CN109983237A - 蓄能器 - Google Patents

Abstract

提供一种波纹管的使用寿命长的蓄能器。一种蓄能器(1)，其中，具有外侧环状峰部(38、38、…)和内侧环状峰部(39、39、…)且能够伸缩的波纹管(3)的至少一端作为固定端(31a)被固定于具有流体供给口(22a)的壳体(2)，由此在波纹管(3)的内外以密闭状态将该壳体(2)的内部分隔开，其中，在波纹管(3)上，在伸缩方向上分布有具有外径(OD2)比固定端(31a)侧的外侧环状峰部(38A、38A、…)的外径(OD1)小的外侧环状峰部(38B、38B、…)的区域(B1)。

Description

蓄能器

技术领域

本发明涉及在汽车用液压系统或工业设备用液压系统等中作为蓄压装置或脉动衰减装置等来使用的蓄能器。

背景技术

在汽车或工业设备等的液压控制装置的液压回路中设置有用于进行蓄压或脉动的衰减(缓冲)等的蓄能器。在这样的蓄能器中，在壳体内配置有波纹管，波纹管由固定端焊接固定在壳体上的波纹管主体和安装于该波纹管主体的另一端的波纹管盖构成，壳体的内部空间被波纹管主体和波纹管盖以密闭状态分割为气室和液室，在该气室中封入气体，该液室与连接于液压回路的油口相通。波纹管主体通过使金属制的膜或板材在上下方向上连续形成凸折叠和凹折叠而具有外侧环状峰部和内侧环状峰部重复的构造，在波纹管盖移动以使气室内的气压与液室内的液压均衡时，波纹管主体进行伸缩，由此进行蓄压动作或脉动衰减动作等(参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2012-167748号公报(第4页，第1图)

发明内容

发明要解决的课题

然而，在专利文献1中，由于波纹管主体具有外侧环状峰部和内侧环状峰部重复的构造，且通过使外侧环状峰部和内侧环状峰部弯曲变形而能够进行伸缩，因此，即使面对外部振动，波纹管也容易振动，在伸缩方向上从固定端偏离的振动的振幅变大的部分有可能与壳体的内壁抵接，从而存在波纹管的耐久性降低这样的问题。

本发明是着眼于这样的问题而完成的，其目的在于提供波纹管的使用寿命长的蓄能器

用于解决课题的手段

为了解决所述课题，在本发明的蓄能器中，具有外侧环状峰部和内侧环状峰部且能够伸缩的波纹管的至少一端作为固定端被固定于具有流体供给口的壳体，由此在所述波纹管的内外以密闭状态将该壳体的内部分隔开，其特征在于，在所述波纹管上，在伸缩方向上分布有具有外径比所述固定端侧的所述外侧环状峰部的外径小的所述外侧环状峰部的区域。

根据该特征，通过与受到外部振动的波纹管的、径向上的振动的振幅局部变大的部分相对应地分布波纹管的外侧环状峰部的外径小的区域，由此能够使波纹管不与壳体的内壁面抵接，因此能够延长波纹管的使用寿命。

特征在于，具有外径比所述固定端侧的所述外侧环状峰部的外径小的所述外侧环状峰部的区域分布于所述波纹管的伸缩方向中央部。

根据该特征，通过与受到外部振动的波纹管的、径向上的振动的振幅局部变大的伸缩方向中央部相对应地分布波纹管的外侧环状峰部的外径小的区域，由此能够使波纹管不与壳体的内壁面抵接，因此能够延长波纹管的使用寿命。

特征在于，具有外径比所述固定端侧的所述外侧环状峰部的外径小的所述外侧环状峰部的区域的所述外径环状峰部以直径随着朝向所述波纹管的伸缩方向中央部而逐渐变小的方式分布。

根据该特征，通过与受到外部振动的波纹管的、径向上的振动的振幅局部变大的伸缩方向中央部相对应地分布波纹管的外侧环状峰部的外径最小的区域，由此能够使波纹管不与壳体的内壁面抵接。

特征在于，在所述壳体内配置有支柱，该支柱在所述波纹管内以与所述流体供给口连通的方式固定于所述壳体，在所述波纹管上分布有所述内侧环状峰部的内径比所述固定端的内径大的区域。

根据该特征，通过分布有波纹管的内侧环状峰部的内径大的区域，由此能够使波纹管不与配置在受到了外部振动的波纹管内的支柱抵接，因此能够延长波纹管的使用寿命。

为了解决所述课题，在本发明的蓄能器中，具有外侧环状峰部和内侧环状峰部且能够伸缩的波纹管的至少一端作为固定端被固定于具有流体供给口的壳体，由此在所述波纹管的内外以密闭状态将该壳体的内部分隔开，其特征在于，在所述壳体内配置有支柱，该支柱在所述波纹管内以与所述流体供给口连通的方式固定于所述壳体，在所述波纹管上分布有具有内径比所述固定端侧的所述内侧环状峰部的内径大的所述内侧环状峰部的区域。

根据该特征，通过分布有波纹管的内侧环状峰部的内径大的区域，由此，能够使波纹管不与配置在受到了外部振动的波纹管内的支柱抵接，因此能够延长波纹管的使用寿命。

附图说明

图1是示出实施例1中的蓄能器的构造的剖视图。

图2是示出图1的蓄能器的波纹管进行了伸缩动作的状态的剖视图。

图3是示出图1的蓄能器的波纹管在径向上进行了振动的状态的剖视图。

图4是示出实施例2中的蓄能器的构造的剖视图。

图5是示出图4的蓄能器的波纹管在径向上进行了振动的状态的剖视图。

图6是示出实施例3中的蓄能器的构造的剖视图。

图7是示出图6的蓄能器的波纹管在径向上进行了振动的状态的剖视图。

图8是示出实施例4中的蓄能器的构造的剖视图。

图9是示出图8的蓄能器的波纹管在径向上进行了振动的状态的剖视图。

图10是示出实施例5中的蓄能器的构造的剖视图。

图11是示出图10的蓄能器的波纹管在径向上进行了振动的状态的剖视图。

具体实施方式

以下基于实施例对用于实施本发明的蓄能器的方式进行说明。

实施例1

参照图1至图3对实施例1的蓄能器进行说明。以下，将图1的纸面近前侧作为蓄能器的正面侧(前方侧)，以从该前方侧观察时的上下左右方向为基准进行说明。

蓄能器1例如在汽车用液压系统或工业设备用液压系统等中被用作蓄压装置或脉动衰减装置等，是使用金属波纹管作为波纹管主体31的金属波纹管型蓄能器。

如图1所示，蓄能器1主要由壳体2和设置于壳体2内的波纹管3构成。另外，图1示出了后述的波纹管主体31由于蓄液等而伸长了的状态。

壳体2由下端开放的有底圆筒状的外壳21和以将外壳21的下端封闭的方式焊接固定的油口部件22构成。

在外壳21的上端设置有用于向形成于壳体2内的后述的气室4中注入高压气体(例如氮气)的气体封入口21a。气体封入口21a在注入了高压气体之后被气塞23封闭。

在油口部件22上设置有用于供液体(例如工作油)从未图示的压力配管向壳体2内流入/流出的油口22a。

波纹管3主要由上下两端开放的呈大致圆筒状的金属制的波纹管主体31和呈圆盘状的金属制的波纹管盖32构成。另外，在波纹管3的内部设置有下端开放的呈有底圆筒状的金属制的支柱37。

波纹管主体31以将构成下端的固定端31a封闭的方式被焊接固定在油口部件22的内表面22b上，并且以将构成上端的自由端31b封闭的方式在隔着环状的保护环33的状态下焊接固定有波纹管盖32。

在波纹管盖32的外周部32c安装有环状的减振环34，使得波纹管主体31和波纹管盖32不会与外壳21的内壁面21b直接接触。另外，减振环34的外周面34a与外壳21的内壁面21b在径向上稍微分开，从而能够平滑地滑动而不会妨碍波纹管3的伸缩动作。

并且，在波纹管盖32的下表面32b上嵌合有剖视时为曲柄形状的呈环状的密封垫保持件35，呈圆盘状的密封垫36被安装于该密封垫保持件35。密封垫36是通过使橡胶状弹性体36b包覆呈圆盘状的金属板36a的表面的一部分或全部而构成的。

支柱37设置于波纹管主体31的内侧，以将构成下端的固定端37a封闭的方式被焊接固定于油口部件22的内表面22b。并且，在构成支柱37的上端并且呈圆盘状的端面部37b上，在径向中央设置有液体出入口37c，该液体出入口37c与形成于支柱37的内部的空腔部37d连通。

壳体2的内部空间为如下的构造：壳体2的内部空间被波纹管3(波纹管主体31和波纹管盖32)以密闭状态分隔为气室4和液室5，该气室4与设置在外壳21上的气体封入口21a连通，该液室5经由支柱37的空腔部37d和液体出入口37c而与设置在油口部件22上的油口22a连通。

气室4由外壳21的内壁面21b、油口部件22的内表面22b、波纹管主体31的外周面31c以及波纹管盖32的上表面32a构成，封入有从气体封入口21a注入的高压气体。

液室5由油口部件22的内表面22b、波纹管主体31的内周面31d、波纹管盖32的下表面32b(密封垫36)以及支柱37的端面部37b及外周面37e构成，液体从压力配管经由油口22a、支柱37的空腔部37d及液体出入口37c而流入/流出。

蓄能器1通过设置于壳体2内的波纹管3的伸缩动作而使波纹管盖32移动到规定的位置，从而使气室4的气压和液室5的液压均衡来进行压力调节。

例如，如图2所示，在液室5的液压伴随着压力配管的压力降低而明显降低的情况下，波纹管盖32受到气室4的气压(压力大于液室5的液压)而向下方移动，波纹管主体31收缩，由此使安装在波纹管盖32的下表面32b上的密封垫36与支柱37的端面部37b紧密接触而将液体出入口37c封闭。由此，一部分液体被封入液室5内，该封入的液体的压力与气室4的气压均衡，因此不会对波纹管主体31作用过大的应力，能够抑制波纹管主体31的破损。

接下来，对波纹管主体31的构造进行详细说明。如图1所示，关于波纹管主体31，通过使上下两端开放的呈大致圆筒状的金属制的板材构成为凸折叠和凹折叠重复的结构，由此该波纹管主体31具有向径向外侧突出并且在上下方向(伸缩方向)上连续形成的外侧环状峰部38、38、…、和向径向内侧突出并且在上下方向上连续形成的内侧环状峰部39、39、…。通过该外侧环状峰部38、38、…和内侧环状峰部39、39、…的重复构造，波纹管主体31能够在上下方向上进行伸缩。另外，波纹管主体31是成型波纹管，外侧环状峰部38、38、…和内侧环状峰部39、39、…分别在整个周向的范围内大致均匀地突出。

并且，如图1所示，在波纹管主体31中，外侧环状峰部38、38、…的直径比固定端31a侧的小的区域分布于伸缩方向的中央部。换言之，波纹管主体31构成为：分布于包含伸缩方向中央部在内的区域B1中的外侧环状峰部38、38、…的直径小于分布于固定端31a侧的区域A1中的外侧环状峰部38、38、…的直径，即波纹管主体31的外径OD2小于外径OD1。另外，波纹管主体31的自由端31b侧的区域A1构成为：成为与固定端31a侧相同的外径OD1。并且，以下，将波纹管主体31的构成外径OD1的区域A1的外侧环状峰部38、38、…作为外侧环状峰部38A、38A、…，并将波纹管主体31的构成外径OD2的区域B1的外侧环状峰部38、38、…作为外侧环状峰部38B、38B、…而进行说明。

接下来，对蓄能器1受到外部振动时的壳体2内的波纹管3的振动进行详细说明。

在蓄能器1受到外部振动时，构成壳体2的外壳21及油口部件22与固定端37a被焊接固定在油口部件22的内表面22b上的支柱37以相同的周期一体地振动。

并且，在蓄能器1受到外部振动时，壳体2内的波纹管主体31的固定端31a由于焊接固定在油口部件22的内表面22b上，因此像上所述那样与外壳21、油口部件22以及支柱37以相同的周期一体地振动。

另一方面，壳体2内的波纹管主体31的自由端31b在径向上的振动被安装在波纹管盖32上的减振环34抑制，但如上所述，由于减振环34的外周面34a与外壳21的内壁面21b在径向上稍微分开，因此，在振动的外壳21内，它们一边在径向上细微地振动一边重复抵接。即，波纹管主体31的自由端31b侧成为以与外壳21、油口部件22、支柱37、甚至是波纹管主体31的固定端31a不同的周期振动的状态。

因此，在波纹管主体31中，在沿伸缩方向拉伸架设的外侧环状峰部38、38、…和内侧环状峰部39、39、…上产生分别以固定端31a和自由端31b为基点的径向上的不同的振动。此时，由于分别以固定端31a和自由端31b为基点的径向上的各振动的周期相近，因此，由于共振，在波纹管主体31的伸缩方向的中央部，径向上的振动的振幅局部变大(参照图3)。

在本实施例的蓄能器1的波纹管主体31中，构成为，分布于包含伸缩方向的中央部在内的区域B1中的外侧环状峰部38B、38B、…的直径小于分布于固定端31a侧和自由端31b侧的区域A1、A1中的外侧环状峰部38A、38A、…的直径，即波纹管主体31的外径OD2小于外径OD1，因此，如图3所示，在径向上的振动的振幅局部变大的波纹管主体31的包含伸缩方向中央部在内的区域B1中分布的外侧环状峰部38B、38B、…的突端不与外壳21的内壁面21b抵接。由此，能够避免以往的因径向上的振动的振幅局部变大而与外壳21的内壁面21b重复抵接的、波纹管主体31的包含伸缩方向的中央部在内的区域B1的抵接，因此能够延长波纹管主体31的使用寿命。

另外，在受到外部振动的波纹管主体31中，振动的振幅局部变大的部位及其振幅量是能够根据波纹管的形状、长度、振动条件等而预测的，因此，通过按照各条件仅将需要避免抵接的部位的外侧环状峰部38、38、…的直径设计得较小，由此能够将欲减小外侧环状峰部38、38、…的直径的区域的比例抑制到最低限度。本实施例的波纹管主体31构成为：外侧环状峰部38B、38B、…所分布的区域B1的比例小于外侧环状峰部38A、38A、…所分布的区域A1，从而，在壳体2内由波纹管主体31的外周面31c或波纹管主体31的内周面31d构成了一部分的气室4和液室5的容积的增减被抑制，因此压力调节时的对波纹管3的伸缩动作的影响变小。

并且，由于无需为了避免波纹管主体31的抵接而变更外壳21的内径等或另外设置部件，因此成为了简单的构造，容易制造蓄能器1。而且，由于无需在壳体2内另外设置避免抵接的部件等，因此蓄能器1的质量不会增加。另外，本实施例中的波纹管3对悬臂梁共振的二阶模态的情况有效。

实施例2

接下来，参照图4和图5对实施例2的蓄能器进行说明。另外，对与上述实施例所示的结构部分相同的结构部分标注相同的标号，省略重复的说明。

如图4所示，实施例2中的蓄能器101的波纹管主体131构成为，与分布于固定端131a侧和自由端131b侧的区域A1、A1中的外侧环状峰部138A、138A、…的直径相比，朝向伸缩方向的中央部分布于区域B1、B1中的外侧环状峰部138B、138B、…和分布于区域C1中的外侧环状峰部138C、138C、…的直径逐渐减小，即与波纹管主体131的外径OD1相比，外径OD2、OD3逐渐减小。

由此，如图5所示，在径向上的振动的振幅最大的、波纹管主体131的包含伸缩方向中央部在内的区域C1中分布的外侧环状峰部138C、138C、…的突端不会与外壳21的内壁面21b抵接。由此，能够避免以往的因径向上的振动的振幅局部变大而与外壳21的内壁面21b重复抵接的、波纹管主体131的包含伸缩方向中央部在内的区域C1的抵接，因此能够延长波纹管主体131的使用寿命。另外，本实施例中的波纹管3对悬臂梁共振的二阶模态的情况有效。

实施例3

接下来，参照图6和图7对实施例3的蓄能器进行说明。另外，对与上述实施例所示的结构部分相同的结构部分标注相同的标号，省略重复的说明。

如图6所示，在实施例3的蓄能器201的波纹管主体231中，夹着包含伸缩方向中央部在内的区域A1上下分割，而构成了外侧环状峰部238B、238B、…的直径小于分布在固定端231a侧和自由端231b侧的区域A1、A1中的外侧环状峰部238A、238A、…的直径的、即波纹管主体231的外径OD2小于外径OD1的区域B1、B1。另外，实施例3的波纹管主体231形成为：根据基于外部振动的、波纹管主体231的径向上的振动条件，预测振动的振幅量局部变大的部位，设定波纹管主体231的外径OD2较小的区域B1、B1。

由此，如图7所示，在径向上的振动的振幅变大的波纹管主体231的区域B1、B1中分布的外侧环状峰部238B、238B、…的突端不会与外壳21的内壁面21b抵接。由此，在波纹管主体231中，能够避免被预测为径向上的振动的振幅局部变大而与外壳21的内壁面21b抵接的区域B1、B1的抵接，因此能够延长波纹管主体231的使用寿命。

并且，本实施例的波纹管主体231构成为，外侧环状峰部238B、238B、…所分布的区域B1的比例小于外侧环状峰部238A、238A、…所分布的区域A1，抑制了壳体2内的气室4和液室5的容积的增减，因此压力调节时的对波纹管3的伸缩动作的影响变小。另外，本实施例中的波纹管3对悬臂梁共振的三阶模态的情况有效。

实施例4

接下来，参照图8和图9对实施例4的蓄能器进行说明。另外，对与上述实施例所示的结构部分相同的结构部分标注相同的标号，省略重复的说明。

如图8所示，实施例4中的蓄能器301的波纹管主体331构成为，在包含伸缩方向中央部在内的区域B2中分布的内侧环状峰部339B、339B、…的直径小于在固定端331a侧和自由端331b侧的区域A2、A2中分布的内侧环状峰部339A、339A、…的直径，即波纹管主体331的内径ID2大于内径ID1。另外，在蓄能器301中，设置于波纹管主体331的内侧的支柱337的径向尺寸被设计得较大，支柱337的外周面337e处于在径向上接近波纹管主体331的内周面331d的状态。并且，为了使外壳321的内壁面321b与波纹管主体331的外周面331c在径向上分开而避免抵接，将外壳321和减振环334的径向尺寸设计得较大。

由此，如图9所示，在径向上的振动的振幅局部变大的、波纹管主体331的包含伸缩方向中央部在内的区域B2中分布的内侧环状峰部339B、339B、…的突端不会与支柱337的末端附近抵接。由此，能够避免径向上的振动的振幅局部变大而与支柱337的末端附近重复抵接的、波纹管主体331的包含伸缩方向中央部在内的区域B2的抵接，因此能够延长波纹管主体331的使用寿命。

并且，本实施例的波纹管主体331构成为，内侧环状峰部339B、339B、…所分布的区域B2的比例小于内侧环状峰部339A、339A、…所分布的区域A2，从而，抑制了壳体2内的气室4和液室5的容积的增减，因此压力调节时的对波纹管3的伸缩动作的影响变小。另外，本实施例中的波纹管3对悬臂梁共振的二阶模态的情况有效。

实施例5

接下来，参照图10和图11对实施例5的蓄能器进行说明。另外，对与上述实施例所示的结构部分相同的结构部分标注相同的标号，省略重复的说明。

如图10所示，实施例5中的蓄能器401的波纹管主体431构成为，在包含伸缩方向中央部在内的区域B1中分布的外侧环状峰部438B、438B、…的直径小于在固定端431a侧和自由端431b侧的区域A1、A1中分布的外侧环状峰部438A、438A、…的直径，即波纹管主体431的外径OD2小于外径OD1。并且，波纹管主体431构成为，分布于包含伸缩方向中央部在内的区域B2中的内侧环状峰部439B、439B、…的直径小于分布于固定端431a侧和自由端431b侧的区域A2、A2中的内侧环状峰部439A、439A、…的直径，即波纹管主体431的内径ID2大于内径ID1。另外，在蓄能器401中，设置于波纹管主体431的内侧的支柱437的径向尺寸被设计得较大，支柱437的外周面437e处于在径向上接近波纹管主体431的内周面431d的状态。

由此，如图11所示，在径向上的振动的振幅局部变大的波纹管主体431的包含伸缩方向中央部在内的区域B1中分布的外侧环状峰部438B、438B、…的突端不会与外壳21的内壁面21b抵接。并且，同样地，在波纹管主体431的包含伸缩方向中央部在内的区域B2中分布的内侧环状峰部439B、439B、…的突端不会与支柱437的末端附近抵接。由此，能够避免径向上的振动的振幅局部变大而与外壳21的内壁面21b和支柱437的末端附近重复抵接的、波纹管主体431的包含伸缩方向中央部在内的区域B1、B2的抵接，因此能够延长波纹管主体431的使用寿命。

并且，本实施例的波纹管主体431构成为，外侧环状峰部438B、438B、…及内侧环状峰部439B、439B、…所分布的区域B1、B2的比例小于外侧环状峰部438A、438A、…及内侧环状峰部439A、439A、…所分布的区域A1、A2，抑制了壳体2内的气室4和液室5的容积的增减，因此压力调节时的对波纹管3的伸缩动作的影响变小。另外，本实施例中的波纹管3对悬臂梁共振的二阶模态的情况有效。

以上，根据附图对本发明的实施例进行了说明，但具体的结构不限于这些实施例，即使存在不脱离本发明的主旨的范围内的变更或追加，也包含于本发明中。

例如，在上述实施例中，蓄能器1、101、201、301、401被作为在波纹管3的外侧设定气室4并且在波纹管3的内侧设定液室5的所谓的外气体类型的蓄能器进行了说明，但不限于此，例如，也可以是通过将波纹管主体的固定端焊接固定于外壳的上端侧而在波纹管的内侧设定气室并且在波纹管的外侧设定液室的内气体类型的蓄能器。

并且，在上述实施例中，对这样的情况进行了说明：壳体2由有底圆筒状的外壳21和以将外壳21的下端封闭的方式被焊接固定的油口部件22构成，但不限于此，只要在壳体上形成有气体封入口和油口，则外壳和油口部件也可以构成为一体。

并且，在上述实施例中，对这样的情况进行了说明：密封垫36安装在波纹管盖32的下表面32b上，且在波纹管3进行伸缩动作时与支柱37、337、437的端面部37b、337b、437b紧密接触，但不限于此，也可以是，密封垫被安装于支柱的端面部。

另外，波纹管主体31、231、331、431不限于金属制的波纹管主体，例如也可以由树脂等构成。

并且，在上述实施例中，对波纹管主体31、231、331、431具有对一张板材进行凸折叠、凹折叠而成的重复构造的情况进行了说明，但不限于此，也可以通过将多个环状的圆板的内径端和外径端焊接固定在一起而构成。并且，凸折叠、凹折叠的部分不限于曲面状，也可以构成为锐角。

标号说明

1：蓄能器；2：壳体；3：波纹管；4：气室；5：液室；21：外壳(壳体)；21a：气体封入口；21b：内壁面；22：油口部件(壳体)；22a：油口；31：波纹管主体(波纹管)；31a：固定端；31b：自由端；32：波纹管盖(波纹管)；34：减振环；37：支柱；37c：液体出入口；38、38A、38B：外侧环状峰部；39：内侧环状峰部；A1、B1：区域；ID1、ID2：内径；OD1、OD2：外径。

Claims (5)

1.一种蓄能器，其中，具有外侧环状峰部和内侧环状峰部且能够伸缩的波纹管的至少一端作为固定端被固定于具有流体供给口的壳体，由此在所述波纹管的内外以密闭状态将该壳体的内部分隔开，其特征在于，

在所述波纹管上，在伸缩方向上分布有具有外径比所述固定端侧的所述外侧环状峰部的外径小的所述外侧环状峰部的区域。

2.根据权利要求1所述的蓄能器，其特征在于，

具有外径比所述固定端侧的所述外侧环状峰部的外径小的所述外侧环状峰部的区域分布于所述波纹管的伸缩方向中央部。

3.根据权利要求1或2所述的蓄能器，其特征在于，

具有外径比所述固定端侧的所述外侧环状峰部的外径小的所述外侧环状峰部的区域的所述外径环状峰部以直径随着朝向所述波纹管的伸缩方向中央部而逐渐变小的方式分布。

4.根据权利要求1至3中的任意一项所述的蓄能器，其特征在于，

在所述壳体内配置有支柱，该支柱在所述波纹管内以与所述流体供给口连通的方式固定于所述壳体，在所述波纹管上分布有所述内侧环状峰部的内径比所述固定端的内径大的区域。

5.一种蓄能器，其中，具有外侧环状峰部和内侧环状峰部且能够伸缩的波纹管的至少一端作为固定端被固定于具有流体供给口的壳体，由此在所述波纹管的内外以密闭状态将该壳体的内部分隔开，其特征在于，

在所述壳体内配置有支柱，该支柱在所述波纹管内以与所述流体供给口连通的方式固定于所述壳体，在所述波纹管上分布有具有内径比所述固定端侧的所述内侧环状峰部的内径大的所述内侧环状峰部的区域。