CN109894422A - 一种多线切割薄片的清洗烘干装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种多线切割薄片的清洗烘干装置，包括清洗设备及烘干设备；所述清洗设备包括清洗槽及脱胶槽；所述清洗槽包括高压喷头及固定架；其中所述高压喷头的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；所述固定架用于固定所述未脱胶切割薄片；所述脱胶槽用于对经过所述清洗槽清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；所述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干。本申请使凝固的胶起到固定器的作用，免去了现有技术中需要将所述薄片一个个插入花篮中，并由所述花篮进行固定的步骤，同时也免去了装配现有技术中的花篮，大大降低了设备成本；还减少了所需的清洗槽数量，降低了生产成本。本申请还提供了一种具有上述有益效果的多线切割薄片的清洗烘干方法。
Description
技术领域
本申请涉及半导体加工领域，特别是涉及一种多线切割薄片的清洗烘干装置及方法。
背景技术
随着时代的发展，半导体在计算机领域被越来越广泛地应用，如今，半导体(尤其是硅)片已经成了许多高新技术领域必不可少的材料，硅锭的生产及后续的切割、清理、烘干技术的好坏与速度直接影响着产业的发展。
现有的硅片切割清洗工艺流程是硅棒(或其他硬脆材料)粘在树脂(或其他材料)板上，树脂板粘在金属托盘上，整体放置在多线切割机里面进行切片。切片完成后，硅片粘在树脂板上一起进入预清洗和脱胶环节，预清洗先清除粘在硅片表面的部分脏污，然后通过高温方式进行脱胶，脱胶后硅片和玻璃分离，硅片将叠加在一起。硅片通过湿法(有水)插片机进行分片，导入清洗花篮中，然后将装有硅片的花篮放进槽式清洗机器进行清洗烘干，再通过干法(无水)导片机导入分选设备进行检测。如上所述，现有技术中先将切割后的硅片进行脱胶，再将脱胶后的硅片放置于花篮中进行后续步骤，期间需要用到很多花篮周转，一条日产10万片的产线需要100个花篮，投资成本较高。花篮用久了还需要维护或更换，此外，当更改硅片尺寸的时候，还需要更换花篮。除花篮外，现有技术需要用到预清洗脱胶一体机，湿法(有水)插片机，清洗烘干一体机，干法(无水)导片机，设备投资高，占地面积大，运行能耗大。因此，如何从减少工艺所需的设备数量和种类，降低生产成本，是本领域技术人员亟待解决的问题。
申请内容
本申请的目的是提供一种多线切割薄片的清洗烘干装置及方法，以解决现有技术中所需的设备数量和种类过多导致成本过高的问题。
为解决上述技术问题，本申请提供一种多线切割薄片的清洗烘干装置，包括清洗设备及烘干设备；
所述清洗设备包括清洗槽及脱胶槽；
所述清洗槽包括高压喷头及固定架；其中所述高压喷头的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；所述固定架用于固定所述未脱胶切割薄片；
所述脱胶槽用于对经过所述清洗槽清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
所述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述烘干设备包括分片器及烘干器；
所述分片器用于对脱胶后的切割薄片进行分片；
所述烘干器用于烘干分片后的切割薄片。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述烘干设备还包括水刷；
所述水刷设置在所述烘干器入口处，用于在薄片进入所述烘干器时刷去所述薄片上的积水。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述烘干器为链式烘干器。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述烘干设备通过传送带运送所述切割薄片。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述高压喷头的压力的范围为2巴至10巴，包括端点值。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述高压喷头喷出的液体的温度范围为20摄氏度至50摄氏度，包括端点值。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述清洗设备还包括漂洗槽，所述漂洗槽用于漂洗脱胶后的切割薄片。
可选地，在所述多线切割薄片的清洗装置中，所述多线切割薄片的清洗烘干装置还包括检测分选设备；
所述检测分选设备用于对经过烘干的切割薄片进行分选。
本申请还提供了一种多线切割薄片的清洗烘干方法，包括：
对未脱胶的切割薄片进行清洗；
对经过清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
对经过脱胶的切割薄片进行烘干，得到烘干后的切割薄片。
本申请所提供的多线切割薄片的清洗烘干装置，包括清洗设备及烘干设备；所述清洗设备包括清洗槽及脱胶槽；所述清洗槽包括高压喷头及固定架；其中所述高压喷头的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；所述固定架用于固定所述未脱胶切割薄片；所述脱胶槽用于对经过所述清洗槽清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；所述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干。本申请中将切割后的薄片不经脱胶直接清洗，使凝固的胶起到固定器的作用，免去了现有技术中需要将所述薄片一个个插入花篮中，并由所述花篮进行固定的步骤，同时也就免去了装配现有技术中的花篮，大大降低了设备成本；此外，通过高压喷头对所述薄片进行清洗，相比与现有技术中的超声波清洗等清洗方式，大大提高了清洗液的动能，提升了清洗效果，缩短了清洗时间，减少了所需的清洗槽数量，缩小了设备占地面积，减少了设备能耗，方便了设备维护，总体上降低了生产成本。本申请还提供了一种具有上述有益效果的多线切割薄片的清洗烘干方法。
附图说明
为了更清楚的说明本申请实施例或现有技术的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本申请提供的多线切割薄片的清洗烘干装置的一种具体实施方式的清洗设备的结构示意图；
图2为本申请提供的多线切割薄片的清洗烘干装置的一种具体实施方式的清洗设备的侧视图；
图3为本申请提供的多线切割薄片的清洗烘干装置的另一种具体实施方式的烘干设备的结构示意图；
图4为本申请提供的多线切割薄片的清洗烘干装置的又一种具体实施方式的烘干设备的结构示意图；
图5为本申请提供的多线切割薄片的清洗烘干方法的一种具体实施方式的流程示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面结合附图和具体实施方式对本申请作进一步的详细说明。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的核心是提供一种多线切割薄片的清洗烘干装置，其一种具体实施方式的清洗设备的结构示意图如图1所示，称其为具体实施方式一，需要注意的是，图中的省略号表示可能存在多个结构相同的清洗槽100，在图中未一一画出，包括清洗设备及烘干设备；
上述清洗设备包括清洗槽100及脱胶槽200；
上述清洗槽100包括高压喷头101及固定架102；其中上述高压喷头101的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；上述固定架102用于固定上述未脱胶切割薄片；
上述脱胶槽200用于对经过上述清洗槽100清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
上述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干。
图1中的清洗槽100为所述清洗槽100的截面图，所述未脱胶切割薄片位于两侧的高压喷头101中间，分为上下两部分，其中，位于上方的网格状部分代表黏贴所述切割薄片的金属托盘，位于下方的深灰纯色部分代表所述切割薄片；图2为所述清洗槽100的侧视图。
特别的，上述清洗设备还包括漂洗槽，上述漂洗槽用于漂洗脱胶后的切割薄片，以便去除脱胶后的切割薄片表面的杂质，提升制得的切割薄片的质量。
切割后的上述切割薄片在槽与槽之间可通过机械臂400等方式移动。
本申请中的清洗槽100与脱胶槽200可以是圆形槽，也可以是方形槽，只要能将所述未脱胶的切割薄片置入即可；同样的，本申请中的高压喷头101可以是圆形喷头，可以是方形喷头，还可以是三角形喷头，不论如何，只要保证所述高压喷头101的喷水方向朝向所述切割薄片之间的间隙，使高压水流能冲入所述间隙中进行清洗即可。
同样的，对于本申请中提到的固定架102，可以为图1所示的从下方固定所述未脱胶切割薄片的结构，也可以为钳状固定架102，从上部对所述未脱胶切割薄片进行固定，不论如何，只需要保证所述未脱胶切割薄片不会在高压水流冲洗下移动，同时不会阻挡水流进入所述切割薄片之间的间隙即可。
此外，上述烘干设备通过传送带运送上述切割薄片；传送带运送速度快，运送平稳，适合输送厚度较薄，易破碎的切割薄片。
除上述特征外，上述高压喷头101的压力的范围为2巴至10巴，包括端点值，如2.0巴、5.5巴或10.0巴中任一个；上述高压喷头101喷出的液体的温度范围为20摄氏度至50摄氏度，包括端点值，如20.0摄氏度、32.5摄氏度或50.0摄氏度中任一个。
需要特别注意的是，上述多线切割薄片的清洗烘干装置还包括检测分选设备304；
上述检测分选设备304用于对经过烘干的切割薄片进行分选；进一步节省人工，降低成本，提高效率。
本申请所提供的多线切割薄片的清洗烘干装置，包括清洗设备及烘干设备；上述清洗设备包括清洗槽100及脱胶槽200；上述清洗槽100包括高压喷头101及固定架102；其中上述高压喷头101的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；上述固定架102用于固定上述未脱胶切割薄片；上述脱胶槽200用于对经过上述清洗槽100清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；上述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干。本申请中将切割后的薄片不经脱胶直接清洗，使凝固的胶起到固定器的作用，免去了现有技术中需要将所述薄片一个个插入花篮中，并由所述花篮进行固定的步骤，同时也就免去了装配现有技术中的花篮，大大降低了设备成本；此外，通过高压喷头101对上述薄片进行清洗，相比与现有技术中的超声波清洗等清洗方式，大大提高了清洗液的动能，提升了清洗效果，缩短了清洗时间，减少了所需的清洗槽100数量，缩小了设备占地面积，减少了设备能耗，方便了设备维护，总体上降低了生产成本。
在具体实施方式一的基础上，进一步对上述烘干设备做进一步限定，得到具体实施方式二，其烘干设备的结构示意图如图3所示，包括清洗设备及烘干设备；
上述清洗设备包括清洗槽100及脱胶槽200；
上述清洗槽100包括高压喷头101及固定架102；其中上述高压喷头101的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；上述固定架102用于固定上述未脱胶切割薄片；
上述脱胶槽200用于对经过上述清洗槽100清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
上述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干；
上述烘干设备包括分片器301及烘干器302；
上述分片器301用于对脱胶后的切割薄片进行分片；
上述烘干器302用于烘干分片后的切割薄片；
上述烘干设备还包括水刷303；
上述水刷303设置在上述烘干器302入口处，用于在薄片进入上述烘干器302时刷去上述薄片上的积水。
本具体实施方式与上述具体实施方式的不同之处在于，本具体实施方式进一步限定了上述烘干设备的结构，其余结构均与上述具体实施方式相同，在此不再展开赘述。
需要注意的是，本具体实施方式同时引入了两个技术特征，即上述烘干设备包括分片器301及烘干器302这一技术特征及在上述烘干器302入口设置水刷303这一技术特征。但在实际情况中，上述两个技术特征可以分开设置，并非一定要同时出现。
本具体实施方式首先表明了上述烘干设备包括分片器301，且上述切割薄片经过脱胶后要先通过上述分片器301进行分片，分片后再一片片送入上述烘干器302中进行烘干，此举可使每一片上述切割薄片的正反两面完全暴露在上述烘干器302的高温干燥环境中，大大提升烘干速度，进而提升上述切割薄片的生产效率。
其次，本具体实施方式进一步在上述烘干器302的入口处设置了水刷303，经过分片的切割薄片进入上述烘干器302前会被上述水刷303刷去表面积水，再进行烘干，上述水刷303会刷去上述切割薄片上的大部分积水，使上述烘干器302需要烘干的水分大大减少，进一步缩短烘干时间，提升生产效率；所述水刷303可以为毛刷，一端固定，另一端可与所述切割薄片的表面接触，可将表面水扫下；也可以为海绵刷，将表面水吸收；还可以为橡胶刷等结构，不论如何，只要满足可将所述切割薄片的表面水扫下，所述水刷303的形状材质不做限定。
在具体实施方式二的基础上，进一步对上述烘干器302做限定，得到具体实施方式三，其烘干设备的结构示意图如图4所示，包括清洗设备及烘干设备；
上述清洗设备包括清洗槽100及脱胶槽200；
上述清洗槽100包括高压喷头101及固定架102；其中上述高压喷头101的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；上述固定架102用于固定上述未脱胶切割薄片；
上述脱胶槽200用于对经过上述清洗槽100清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
上述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干；
上述烘干设备包括分片器301及烘干器302；
上述分片器301用于对脱胶后的切割薄片进行分片；
上述烘干器302用于烘干分片后的切割薄片；
上述烘干设备还包括水刷303；
上述水刷303设置在上述烘干器302入口处，用于在薄片进入上述烘干器302时刷去上述薄片上的积水；
上述烘干器302为链式烘干器302。
本具体实施方式与上述具体实施方式的不同之处在于，本具体实施方式具体限定了上述烘干器302的种类，其余结构均与上述具体实施方式相同，在此不再展开赘述。
本具体实施方式中将上述烘干器302限定为链式烘干器302，上述链式烘干器302对比现有技术中的槽式烘干器302，上述切割薄片在上述链式烘干器302中与高温干燥空气的接触面更大，且由于上述切割薄片在上述链式烘干器302中是不断运动的，因此接触的空气更多，所需烘干时间更短，具体来说烘干时间可缩短300秒至900秒，大大提升生产效率。
本申请还提供了一种多线切割薄片的清洗烘干方法，其一种具体实施方式的流程示意图如图5所示，称其为具体实施方式四，包括：
步骤S101：对未脱胶的切割薄片进行清洗。
步骤S102：对经过清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶。
步骤S103：对经过脱胶的切割薄片进行烘干，得到烘干后的切割薄片。
本实施例的多线切割薄片的清洗烘干方法可通过前述的多线切割薄片的清洗烘干装置实现，因此多线切割薄片的清洗烘干方法中的具体实施方式可见前文中的多线切割薄片的清洗烘干装置的具体实施方式部分，在此不再展开赘述。
本申请所提供的多线切割薄片的清洗烘干方法，对未脱胶的切割薄片进行清洗；对经过清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；对经过脱胶的切割薄片进行烘干，得到烘干后的切割薄片。本申请中将切割后的薄片不经脱胶直接清洗，使凝固的胶起到固定器的作用，免去了现有技术中需要将所述薄片一个个插入花篮中，并由所述花篮进行固定的步骤，同时也就免去了装配现有技术中的花篮，大大降低了设备成本；此外，通过高压喷头101对上述薄片进行清洗，相比与现有技术中的超声波清洗等清洗方式，大大提高了清洗液的动能，提升了清洗效果，缩短了清洗时间，减少了所需的清洗槽100数量，缩小了设备占地面积，减少了设备能耗，方便了设备维护，总体上降低了生产成本。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其它实施例的不同之处，各个实施例之间相同或相似部分互相参见即可。对于实施例公开的装置而言，由于其与实施例公开的方法相对应，所以描述的比较简单，相关之处参见方法部分说明即可。
需要说明的是，在本说明书中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括上述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
专业人员还可以进一步意识到，结合本文中所公开的实施例描述的各示例的单元及算法步骤，能够以电子硬件、计算机软件或者二者的结合来实现，为了清楚地说明硬件和软件的可互换性，在上述说明中已经按照功能一般性地描述了各示例的组成及步骤。这些功能究竟以硬件还是软件方式来执行，取决于技术方案的特定应用和设计约束条件。专业技术人员可以对每个特定的应用来使用不同方法来实现所描述的功能，但是这种实现不应认为超出本申请的范围。
以上对本申请所提供的多线切割薄片的清洗烘干装置及方法进行了详细介绍。本文中应用了具体个例对本申请的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本申请的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以对本申请进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本申请权利要求的保护范围内。
Claims (10)
1.一种多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，包括清洗设备及烘干设备；
所述清洗设备包括清洗槽及脱胶槽；
所述清洗槽包括高压喷头及固定架；其中所述高压喷头的出水孔朝向未脱胶切割薄片间的间隙；所述固定架用于固定所述未脱胶切割薄片；
所述脱胶槽用于对经过所述清洗槽清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
所述烘干设备用于对经过脱胶的切割薄片进行烘干。
2.如权利要求1所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述烘干设备包括分片器及烘干器；
所述分片器用于对脱胶后的切割薄片进行分片；
所述烘干器用于烘干分片后的切割薄片。
3.如权利要求2所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述烘干设备还包括水刷；
所述水刷设置在所述烘干器入口处，用于在薄片进入所述烘干器时刷去所述薄片上的积水。
4.如权利要求3所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述烘干器为链式烘干器。
5.如权利要求4所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述烘干设备通过传送带运送所述切割薄片。
6.如权利要求5所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述高压喷头的压力的范围为2巴至10巴，包括端点值。
7.如权利要求6所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述高压喷头喷出的液体的温度范围为20摄氏度至50摄氏度，包括端点值。
8.如权利要求7所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述清洗设备还包括漂洗槽，所述漂洗槽用于漂洗脱胶后的切割薄片。
9.如权利要求1至9任一项所述的多线切割薄片的清洗烘干装置，其特征在于，所述多线切割薄片的清洗烘干装置还包括检测分选设备；
所述检测分选设备用于对经过烘干的切割薄片进行分选。
10.一种多线切割薄片的清洗烘干方法，其特征在于，包括：
对未脱胶的切割薄片进行清洗；
对经过清洗后的未脱胶切割薄片进行脱胶；
对经过脱胶的切割薄片进行烘干，得到烘干后的切割薄片。
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