CN109806688A - 一种过滤器和单晶硅拉制系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及单晶硅生产技术领域，公开了一种过滤器和单晶硅拉制系统，以提高单晶硅的生产效率。过滤器包括具有进气口和出气口的壳体，以及设置于所述壳体内的过滤网，其中：所述过滤器还包括振动器，以及分别与所述振动器和所述过滤网连接的弹性连接件；所述振动器振动工作时，所述弹性连接件发生弹性形变并带动所述过滤网振动。采用该结构设计的过滤器，振动器振动工作时可以使残留的杂质从过滤网上脱落，从而减少了过滤器的清理时间，进而提高了单晶硅的生产效率。
Description
技术领域
本发明涉及单晶硅生产技术领域，特别是涉及一种过滤器和单晶硅拉制系统。
背景技术
单晶炉是一种用于拉制单晶硅的设备。在拉制单晶硅的过程中，需要用真空泵持续对炉室内的气体抽真空，同时向炉室内补充惰性气体以保证炉室内的惰性气氛。在使用真空泵抽真空时，由于炉室内的气体中掺杂杂质，通常需要在真空泵的前端设置过滤器来去除气体中的杂质，从而避免杂质进入真空泵，以保护真空泵。
在拉制单晶硅的过程中，炉室内的杂质主要是由于高温烧结造成的粉末状杂质，在气体经过过滤器时掺杂在气体中的杂质会残留在滤网上。通常拉制一根单晶硅后需要停炉对过滤器进行清理，避免滤芯被堵住无法继续使用。然而，每拉制一根单晶硅后停炉清理过滤器，耗时较多，从而降低了单晶硅的生产效率。
发明内容
本发明实施例提供一种过滤器和单晶硅拉制系统，以提高单晶硅的生产效率。
本发明实施例提供了一种过滤器，包括具有进气口和出气口的壳体，以及设置于所述壳体内的过滤网，其中：所述过滤器还包括振动器，以及分别与所述振动器和所述过滤网连接的弹性连接件；所述振动器振动工作时，所述弹性连接件发生弹性形变并带动所述过滤网振动。
本发明实施例提供的过滤器，掺杂杂质的气体从壳体的进气口进入，并通过过滤网从出气口排出，掺杂的杂质会残留在过滤网上；由于过滤网与振动器弹性连接，在振动器振动工作时，弹性连接件可以将振动传递给过滤网，使得过滤网振动，从而将残留在过滤网上的杂质振落。采用该结构设计的过滤器，振动器振动工作时可以使残留的杂质从过滤网上脱落，从而减少了过滤器的清理时间，进而提高了单晶硅的生产效率。
在上述实施例中，可选的，所述弹性连接件的一端设置于所述壳体内壁上，另一端与所述过滤网连接；
所述振动器设置于所述弹性连接件上。
在上述实施例中，可选的，所述弹性连接件包括用于支撑所述过滤网的支撑件，以及分别与所述支撑件和所述壳体内壁连接的弹性元件；
所述振动器设置于所述支撑件上。
在上述实施例中，可选的，所述弹性元件包括板簧或螺旋弹簧。
在上述实施例中，可选的，所述弹性连接件的一端与所述振动器连接，另一端与所述过滤网连接。
在上述实施例中，可选的，所述振动器设置于所述壳体内；或者，所述振动器设置于所述壳体外。
在上述任一实施例中，可选的，所述过滤器还包括设置于所述壳体内壁并用于支撑所述过滤网的弹性支撑件。
在上述实施例中，可选的，所述过滤器还包括用于敲击所述弹性连接件的敲击件。
在上述实施例中，可选的，所述敲击件包括设置于所述壳体上的敲击锤，以及驱动所述敲击锤敲击所述弹性连接件的驱动装置。
本发明实施例还提供一种单晶硅拉制系统，包括单晶炉、用于对所述单晶炉抽真空的真空泵，以及设置于所述真空泵抽气端的如前述任一实施例所述的过滤器。
本发明实施例提供的单晶硅拉制系统，当在拉制单晶硅的过程中，真空泵持续对单晶炉炉室内的气体抽真空，过滤器设置于真空泵的抽气端，气体经过过滤器时掺杂的杂质会残留在过滤网上；过滤器内的振动器振动工作时，可以将残留在过滤网上的杂质振落，从而减少了过滤器的清理时间，进而提高了单晶硅的生产效率。
附图说明
图1为本发明实施例过滤器的第一种结构示意图；
图2为本发明实施例过滤器的第二种结构示意图；
图3为本发明实施例过滤器的第三种结构示意图；
图4为本发明实施例过滤器的第四种结构示意图；
图5为本发明实施例过滤器的第五种结构示意图；
图6为本发明实施例过滤器的第六种结构示意图；
图7为本发明实施例敲击件的结构示意图；
图8为本发明实施例过滤器的第六种结构示意图；
图9为本发明实施例单晶硅拉制系统的示意图。
附图标记：
1-壳体；2-过滤网；3-振动器；4-弹性连接件；
5-弹性支撑件；7-敲击件；11-进气口；
12-出气口；13-第一壳体；14-第二壳体；
15-法兰；21-轮毂；22-滤网；41-支撑件；
42-弹性元件；71-敲击锤；72-驱动装置；
711-底座；712-锤子；713-复位件；721-电机；
722-凸轮；7121-锤头；7122-抵接部；7221-突出部；
91-单晶炉；92-真空泵；93-过滤器。
具体实施方式
为了提高单晶硅的生产效率，本发明实施例提供了一种过滤器和单晶硅拉制系统。为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，以下举实施例对本发明作进一步详细说明。
如图1所示，本发明实施例提供了一种过滤器，包括具有进气口11和出气口12的壳体1，以及设置于壳体1内的过滤网2，其中：过滤器还包括振动器3，以及分别与振动器3和过滤网2连接的弹性连接件4；振动器3振动工作时，弹性连接件4发生弹性形变并带动过滤网2振动。
本发明实施例提供的过滤器，掺杂杂质的气体从壳体1的进气口11进入，并通过过滤网2从出气口12排出，掺杂的杂质会残留在过滤网2上；由于过滤网2与振动器3弹性连接，在振动器3振动工作时，弹性连接件4可以将振动传递给过滤网2，使得过滤网2振动，从而将残留在过滤网2上的杂质振落。采用该结构设计的过滤器，振动器3振动工作时可以使残留的杂质从过滤网2上脱落，从而减少了过滤器的清理时间，进而提高了单晶硅的生产效率。
请继续参照图1所示，在上述实施例中，可选的，弹性连接件4的一端设置于壳体1内壁上，另一端与过滤网2连接；振动器3设置于弹性连接件4上。此时，弹性连接件4支撑过滤网2；当振动器3振动时，弹性元件42由于振动而产生弹性形变，从而带动过滤网2振动。
在上述实施例中，可选的，弹性连接件4包括用于支撑过滤网2的支撑件41，以及分别与支撑件41和壳体1内壁连接的弹性元件42；振动器3设置于支撑件41上。在本实施例中，弹性元件42的一端与壳体1内壁连接，另一端与支撑件41连接，支撑件41用于支撑过滤网2。当设置于支撑件41上的振动器3振动时，支撑件41以及设置于支撑件41上的过滤网2随着弹性元件42的弹性形变而振动。
在本实施例中，弹性元件42的具体类型不限，例如可以为板簧或螺旋弹簧。在本发明的一实施例中，弹性元件42为板簧，板簧的一端与支撑件41连接，板簧的另一端通过固定连接件于与壳体1内壁连接。
此外，支撑件41的具体类型也不限，例如可以为支撑环或支撑柱。
如图2和图3所示，可选的，弹性连接件4的一端与振动器3连接，另一端与过滤网2连接。在本实施例中，振动器3的具体位置不限，例如，振动器3可以设置于壳体1内，也可以设置于壳体1外。
如图2所示，在本发明的一实施例中，振动器3设置于壳体1内壁，弹性连接件4的一端与振动器3连接，另一端与过滤网2连接；当振动器3振动时，弹性连接件4将振动传递给过滤网2，从而使过滤网2振动以脱落残留杂质。在本实施例中，振动器3和弹性连接件4可以共同支撑过滤网2。弹性连接件4的具体类型不限，例如可以为板簧或螺旋弹簧。
如图3所示，在本发明的另一实施例中，可选的，振动器3设置于壳体1外，弹性连接件4穿过壳体1连接振动器3和过滤网2。当壳体1外的振动器3振动时，弹性连接件4将振动传递到壳体1内的过滤网2，从而使过滤网2振动。弹性连接件4的具体类型不限，例如可以为板簧或螺旋弹簧。
如图4和图5所示，在上述任一实施例中，可选的，过滤器还包括设置于壳体1内壁并用于支撑过滤网2的弹性支撑件5。当过滤网2振动时，弹性支撑件5产生弹性形变，从而可以使过滤网2持续振动。
在上述任一实施例中，如图6所示，可选的，过滤器还包括用于敲击弹性连接件4的敲击件7。在本实施例中，敲击件7对弹性连接件4进行间歇性地敲击，从而进一步震落过滤网2上残留的杂质。
在上述实施例中，敲击件7的具体类型不限。例如在本发明的一实施例中，敲击件7可以为气动敲击锤。
如图7和图8所示，在另一实施例中，可选的，敲击件7包括设置于壳体1上的敲击锤71，以及驱动敲击锤71敲击弹性连接件4的驱动装置72。在本实施例中，驱动装置72包括电机721以及与电机721连接的凸轮722；敲击锤71包括设置于壳体1的底座711，枢装于底座711上的锤子712，以及设置于底座711上且分别与底座711和锤子712连接的复位件713，其中，锤子712包括锤头7121，以及设置于锤子712边缘且与锤头7121位置相对的抵接部7122，该抵接部7122能够与凸轮722的突出部7221相抵接。当锤子712处于初始位置时，锤头7121与弹性连接件4向抵接；当电机721驱动凸轮722转动后，凸轮722的突出部7221与抵接部7122相抵接，并推动抵接部7122使得锤子712转动；当突出部7221脱离抵接部7122后，由于复位件713的作用，锤子712复位到初始位置，同时对弹性连接件4产生敲击。在本实施例中，复位件713的具体类型不限，例如可以为螺旋弹簧或复位弹簧。
请继续参考图8所示，在上述任一实施例中，可选的，过滤网2包括与弹性连接件4连接的轮毂21，以及包覆于轮毂21外侧的滤网22。
如图8所示，在上述任一实施例中，可选的，壳体1包括第一壳体13和第二壳体14，该第一壳体13和第二壳体14通过法兰15连接，其中：进气口11设置于第一壳体13，出气口12设置于第二壳体14。采用该结构设计便于过滤器的拆卸与清理。
如图9所示，本发明实施例还提供一种单晶硅拉制系统，包括单晶炉91、用于对单晶炉91抽真空的真空泵92，以及设置于真空泵92抽气端的如前述任一实施例所述的过滤器93。
本发明实施例提供的单晶硅拉制系统，当在拉制单晶硅的过程中，真空泵92持续对单晶炉91炉室内的气体抽真空，过滤器93设置于真空泵92的抽气端，气体经过过滤器93时掺杂的杂质会残留在过滤网上；过滤器93内的振动器振动工作时，可以将残留在过滤网上的杂质振落，从而减少了过滤器93的清理时间，进而提高了单晶硅的生产效率。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种过滤器，包括具有进气口和出气口的壳体，以及设置于所述壳体内的过滤网，其特征在于：所述过滤器还包括振动器，以及分别与所述振动器和所述过滤网连接的弹性连接件；所述振动器振动工作时，所述弹性连接件发生弹性形变并带动所述过滤网振动。
2.如权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述弹性连接件的一端设置于所述壳体内壁上，另一端与所述过滤网连接；
所述振动器设置于所述弹性连接件上。
3.如权利要求2所述的过滤器，其特征在于，所述弹性连接件包括用于支撑所述过滤网的支撑件，以及分别与所述支撑件和所述壳体内壁连接的弹性元件；
所述振动器设置于所述支撑件上。
4.如权利要求3所述的过滤器，其特征在于，所述弹性元件包括板簧或螺旋弹簧。
5.如权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述弹性连接件的一端与所述振动器连接，另一端与所述过滤网连接。
6.如权利要求5所述的过滤器，其特征在于，所述振动器设置于所述壳体内；或者，所述振动器设置于所述壳体外。
7.如权利要求1～6任一项所述的过滤器，其特征在于，还包括设置于所述壳体内壁并用于支撑所述过滤网的弹性支撑件。
8.如权利要求7所述的过滤器，其特征在于，还包括用于敲击所述弹性连接件的敲击件。
9.如权利要求8所述的过滤器，其特征在于，所述敲击件包括设置于所述壳体上的敲击锤，以及驱动所述敲击锤敲击所述弹性连接件的驱动装置。
10.一种单晶硅拉制系统，其特征在于，包括单晶炉、用于对所述单晶炉抽真空的真空泵，以及设置于所述真空泵抽气端的如权利要求1～9任一项所述的过滤器。
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