CN201815207U - 一种单晶炉真空系统过滤器 - Google Patents
一种单晶炉真空系统过滤器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN201815207U CN201815207U CN2010201775673U CN201020177567U CN201815207U CN 201815207 U CN201815207 U CN 201815207U CN 2010201775673 U CN2010201775673 U CN 2010201775673U CN 201020177567 U CN201020177567 U CN 201020177567U CN 201815207 U CN201815207 U CN 201815207U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- filter
- cover plate
- vacuum system
- urceolus
- filtering cloth
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
一种单晶炉真空系统过滤器，涉及一种单晶炉真空系统水冷式过滤器。其包括一个过滤缸，内筒装有金属丝过滤网，过滤缸下端与支架连接，过滤缸外筒的侧面和下部分别与气体进口管和气体出口管连接，其主要技术特征是所述过滤缸的顶端设有盖板，盖板上部设有扶手，盖板由三个均布的锁紧盘来锁紧，锁紧盘分别链接于三个均布的锁耳上，锁耳与外筒焊接，盖板与外筒上端之间设有密封圈。本实用新型达到较高的过滤效率，过滤出温度相对较低并且清洁的气体，延长了真空泵的使用寿命，减少了对环境的污染。
Description
技术领域：
本实用新型涉及一种单晶炉真空系统过滤器。
背景技术：
单晶炉真空系统水冷式过滤器设于单晶炉与真空泵之间的真空管路上，其在单晶炉真空系统的抽真空过程中起空气过滤作用。现有单晶炉真空系统过滤器为盖板采用螺栓连接、滤网采用纸质材料形式或过滤器设于真空管内，经过长期工作后，其过滤网上沉积大量的氧化物以及尘埃，容易导致过滤网堵塞，影响抽真空效率，而更换过滤网提高了成本又比较困难，拆卸不方便，还要花费时间；在抽真空过程中，气体温度较高，这就影响了氧化物及尘埃在过滤网上沉积效果，所以过滤效率较低而温度又较高的气体会导致真空泵的故障频繁，对其使用寿命造成严重的影响，同时对环境造成污染。
发明内容：
本实用新型提供一种单晶炉真空系统水冷式过滤器，其避免了单晶炉真空系统堵塞，解决了现有单晶炉真空系统频繁更换过滤网并且更换困难的问题，降低成本，提高了生产效率。提高过滤效率，延长了真空泵的使用寿命，减少了生产对环境的污染。
本实用新型是通过如下技术方案来实现的：一种单晶炉真空系统水冷式过滤器，其包括一个过滤缸，结构材料均为不锈钢，过滤缸由内筒和外筒组成，内筒装有金属丝过滤网，过滤缸下端与支架连接，过滤缸外筒的侧面和下部分别与气体进口管和气体出口管连接，其主要技术特征是所述过滤缸的顶端设有盖板，盖板上部设有扶手，盖板由三个均布的锁紧盘来锁紧，锁紧盘分别链接于三个均布的锁耳上，锁耳与外筒焊接，盖板与外筒上端之间设有密封圈；
所述外筒壁设有冷却夹层，外筒下部和上部分别设有冷却夹层进水口和冷却夹层出水口。
本实用新型的有益效果是：用锁紧盘方式可快速拆卸盖板，方便了其内部金属过滤网、内筒壁及外筒内壁的清理，避免了因为氧化物及尘埃的沉积而导致的单晶炉真空系统堵塞。金属过滤网可重复使用，解决了现有单晶炉真空系统频繁更换过滤网并且更换困难的问题，节省了更换过滤网的成本，提高了生产效率；水冷却夹层的结构可以有效降低抽真空过程中流经过滤缸的气体温度，内壁的冷凝效果有助于尘埃和氧化物等的沉积，达到较高的过滤效率，过滤出温度相对较低并且清洁的气体，延长了真空泵的使用寿命，减少了对环境的污染。
附图说明：
图1为本实用新型的主剖图。
具体实施方式：
图1中：1、气体进口管，2、带孔过滤板，3、扶手，4、盖板，5、盖板密封圈，6、锁紧盘，7、冷却夹层出水口，8、锁耳，9、内筒，10、金属过滤网，11、外筒，12、冷却夹层进水口，13、支架，14、气体出口管
参照附图1，图中箭头方向为气体流动方向。当需要清理过滤器时，旋松锁紧盘6绕锁耳8旋转即将锁紧盘6打开，然后手握扶手3将盖板4移开，再将带孔过滤板2、金属过滤网10及内筒9取出，并对带孔过滤板2、金属过滤网10、内筒9及外筒的内壁进行清理。清理完毕并吹干，按反向顺序装入内筒9、金属过滤网10、带孔过滤板2，将盖板4盖好，扳动锁紧盘6将其锁紧，此时可以继续工作。
参照附图1，当启动水冷系统后，冷却水从冷却夹层进水口12进入外筒11的冷却夹层内，当冷却水充满冷却夹层后从冷却夹层出水口7流出，在工作过程中，冷却水始终处于循环状态。
上述实施方式仅为更清楚地说明本实用新型，而并非对本实用新型具体实施方式的限定，在此基础上还可以做出不同形式的变化或者变动，而属于本实用新型所引伸出的变化或者变动仍处于本实用新型的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种单晶炉真空系统过滤器，其包括一个过滤缸，过滤缸由内筒和外筒组成，内筒装有金属过滤网，过滤缸下端与支架连接，过滤缸的侧面和下部分别与气体进口管和气体出口管连接，其特征在于所述过滤缸的顶端设有盖板，盖板上部设有扶手，盖板由三个均布的锁紧盘锁紧，锁紧盘分别链接于三个均布的锁耳上，锁耳与外筒焊接，盖板与外筒上端之间设有密封圈。
2.如权利要求1所述的一种单晶炉真空系统过滤器，其特征在于外筒壁设有水冷冷却夹层，外筒下部和上部分别设有冷却夹层进水口和冷却夹层出水口。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010201775673U CN201815207U (zh) | 2010-04-29 | 2010-04-29 | 一种单晶炉真空系统过滤器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2010201775673U CN201815207U (zh) | 2010-04-29 | 2010-04-29 | 一种单晶炉真空系统过滤器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN201815207U true CN201815207U (zh) | 2011-05-04 |
Family
ID=43913179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010201775673U Expired - Lifetime CN201815207U (zh) | 2010-04-29 | 2010-04-29 | 一种单晶炉真空系统过滤器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN201815207U (zh) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102824798A (zh) * | 2012-08-10 | 2012-12-19 | 上虞晶信机电科技有限公司 | 用于单晶炉的真空系统过滤器 |
| CN104096428A (zh) * | 2014-04-11 | 2014-10-15 | 汉钟精机股份有限公司 | 真空泵前置过滤设备 |
| CN105442036A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶硅生长炉真空支持系统 |
| CN107281881A (zh) * | 2017-07-26 | 2017-10-24 | 北京创昱科技有限公司 | 一种尾气处理装置及方法 |
| CN108240725A (zh) * | 2016-12-26 | 2018-07-03 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种冷却器及制备碳纳米管的高真空系统 |
-
2010
- 2010-04-29 CN CN2010201775673U patent/CN201815207U/zh not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102824798A (zh) * | 2012-08-10 | 2012-12-19 | 上虞晶信机电科技有限公司 | 用于单晶炉的真空系统过滤器 |
| CN104096428A (zh) * | 2014-04-11 | 2014-10-15 | 汉钟精机股份有限公司 | 真空泵前置过滤设备 |
| CN105442036A (zh) * | 2015-12-02 | 2016-03-30 | 上海汉虹精密机械有限公司 | 单晶硅生长炉真空支持系统 |
| CN108240725A (zh) * | 2016-12-26 | 2018-07-03 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 一种冷却器及制备碳纳米管的高真空系统 |
| CN107281881A (zh) * | 2017-07-26 | 2017-10-24 | 北京创昱科技有限公司 | 一种尾气处理装置及方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN201815207U (zh) | 一种单晶炉真空系统过滤器 | |
| CN201286997Y (zh) | 一种袋式过滤装置 | |
| CN202270483U (zh) | 一种快拆卸式中空纤维膜组件 | |
| CN202666992U (zh) | 过滤装置 | |
| CN202237423U (zh) | 快装型浅层砂过滤器 | |
| CN202506198U (zh) | 油田注水反冲式过滤除污器 | |
| CN204601753U (zh) | 一种罐式滤管过滤分离器 | |
| CN207412880U (zh) | 多功能高效流体净化仪 | |
| CN203315856U (zh) | 一种过滤器 | |
| CN206081923U (zh) | 一种新型工业气液分离过滤器 | |
| CN102853249B (zh) | 燃气提纯净化凝储罐 | |
| CN212894037U (zh) | 除菌滤芯 | |
| CN104548806A (zh) | 一种单晶炉真空过滤装置及清理方法 | |
| CN211659402U (zh) | 一种快速更换滤芯的过滤器 | |
| CN102389668B (zh) | 一种罐内过滤装置 | |
| CN202410353U (zh) | 雨水高速在线竖直过滤器 | |
| CN104722133A (zh) | 可拆式管道过滤器 | |
| CN202044836U (zh) | 精密过滤器 | |
| CN101703851B (zh) | 固液分离装置 | |
| CN203425628U (zh) | 自动清洗蒸汽过滤器 | |
| CN202778131U (zh) | 一种用于真空炉的粉尘过滤装置 | |
| CN202410271U (zh) | 高效纤维过滤器 | |
| CN202366555U (zh) | 一种反冲洗管道过滤器 | |
| CN214233373U (zh) | 一种焊烟高效净化器设备 | |
| CN202070234U (zh) | 一种装于滴灌水管上的过滤器 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: FUTONG GROUP CO., LTD. Free format text: FORMER OWNER: HANGZHOU FUTONG SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TECHNOLOGY CO., LTD. Effective date: 20130125 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20130125 Address after: 311400, No. 1-8, Fortis Science Park, Golden Autumn Road, Zhejiang, Fuyang Patentee after: Futong Group Co., Ltd. Address before: 311400, No. 1-8, Fortis Science Park, Golden Autumn Road, Zhejiang, Fuyang Patentee before: Hangzhou Futong Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd. |
|
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20110504 |
|
| CX01 | Expiry of patent term |