CN110098142B - 一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备 - Google Patents

一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,包括真空泵和吸嘴,还包括缓冲机构和加固机构,所述缓冲机构包括第一吸管、第二吸管、连接软管和至少两个缓冲组件,所述缓冲组件包括第二固定块、第一固定块、连接杆、弹簧和限位板,所述加固机构包括驱动组件和两个固定组件,所述固定组件包括第一传动杆、第二传动杆和支撑杆,所述驱动组件包括电机、丝杆、驱动块和两个轴承,该具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备中,在缓冲机构的缓冲作用下,减小了吸嘴对芯片的压力,则降低了芯片被压坏的几率,提高了芯片拾取设备的实用性,通过加固机构对吸嘴的加固作用,降低了吸嘴发生脱离的几率,进一步提高了芯片拾取设备的实用性。

Description

一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备
技术领域
本发明涉及芯片拾取设备领域,特别涉及一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备。
背景技术
半导体芯片是将不同尺寸的晶片切断成所定大小,为了不使得切断时切断的半导体芯片零乱,晶片在背面粘接具有粘接性的保持带,由晶片切断装置等从表面侧切断晶片,此时,粘接在背面的保持带虽然被切入若干,但没有被切断,成为保持各半导体芯片的状态,接着,被切断的各半导体芯片通过芯片分拣机从保持带拾取,拾取过程中,芯片首先从晶圆上顶起,随后通过吸嘴吸附芯片表面,实现剥离并转移。
现有技术的芯片拾取设备在拾取芯片的时候,吸嘴向下移动与芯片接触,之后通过吸嘴将芯片吸起,在此过程中如果吸嘴下降距离控制不当,将会增大吸嘴对芯片产生的压力,则可能导致芯片被压坏,降低了芯片拾取设备的实用性,不仅如此,当操作人员将吸嘴安装到吸管上之后,吸嘴与吸管之间没有加固措施,随着使用时间的增加,吸嘴与吸管之间的连接发生松动,在吸管高速移动的过程中,吸嘴在惯性的作用下容易发生脱落,进一步降低了芯片拾取设备的实用性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是:为了克服现有技术的不足,提供一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,包括真空泵和吸嘴,还包括缓冲机构和加固机构,所述真空泵通过缓冲机构与吸嘴连接,所述加固机构设置在缓冲机构上;
所述缓冲机构包括第一吸管、第二吸管、连接软管和至少两个缓冲组件,所述第一吸管与第二吸管同轴设置,所述第一吸管与第二吸管的相互靠近的一端分别与连接软管的两端连接,所述第一吸管的远离第二吸管的一端与真空泵连接,所述第二吸管的远离第一吸管的一端与吸嘴连接,所述第一吸管与第二吸管的相互靠近的一端通过各连接组件连接;
所述缓冲组件包括第二固定块、第一固定块、连接杆、弹簧和限位板,所述第二固定块设置在第一吸管的靠近连接软管的一端的一侧,所述第一固定块设置在第二吸管的靠近连接软管的一端的靠近第二固定块的一侧,所述连接杆与第一吸管的轴线平行,所述连接杆的一端与第一固定块固定连接,所述第二固定块的内部设有连接孔,所述连接杆的另一端穿过第二固定块,所述第二固定块与连接杆滑动连接,所述限位板与连接杆的另一端固定连接,所述弹簧套设在连接杆上,所述第一固定块通过弹簧与第二固定块固定连接,所述弹簧处于压缩状态;
所述加固机构包括驱动组件和两个固定组件,两个固定组件分别设置在第二吸管的靠近吸嘴的一端的两侧,两个固定组件关于第二吸管的轴线对称设置,所述驱动组件设置在第二吸管上,所述驱动组件与两个固定组件均连接;
所述固定组件包括第一传动杆、第二传动杆和支撑杆,所述支撑杆设置在第二吸管的靠近吸嘴的一端的一侧,所述第二传动杆与第二吸管的轴线平行,所述第二传动杆的中部与支撑杆的远离第二吸管的一端铰接,所述第二传动杆的靠近吸嘴的一端抵靠在吸嘴的一侧,所述第一传动杆的一端与第二传动杆的远离吸嘴的一端铰接,所述第一传动杆的另一端与驱动组件连接。
作为优选,为了给第二传动杆提供动力,所述驱动组件包括电机、丝杆、驱动块和两个轴承,所述丝杆与第二吸管的轴线平行,所述丝杆的两端均通过轴承与第二吸管连接,所述电机固定在第二吸管上,所述电机与丝杆传动杆连接,所述驱动块的内部设有安装孔,所述丝杆穿过驱动块,所述丝杆与驱动块螺纹连接,所述第一传动杆的远离第二传动杆的一端与驱动块铰接。
作为优选,为了提高驱动块的稳定性,所述丝杆的两侧均设有滑杆,所述滑杆与丝杆平行,所述滑杆的两端分别与两个轴承固定连接,所述滑杆穿过驱动块,所述驱动块与滑杆滑动连接。
作为优选,为了提高吸嘴与第二传动杆连接的稳定性,所述第二传动杆的远离真空泵的一端的靠近吸嘴的一侧设有防滑块。
作为优选,为了减小吸嘴对芯片的压力,所述吸嘴的制作材料为橡胶。
作为优选,为了提高对电机控制的精确度,所述电机为伺服电机。
作为优选,为了延长第一吸管和第二吸管的使用寿命,所述第一吸管和第二吸管上均涂有防腐镀锌层。
作为优选,为了提高芯片拾取设备的自动化程度,所述第二吸管上设有无线信号收发模块和PLC,所述无线信号收发模块与PLC电连接。
作为优选,为了提高连接杆移动的顺畅度,所述连接杆上涂有润滑脂。
作为优选,为了降低第二固定块与限位板之间的磨损,所述限位板的靠近第二固定块的一侧设有至少两个缓冲块。
本发明的有益效果是,该具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备中,在缓冲机构的缓冲作用下,减小了吸嘴对芯片的压力,则降低了芯片被压坏的几率,提高了芯片拾取设备的实用性,与现有缓冲机构相比,该缓冲机构无需消耗电能,则提高了该机构的节能性能,不仅如此,通过加固机构对吸嘴的加固作用,降低了吸嘴发生脱离的几率,进一步提高了芯片拾取设备的实用性,与现有加固机构相比,该加固机构结构简单,减少了该机构故障点的数量,降低了该机构的故障率。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备的结构示意图;
图2是本发明的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备的缓冲机构的结构示意图;
图3是本发明的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备的缓冲组件的结构示意图;
图4是本发明的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备的加固机构的结构示意图;
图中:1.防滑块,2.丝杆,3.驱动块,4.滑杆,5.轴承,6.电机,7.第一固定块,8.第二固定块,9.限位板,10.真空泵,11.第一吸管,12.连接杆,13.弹簧,14.连接软管,15.第二吸管,16.第一传动杆,17.支撑杆,18.第二传动杆,19.吸嘴,20.缓冲块。
具体实施方式
现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本发明的基本结构,因此其仅显示与本发明有关的构成。
如图1所示,一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,包括真空泵10和吸嘴19,还包括缓冲机构和加固机构,所述真空泵10通过缓冲机构与吸嘴19连接,所述加固机构设置在缓冲机构上;
在缓冲机构的缓冲作用下,减小了吸嘴19对芯片的压力,则降低了芯片被压坏的几率,提高了芯片拾取设备的实用性,不仅如此,通过加固机构对吸嘴19的加固作用,降低了吸嘴19发生脱离的几率,进一步提高了芯片拾取设备的实用性;
如图2所示,所述缓冲机构包括第一吸管11、第二吸管15、连接软管14和至少两个缓冲组件,所述第一吸管11与第二吸管15同轴设置,所述第一吸管11与第二吸管15的相互靠近的一端分别与连接软管14的两端连接,所述第一吸管11的远离第二吸管15的一端与真空泵10连接,所述第二吸管15的远离第一吸管11的一端与吸嘴19连接,所述第一吸管11与第二吸管15的相互靠近的一端通过各连接组件连接;
通过各缓冲组件提高了第一吸管11与第二吸管15连接的稳定性,同时在连接软管14的作用下,使第一吸管11与第二吸管15连通,同时不会影响第一吸管11与第二吸管15之间的相对移动,当吸嘴19与芯片接触之后,在缓冲组件的缓冲作用,通过芯片对吸嘴19的反作用力,使第二吸管15向靠近第一吸管11的方向移动,则减小了吸嘴19对芯片产生的压力,降低了芯片发生损坏的几率;
如图3所示,所述缓冲组件包括第二固定块8、第一固定块7、连接杆12、弹簧13和限位板9,所述第二固定块8设置在第一吸管11的靠近连接软管14的一端的一侧,所述第一固定块7设置在第二吸管15的靠近连接软管14的一端的靠近第二固定块8的一侧,所述连接杆12与第一吸管11的轴线平行,所述连接杆12的一端与第一固定块7固定连接,所述第二固定块8的内部设有连接孔,所述连接杆12的另一端穿过第二固定块8,所述第二固定块8与连接杆12滑动连接,所述限位板9与连接杆12的另一端固定连接,所述弹簧13套设在连接杆12上,所述第一固定块7通过弹簧13与第二固定块8固定连接,所述弹簧13处于压缩状态;
在连接杆12的作用下,通过第一固定块7和第二固定块8提高了第一吸管11与第二吸管15连接的稳定性,通过第二固定块8与连接杆12之间的滑动连接,使第一吸管11与第二吸管15之间可以相对移动,同时在限位板9的限位作用下,降低了第二固定块8从连接杆12上脱落的几率,则提高了第二固定块8与连接杆12连接的稳定性,之后在弹簧13的缓冲作用下,减小了吸嘴19对芯片的压力;
如图4所示,所述加固机构包括驱动组件和两个固定组件,两个固定组件分别设置在第二吸管15的靠近吸嘴19的一端的两侧,两个固定组件关于第二吸管15的轴线对称设置,所述驱动组件设置在第二吸管15上,所述驱动组件与两个固定组件均连接;
通过驱动组件提供动力,驱动两个固定组件运行,则在固定组件的作用下,提高了吸嘴19与第二吸管15连接的稳定性,则降低了吸嘴19发生脱离的几率;
如图4所示,所述固定组件包括第一传动杆16、第二传动杆18和支撑杆17,所述支撑杆17设置在第二吸管15的靠近吸嘴19的一端的一侧,所述第二传动杆18与第二吸管15的轴线平行,所述第二传动杆18的中部与支撑杆17的远离第二吸管15的一端铰接,所述第二传动杆18的靠近吸嘴19的一端抵靠在吸嘴19的一侧,所述第一传动杆16的一端与第二传动杆18的远离吸嘴19的一端铰接,所述第一传动杆16的另一端与驱动组件连接;
操作人员操作芯片拾取设备,通过驱动组件提供动力,在第一传动杆16的传动作用下,驱动第二传动杆18绕着支撑杆17与第二传动杆18的铰接点转动,当第二传动杆18的靠近吸嘴19的一端向远离吸嘴19的方向移动的时候,第二传动杆18与吸嘴19分离,则使操作人员可以将吸嘴19取下,当第二传动杆18的靠近吸嘴19的一端向靠近吸嘴19的方向移动的时候,第二传动杆18与吸嘴19相互抵靠,则在吸嘴19与第二传动杆18的摩擦力的作用下,提高了吸嘴19与第二吸管15连接的稳定性。
如图4所示,所述驱动组件包括电机6、丝杆2、驱动块3和两个轴承5,所述丝杆2与第二吸管15的轴线平行,所述丝杆2的两端均通过轴承5与第二吸管15连接,所述电机6固定在第二吸管15上,所述电机6与丝杆2传动杆连接,所述驱动块3的内部设有安装孔,所述丝杆2穿过驱动块3,所述丝杆2与驱动块3螺纹连接,所述第一传动杆16的远离第二传动杆18的一端与驱动块3铰接;
通过轴承5提高了丝杆2的稳定性,通过电机6驱动丝杆2转动,则通过丝杆2驱动驱动块3移动。
作为优选,为了提高驱动块3的稳定性,所述丝杆2的两侧均设有滑杆4,所述滑杆4与丝杆2平行,所述滑杆4的两端分别与两个轴承5固定连接,所述滑杆4穿过驱动块3,所述驱动块3与滑杆4滑动连接;
通过滑杆4的限位作用,使驱动块3沿着滑杆4移动,则提高了驱动块3的稳定性。
作为优选,为了提高吸嘴19与第二传动杆18连接的稳定性,所述第二传动杆18的远离真空泵10的一端的靠近吸嘴19的一侧设有防滑块1;
通过防滑块1增大了第二传动杆18与吸嘴19之间的摩擦力,则提高了吸嘴19与第二传动杆18连接的稳定性。
作为优选,为了减小吸嘴19对芯片的压力,所述吸嘴19的制作材料为橡胶;
由于橡胶的质地较为柔软,使吸嘴19可以发生形变,则通过吸嘴19的形变可以减小吸嘴19对芯片的压力。
作为优选,为了提高对电机6控制的精确度,所述电机6为伺服电机。
作为优选,为了延长第一吸管11和第二吸管15的使用寿命,所述第一吸管11和第二吸管15上均涂有防腐镀锌层;
通过防腐镀锌层减缓了第一吸管11与第二吸管15的腐蚀速度,则延长了第一吸管11和第二吸管15的使用寿命。
作为优选,为了提高芯片拾取设备的自动化程度,所述第二吸管15上设有无线信号收发模块和PLC,所述无线信号收发模块与PLC电连接;
PLC即可编程逻辑控制器,它采用一类可编程的存储器,用于其内部存储程序,执行逻辑运算、顺序控制、定时、计数与算术操作等面向用户的指令,并通过数字或模拟式输入/输出控制各种类型的机械或生产过程,其实质是一种专用于工业控制的计算机,其硬件结构基本上与微型计算机相同,一般用于数据的处理以及指令的接收和输出,用于实现中央控制,通过无线信号收发模块使PLC可以与终端控制设备建立通讯,之后操作人员通过终端控制设备控制芯片拾取设备运行,则提高了芯片拾取设备的自动化程度。
作为优选,为了提高连接杆12移动的顺畅度,所述连接杆12上涂有润滑脂;
通过润滑脂减小了连接杆12与第二固定块8之间的摩擦力,则提高了连接杆12移动的顺畅度。
作为优选,为了降低第二固定块8与限位板9之间的磨损,所述限位板9的靠近第二固定块8的一侧设有至少两个缓冲块20;
通过缓冲块20的缓冲作用,减小了第二固定块8与限位板9之间的相互冲击力,则降低了第二固定块8与限位板9之间的磨损。
通过各缓冲组件提高了第一吸管11与第二吸管15连接的稳定性,同时在连接软管14的作用下,使第一吸管11与第二吸管15连通,同时不会影响第一吸管11与第二吸管15之间的相对移动,当吸嘴19与芯片接触之后,在缓冲组件的缓冲作用,通过芯片对吸嘴19的反作用力,使第二吸管15向靠近第一吸管11的方向移动,则减小了吸嘴19对芯片产生的压力,降低了芯片发生损坏的几率,通过驱动组件提供动力,驱动两个固定组件运行,则在固定组件的作用下,提高了吸嘴19与第二吸管15连接的稳定性,则降低了吸嘴19发生脱离的几率。
与现有技术相比,该具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备中,在缓冲机构的缓冲作用下,减小了吸嘴19对芯片的压力,则降低了芯片被压坏的几率,提高了芯片拾取设备的实用性,与现有缓冲机构相比,该缓冲机构无需消耗电能,则提高了该机构的节能性能,不仅如此,通过加固机构对吸嘴19的加固作用,降低了吸嘴19发生脱离的几率,进一步提高了芯片拾取设备的实用性,与现有加固机构相比,该加固机构结构简单,减少了该机构故障点的数量,降低了该机构的故障率。
以上述依据本发明的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (10)

1.一种具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,包括真空泵(10)和吸嘴(19),其特征在于,还包括缓冲机构和加固机构,所述真空泵(10)通过缓冲机构与吸嘴(19)连接,所述加固机构设置在缓冲机构上;
所述缓冲机构包括第一吸管(11)、第二吸管(15)、连接软管(14)和至少两个缓冲组件,所述第一吸管(11)与第二吸管(15)同轴设置,所述第一吸管(11)与第二吸管(15)的相互靠近的一端分别与连接软管(14)的两端连接,所述第一吸管(11)的远离第二吸管(15)的一端与真空泵(10)连接,所述第二吸管(15)的远离第一吸管(11)的一端与吸嘴(19)连接,所述第一吸管(11)与第二吸管(15)的相互靠近的一端通过各连接组件连接;
所述缓冲组件包括第二固定块(8)、第一固定块(7)、连接杆(12)、弹簧(13)和限位板(9),所述第二固定块(8)设置在第一吸管(11)的靠近连接软管(14)的一端的一侧,所述第一固定块(7)设置在第二吸管(15)的靠近连接软管(14)的一端的靠近第二固定块(8)的一侧,所述连接杆(12)与第一吸管(11)的轴线平行,所述连接杆(12)的一端与第一固定块(7)固定连接,所述第二固定块(8)的内部设有连接孔,所述连接杆(12)的另一端穿过第二固定块(8),所述第二固定块(8)与连接杆(12)滑动连接,所述限位板(9)与连接杆(12)的另一端固定连接,所述弹簧(13)套设在连接杆(12)上,所述第一固定块(7)通过弹簧(13)与第二固定块(8)固定连接,所述弹簧(13)处于压缩状态;
所述加固机构包括驱动组件和两个固定组件,两个固定组件分别设置在第二吸管(15)的靠近吸嘴(19)的一端的两侧,两个固定组件关于第二吸管(15)的轴线对称设置,所述驱动组件设置在第二吸管(15)上,所述驱动组件与两个固定组件均连接;
所述固定组件包括第一传动杆(16)、第二传动杆(18)和支撑杆(17),所述支撑杆(17)设置在第二吸管(15)的靠近吸嘴(19)的一端的一侧,所述第二传动杆(18)与第二吸管(15)的轴线平行,所述第二传动杆(18)的中部与支撑杆(17)的远离第二吸管(15)的一端铰接,所述第二传动杆(18)的靠近吸嘴(19)的一端抵靠在吸嘴(19)的一侧,所述第一传动杆(16)的一端与第二传动杆(18)的远离吸嘴(19)的一端铰接,所述第一传动杆(16)的另一端与驱动组件连接。
2.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述驱动组件包括电机(6)、丝杆(2)、驱动块(3)和两个轴承(5),所述丝杆(2)与第二吸管(15)的轴线平行,所述丝杆(2)的两端均通过轴承(5)与第二吸管(15)连接,所述电机(6)固定在第二吸管(15)上,所述电机(6)与丝杆(2)传动杆连接,所述驱动块(3)的内部设有安装孔,所述丝杆(2)穿过驱动块(3),所述丝杆(2)与驱动块(3)螺纹连接,所述第一传动杆(16)的远离第二传动杆(18)的一端与驱动块(3)铰接。
3.如权利要求2所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述丝杆(2)的两侧均设有滑杆(4),所述滑杆(4)与丝杆(2)平行,所述滑杆(4)的两端分别与两个轴承(5)固定连接,所述滑杆(4)穿过驱动块(3),所述驱动块(3)与滑杆(4)滑动连接。
4.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述第二传动杆(18)的远离真空泵(10)的一端的靠近吸嘴(19)的一侧设有防滑块(1)。
5.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述吸嘴(19)的制作材料为橡胶。
6.如权利要求2所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述电机(6)为伺服电机。
7.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述第一吸管(11)和第二吸管(15)上均涂有防腐镀锌层。
8.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述第二吸管(15)上设有无线信号收发模块和PLC,所述无线信号收发模块与PLC电连接。
9.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述连接杆(12)上涂有润滑脂。
10.如权利要求1所述的具有缓冲和加固功能的芯片拾取设备,其特征在于,所述限位板(9)的靠近第二固定块(8)的一侧设有至少两个缓冲块(20)。
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