CN109781311A - 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
Description
压强(Pa) | Co(pF) | C(pF) | ΔC | ΔC/C | ΔC/C(%) |
12.5 | 1.487 | 1.543 | 0.056 | 0.03766 | 3.765972 |
27.5 | 1.489 | 1.687 | 0.198 | 0.132975 | 13.29752 |
50 | 1.487 | 1.765 | 0.278 | 0.186954 | 18.69536 |
100 | 1.487 | 1.858 | 0.371 | 0.249496 | 24.94956 |
170 | 1.486 | 1.919 | 0.433 | 0.291386 | 29.13863 |
200 | 1.488 | 1.931 | 0.443 | 0.297715 | 29.77151 |
250 | 1.49 | 1.966 | 0.476 | 0.319463 | 31.94631 |
337.5 | 1.495 | 1.989 | 0.494 | 0.330435 | 33.04348 |
392.5 | 1.491 | 1.996 | 0.505 | 0.338699 | 33.86989 |
422.5 | 1.489 | 2.005 | 0.516 | 0.346541 | 34.65413 |
455 | 1.489 | 2.03 | 0.541 | 0.363331 | 36.33311 |
537.5 | 1.487 | 2.042 | 0.555 | 0.373235 | 37.32347 |
607.5 | 1.489 | 2.051 | 0.562 | 0.377435 | 37.74345 |
1182.5 | 1.492 | 2.088 | 0.596 | 0.399464 | 39.94638 |
1260 | 1.492 | 2.092 | 0.6 | 0.402145 | 40.21448 |
1795 | 1.493 | 2.098 | 0.605 | 0.405224 | 40.52244 |
压强(Pa) | Co(pF) | C(pF) | ΔC | ΔC/C | ΔC/C(%) |
12.5 | 1.584 | 1.663 | 0.079 | 0.049874 | 4.987374 |
27.5 | 1.589 | 1.802 | 0.213 | 0.134047 | 13.40466 |
50 | 1.588 | 1.918 | 0.33 | 0.207809 | 20.78086 |
100 | 1.587 | 2.003 | 0.416 | 0.26213 | 26.21298 |
200 | 1.587 | 2.113 | 0.526 | 0.331443 | 33.1443 |
250 | 1.588 | 2.158 | 0.57 | 0.358942 | 35.89421 |
422.5 | 1.592 | 2.187 | 0.595 | 0.373744 | 37.37437 |
455 | 1.592 | 2.197 | 0.605 | 0.380025 | 38.00251 |
487.5 | 1.593 | 2.204 | 0.611 | 0.383553 | 38.3553 |
567.5 | 1.596 | 2.23 | 0.634 | 0.397243 | 39.72431 |
607.5 | 1.597 | 2.237 | 0.64 | 0.400751 | 40.07514 |
670 | 1.595 | 2.247 | 0.652 | 0.408777 | 40.87774 |
697.5 | 1.6 | 2.267 | 0.667 | 0.416875 | 41.6875 |
750 | 1.603 | 2.285 | 0.682 | 0.425452 | 42.54523 |
965 | 1.631 | 2.318 | 0.687 | 0.421214 | 42.1214 |
1182.5 | 1.633 | 2.338 | 0.705 | 0.431721 | 43.17208 |
1260 | 1.637 | 2.359 | 0.722 | 0.441051 | 44.10507 |
1795 | 1.643 | 2.372 | 0.729 | 0.443701 | 44.37005 |
压强(Pa) | Co(pF) | C(pF) | ΔC | ΔC/C | ΔC/C(%) |
12.5 | 1.409 | 1.503 | 0.094 | 0.066714 | 6.67139815 |
27.5 | 1.408 | 1.654 | 0.246 | 0.1747159 | 17.4715909 |
50 | 1.409 | 1.779 | 0.37 | 0.2625976 | 26.2597587 |
100 | 1.408 | 1.876 | 0.468 | 0.3323864 | 33.2386364 |
170 | 1.406 | 1.914 | 0.508 | 0.3613087 | 36.1308677 |
200 | 1.406 | 1.927 | 0.521 | 0.3705548 | 37.0554765 |
250 | 1.406 | 1.977 | 0.571 | 0.4061166 | 40.6116643 |
337.5 | 1.406 | 1.996 | 0.59 | 0.4196302 | 41.9630156 |
455 | 1.406 | 2.024 | 0.618 | 0.4395448 | 43.9544808 |
537.5 | 1.406 | 2.041 | 0.635 | 0.4516358 | 45.1635846 |
607.5 | 1.407 | 2.056 | 0.649 | 0.4612651 | 46.1265103 |
670 | 1.407 | 2.057 | 0.65 | 0.4619758 | 46.1975835 |
697.5 | 1.405 | 2.067 | 0.662 | 0.4711744 | 47.1174377 |
750 | 1.408 | 2.075 | 0.667 | 0.4737216 | 47.3721591 |
965 | 1.408 | 2.081 | 0.673 | 0.477983 | 47.7982955 |
1182.5 | 1.413 | 2.095 | 0.682 | 0.482661 | 48.2661005 |
1260 | 1.419 | 2.114 | 0.695 | 0.4897815 | 48.9781536 |
1795 | 1.418 | 2.139 | 0.721 | 0.5084626 | 50.8462623 |
Claims (10)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910063565.7A CN109781311B (zh) | 2019-01-23 | 2019-01-23 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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CN201910063565.7A CN109781311B (zh) | 2019-01-23 | 2019-01-23 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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CN109781311A true CN109781311A (zh) | 2019-05-21 |
CN109781311B CN109781311B (zh) | 2021-01-05 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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CN201910063565.7A Active CN109781311B (zh) | 2019-01-23 | 2019-01-23 | 一种柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
Country Status (1)
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20211227 Address after: 215133 room 1303, 13th floor, HD media building, No. 28, nantiancheng Road, high speed rail new town, Xiangcheng District, Suzhou, Jiangsu Province Patentee after: Suzhou Sansan Sensor Technology Co.,Ltd. Address before: 250022 No. 336, South Xin Zhuang West Road, Shizhong District, Ji'nan, Shandong Patentee before: University of Jinan |
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TR01 | Transfer of patent right | ||
TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20221123 Address after: 276800 2nd floor, South Building, zone A4, electronic information industrial park, Gaoxin 7th Road, high tech Zone, Rizhao City, Shandong Province Patentee after: Sansan Intelligent Technology (Rizhao) Co.,Ltd. Address before: 215133 room 1303, 13th floor, HD media building, No. 28, nantiancheng Road, high speed rail new town, Xiangcheng District, Suzhou, Jiangsu Province Patentee before: Suzhou Sansan Sensor Technology Co.,Ltd. |
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TR01 | Transfer of patent right | ||
PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: A flexible capacitive pressure sensor and its preparation method Effective date of registration: 20230915 Granted publication date: 20210105 Pledgee: Rizhao Donggang Rural Commercial Bank Co.,Ltd. Pledgor: Sansan Intelligent Technology (Rizhao) Co.,Ltd. Registration number: Y2023370010099 |
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