CN109964176A - 照明装置、曝光装置以及物品的制造方法 - Google Patents

Abstract

提供一种照明装置，用来自光源的光照明被照明面，其特征在于具有：光学系统，在与所述被照明面光学共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及遮光板，配置于与所述被照明面光学共轭的面，设置有圆弧状的开口，所述光学系统可更换地配置于所述光的光路，包括形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，所述第1积分器形成在所述第1方向具有第1长度、在所述第2方向具有第2长度的第1照明区域，所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和所述第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式，形成在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度、在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度的第2照明区域。

Description

照明装置、曝光装置以及物品的制造方法

技术领域

本发明涉及照明装置、曝光装置以及物品的制造方法。

背景技术

作为制造液晶显示器装置、等离子体显示器装置等平板显示器装置的TFT(ThinFilm Transistor，薄膜晶体管)的面板的装置，使用曝光装置(参照专利文献1)。在这样的曝光装置中，将掩模的图案经由投影光学系统转印到载置台上的基板。投影光学系统例如由包括凸面反射镜、凹面反射镜并且在轴外的圆弧区域形成良像区域的反射光学系统构成。

近年来，平板显示器装置的面板的大型化得到发展，例如，在对第8代的基板(纵2200mm×横2400mm)进行曝光的情况下，根据其曝光次数，每1镜头的曝光区域发生变化。例如，在将上述基板在纵向上2分割并在横向上2分割而以4个镜头曝光的情况下，每1镜头的曝光区域成为纵1100mm×横1200mm。另外，在将上述基板在纵向上2分割并在横向上3分割而以6个镜头曝光的情况下，每1镜头的曝光区域成为纵1100mm×横800mm。

在曝光装置中，不仅要求曝光区域的扩大，还要求吞吐量的提高。在扩大曝光区域的情况下，当设为对该曝光区域整体提供的每单位时间的能量相同时，照度降低，所以吞吐量下降。因此，要求通过光源的输出提高、采用多个灯、照明效率的提高，不降低照度(即不使吞吐量下降)地曝光。

另外，提出了在曝光区域发生变化的情况下，通过根据该曝光区域切换光学积分器，抑制照明效率的降低的技术(参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平8-306618号公报

专利文献2：日本特开平3-165023号公报

发明内容

然而，在专利文献2中未公开用于对于如专利文献1公开的圆弧状的曝光区域在该曝光区域发生变化的情况下抑制照明效率的降低的具体的方法。

本发明提供有利于在被照明面中对圆弧状的区域进行照明的照明装置。

为了达成上述目的，作为本发明的一个侧面的照明装置是用来自光源的光对被照明面进行照明的照明装置，其特征在于，具有：光学系统，在与所述被照明面在光学上共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及遮光板，配置于与所述被照明面在光学上共轭的面，设置有圆弧状的开口，所述光学系统包括以可更换的方式配置于所述光的光路、形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，所述第1积分器形成第1照明区域，该第1照明区域在所述第1方向上具有第1长度，在所述第2方向上具有第2长度，所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式形成所述第2照明区域，该第2照明区域在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度，在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度。

根据本发明，例如能够提供有利于在被照明面中对圆弧状的区域进行照明的照明装置。

本发明的其他特征以及优点通过参照了附图的以下说明而明确。此外，在附图中，对相同或者同样的结构附加相同的参照编号。

附图说明

附图包含于说明书，构成其一部分，表示本发明的实施方式，与其描述一起用于说明本发明的原理。

图1是示出作为本发明的一个侧面的曝光装置的结构的概略图。

图2A是示出圆弧状的曝光区域的图。

图2B是示出圆弧状的曝光区域与矩形形状的照明区域的关系的图。

图3A是用于说明图1所示的曝光装置中的照明区域的变更的图。

图3B是用于说明图1所示的曝光装置中的照明区域的变更的图。

图3C是用于说明图1所示的曝光装置中的照明区域的变更的图。

图4A是示出图1所示的曝光装置中的第1积分器的结构以及照明区域的图。

图4B是示出图1所示的曝光装置中的第1积分器的结构以及照明区域的图。

图5A是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构以及照明区域的图。

图5B是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构以及照明区域的图。

图6A是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

图6B是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

图6C是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

图7A是示出第2微透镜上的透镜边界与光的扩展之间的关系的图。

图7B是示出第2微透镜上的透镜边界与光的扩展之间的关系的图。

图7C是示出第2微透镜上的透镜边界与光的扩展之间的关系的图。

图8是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

图9是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

图10是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

图11是示出图1所示的曝光装置中的第2积分器的结构的图。

具体实施方式

图1是示出作为本发明的一个侧面的曝光装置100的结构的概略图。曝光装置100是使用来自光源部LU的光对基板15进行曝光来形成图案的光刻装置。在本实施方式中，曝光装置100采用步进扫描方式，一边对掩模12和基板15进行扫描一边将掩模12的图案转印到基板15。在图1中，定义将与扫描方向垂直的方向(与纸面垂直的方向)设为x轴、将扫描方向设为y轴、将与它们正交的方向设为z轴的坐标系。

曝光装置100具有聚光透镜5、多个光学积分器6、孔径光阑7、聚光透镜8、狭缝(遮光板)9、遮蔽叶片10以及聚光透镜11。进而，曝光装置100具有掩模载置台13、投影光学系统14以及基板载置台16。聚光透镜5、多个光学积分器6、孔径光阑7、聚光透镜8、狭缝9、遮蔽叶片10以及聚光透镜11构成用来自光源1的光对被照明面(掩模12、基板15)进行照明的照明装置IL。

光源部LU例如包括卤素灯等射出紫外线(光)的光源1、和聚光反射镜2。在本实施方式中，聚光反射镜2具有椭圆形形状。在聚光反射镜2(椭圆)的第1焦点3的附近配置光源1的发光部，来自光源1的光被聚光(成像)到聚光反射镜2的第2焦点4。

聚光透镜5使聚光于第2焦点4的光聚光到多个光学积分器6中的配置于来自光源1的光的光路的光学积分器(的入射面)。多个光学积分器6以可更换的方式配置于来自光源1的光的光路，在本实施方式中，具有能够根据每1镜头的曝光区域的变动选择配置于光路的光学积分器的构造(转台等)。另外，多个光学积分器6形成相互不同的面积的照明区域。在本实施方式中，多个光学积分器6包括第1积分器6a、和第2积分器6b。第1积分器6a以及第2积分器6b的详细结构以后叙述。

孔径光阑7配置于在来自光源1的光的光路中配置的第1积分器6a或者第2积分器6b的射出面的附近。通过第1积分器6a或者第2积分器6b的光经由孔径光阑7以及聚光透镜8，对规定入射到投影光学系统14的光的形状的狭缝9以及规定曝光区域的遮蔽叶片10进行科勒照明。狭缝9以及遮蔽叶片10配置于与被照明面(掩模12、基板15)在光学上共轭的面的附近即可，不限定于配置于图1所示的位置。通过狭缝9以及遮蔽叶片10的光经由聚光透镜11对被配置于投影光学系统14的物面的掩模12进行照明。

投影光学系统14是将掩模12的图案投影到配置于投影光学系统14的像面的基板15的光学系统，包括反射光学系统或者反射折射光学系统。掩模12和基板15被配置成关于投影光学系统14在光学上共轭的关系。

掩模载置台13是保持掩模12而移动的载置台，例如实现使掩模12在扫描方向上移动(扫描)的功能。基板载置台16是保持基板15而移动的载置台，例如实现使基板15在扫描方向上移动(扫描)的功能。一边通过掩模载置台13以及基板载置台16对掩模12和基板15进行扫描一边用狭缝状的光对基板15进行曝光。

在本实施方式中，投影光学系统14被具体化为反射光学系统，如图2A所示，形成圆弧状的曝光区域。这样的圆弧状的曝光区域是如图2B所示通过用具有圆弧状的开口的狭缝9切出利用光学积分器6以及聚光透镜8进行了科勒照明的矩形形状的光(照明区域)30而形成的。

在平板显示器装置的面板的制造中，根据在对1个基板进行曝光时制作的器件(例如画面尺寸)，变更曝光的镜头尺寸、即每1镜头的曝光区域。在这样的情况下，从照明效率的观点出发，优选与曝光区域的变更符合地也变更形成于被照明面的照明区域。

参照图3A至图3C，说明曝光装置100中的与每1镜头的曝光区域的变更对应的照明区域的变更。在此，关于作为曝光区域的非扫描方向的曝光宽度所需的长度，在长的情况设为长度Xa，在短的情况设为长度Xb。另外，照明装置IL形成沿着第1方向(x轴方向)具有长边方向、沿着与第1方向正交的第2方向(y轴方向)具有短边方向的矩形形状的照明区域。

在曝光区域的非扫描方向的长度是长度Xa的情况下，如图3A所示，形成在长边方向上具有长度(第1长度)Xa、在短边方向上具有长度(第2长度)Ya的照明区域(第1照明区域)30a。另外，在曝光区域的非扫描方向的长度是长度Xb的情况下，如图3B所示，形成在长边方向上具有长度(比第1长度短的第3长度)Xb、在短边方向上具有长度(比第2长度短的第4长度)Yb的照明区域(第2照明区域)30b。照明区域30a以及30b以覆盖狭缝9的圆弧状的开口、即圆弧状的曝光区域(圆弧区域)的方式形成。另外，需要以使照明区域30a和照明区域30b的左端对齐、即使照明区域30a的沿着x轴方向的边中的圆弧区域的凸侧的边SXa和照明区域30b的沿着x轴方向的边中的圆弧区域的凸侧的边SXb一致的方式形成。因此，如图3C所示，使照明区域30a的中心(中心位置)31a和照明区域30b的中心(中心位置)31b在扫描方向(y轴方向)上错开(移位)Δy＝(Ya-Yb)/2。

在本实施方式中，通过第1积分器6a以及第2积分器6b实现这样的照明区域的变更以及照明区域的中心位置的移位。例如，第1积分器6a被用于曝光区域的非扫描方向的长度长的情况(配置于来自光源1的光的光路)，形成在长边方向(x轴方向)上具有长度Xa、在短边方向(y轴方向)上具有长度Ya的照明区域30a(图3A)。另外，第2积分器6b被用于曝光区域的非扫描方向的长度短的情况(配置于来自光源1的光的光路)，形成在长边方向(x轴方向)上具有长度Xb、在短边方向(y轴方向)上具有长度Yb的照明区域30b(图3B)。

图4A以及图4B是示出第1积分器6a的结构以及由第1积分器6a形成的照明区域30a的图。图4A示出xz方向的剖面图，图4B示出yz方向的剖面图。第1积分器6a沿着光的行进方向依次包括在光的入射侧的面排列有多个微透镜的复眼透镜61a、和在光的射出侧的面排列有多个微透镜的复眼透镜62a。在图4A以及图4B中，作为复眼透镜61a以及62a，仅图示出多个微透镜中的一对微透镜，但实际上，在x轴方向以及y轴方向的各个方向上配置有大量的微透镜。复眼透镜61a以及62a具有成为与形成于被照明面的照明区域30a的形状大致相似的剖面形状。通过了构成第1积分器6a的复眼透镜61a以及62a的各微透镜的光形成2次光源。从第1积分器6a射出的光经由聚光透镜8对被照明面均匀地进行照明。

图5A以及图5B是示出第2积分器6b的结构以及由第2积分器6b形成的照明区域30b的图。图5A示出xz方向的剖面图，图5B示出yz方向的剖面图。第2积分器6b沿着光的行进方向依次包括在光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜61b、和在光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜62b。第2积分器6b形成的照明区域30b相对第1积分器6a形成的照明区域30a在x轴方向以及y轴方向上变小。因此，第1复眼透镜61b以及第2复眼透镜62b各自的微透镜的尺寸比复眼透镜61a以及62b各自的微透镜的尺寸小。在图5A以及图5B中，作为第1复眼透镜61b以及第2复眼透镜62b，仅图示出一对微透镜，但实际上，在x轴方向以及y轴方向的各个方向上配置有大量的微透镜。

如图5B所示，将第1复眼透镜61b的多个第1微透镜各自的光的入射侧的面在y轴方向上的中心(中心位置)设为61Cb。另外，将与多个第1微透镜的各个微透镜对应的、第2复眼透镜62b的多个第2微透镜各自的光的射出侧的面在y轴方向上的中心(中心位置)设为62Cb。在本实施方式中，以使各第1微透镜的中心61Cb和各第2微透镜的中心62Cb在y轴方向上相对地错开(移位)的方式，配置有第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b。由此，从第2复眼透镜62b射出的主光线的角度发生倾斜，所以能够使形成于被照明面的照明区域30b的中心位置移位。因此，能够使由第2积分器6b形成的照明区域30b在y轴方向上的中心31b相对由第1积分器6a形成的照明区域30a在y轴方向上的中心31a在y轴方向上移位Δy(图3C)。在此，在将聚光透镜8的焦距设为f、将从第2积分器6b射出的主光线的倾斜角设为θ时，能够用Δy＝f×sinθ表示照明区域30b的中心31b的移位量Δy。

这样，通过使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b在y轴方向上相对地移位，能够实现照明区域的中心位置的移位。因此，在曝光装置100(照明装置IL)中，在变更曝光区域的情况下，能够实现高效的照明。此外，在本实施方式中，设想在使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b在y轴方向上相对地移位的状态下将第2积分器6b例如嵌入到转台等。但是，也可以设置使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b在y轴方向上相对地移位的移位机构。

另外，在图5A以及图5B中，来自光源1的光针对第2积分器6b作为平行光入射。然而，实际上，如图6A至图6C所示，来自光源1的光针对第2积分器6b作为集聚光(即具有角度地)入射。光针对第2积分器6b的入射角度根据照明装置IL的设计条件而变化。在本实施方式中，以在第2积分器6b的射出面、即第2复眼透镜62b的第2微透镜的各个微透镜中光扩展至y轴方向的透镜边界的情况为例子进行说明。

图6A示出在第2积分器6b中未使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b在y轴方向上相对地移位、即未使照明区域30b的中心移位的情况。在图6A所示的情况下，第2复眼透镜62b的第2微透镜上的透镜边界与光60的扩展之间的关系如图7A所示。参照图7A，向第2积分器6b作为集聚光入射的光60扩展至第2复眼透镜62b的微透镜的y轴方向的透镜边界。

图6B示出在第2积分器6b中使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b在y轴方向上相对地移位、即使照明区域30b的中心移位的情况。在图6B所示的情况下，第2复眼透镜62b的第2微透镜上的透镜边界与光60的扩展之间的关系如图7B所示。参照图7B，使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b在y轴方向上相对地移位，所以在第2微透镜的透镜边界处入射到第2积分器6b的光60的一部分产生渐晕。在第2微透镜的透镜边界处产生了渐晕的光例如入射到邻接的第2微透镜(未图示)，成为不被用于针对被照明面的照明的不需要的光，所以形成光量损耗，导致吞吐量的降低。

因此，为了改善这样的光量损耗，如图6C所示，在光源1与第1复眼透镜61b之间、即在第1复眼透镜61b的入射侧配置偏转部件75。偏转部件75是楔状的光学部件，使向第2积分器6b作为集聚光入射的光60向y轴方向偏转。另外，偏转部件75构成为以相比于未配置偏转部件75的情况使从第1复眼透镜61b射出并入射到第2复眼透镜62b的光增加的方式使光60向y轴方向偏转。由此，如图7C所示，第2微透镜的透镜边界处的光60的渐晕被抑制，所以能够抑制光量损耗来维持期望的吞吐量。此外，在本实施方式中，设想将偏转部件75与第2积分器6b一起例如嵌入到转台等，但也可以设置针对来自光源1的光的光路插入、移除偏转部件75的机构。

另外，如图8所示，还能够通过使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b绕x轴倾斜(旋转)，使由第2积分器6b形成的照明区域的中心位置移位。参照图8，第1复眼透镜61b的第1微透镜以及第2复眼透镜62b的第2微透镜分别在各透镜的外形中心上具有曲率中心、并且它们不相对地移位而配置于同轴上。另外，第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b被配置成绕x轴具有倾斜。换言之，以使连结第1微透镜的中心61Cb和第2微透镜的中心62Cb的直线L1、与光轴OA交叉的方式，配置第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b。在此，光轴OA被设定成和与x轴方向(第1方向)以及y轴方向(第2方向)正交的z轴方向(第3方向)平行。由此，从第2积分器6b射出的主光线的角度发生倾斜，所以能够使形成于被照明面的照明区域30b的中心位置移位。另外，如上所述，通过在第1复眼透镜61b的入射侧配置偏转部件75，能够抑制第2微透镜的透镜边界处的光60的渐晕。

此外，在本实施方式中，设想在使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b绕x轴倾斜的状态下将第2积分器6b例如嵌入到转台等。但是，也可以设置使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b绕x轴旋转的旋转机构。

另外，还能够将图5A以及图5B、图8所示的第2积分器6b置换为图9所示的第2积分器90。第2积分器90沿着光的行进方向依次包括在光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜91、和在光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜92。如图9所示，将第1复眼透镜91的多个第1微透镜各自的光的入射侧的面在y轴方向上的中心(中心位置)设为91C。另外，将与多个第1微透镜的各个微透镜对应的、第2复眼透镜92的多个第2微透镜各自的光的射出侧的面在y轴方向上的中心(中心位置)设为92C。在本实施方式中，以使各第1微透镜的中心91C和各第2微透镜的中心92C存在于沿着z轴方向的相同的轴上的方式配置第1复眼透镜91和第2复眼透镜92。关于第1复眼透镜91的多个第1微透镜的各个微透镜，光的入射侧的面由曲面构成，上述曲面的顶点93和中心91C一致。另外，关于第2复眼透镜92的多个第2微透镜的各个微透镜，光的射出侧的面由曲面构成，使上述曲面的顶点94位于从中心92C在y轴方向上偏移的位置。换言之，使第2微透镜的曲面的顶点94在y轴方向上移位(偏心)。

在图9中，作为入射到第2积分器90的光，用实线表示平行光，用虚线表示集聚光。第2微透镜的曲面的顶点94在y轴方向上移位，所以入射到第2积分器90的平行光从第2复眼透镜92倾斜地射出。另外，第1微透镜的中心91C和第2微透镜的中心92C配置于同轴上，所以入射到第2积分器90的集聚光在第2复眼透镜92中不发生渐晕。因此，第2积分器90不会产生光量损耗，而能够实现形成于被照明面的照明区域的中心位置的移位。

另外，在图9中，将从第2复眼透镜92射出的光的倾斜角度设为θ，将第2复眼透镜92的第2微透镜的曲面的顶点94相对第1复眼透镜91的第1微透镜的曲面的顶点93向y轴方向的移位量设为dy。另外，如图10所示，将第2复眼透镜92的第2微透镜的射出面的曲率半径设为R，将其折射率设为n。在该情况下，移位量dy与倾斜角度θ的关系用以下的式子表示。

n×sinθ’＝sin(θ+θ’)

dy＝R×sinθ’

此外，在图8中，使第1复眼透镜61b和第2复眼透镜62b绕x轴倾斜的角度θ与从第2积分器6b射出的光的倾斜角度一致。

另外，还能够将图5A以及图5B、图8所示的第2积分器6b置换为图11所示的第2积分器110。第2积分器110沿着光的行进方向依次包括在光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜111、和在光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜112。如图11所示，将第1复眼透镜111的多个第1微透镜各自的光的入射侧的面在y轴方向上的中心(中心位置)设为111C。另外，将与多个第1微透镜的各个微透镜对应的、第2复眼透镜112的多个第2微透镜各自的光的射出侧的面在y轴方向上的中心(中心位置)设为112C。在本实施方式中，以使各第1微透镜的中心111C和各第2微透镜的中心112C存在于沿着z轴方向的相同的轴上的方式配置第1复眼透镜111和第2复眼透镜112。另外，第1复眼透镜111的多个第1微透镜的各自的光的入射侧的面由曲面构成，上述曲面的顶点和中心111C一致。同样地，第2复眼透镜112的多个第2微透镜各自的光的射出侧的面由曲面构成，上述曲面的顶点和中心112C一致。

第1复眼透镜111的第2复眼透镜112侧的面114由平面(第1平面)构成，上述平面与和x轴方向以及y轴方向正交的z轴方向正交。另外，第2复眼透镜112的第1复眼透镜111侧的面115由平面(第2平面)构成，上述平面相对面114倾斜。换言之，第2复眼透镜112的面115成为绕x轴倾斜的楔状。

在图11中，作为入射到第2积分器110的光，用实线表示平行光，用虚线表示集聚光。第2复眼透镜112的面115是绕x轴倾斜的楔状，所以入射到第2积分器110的平行光从第2复眼透镜112倾斜地射出。另外，第1微透镜的中心111C和第2微透镜的中心112C配置于同轴上，所以入射到第2积分器110的集聚光在第2复眼透镜112中不发生渐晕。因此，第2积分器110不会产生光量损耗，而能够实现形成于被照明面的照明区域的中心位置的移位。

这样，根据本实施方式的曝光装置100，即使在针对圆弧状的曝光区域其曝光区域发生变化的情况下，也能够抑制照明光效率的降低，以高的吞吐量对基板15进行曝光。

本发明的实施方式中的物品的制造方法例如适合于制造器件(半导体元件、磁存储介质、液晶显示元件等)、彩色滤光片等物品。上述制造方法包括使用曝光装置100对涂敷有感光剂的基板进行曝光的工序、和使曝光的基板显影的工序。另外，上述制造方法能够包括其他公知的工序(氧化、成膜、蒸镀、掺杂、平坦化、蚀刻、抗蚀剂剥离、切割、键合、封装等)。本实施方式中的物品的制造方法相比于以往在物品的性能、质量、生产率以及生产成本的至少1个方面上更有利。

本发明不限于上述实施方式，能够不脱离本发明的精神以及范围而进行各种变更以及变形。因此，为了公开本发明的范围，添附以下的权利要求。

本申请以在2016年9月13日提出的日本专利申请日本特愿2016-179023为基础而主张优先权，在此援用其记载的全部内容。

Claims (9)

1.一种照明装置，用来自光源的光对被照明面进行照明，其特征在于，具有：

光学系统，在与所述被照明面在光学上共轭的面形成沿着第1方向具有长边方向、沿着与所述第1方向正交的第2方向具有短边方向的矩形形状的照明区域；以及

遮光板，配置于与所述被照明面在光学上共轭的面，设置有圆弧状的开口，

所述光学系统包括以可更换的方式配置于所述光的光路、形成覆盖所述圆弧状的开口的所述照明区域的第1积分器以及第2积分器，

所述第1积分器形成第1照明区域，该第1照明区域在所述第1方向上具有第1长度，在所述第2方向上具有第2长度，

所述第2积分器以使所述第1照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边、和第2照明区域的沿着所述第1方向的边中的所述圆弧状的开口的凸侧的边一致的方式形成所述第2照明区域，该第2照明区域在所述第1方向上具有比所述第1长度短的第3长度，在所述第2方向上具有比所述第2长度短的第4长度。

2.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置、和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置在所述第2方向上相对地偏移的方式，配置有所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜。

3.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使连结所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置的直线、和与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向交叉的方式，配置所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜。

4.根据权利要求2所述的照明装置，其特征在于，

所述光作为集聚光入射到所述第1复眼透镜，

所述光学系统还具有在所述光路配置所述第2积分器的情况下配置于所述光源与所述第1复眼透镜之间的偏转部件，

所述偏转部件使所述光向所述第2方向偏转。

5.根据权利要求4所述的照明装置，其特征在于，

所述偏转部件以与在所述光路中未配置所述偏转部件的情况相比使从所述第1复眼透镜射出并入射到所述第2复眼透镜的光增加的方式，使所述光向所述第2方向偏转。

6.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置存在于沿着与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向的相同的轴上的方式，配置所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜，

所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面由曲面构成，在从所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置在所述第2方向上偏移后的位置具有所述曲面的顶点。

7.根据权利要求1所述的照明装置，其特征在于，

所述第2积分器沿着所述光的行进方向依次包括在所述光的入射侧的面排列有多个第1微透镜的第1复眼透镜、和在所述光的射出侧的面排列有多个第2微透镜的第2复眼透镜，

以使所述多个第1微透镜各自的所述光的入射侧的面在所述第2方向上的中心位置和与所述多个第1微透镜的各个微透镜对应的所述多个第2微透镜各自的所述光的射出侧的面在所述第2方向上的中心位置存在于沿着与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向的相同的轴上的方式，配置所述第1复眼透镜和所述第2复眼透镜，

所述第1复眼透镜的所述第2复眼透镜侧的面由第1平面构成，

所述第2复眼透镜的所述第1复眼透镜侧的面由第2平面构成，

所述第1平面和与所述第1方向以及所述第2方向正交的第3方向正交，

所述第2平面相对所述第1平面倾斜。

8.一种曝光装置，对基板进行曝光，其特征在于，具有：

权利要求1所述的照明装置，对掩模进行照明；以及

投影光学系统，将由所述照明装置照明的所述掩模的图案投影到所述基板。

9.一种物品的制造方法，其特征在于，具有：

使用权利要求8所述的曝光装置对基板进行曝光的工序；以及

使曝光的所述基板显影的工序，

由显影后的所述基板制造物品。