CN109926792B - 一种激光切割载台 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及OLED和LCD的激光切割生产领域,具体涉及一种激光切割载台,所述激光切割载台包括载物面板、旋转机构和底座,所述旋转机构固定设置在底座上,所述载物面板放置在旋转机构上,所述载物面板包括多个可调节平面度的吸附组件以及用于支撑吸附组件的支撑板,多个吸附组件拼接放置在支撑板上;与现有技术相比,本发明通过设计一种由多个平面度可调的吸附组件拼接组成的大幅面切割载台,满足了其平面度的精度要求,并且将吸附组件的拼接间隙作为切割道,避免了切割时激光能量经载台反射灼伤产品下表面,从而提高了切割质量。
Description
技术领域
本发明涉及OLED和LCD的激光切割生产领域,具体涉及一种激光切割载台。
背景技术
在柔性面板OLED或LCD制程的激光切割阶段,对承载和吸附大幅面柔性薄膜或玻璃(以下统称为面板)的切割载台有着很高的精度要求,为了保证产品的切割精度,切割载台的平面度是一项十分重要的影响因素,如果切割载台平面度误差超过激光焦点深度范围,则会导致产品切不断、热影响区扩大、切割精度达不到要求等等问题。
并且,激光能量进行切割时,切割线下方需要做漏空处理,防止激光能量通过切割载台反射至产品下表面,造成产品下表面被灼伤;因此对于切割载台来说,切割道也是影响切割质量的重要因素。
在现有技术中,大幅面(主要对应1850mm*1500mm产品)切割载台为整板载台,整板加工技术难度大,并且其平面度达不到所需的精度要求,再加上需要重新加工切割道,使得大幅面切割载台的加工成本非常高。
因此,设计一种平面度可达所需精度要求且易加工的激光切割载台,一直是本领域重点研究的问题。
发明内容
本发明要解决的技术问题在于,针对现有技术的上述缺陷,提供一种激光切割载台,克服了平面度达不到所需精度要求、加工技术难度大且加工成本高的缺陷。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:提供一种激光切割载台,所述激光切割载台包括载物面板、旋转机构和底座,所述旋转机构固定设置在底座上,所述载物面板放置在旋转机构上,其优选方案在于:所述载物面板包括多个可调节平面度的吸附组件以及用于支撑吸附组件的支撑板,多个吸附组件拼接放置在支撑板上。
其中,较佳方案为相邻所述吸附组件之间设有用于防止激光被切割载台反射后灼伤产品下表面的切割道,激光切割线与切割道相对应。
其中,较佳方案为所述吸附组件包括吸附板和密封板,所述吸附板上设置有密封槽,所述密封板密封设置在密封槽的槽口处并形成真空室。
其中,较佳方案为所述密封板的上表面靠密封槽上内壁设置,且其底面也处于密封槽内。
其中,较佳方案为所述吸附组件的底面还设置有多组用于调节吸附板平面度的调节机构,所述调节机构包括锁紧螺丝和调整螺丝。
其中,较佳方案为所述调整螺丝上设置有用于防止反复调平过程中螺纹滑牙的铜套。
其中,较佳方案为所述锁紧螺丝上设置有用于提高调平效率及精度的调平弹簧。
其中,较佳方案为所述激光切割载台还包括多个设置在旋转机构上用于调整支撑板水平度的粗调组件,所述粗调组件包括上法兰、调节螺杆、锁紧螺母以及下法兰,通过旋转调节螺杆和下法兰调节上法兰的高度,从而粗调支撑板的水平度。
其中,较佳方案为所述上法兰和调节螺杆之间设置有用于防止粗调组件机械卡死的钢球,所述钢球可使上法兰适应一定角度的偏移。
其中,较佳方案为所述吸附板上设置有至少一个吸附孔。
本发明的有益效果在于,与现有技术相比,本发明通过设计一种由多个平面度可调的吸附组件拼接组成的大幅面切割载台,满足了其平面度的精度要求,加工简单且成本较低,进一步地,将吸附组件的拼接间隙作为切割道,避免了切割时激光能量经载台反射灼伤产品下表面,从而提高了切割质量。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明,附图中:
图1是本发明中激光切割载台的结构示意图;
图2是本发明中载物面板的结构示意图一;
图3是本发明中载物面板的结构示意图二;
图4是本发明中吸附组件的结构示意图一;
图5是本发明中吸附组件的结构示意图二;
图6是本发明中调节机构的结构示意图一;
图7是本发明中调节机构的结构示意图二;
图8是本发明中旋转机构和底座的连接示意图;
图9是本发明中旋转机构的结构示意图;
图10是本发明中粗调机构的结构示意图一;
图11是本发明中粗调机构的结构示意图二;
图12是本发明中粗调机构的结构示意图三。
具体实施方式
现结合附图,对本发明的较佳实施例作详细说明。
如图1至图3所示,本发明提供激光切割载台的最佳实施例。
一种激光切割载台,并参考图1,所述激光切割载台包括载物面板100、旋转机构200和底座300,所述旋转机构200固定设置在底座100上,所述载物面板100放置在旋转机构200上,所述旋转机构200可带动载物面板100旋转。
进一步地,并参考图2,所述载物面板100包括多个可调节平面度的吸附组件110以及用于支撑吸附组件110的支撑板120,多个吸附组件110进行拼接后水平放置在支撑板120上,其中,可通过调节每个吸附组件110的平面度,从而调节整个载物面板100的平面度。
因为整板加工技术难度大,并且其平面度达不到所需的精度要求,采用由多个吸附小组件拼接组成载物面板,可以单独调节每个吸附小组件的平面度来对整个载物面板进行平面度调节,可使得载物面板的平整度在0-50um之间,来满足所需精度,使得切割载台的加工难度减小并且有效地降低了切割载台的生产成本。
更进一步地,并参考图3,相邻所述吸附组件110之间设有用于防止激光被切割载台反射后灼伤产品下表面的切割道111,所述激光切割线与切割道111相对应。
激光能量进行切割时,切割线下方需要做漏空处理,防止激光能量通过切割载台反射至产品下表面,造成产品下表面被灼伤;因此对于切割载台来说,切割道也是影响切割质量的重要因素,而本发明利用吸附组件110之间的拼接间隙作为切割道,无需在载物面板上另外设置切割道,减少其加工成本。
如图4和图5所示,本发明提供吸附组件的最佳实施例。
参考图4,以其中一个吸附组件110为例,作详细说明,所述吸附组件110包括吸附板112和密封板113,所述吸附板112上设置有密封槽,所述密封板113通过密封槽与吸附板112固定连接后形成真空室114。
其中,所述吸附板112上设置有多个吸附孔;所述吸附孔的孔径以及布局间距可依据实际需求有不同变化。
其中,吸附板112和密封板113之间的密封方式可采用密封圈、密封胶等多种方式。
方案一
所述密封板113的上表面靠密封槽上内壁设置,且所述密封板113的下表面也处于密封槽内,这样在安装时,保证只有吸附板112下表面与支撑板120接触,因此只用对吸附板112进行精加工,则吸附组件110的精度完全由吸附板112保证,不会受密封板113精度影响。
其中,并参考图5,所述密封板113与吸附板112的高度差A为0.5mm。
进一步地,并参考图6,所述吸附组件110上还设置有多组用于调节吸附板112平面度的调节机构,所述调节机构设置在吸附板110的四周端边底部处,所述调节机构包括锁紧螺丝115和调整螺丝116。
更进一步地,并参考图7,所述调整螺丝115上设置有用于防止反复调平过程中螺纹滑牙的铜套115.1;所述锁紧螺丝116上设置有用于提高调平效率及精度的调平弹簧116.1。
其中,吸板材质为铝板,所以调整螺丝115处要有加强铜套115.1,增加螺纹强度,防止反复调平时螺纹滑牙;锁紧螺丝116处要配备调平弹簧116.1,通过弹簧的反向弹力配合调整螺丝调平,大大降低调平难度,提高调平效率和精度。
其中,调整螺丝115和锁紧螺丝116的数量可依据吸附板112的尺寸做合理变更。
方案二
所述密封板113设置在密封槽中,其下表面与密封槽槽口平齐或者凸出其密封槽槽口,所述吸附组件110上还设置有多组用于调节吸附板112平面度的调节机构,所述调节机构与密封板113连接,用于调节吸附组件110的平面度精度。
如图8和图9所示,本发明提供旋转机构和底座的最佳实施例。
参考图8,所述激光切割载台还包括旋转机构200、多个设置在旋转机构200上的粗调组件400以及底座300,所述旋转机构200固定设置在底座300上,所述粗调组件400固定在旋转机构200上,所述载物面板100与粗调机构400活动连接。
其中,所述底板300用于承重切割载台,所述旋转机构200可将载物面板100进行不同角度的旋转,从而适应不同的切割要求。
进一步地,并参考图9,所述旋转机构200包括驱动210和旋转面板220。
如图10至图12所示,本发明提供粗调组件的最佳实施例。
参考图10和图11,所述激光切割载台还包括多个设置在旋转机构200上用于调整支撑板水平度的粗调组件400,所述粗调组件400包括上法兰410、调节螺杆420、锁紧螺母430以及下法兰440,通过旋转调节螺杆420和下法兰440调节上法兰410的高度,从而粗调支撑板120的水平度。
进一步地,并参考图12,所述粗调组件400还包括设置在上法兰410和调节螺杆420之间用于防止粗调组件机械卡死的钢球450;内部钢球可以保证上法兰410适应一定角度的偏转,多个联合使用时可以保证不会机械卡死。
其中,所述粗调机构400还包括压盖460,通过调节螺杆420和下法兰440的螺旋运动,可以调节上法兰410的高低,从而粗调载台支撑板120的水平度;并且内部钢球450可以保证上法兰410适应一定角度的偏转,多个联合使用时可以保证不会机械卡死;粗调机构400主要是利用螺旋运动变直线运动的原理。
其中,如果所述激光切割载台的整体尺寸小,粗调机构400可取消,直接用等高块代替。
以上所述者,仅为本发明最佳实施例而已,并非用于限制本发明的范围,凡依本发明申请专利范围所作的等效变化或修饰,皆为本发明所涵盖。
Claims (9)
1.一种激光切割载台,所述激光切割载台包括载物面板、旋转机构和底座,所述旋转机构固定设置在底座上,所述载物面板放置在旋转机构上,其特征在于:所述载物面板包括多个可调节平面度的吸附组件以及用于支撑吸附组件的支撑板,多个吸附组件拼接放置在所述支撑板上;其中,相邻所述吸附组件之间设有用于防止激光被切割载台反射后灼伤产品下表面的切割道,激光切割线与切割道相对应。
2.根据权利要求1所述的激光切割载台,其特征在于:所述吸附组件包括吸附板和密封板,所述吸附板上设置有密封槽,所述密封板密封设置在密封槽的槽口处并形成真空室。
3.根据权利要求2所述的激光切割载台,其特征在于:所述密封板的上表面靠密封槽上内壁设置,且其底面也处于密封槽内。
4.根据权利要求2或3所述的激光切割载台,其特征在于:所述吸附组件的底面还设置有多组用于调节吸附板平面度的调节机构,所述调节机构包括锁紧螺丝和调整螺丝。
5.根据权利要求4所述的激光切割载台,其特征在于:所述调整螺丝上设置有用于防止反复调平过程中螺纹滑牙的铜套。
6.根据权利要求4所述的激光切割载台,其特征在于:所述锁紧螺丝上设置有用于提高调平效率及精度的调平弹簧。
7.根据权利要求1所述的激光切割载台,其特征在于:所述激光切割载台还包括多个设置在旋转机构上用于调整支撑板水平度的粗调组件,所述粗调组件包括上法兰、调节螺杆、锁紧螺母以及下法兰,通过旋转调节螺杆和下法兰调节上法兰的高度,从而粗调支撑板的水平度。
8.根据权利要求7所述的激光切割载台,其特征在于:所述上法兰和调节螺杆之间设置有用于防止粗调组件机械卡死的钢球,所述钢球可使上法兰适应一定角度的偏移。
9.根据权利要求2所述的激光切割载台,其特征在于:所述吸附板上设置有至少一个吸附孔。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910340238.1A CN109926792B (zh) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | 一种激光切割载台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910340238.1A CN109926792B (zh) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | 一种激光切割载台 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109926792A CN109926792A (zh) | 2019-06-25 |
CN109926792B true CN109926792B (zh) | 2021-04-06 |
Family
ID=66991012
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201910340238.1A Active CN109926792B (zh) | 2019-04-25 | 2019-04-25 | 一种激光切割载台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109926792B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111308747B (zh) * | 2020-03-17 | 2023-09-22 | 北京七星华创集成电路装备有限公司 | 一种显示面板承载工作台及液晶屏生产设备 |
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CN207464492U (zh) * | 2017-10-18 | 2018-06-08 | 青岛理工大学 | 一种适用于多种尺寸激光导光板加工的自动调节吸附平台 |
CN108818450A (zh) * | 2018-07-16 | 2018-11-16 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 切割设备及其旋转工作台 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TWI277836B (en) * | 2002-10-17 | 2007-04-01 | Adv Lcd Tech Dev Ct Co Ltd | Method and apparatus for forming pattern on thin-substrate or the like |
-
2019
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Patent Citations (6)
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CN109926792A (zh) | 2019-06-25 |
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PB01 | Publication | ||
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