜透光率随旋涂次数不同的变化曲线图；

图7为单双面旋涂碱性SiO₂溶胶减反膜的透光率对比图；

图8为不同滴加方式的碱性SiO₂溶胶减反膜的透光率对比图；

图9为不同摩尔比Pluronic F-127改性碱性SiO₂减反膜透光率对比图；

图10为不同稀释比例的混颗粒的Pluronic F-127改性碱性SiO₂减反膜的透光率对比图。

具体实施方式

实施例1溶胶-凝胶法制备SiO₂溶胶

(1)碱性SiO₂溶胶的制备

将正硅酸四乙酯(TEOS)：无水乙醇：去离子水：氨水以摩尔比1：37：2：0.8进行混合于烧杯中，即取正硅酸四乙酯(TEOS)5mL(4.67g)于敞口烧杯中，无水乙醇称取38.18g，去离子水称取0.81g，氨水称取0.63g，依次加入烧杯。氨水作为碱性催化剂，无水乙醇为溶剂，再将磁子加入烧杯中，将烧杯放置在恒温磁力搅拌器上，调整合适的转速搅拌4h，制备碱性SiO₂溶胶。搅拌完溶液为有乳白色光晕的溶液，样品标记为SiO₂-b。

(2)酸性SiO₂溶胶的制备

将正硅酸四乙酯(TEOS)：无水乙醇：去离子水：盐酸以摩尔比^[16]1：19：4：0.08进行混合于烧杯中，即取正硅酸四乙酯(TEOS)5mL(4.67g)于敞口烧杯中，无水乙醇称取19.6g，去离子水称取1.61g，盐酸称取0.065g，依次加入烧杯。盐酸作为酸性催化剂，无水乙醇为溶剂，再将磁子加入烧杯中，将烧杯放置在恒温磁力搅拌器上，调整合适的转速搅拌4h，制备酸性SiO₂溶胶。搅拌完溶液仍为无色透明溶液，样品标记为SiO₂-a。

(3)SiO₂溶胶的陈化

关闭恒温磁力搅拌器，用干净镊子取出搅拌磁子，将烧杯从恒温磁力搅拌器上轻轻拿下，用保鲜膜将烧杯口密封，在烧杯口用橡皮筋固定保鲜膜贴于烧杯壁，放入密封阴凉的柜子里常温陈化，记下当前的时间，SiO₂-b溶胶、SiO₂-a溶胶均陈化三天，三天后的同一时间拿出，此时溶胶体积均有所减少。溶液颜色没有明显变化，SiO₂-a溶胶为无色透明液体，SiO₂-b溶胶带乳白色光晕的液体，后面的碱性改性SiO₂溶胶以及SiO₂颗粒混合溶胶的陈化方式相同。

(4)陈化后SiO₂溶胶的处理

陈化3天后，将SiO₂-b溶胶倒入于250mL的三口烧瓶中，80℃冷凝回流，回流装置如上图1，每五分钟用玻璃棒蘸取少量溶胶于精确PH试纸上，直到溶胶PH为6，即PH试纸呈浅黄色，回流主要是为了除去SiO₂-b溶胶类多余的氨，避免溶胶进一步的陈化。SiO₂-a溶胶不用其他处理，直接备用于镀膜。回流结束后的SiO₂-b溶胶倒入干净的烧杯中，用保鲜膜封好待冷却后备用于镀膜。回流采用最普遍的水浴加热。右边插入玻璃棒控制反应的温度于80℃左右，即恒温浴槽内水面有水蒸气，但不冒泡，三口烧瓶上方为球形冷凝管，冷凝水下口进上口出，回流可以加速氨水催化剂的挥发，减少SiO₂-b溶胶老化速度，使其寿命变长，SiO₂-a溶胶比较稳定，陈化时间的影响不大，故一般不需要回流即可进行镀膜等操作。

实施例2 Pluronic F-127改性碱性SiO₂溶胶的制备

在制备SiO₂-b溶胶原料摩尔比不变的基础上加入不同摩尔比的Pluronic F-127改性，其原料试剂摩尔比为TEOS：无水乙醇：去离子：氨水：Pluronic F-127＝1：37：2：0.8：9.95×10^-3或4.4×10^-3，摩尔比为4.4×10^-3的Pluronic F-127称取1.24g，摩尔比为9.95×10^-3的Pluronic F-127称取2.81g，其他反应物用量同SiO₂-b溶胶的制备。两组摩尔比分开做，加原料时先加Pluronic F-127，再依次加入摩尔比的TEOS、无水乙醇、去离子水、氨水。搅拌4小时，陈化3天，样品分别标记为SiO₂-4.4F127、SiO₂-9.95F127。

实施例3 SiO₂颗粒混合溶胶的制备

首先制备SiO₂颗粒。先将0.58g NaOH和3.43g KH₂PO₄溶于250ml的去离子水中，再超声10分钟使其完全溶解制成缓冲溶液备用。称取0.13g Brij-56和0.84g CATB于400ml烧杯中，将缓冲溶液全部倒入该烧杯中超声10分钟使其完全溶解，倒入500ml的三口烧瓶中加热至95摄氏度，溶液澄清后，缓慢加入3.86g TEOS。加完继续反应8h。反应结束后，将三口烧瓶取下冷却，以3000转/分的转速离心分离五分钟，离心完倒掉上层清液，再用去离子水和无水乙醇各洗涤离心分离一遍，然后将沉淀常压抽滤、室温干燥即得到SiO₂颗粒，SiO₂颗粒为白色粉末。

利用SiO₂-b溶胶与SiO₂颗粒混合制成颗粒混合溶胶，将陈化好的碱性SiO₂-b溶胶倒出40ml于50ml的a烧杯中，取出0.02g的SiO₂颗粒粉末于50ml的b烧杯中，在b烧杯中倒入约0.33g的无水乙醇(即SiO₂占6％质量分数)，向a烧杯中倒入相同质量0.33g的无水乙醇，分别超声10分钟，然后将a烧杯中溶胶倒入b烧杯中混合后再超声10分钟后制成SiO₂颗粒混合溶胶。由于SiO₂颗粒为白色，制成的混合溶胶也略带白色，颗粒浓度较大，在镀膜时又将颗粒混合溶胶用无水乙醇稀释为三组，即倒出10ml的颗粒混和溶胶于烧杯进行稀释相应比例后超声10分钟即可，稀释比分别为1：1、1：2、1：4，样品分别标记为SiO₂-P1、SiO₂-P2、SiO₂-P4，未稀释溶胶标记为SiO₂-P。

利用SiO₂-b或SiO₂-4.4F127溶胶与SiO₂颗粒混合制成颗粒混合溶胶，将陈化好的SiO₂-4.4F127溶胶倒出40ml于50ml的a烧杯中，取出0.02g的SiO₂颗粒粉末于50ml的b烧杯中，在b烧杯中倒入约0.33g的无水乙醇(即SiO₂占6％质量分数)，向a烧杯中倒入相同质量0.33g的无水乙醇，分别超声10分钟，然后将a烧杯中溶胶倒入b烧杯中混合后再超声10分钟后制成SiO₂颗粒混合溶胶。在镀膜时将颗粒混合溶胶用无水乙醇稀释为三组，即倒出10ml的颗粒混和溶胶于烧杯进行稀释相应比例后超声10分钟即可，稀释比分别为1：2、1：4和1：5，样品分别标记为为SiO₂-PF2、SiO₂-PF4、SiO₂-PF5，未稀释溶胶标记为SiO₂-PF。

实施例4减反膜的制备

(1)玻璃基片的预处理

将20g氢氧化钠固体溶于80ml的水中，配置成约20％浓度的氢氧化钠溶液待用。再将15ml的硝酸溶于85ml的水中，配成约15％的硝酸备用。将玻璃片先用清水反复冲洗几遍，用镊子夹着将玻璃片完全浸没于氢氧化钠溶液中20min。浸泡完毕用去离子水反复清洗直至表面透亮清洁后再将玻璃片完全浸入硝酸溶液中20min。浸泡完毕后用镊子夹住用去离子水反复清洗两次后，放入有去离子水的烧杯中，去离子水需完全没过玻璃片，常温超声清洗5min，超声完后拿出再用去离子水冲洗两次后再于无水乙醇中常温超声清洗5min，最后将玻璃片拿出竖直放于干净的烧杯中，80℃干燥2h。用保鲜膜将玻璃片包好放于干燥器中备用。

(2)减反膜的制备

用两种不同的方法对溶胶镀膜，一种是匀胶机旋涂镀膜，另一种是人工浸渍-提拉镀膜。

匀胶机旋涂镀膜：第一步，将匀胶机与真空泵相连，通电源确保机器能够正常运行后把匀胶机的低速I调为500r/min，时间为18s，高速II调为2000r/min，时间为30s，备用。第二步，我们将预处理干净的玻璃基片拿出，用干净镊子轻轻放置于匀胶机吸盘中间，开启吸片(VACUUM)键，让玻璃基片被吸盘紧紧吸住，然后拿出干净的胶头滴管在玻璃基片上滴4-5滴溶胶，再按下控制(CONTROL)键，使机器处于待转状态，盖上匀胶机顶盖，开启旋转(START)键，让机器自动运行至停止。机器运行结束，再次按吸片(VACUUM)键，让玻璃基片不被吸附，轻轻用镊子拿下玻璃基片于不同坩埚中，80℃干燥1小时，再以1℃/min的速度，从30℃升至500℃，并保温煅烧30分钟，然后让其在封闭的炉内冷却至室温完成减反膜的制备。改性SiO₂-b溶胶、SiO₂颗粒混合碱性SiO₂-b溶胶均用此方法镀膜。

(3)减反膜后处理

镀膜后对减反膜进行两种物理方法处理，一种是沸水处理，即把制备好的减反膜基片放入沸腾的水中进行浸泡40min，然后用镊子将基片轻轻取出，放于坩埚中200℃干燥2h，400℃焙烧2h(升温速率1℃/min)自然冷却至室温后待用。另外一种是利用酒精棉球擦拭来检验减反膜的强度，利用浸有无水乙醇的酒精棉球来回擦拭10次薄膜表面，再放于干燥箱80℃干燥1h，待冷却后去测其透光率。

采用电子扫描显微镜表征本发明方法制得的碱性SiO₂减反膜的表面形态(图1)，可明显看出减反膜中的SiO₂颗粒粒径比较均匀，颗粒之间有一定的孔隙率，并且整体膜层比较蓬松，这有利于透光率的提高。

对本发明制得的碱性SiO₂减反膜进行处理，图2中：(a)为未处理的碱性SiO₂减反膜，(b)为沸水处理过的碱性SiO₂减反膜；(c)为酒精棉球擦拭过的碱性SiO₂减反膜。图2(a)与图2(b)作比较可以看出，沸水处理后孔隙增多，整体孔隙率明显提高，膜层变得蓬松，因此沸水处理后的透光率增大，在图2(c)中可以看出经过擦拭后表面仍然有大量SiO₂颗粒，膜层空隙和粒径都变得更加均匀，因此混入颗粒后的碱性溶胶涂敷的SiO₂-P2减反膜强度较好。

图3中给出了SiO₂-a和SiO₂-b减反膜的横截面SEM图，从图3(a)中可看出SiO₂-a减反膜的厚度大约在829-877nm，图3(b)SiO₂-b减反膜的厚度大约在774-837nm，SiO₂-a减反膜的整体厚度要略大于SiO₂-b减反膜，同时可以看出SiO₂-a减反膜比较致密，SiO₂-b减反膜比较蓬松，这在一定程度上限制了其透光性，这也是SiO₂-a减反膜透光性不如SiO₂-b减反膜的原因。

由图4可知SiO₂-P2减反膜的减反效果最好，在541nm取得透光率峰值94.0％，透光率较其他三组都高，是四组混合SiO₂颗粒减反膜稀释中透光率最好的一组。并且在大部分波长范围内透光率普遍在93％以上，透光率较SiO₂-b减反膜来说，几乎所有的波长范围的透光率都有明显提高，加颗粒后透光率曲线较未加颗粒的曲线平缓，说明加颗粒后膜表面更加均匀，这也是透光率提高的主要原因之一。

由图5可以看出，旋涂法完成的镀膜透光率要好于浸渍-提拉法完成的镀膜，而且效果对比十分明显。在浸渍-提拉法镀膜的红色曲线中，我们可以看到透光率减小，这可能是因为该方法制备的薄膜厚度不易控制，这也导致了薄膜的厚度较旋涂法制得的膜较厚，从而使玻璃基片的透光率下降。

由图6可以看出，旋涂一次的样品透光率最高可达94.0％，并且在400-750nm的波长范围内透光率均大于旋涂二次以及三次的薄膜透光率。旋涂二次的相比于旋涂三次的薄膜，透光率在大部分波长范围略有增大，两者差距不明显，可能是因为旋涂二次和旋涂三次的薄膜均比较厚，而旋涂厚度在第二次旋涂时已经达到比较厚的膜，第三次旋涂时能增厚的空间不多，因此旋涂二次和三次的膜层透光率也差别不大。同时也可以看到旋涂二次和三次的样品透光率波动较大，说明随着旋涂次数的增多，不仅膜层变厚，同时膜层的不均匀度变大，这些因素导致减反膜的透光率比空白玻璃基片还要低，由图中还可以看出，随着波长的增大，膜厚度对透过率的影响减小，到800nm波长时，三个减反膜透光率数值差别不大。

由图7可以看出，在400-550nm波长范围内，单面旋涂的减反膜性能优于双面旋涂的减反膜。采用单面涂，膜性能稳定，随着波长变化，透光率波动不大，而双面旋涂的减反膜随着波长的变化，透光率波动非常明显。这说明双面旋涂的膜两面膜的均匀性差别较大在600nm到800nm范围内双面旋涂减反膜透光率所较提高，但是透光率的波动仍然非常明显。综上，双面旋涂在高波段范围透光率会有一定的提高，但是双面旋涂膜层不均匀性明显，双面旋涂操作起来比较复杂，同时双面旋涂可能会造成在旋涂第二面时第一面容易被污染从而进一步降低透光率等问题，因此本发明采用单面旋涂。

从图8中可以看出，静态滴加法相比于动态滴加法而言，在部分波长范围内的透光率有所提高并且波动小，在400-600nm的波长段内，静态滴加法形成的薄膜透光率大部分在动态滴加法之上，相比较静态滴加法，动态滴加法透光率变化波动非常大，这说明利用动态滴加法形成的膜较不均匀。整体来说，静态滴加法形成的膜均匀，同时静态滴加法比较方便，也避免了采用动态滴加法时溶液可能会被甩出从而污染环境的可能，是非常实用的一种滴定方法；

由图9可以看出，SiO₂-9.95F127减反膜效果差，最主要的原因可能是加入Pluronic F-127的量过多而乙醇量在挥发，溶胶粘度增加，形成的膜层较厚，导致减反效果差。当加入Pluronic F-127的摩尔比为4.4×10^-3时，在图中可以看出SiO₂-4.4F127减反膜在400-500nm的波长段内，较SiO₂-b减反膜透光率略有增加，在498nm的波长达到透光率峰值为94.2％，较SiO₂-b减反膜的峰值增加了约0.2％，因此，该改性起到了一定的增透作用。

由图10可知，稀释溶胶中SiO₂-PF5减反膜透光率最好，与未混合颗粒的SiO₂-4.4F127减反膜相比，在510-800nm波长范围内透光率都明显增大，特别是波长为800nm时，透光率由85％增大到91％，增大幅度更加明显，对于SiO₂-PF5样品，在全部波长范围透光率波动很小，曲线较未加颗粒的透光率曲线平缓，说明加颗粒后膜表面更加均匀，这也是透光率提高的主要原因之一。

Claims (9)

1.一种碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，包括以下制备步骤：

(1)用溶胶-凝胶法制备碱性SiO₂溶胶；

(2)制备SiO₂颗粒；

(3)将步骤(1)得到的碱性SiO₂溶胶与步骤(2)制得的SiO₂颗粒混合，制成颗粒混合溶胶；

(4)将步骤(3)得到的颗粒混合溶胶用无水乙醇稀释，然后涂敷在干净的玻璃基片上得到SiO₂减反膜；

(5)对SiO₂减反膜进行沸水处理。

2.根据权利要求1所述的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，步骤(1)中碱性SiO₂溶胶的制备方法为：将TEOS：无水乙醇：去离子水：氨水以摩尔比1：35-45：2：0.5-0.9混合，搅拌得到。

3.根据权利要求1所述的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，步骤(2)中所述的SiO₂颗粒由TEOS，Brij-56，CATB和缓冲溶液制备得到。

4.根据权利要求1所述的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，步骤(3)中所述的SiO₂颗粒质量为碱性SiO₂溶胶质量的0.04-0.07％。

5.根据权利要求1所述的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)中所述的颗粒混合溶胶与无水乙醇的体积比为1:2-5。

6.根据权利要求1所述的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，步骤(4)中涂覆方式为静态滴加，单面旋涂一次。

7.一种碱性SiO₂溶胶减反膜，其特征在于，根据权利要求1-6任一项的方法制备得到。

8.一种如权利要求1-6任一项所述的碱性SiO₂溶胶减反膜的制备方法，其特征在于，所述的碱性SiO₂溶胶为采用Pluronic F-127进行改性的碱性SiO₂溶胶；其中Pluronic F-127改性碱性SiO₂溶胶的各原料摩尔比为TEOS：无水乙醇：去离子：氨水：Pluronic F-127＝1：35-45：2：0.5-0.9：(4.4-9.9)×10^-3，加原料时先加Pluronic F-127，再依次加入TEOS、无水乙醇、去离子水、氨水。

9.一种碱性SiO₂溶胶减反膜，其特征在于，根据权利要求8的方法制备得到。