CN102824798A

CN102824798A - 用于单晶炉的真空系统过滤器

Info

Publication number: CN102824798A
Application number: CN2012102852435A
Authority: CN
Inventors: 朱亮; 曹建伟; 郭建宇; 王巍; 孙明
Original assignee: Shangyu Jingxin Electromechanical Technology Co Ltd; Zhejiang Jingsheng Mechanical and Electrical Co Ltd
Current assignee: Shangyu Jingxin Electromechanical Technology Co Ltd; Zhejiang Jingsheng Mechanical and Electrical Co Ltd
Priority date: 2012-08-10
Filing date: 2012-08-10
Publication date: 2012-12-19

Abstract

本发明涉及过滤装置，旨在提供一种用于单晶炉的真空系统过滤器。该过滤器包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。本发明增加了过滤面积，加强了过滤效果，且不易堵塞，减少了清理次数。解决了现有的过滤器过滤效果不好，需较为频繁的清理，且容易堵塞，清理麻烦，影响产品质量的问题；保证了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证了单晶成品率；摇臂机构使得顶盖拆装方便，从而方便了对特制空气滤芯组件的清理。

Description

用于单晶炉的真空系统过滤器

技术领域

本发明涉及过滤装置，特别涉及一种单晶炉生产过程中使用的单晶炉真空系统过滤器。

背景技术

直拉单晶的生产，需要在高温真空状态下进行，单晶炉内会产生许多高温挥发物，这些高温挥发物如果直接进入到真空泵内，会污染真空泵油，影响真空泵的安全运行，因此，设置单晶炉真空系统过滤器，用以净化气体真空。现有的单晶炉真空系统过滤器是由过滤网架、焊接在过滤网架两端的支撑圈、环绕在过滤网架上并与支撑圈连接的圆形过滤网构成。这种结构的过滤效果不好，需较为频繁的清理过滤器，否则容易堵塞，降低抽气功能；加之清理较为麻烦。一般每拉单晶5~6炉就需要更换真空泵油，影响真空泵的吸力和抽吸效果，甚至影响单晶成品率及产品质量。

发明内容

本发明的目的是要解决现有技术存在的上述问题，提供一种拆卸方便，且过滤效果好，可防止单晶炉中的灰尘、高温挥发物等进入真空泵中的真空系统过滤器。

本发明采取的技术方案是：

提供一种用于单晶炉的真空系统过滤器，包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。

作为一种改进，所述进气口设于罐体侧面的中上部。

作为一种改进，所述滤芯支撑圆盘上的排气孔内焊接有用于固定滤芯的T型螺杆。

作为一种改进，所述滤芯支撑圆盘上焊接有一对把手。

作为一种改进，所述滤芯分为上下两段。

作为一种改进，所述出气口设有一个90°的弯头，方向与进气口相对。

作为一种改进，所述罐体上端呈开口状，配有顶盖；顶盖和法兰边缘罐体之间设置密封圈，并通过双头卡夹紧；罐体侧面固定焊接有一个摇臂机构，摇臂机构通过螺杆与顶盖相连。

本发明的有益效果在于：

首先，由于采用滤芯组件，由传统的单个滤芯变为多个特制滤芯，增加了过滤面积，加强了过滤效果，且不易堵塞，减少了清理次数。解决了现有的过滤器过滤效果不好，需较为频繁的清理，且容易堵塞，清理麻烦，影响产品质量的问题。

其次，多个滤芯及排气孔，确保了不影响真空泵的吸力，保证了单晶炉内真空抽吸效果，在一定程度上保证了单晶成品率。

最后，摇臂机构使得顶盖拆装方便，从而方便了对特制空气滤芯组件的清理。

附图说明

图1是本发明的示意图（只展示了一个滤芯）。

图2是本发明的A向视图。

图3是本发明的B-B剖视图。

图中附图标记：进气口1、罐体2、滤芯3、滤芯支撑圆盘4、罐体支撑组件5、顶盖6、摇臂机构7、出气口8、支撑环9。

具体实施方式

如图所示，该单晶炉真空系统过滤器包括进气口1、罐体2、滤芯3、滤芯支撑圆盘4、罐体支撑组件5、顶盖6、摇臂机构7、出气口8、支撑环9；罐体2顶部设有顶盖6及摇臂机构7，摇臂机构7通过一个螺杆与顶盖6连接，可绕其支撑杆旋转360°，用于清理过滤器。在罐体2一侧的中上部设有进气口1，在罐体2的底部设有一个90°弯头连接的出气口8，方向与进气口1相对。

罐体2内部设有滤芯3、滤芯支撑圆盘4及支撑环9，其中滤芯3有多个，每个滤芯3均由上下两段组成；滤芯支撑圆盘4是一个开设多个排气孔的圆盘，每个排气孔内焊接一个T形螺杆，滤芯支撑圆盘4另焊接一对把手。滤芯支撑圆盘4放置于支撑环4上，滤芯3穿过T形螺杆固定在滤芯支撑圆盘4上。支撑环4焊接在罐体内，支撑滤芯支撑圆盘4；在罐体2底部焊有罐体支撑组件5。

使用方法：

拧开罐体2与顶盖6之间的夹紧装置双头卡，利用摇臂机构7将顶盖6移开，将滤芯3安装于滤芯支撑圆盘4上，然后提两个把手，将滤芯3与滤芯支撑圆盘4放置在支撑环9上。这样，滤芯支撑圆盘4、支撑环9和罐底就形成了洁净区，再将顶盖6盖在罐体2上，用双头卡夹紧。对炉体进行真空过滤器时，进气口1与炉体主真空管道相连，出气口8与真空泵相连。气体从进气口1进入，经过滤芯3将有炉体内的高温挥发物挡于滤芯3处，洁净的气体通过支撑圆盘4上的排气孔，到达洁净区，最后从罐体底部的出气口8被真空泵排出。

Claims

1.一种用于单晶炉的真空系统过滤器，包括罐体和设于罐体上的进气口及出气口；其特征在于，在罐底焊接有一个支撑环，支撑环上设滤芯支撑圆盘；滤芯支撑圆盘上开设若干排气孔，每个排气孔对应安装一个滤芯；滤芯支撑圆盘、支撑环和罐底构成过滤器的洁净区，所述出气口设于罐体底部且其开口位置处于支撑环之内。

2.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述进气口设于罐体侧面的中上部。

3.根据权利要求1所述的过滤器，其特征在于，所述出气口设有一个90°的弯头，方向与进气口相对。

4.根据权利要求1至3任意一项中所述的过滤器，其特征在于，所述罐体上端呈开口状，配有顶盖；顶盖和法兰边缘罐体之间设置密封圈，并通过双头卡夹紧；罐体侧面固定焊接有一个摇臂机构，摇臂机构通过螺杆与顶盖相连。

5.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯支撑圆盘上的排气孔内焊接有用于固定滤芯的T型螺杆。

6.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯支撑圆盘上焊接有一对把手。

7.根据权利要求4所述的过滤器，其特征在于，所述滤芯分为上下两段。