CN109716421B - 安装基板及显示面板 - Google Patents
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Abstract
阵列基板(11b)至少具备:玻璃基板(GS),其安装有驱动器(12);面板侧输出端子部(26),其配置在玻璃基板(GS)的安装区域(DMA)并为与驱动器(12)连接的端子部;第一端子结构部(31);栅极绝缘膜(16),其在与第一端子结构部(31)重叠的位置开口形成第一接触孔(34);第二端子结构部(32),其以至少与第一接触孔(34)及其开口边缘重叠的形式配置;第一层间绝缘膜(19),其与第二端子结构部(32)重叠且在与第一接触孔(34)不重叠的位置开口形成第二接触孔(35);以及第三端子结构部(33),其以至少与第二接触孔(35)及其开口边缘重叠的形式配置。
Description
技术领域
本发明涉及安装基板及显示面板。
背景技术
作为现有的液晶显示装置所使用的液晶面板的一个例子,已知有在下述专利文献1中记载的内容。在构成该专利文献1所记载的液晶面板的TFT基板形成有驱动配置在图像显示区域的多个数据线的多个数据驱动器,数据驱动器俯视观察时在TFT基板中的与数据驱动器重叠的区域内,与形成于TFT基板的金属配线电连接,金属配线在上述区域内经由接触孔与形成于TFT基板中的与金属配线不同的层的引出配线电连接,引出配线在上述区域外延伸,并且与数据线电连接。
现有技术文献
专利文献
日本特开2015-87434号公报
发明内容
本发明所要解决的技术问题
然而,设置于TFT基板的引出配线中的与数据驱动器连接的输出端子部的部分亦即端子部例如处于伴随着高清晰度的推进而其设置数量变多的趋势,进一步,例如处于伴随着窄边框化、高功能化的推进而使TFT基板中的与数据驱动器重叠的区域变窄的趋势。因此,近年来,要求进一步减小端子部的形成宽度及排列间隔。
本发明是基于上述情况而完成的,目的在于减小端子部的形成范围。
本发明的安装基板至少具备:基板,其安装有安装部件;端子部,其配置在上述基板中的安装上述安装部件的安装区域并与上述安装部件连接;第一端子结构部,其由设置在上述基板上的第一导电膜构成,并构成上述端子部;第一绝缘膜,其配置在上述第一导电膜的上层侧,并在与上述第一端子结构部重叠的位置开口形成第一接触孔;第二端子结构部,其由配置在上述第一绝缘膜的上层侧的第二导电膜构成并构成上述端子部,上述第二端子结构部以至少与上述第一接触孔及其开口边缘重叠的形式配置并且通过上述第一接触孔而与上述第一端子结构部连接;第二绝缘膜,其配置在上述第二导电膜的上层侧,并与上述第二端子结构部重叠且在与上述第一接触孔不重叠的位置开口形成第二接触孔;以及第三端子结构部,其由配置在上述第二绝缘膜的上层侧的第三导电膜构成并构成上述端子部,上述第三端子结构部以至少与上述第二接触孔及其开口边缘重叠的形式配置并且通过上述第二接触孔而与上述第二端子结构部连接。
根据这样的结构,若安装部件安装于基板中的安装区域,则与配置在该安装区域的端子部连接。端子部为如下结构,即:对由第一导电膜构成的第一端子结构部通过开口形成于第一绝缘膜的第一接触孔连接由第二导电膜构成的第二端子结构部,并且对第二端子结构部通过开口形成于第二绝缘膜的第二接触孔连接由第三导电膜构成的第三端子结构部。
第二端子结构部以至少与第一接触孔及其开口边缘重叠的形式配置,因此即使由于制造上的原因而使第二端子结构部相对于第一接触孔的位置稍微偏差,也能够在第一接触孔的整个区域通过第二端子结构部,因此第一端子结构部及第二端子结构部间的连接面积为恒定。同样地,第三端子结构部以至少与第二接触孔及其开口边缘重叠的形式配置,由此第二端子结构部及第三端子结构部间的连接面积为恒定。
通过在采用这样的结构的同时,第二接触孔配置在与第一接触孔不重叠的位置,能够将第二端子结构部相对于第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘的重叠量设定为与第二绝缘膜中的第二接触孔的开口边缘无关。即,在假设第二接触孔配置在与第一接触孔重叠的位置的情况下,需要考虑不使第二接触孔的开口边缘相对于由于通过第一接触孔的第二端子结构部在第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位重叠,具体地,需要确保第二端子结构部相对于第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘的重叠量较多。与此相比,若将第二接触孔配置在与第一接触孔不重叠的位置,则能够减少第二端子结构部相对于第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘的重叠量。由此,端子部的形成范围变小。
作为本发明的实施方式,优选如下的结构。
(1)上述端子部呈长条状,上述第一绝缘膜及上述第二绝缘膜形成为上述第一接触孔与上述第二接触孔沿着上述端子部的长条方向排列。通过这样做,能够关于与第一接触孔和第二接触孔的排列方向正交的方向、即与端子部中的长条方向正交的短边方向减小端子部的形成范围。因此,例如在采用将端子部沿短边方向排列多个的配置的情况下,能够减小端子部间的排列间隔。
(2)上述第一端子结构部以与上述第二接触孔重叠的形式设置。假设第一端子结构部以不与第二接触孔重叠的形式设置,则存在第二端子结构部及第三端子结构部中的与第二接触孔重叠的部分以第一金属膜的膜厚大小变低所引起的在第二端子结构部及第三端子结构部形成高低差部位较多的担忧。关于这一点,通过像上述那样,第一端子结构部以与第二接触孔重叠的形式设置,保证了第二端子结构部及第三端子结构部的平坦性。
(3)上述第三端子结构部以与上述第一接触孔重叠的形式设置。通过这样做,与假设第三端子结构部以不与第一接触孔重叠的形式设置的情况相比,确保了第三端子结构部的形成范围较宽。因此,例如若采用对第三端子结构部连接安装部件的结构,端子部相对于安装部件的连接面积被充分确保,因此实现了安装部件及端子部间的电阻的降低。
(4)上述第一导电膜及上述第二导电膜分别设为金属膜,上述第三导电膜设为透明电极膜,上述第一绝缘膜及上述第二绝缘膜形成为上述第二接触孔的开口面积大于上述第一接触孔的开口面积。在第一导电膜及第二导电膜分别设为金属膜,第三导电膜设为透明电极膜的结构中,若接触面积全部相同,则第一端子结构部及第二端子结构部间的电阻变得比第二端子结构部及第三端子结构部间的电阻小。相对于此,像上述那样,第二接触孔的开口面积比第一接触孔的开口面积大,因此能够将原本电阻较小的第一端子结构部及第二端子结构部间的接触面积保持较小,并与其相应地确保原本电阻较大的第二端子结构部及第三端子结构部间的接触面积较大。由此,能够降低端子部的电阻。
(5)上述第一绝缘膜及上述第二绝缘膜形成为上述第一接触孔及上述第二接触孔中的至少任意一方由以隔开间隔排列的方式配置的多个分割接触孔构成。通过这样做,第二端子结构部及第三端子结构部中的至少任意一方通过隔开间隔地排列的多个分割接触孔而与第一端子结构部及第二端子结构部中的至少任意一方连接。第二端子结构部及第三端子结构部中的至少任意一方成为位于通过各分割接触孔的部分之间的部分配置在第一绝缘膜及第二绝缘膜中的至少任意一方中的夹设在相邻的分割接触孔之间的部分的上层侧,因此作为整体保证了表面的平坦性。
(6)至少具备:第三绝缘膜,其配置在上述第三导电膜的上层侧,并在与上述第三端子结构部重叠的位置开口形成第三接触孔;和第四端子结构部,其由配置在上述第三绝缘膜的上层侧的第四导电膜构成,并构成上述端子部,上述第四端子结构部以与上述第三接触孔及其开口边缘重叠的形式配置并且通过上述第三接触孔而与上述第三端子结构部连接。通过这样做,端子部为如下结构,即:在第一端子结构部、第二端子结构部及第三端子结构部被相互连接的基础上,对第三端子结构部通过开口形成于第三绝缘膜的第三接触孔而连接由第四导电膜构成的第四端子结构部。
(7)上述第一绝缘膜、上述第二绝缘膜及上述第三绝缘膜形成为上述第一接触孔、上述第二接触孔及上述第三接触孔彼此不重叠。在假设第一接触孔、第二接触孔及第三接触孔被配置在彼此重叠的位置的情况下,需要考虑不使第二绝缘膜中的第二接触孔的开口边缘相对于由于通过第一接触孔的第二端子结构部在第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位重叠,并且不使第三绝缘膜中的第三接触孔的开口边缘相对于由于通过第二接触孔的第三端子结构部在第二绝缘膜中的第二接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位重叠,具体地,需要分别确保第二端子结构部相对于第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘的重叠量较多、和第三端子结构部相对于第二绝缘膜中的第二接触孔的开口边缘的重叠量较多。与其相比,若第一接触孔、第二接触孔及第三接触孔为彼此不重叠的配置,则能够分别减少第二端子结构部相对于第一绝缘膜中的第一接触孔的开口边缘的重叠量、和第三端子结构部相对于第二绝缘膜中的第二接触孔的开口边缘的重叠量。由此,由第一端子结构部、第二端子结构部、第三端子结构部及第四端子结构部构成的端子部的形成范围较小。
(8)上述第一导电膜及上述第二导电膜分别设为金属膜,上述第三导电膜及上述第四导电膜分别设为透明电极膜,上述第一绝缘膜、上述第二绝缘膜及上述第三绝缘膜形成为上述第一接触孔的开口面积为最小,上述第三接触孔的开口面积为最大。在第一导电膜及第二导电膜分别设为金属膜,第三导电膜及第四导电膜分别设为透明电极膜的结构中,若接触面积全部相同,则第一端子结构部及第二端子结构部间的电阻为最小,第三端子结构部及第四端子结构部间的电阻为最大。相对于此,如上述那样,由于第一接触孔的开口面积为最小,第三接触孔的开口面积为最大,因此能够将原本电阻较小的第一端子结构部及第二端子结构部间的接触面积保持在最小限度,与其相应地将原本电阻较大的第三端子结构部及第四端子结构部间的接触面积确保为最大限度。由此,能够降低端子部的电阻。
(9)上述第三绝缘膜形成为上述第三接触孔至少与上述第二接触孔重叠。通过这样做,与假设第一接触孔、第二接触孔及第三接触孔为以彼此不重叠的方式排列成一列的配置的情况相比,能够关于第一接触孔与第二接触孔的排列方向减小端子部的形成范围。
(10)上述第三导电膜及上述第四导电膜分别设为透明电极膜,上述第三绝缘膜形成为上述第三接触孔也与上述第一接触孔重叠。在第三导电膜及第四导电膜分别设为透明电极膜的结构中,第三端子结构部及第四端子结构部间的电阻易变得较大。关于这一点,如上述那样,第三接触孔在第二接触孔的基础上,也与第一接触孔重叠,由此第四端子结构部相对于第三端子结构部的接触面积较大,因此实现了端子部所涉及的电阻的降低。
(11)在上述端子部中,包含用于向上述安装部件输入信号的输入端子部、和输出来自上述安装部件的信号的输出端子部,至少上述输出端子部至少由上述第一端子结构部、上述第二端子结构部及上述第三端子结构部构成。输出来自安装部件的信号的输出端子部与输入端子部相比,处于要求伴随着输出的信号数量的增加等而增多设置数量的趋势,因此通过将输出端子部至少由第一端子结构部、第二端子结构部及第三端子结构部构成,能够减小输出端子部的形成范围,因此在实现输出端子部所涉及的设置数量的增加的方面上适合。
接着,为了解决上述课题,本发明的显示面板具备上述记载的安装基板、和以与上述安装基板对置的形式配置的对置基板。根据这样的结构的显示面板,端子部的形成范围较小,在实现显示的图像的高清晰度等方面上适合。
发明效果
根据本发明,能够减小端子部的形成范围。
附图说明
图1是表示本发明的第一实施方式所涉及的安装有驱动器的液晶面板、柔性基板及控制电路基板的连接结构的示意俯视图。
图2是表示液晶面板的显示区域中的截面结构的示意剖视图。
图3是示意性地表示构成液晶面板的阵列基板的显示区域中的配线结构的俯视图。
图4是阵列基板的显示区域中的TFT的剖视图。
图5是表示阵列基板中的驱动器及柔性基板的安装区域的放大俯视图。
图6是表示液晶面板与驱动器及柔性基板的端子连接结构所涉及的截面结构的简要剖视图。
图7是面板侧输出端子部的俯视图。
图8是沿着图7的A-A线剖视图。
图9是沿着图7的B-B线剖视图。
图10是沿着图7的C-C线剖视图。
图11是本发明的第二实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图12是沿着图11的A-A线剖视图。
图13是沿着图11的B-B线剖视图。
图14是沿着图11的C-C线剖视图。
图15是沿着图11的D-D线剖视图。
图16是本发明的第三实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图17是沿着图16的A-A线剖视图。
图18是沿着图16的B-B线剖视图。
图19是沿着图16的C-C线剖视图。
图20是本发明的第四实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图21是沿着图20的A-A线剖视图。
图22是沿着图20的B-B线剖视图。
图23是沿着图20的C-C线剖视图。
图24是本发明的第五实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图25是沿着图24的D-D线剖视图。
图26是本发明的第六实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图27是沿着图26的D-D线剖视图。
图28是本发明的第七实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图29是沿着图28的C-C线剖视图。
图30是本发明的第八实施方式所涉及的面板侧输出端子部的俯视图。
图31是沿着图30的C-C线剖视图。
具体实施方式
<第一实施方式>
通过图1到图10对本发明的第一实施方式进行说明。在本实施方式中,关于液晶显示装置10所具备的液晶面板11及其阵列基板(安装基板)11b进行例示。此外,在各附图的一部分中示出X轴、Y轴及Z轴,各轴方向以成为在各附图中所示的方向的方式被描绘。另外,关于上下方向,以图2、图4、图8至图10等为基准,且将该图上侧设为表侧并且将该图下侧设为背侧。
如图1所示,液晶显示装置10至少具备:可以显示图像的液晶面板11;驱动液晶面板11的驱动器(安装部件、面板驱动部件)12;从外部对驱动器12供给各种输入信号的控制电路基板(外部的信号供给源)13;将液晶面板11与外部的控制电路基板13电连接的柔性基板(安装部件)14;以及相对于液晶面板11配置在背侧并对液晶面板11照射用于显示的光的外部光源亦即背光装置(未图示)。该液晶显示装置10的液晶面板11的画面尺寸通常被分类为小型,适于智能手机等的用途。此外,液晶面板11的具体的画面尺寸的分类、液晶显示装置10的具体的用途除上述以外也可以适当地变更。
如图1所示,液晶面板11整体呈纵长的方形(矩形),该板面被划分为可以显示图像且配置在中央侧的显示区域(活动区域)AA、和以包围显示区域AA的形式配置在外周侧并在俯视时呈框状(边框状)的非显示区域(非活动区域)NAA。该液晶面板11中的短边方向与各附图的X轴方向一致,长边方向与各附图的Y轴方向一致,进一步,板厚方向与Z轴方向一致。此外,在图1及图6中,单点划线表示显示区域AA的外形,比该单点划线靠外侧的区域为非显示区域NAA。
如图2所示,液晶面板11至少具有:一对基板11a、11b、和被夹持在两基板11a、11b间并含有伴随着电场施加而使光学特性发生变化的物质亦即液晶分子的液晶层(内部空间)11c。一对基板11a,11b通过以包围液晶层11c的形式夹设的密封部(未图示)在维持液晶层11c的厚度大小的单元间隙的状态下被密封。一对基板11a、11b中的表侧(正面侧)为CF基板(基板、对置基板)11a,背侧(背面侧)为阵列基板(一方的基板、有源矩阵基板)11b。CF基板11a及阵列基板11b均在玻璃制的玻璃基板(基板)GS的内表面侧层叠形成有各种膜。此外,在两基板11a、11b的外表面侧分别粘贴有偏光板11d、11e。
如图2及图3所示,在阵列基板11b的内表面侧(液晶层11c侧、与CF基板11a的对置面侧)中的显示区域AA呈多个矩阵状(行列状)地排列设置有作为开关元件的TFT(ThinFilm Transistor:显示元件)11f及像素电极11g,并且配设成在这些TFT11f及像素电极11g的周围环绕呈格子状的栅极配线(扫描线)11i及源极配线(数据线、信号线)11j。栅极配线11i与源极配线11j分别连接到TFT11f的栅极电极11f1与源极电极11f2,像素电极11g连接到TFT11f的漏极电极11f3。进而,TFT11f基于分别向栅极配线11i及源极配线11j供给的各种信号被驱动,伴随着该驱动控制向像素电极11g的电位的供给。像素电极11g配置在由栅极配线11i及源极配线11j包围的方形的区域。另外,在阵列基板11b的显示区域AA的内表面侧,以与像素电极11g重叠的形状由整体状的图案构成的共用电极11h形成在比像素电极11g靠下层侧。若在这些相互重叠的像素电极11g与共用电极11h之间产生电位差,则在液晶层11c中,除沿着阵列基板11b的板面的成分以外,还施加包含相对于阵列基板11b的板面的法线方向的成分的边缘电场(倾斜电场)。即,本实施方式所涉及的液晶面板11的动作模式为FFS(Fringe Field Switching:边缘场开关)模式。此外,在本实施方式中,在各附图中,栅极配线11i的延伸方向与X轴方向一致,源极配线11j的延伸方向与Y轴方向一致。
另一方面,在CF基板11a中的显示区域AA的内表面侧,如图2所示,在阵列基板11b侧的与各像素电极11g呈对置状的位置呈矩阵状地排列设置有多个彩色滤光片11k。彩色滤光片11k通过R(红色),G(绿色),B(蓝色)三色的着色膜以规定的顺序反复排列配置而成。在各彩色滤光片11k间形成有用于防止混色的格子状的遮光膜(黑矩阵)11l。遮光膜11l为与上述的栅极配线11i及源极配线11j在平面观察时重叠的配置。在彩色滤光片11k及遮光膜11l的表面设置有保护涂层膜11m。另外,在保护涂层膜11m的表面设置有未图示的光间隔物。此外,在该液晶面板11中,通过彩色滤光片11k中的R、G、B三色的着色膜及与它们对置的三个像素电极11g的组构成作为显示单位的一个显示像素。显示像素由具有R的彩色滤光片11k的红色像素、具有G的彩色滤光片11k的绿色像素、及具有B的彩色滤光片11k的蓝色像素构成。上述各色的显示像素通过在液晶面板11的板面中沿着行方向(X轴方向)反复排列配置,而构成显示像素组,该显示像素组沿着列方向(Y轴方向)排列配置有多个。另外,作为处于两基板11a、11b中的最内侧(液晶层11c的附近)并与液晶层11c接触的层,分别形成有用于使液晶层11c所包含的液晶分子取向的取向膜11n、11o。
接着,对于层叠形成于阵列基板11b的内表面侧的各种膜进行说明。如图4所示,在阵列基板11b中,从下层侧(玻璃基板GS侧、距液晶层11c较远的一侧)依次层叠形成有第一金属膜(第一导电膜、金属膜)15、栅极绝缘膜(第一绝缘膜)16、半导体膜17、第二金属膜(第二导电膜、金属膜)18、第一层间绝缘膜(第二绝缘膜)19、第一透明电极膜(第三导电膜、透明电极膜)20、第二层间绝缘膜(第三绝缘膜)21、第二透明电极膜(第四导电膜、透明电极膜)22、及取向膜11o。
第一金属膜15为层叠不同种类的金属材料而成的层叠膜或由一种金属材料构成的单层膜,如图3及图4所示,构成栅极配线11i、TFT11f的栅极电极11f1等。栅极绝缘膜16由无机材料构成,将下层侧的第一金属膜15、与上层侧的半导体膜17及第二金属膜18保持为绝缘状态。半导体膜17作为材料例如由使用了氧化物半导体的薄膜构成,在TFT11f中构成连接到源极电极11f2与漏极电极11f3的信道部11f4等。第二金属膜18与第一金属膜15同样地,为层叠膜或者单层膜,构成源极配线11j、TFT11f的源极电极11f2及漏极电极11f3等。在本实施方式中,第二金属膜18与第一金属膜15为同一材料且为同一结构。第一层间绝缘膜19由无机材料构成,将下层侧的第二金属膜18、和上层侧的第一透明电极膜20保持为绝缘状态。第一透明电极膜20例如由IZO(Indium Zinc Oxide)等透明电极材料构成,构成共用电极11h。第二层间绝缘膜21由无机材料构成,将下层侧的第一透明电极膜20、和上层侧的第二透明电极膜22保持为绝缘状态。第二透明电极膜22由与上述的第一透明电极膜20不同的透明电极材料(例如ITO(Indium Tin Oxide)等)构成,构成像素电极11g。在第一层间绝缘膜19及第二层间绝缘膜21中,开口形成用于将由第二透明电极膜22构成的像素电极11g连接到由第二金属膜18构成的漏极电极11f3的像素接触孔PCH。除该像素接触孔PCH以外,第一层间绝缘膜19及第二层间绝缘膜21至少遍及显示区域AA的整个区域地形成为整体状。取向膜11o通过层叠于第二透明电极膜22及第二层间绝缘膜21的上层侧,而以直接面向液晶层11c的形式配置。
接着,对与液晶面板11连接的部件进行说明。如图1所示,控制电路基板13在酚醛纸或玻璃环氧树脂制的基板上安装用于向驱动器12供给各种输入信号的电子部件,并且布置形成有未图示的规定的图案的配线(导电路)。在该控制电路基板13连接有柔性基板14的一个端部。
如图1所示,柔性基板14具备由具有绝缘性及柔性的合成树脂材料(例如聚酰亚胺系树脂等)构成的基材,在该基材上具有多个配线图案(未图示)。柔性基板14在液晶显示装置10内弯曲成折返状,关于长度方向的一个端部连接到控制电路基板13,另一个端部连接到液晶面板11的阵列基板11b。柔性基板14相对于液晶面板11的阵列基板11b被FOG(FilmOn Glass)安装。在柔性基板14中的关于长度方向的两端部中,配线图案在外部露出而构成端子部,这些端子部分别相对于控制电路基板13及阵列基板11b被电连接。其中,关于相对于液晶面板11被连接的柔性基板侧端子部(安装部件侧端子部)23,之后重新进行说明。由此,能够将被从控制电路基板13侧供给的输入信号向液晶面板11侧传送。
如图1所示,驱动器12由在内部具有驱动电路的LSI芯片构成,通过基于被从作为信号供给源的控制电路基板13供给的信号工作,从而对被从控制电路基板13供给的输入信号进行处理来生成输出信号,并将该输出信号向液晶面板11的显示区域AA输出。该驱动器12在俯视时呈横长的方形(沿着液晶面板11的短边呈长条状),并且相对于液晶面板11的阵列基板11b被COG(Chip OnGlass)安装。
接下来,关于相对于阵列基板11b的非显示区域NAA的、柔性基板14及驱动器12的端子连接结构进行说明。在阵列基板11b的非显示区域NAA中的部与CF基板11a重叠的不重叠部分,如图1所示,具有相对地位于显示区域AA的附近的驱动器12的安装区域DMA、和在与显示区域AA之间夹住驱动器12的安装区域DMA的柔性基板14的安装区域FMA。在阵列基板11b中的柔性基板14的安装区域FMA,如图5所示,从柔性基板14侧接受输入信号、电力的供给的多个柔性基板用面板侧端子部(端子部、面板侧端子部)24沿着X轴方向隔开间隔地以排列的形式设置有多个。另一方面,在阵列基板11b中的驱动器12的安装区域DMA,用于向驱动器12输入信号的面板侧输入端子部(端子部、输入端子部)25、和输出来自驱动器12的信号的面板侧输出端子部(端子部、输出端子部)26分别沿着X轴方向隔开间隔地以排列的形式各设有多个。柔性基板用面板侧端子部24组、面板侧输入端子部25组及面板侧输出端子部26组沿着Y轴方向隔开规定的间隔地排列配置。柔性基板用面板侧端子部24的一部分与面板侧输入端子部25通过非显示区域NAA中的以横切柔性基板14的安装区域FMA与驱动器12的安装区域DMA之间的形式布置形成的连接配线(未图示)而电连接。此外,在图5中,通过双点划线对柔性基板14及驱动器12的各安装区域DMA、FMA进行图示。
相对于此,如图5所示,在柔性基板14中的一个端部,与柔性基板用面板侧端子部24电连接的柔性基板侧端子部23沿着X轴方向隔开间隔地以排列的形式设置有多个。在驱动器12中,与面板侧输入端子部25电连接的驱动器侧输入端子部(安装部件侧输入端子部)27、和与面板侧输出端子部26电连接的驱动器侧输出端子部(安装部件侧输出端子部)28分别沿着X轴方向隔开间隔地以排列的形式设置有多个。在液晶面板11的阵列基板11b与柔性基板14及驱动器12之间以分别夹设有各向异性导电膜(ACF:Anisotropic ConductiveFilm)29的形式配置。各向异性导电膜29由多个导电性颗粒29a、和将多个导电性颗粒29a分散配合的粘合剂29b构成,液晶面板11侧的各端子部24~26、和柔性基板14及驱动器12侧的各端子部23、27、28分别经由导电性颗粒29a而被导通。
接着,关于液晶面板11侧的各端子部24~26中的面板侧输出端子部26详细地进行说明。如图5所示,面板侧输出端子部26在阵列基板11b中的驱动器12的安装区域DMA中,关于Y轴方向相对于面板侧输入端子部25在显示区域AA侧配置在隔开间隔的位置。面板侧输出端子部26其设置数量与柔性基板用面板侧端子部24、面板侧输入端子部25的各设置数量相同或者比其多,具体地,例如为源极配线11j的设置数量以上。即,面板侧输出端子部26处于伴随液晶面板11被高清晰度化而使设置数量与源极配线11j一起增加的趋势,并处于越推进高清晰度化,与柔性基板用面板侧端子部24、面板侧输入端子部25的设置数量之差越扩大的趋势。若关于具体的配置进行说明,则面板侧输出端子部26将沿着X轴方向隔开间隔地排列的端子设为一个组时,合计四个组沿着相对于X轴方向及Y轴方向的倾斜方向排列。关于上述倾斜方向相邻的面板侧输出端子部26以关于X轴方向局部重叠的形式配置,由此关于X轴方向的配置空间(关于X轴方向相邻的面板侧输出端子部26之间的排列间隔等)变的较小而成为高密度的配置。
如图7所示,面板侧输出端子部26相对于源极配线11j经由引出配线30而连接。引出配线30以相对于各面板侧输出端子部26及各源极配线11j分别单独地连接的形式配置有多个。多个引出配线30从驱动器12的安装区域DMA中的面板侧输出端子部26朝向显示区域AA(图7所示的上侧)整体以呈扇状扩展的形式被引出。本实施方式所涉及的引出配线30由与源极配线11j的第二金属膜18不同的第一金属膜15构成。因此,引出配线30的被向显示区域AA侧引出的端部以与源极配线11j中的端部重叠的形式配置,并且这些端部彼此通过开口形成于栅极绝缘膜16的未图示的接触孔而被连接。另外,引出配线30也被从驱动器12的安装区域DMA中的面板侧输出端子部26向与显示区域AA侧相反的一侧(图7所示的下侧)引出,被向与该显示区域AA侧相反的一侧引出的端部可以与配置于非显示区域NAA的未图示的检查端子部、防静电的保护电路等连接。此外,在图7中以夹设在关于X轴方向相邻的面板侧输出端子部26之间的形式图示的三根引出配线30是被从面板侧输出端子部26向与显示区域AA侧相反的一侧引出的部分。
如图7所示,面板侧输出端子部26在俯视时呈纵长的方形(长条形),其短边尺寸(宽度尺寸)为比上述的引出配线30的线宽大。在本实施方式中,面板侧输出端子部26为长边方向(长条方向、长度方向)与Y轴方向、短边方向(横向方向、宽度方向)与X轴方向分别一致的配置,在关于该短边方向的大致中央位置连接有引出配线30。因此,面板侧输出端子部26的关于短边方向的两端侧部分相对于引出配线30关于X轴方向朝两侧方突出。
如图8至图10所示,面板侧输出端子部26由以下部分构成:由第一金属膜15构成的第一端子结构部31、由第二金属膜18构成的第二端子结构部32、及由第一透明电极膜20构成的第三端子结构部33。在本实方式中,像这样将面板侧输出端子部26设为三层结构的理由之一是由于第一金属膜15与第二金属膜18由同一材料构成,因此在阵列基板11b的制造时通过蚀刻选择性地仅去除任意一方是很困难的,除此之外,因为假设去除第二端子结构部,则存在由于第三端子结构部33成为以第二金属膜18的膜厚的大小变低的配置所引起的在第三端子结构部33产生阶梯错位的担忧。此外,本实施方式所涉及的阵列基板11b至少在驱动器12的安装区域DMA中,遍及整个区域地将第二层间绝缘膜21及第二透明电极膜22去除。像这样在阵列基板11b中能够局部去除第二透明电极膜22是因为第二透明电极膜22与第一透明电极膜20由不同的透明电极材料构成,例如在阵列基板11b的制造时相对于在第二透明电极膜22的去除时使用的蚀刻液,第一透明电极膜20的反应性较低。
如图8及图10所示,第一端子结构部31由第一金属膜15构成,因此相对于由相同的第一金属膜15构成的引出配线30直接相接。第二端子结构部32至少相对于第一端子结构部31在俯视时重叠,并且通过开口形成于栅极绝缘膜16的第一接触孔34连接。第一接触孔34配置在栅极绝缘膜16中的、相对于第一端子结构部31及第二端子结构部32双方重叠的位置。第二端子结构部32其主要部分相对于第一接触孔34重叠,外周端部以相对于第一接触孔34的开口边缘重叠的形式配置。因此,第二端子结构部32的外周端部成为相对于第一接触孔34的开口边缘爬升的高低差部位32a。像这样由于第二端子结构部32以与第一接触孔34及其开口边缘重叠的形式配置,因此即使由于制造上的原因(例如光掩膜的曝光精度、蚀刻精度等)而使第二端子结构部32相对于第一接触孔34的位置稍微偏差,也能够在第一接触孔34的整个区域通过第二端子结构部32,因此第一端子结构部31及第二端子结构部32间的连接面积被保持恒定。
如图9及图10所示,第三端子结构部33至少相对于第二端子结构部32在俯视时重叠并且通过开口形成于第一层间绝缘膜19的第二接触孔35而连接。第二接触孔35配置在第一层间绝缘膜19中的相对于第二端子结构部32及第三端子结构部33双方重叠的位置。第三端子结构部33的主要部分相对于第二接触孔35重叠,外周端部以相对于第二接触孔35的开口边缘重叠的形式配置。因此,第二端子结构部33的外周端部成为相对于第二接触孔35的开口边缘爬升的高低差部位33a。与上述的第二端子结构部32同样地,第三端子结构部33以与第二接触孔35及其开口边缘重叠的形式配置,因此即使由于制造上的原因而使第三端子结构部33相对于第二接触孔35的位置稍微偏差,也能够在第二接触孔35的整个区域通过第三端子结构部33,因此第二端子结构部32及第三端子结构部33间的连接面积被保持为恒定。
进而,如图7及图10所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜16及第一层间绝缘膜19形成为第一接触孔34与第二接触孔35成为相互不重叠的配置。具体地,第一接触孔34与第二接触孔35沿着作为面板侧输出端子部26的长边方向的Y轴方向之间隔开间隔地排列配置。各接触孔34、35与面板侧输出端子部26的外形同样地,在俯视时呈纵长的方形,其长边尺寸至少比面板侧输出端子部26的长边尺寸的1/2小。
如已叙述的那样,如从图8到图10所示,第二端子结构部32及第三端子结构部33具有由于各个外周端部成为相对于第一接触孔34及第二接触孔35的各开口边缘重叠的配置所引起的高低差部位32a、33a,通过采用这样的结构,并且第二接触孔35配置在与第一接触孔34成为不重叠的位置,能够将第二端子结构部32相对于栅极绝缘膜16中的第一接触孔34的开口边缘的重叠量设定为与第一层间绝缘膜19中的第二接触孔35的开口边缘无关。即,在假设第二接触孔配置在与第一接触孔重叠的位置的情况下,需要考虑不使第一层间绝缘膜19中的第二接触孔的开口边缘相对于由于通过第一接触孔的第二端子结构部32在栅极绝缘膜16中的第一接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位32a重叠,具体地,需要确保第二端子结构部32相对于栅极绝缘膜16中的第一接触孔的开口边缘的重叠量较多。这样的设计为了假设第二接触孔的开口边缘相对于第二端子结构部32的高低差部位32a重叠,则存在该重叠的部分变成将第二金属膜18及第一层间绝缘膜19的膜厚相加后的较大的高低差而在层叠于该上层侧的第三端子结构部33产生阶梯错位等的担忧而进行。与其相比,若将第二接触孔35配置在与第一接触孔34不重叠的位置,则由于不需要考虑第二接触孔35的开口边缘相对于第二端子结构部32的高低差部位32a的配置,因此能够减小第二端子结构部32相对于栅极绝缘膜16中的第一接触孔34的开口边缘的重叠量。由此,面板侧输出端子部26的形成范围变得较小,因此在实现高清晰度方面适合。而且,关于与第一接触孔34与第二接触孔35的排列方向正交的方向、即面板侧输出端子部26中的与长边方向正交的短边方向,能够减小面板侧输出端子部26的形成范围。因此,如上述那样,在采用将面板侧输出端子部26沿着其短边方向排列多个的配置的结构中,能够减小面板侧输出端子部26间的排列间隔、因此适合更高清晰度。
如图7到图10所示,构成面板侧输出端子部26的各端子结构部31、32、33各自的外形与面板侧输出端子部26的外形几乎一致,以相互主要部分(除外周端部以外的中央侧部分)彼此在俯视时重叠的形式层叠。因此,如图10所示,第一端子结构部31在第一接触孔34的基础上,与第二接触孔35也在俯视时重叠。如图9及图10所示,第一端子结构部31中的与第二接触孔35重叠的部分和第二端子结构部32之间通过栅极绝缘膜16被绝缘。这里,假设若第一端子结构部以与第一接触孔34重叠,但不与第二接触孔35重叠的形式设置,则存在由于第二端子结构部32及第三端子结构部33中的与第二接触孔35重叠的部分以第一金属膜15的膜厚大小变低所引起的在第二端子结构部32及第三端子结构部33形成除上述的高低差部位32a、33a以外的高低差部位的担忧。关于这一点,如上述那样,通过第一端子结构部31以与第二接触孔35重叠的形式设置,保证了第二端子结构部32及第三端子结构部33的平坦性。
同样地,如图10所示,第三端子结构部33除第二接触孔35以外,也与第一接触孔34在俯视时重叠。如图8及图10所示,第三端子结构部33中的与第一接触孔34重叠的部分和第二端子结构部32之间通过第一层间绝缘膜19被绝缘。这里,与假设第三端子结构部以与第二接触孔35重叠,但不与第一接触孔34重叠的形式设置的情况相比,第三端子结构部33的形成范围被较宽地确保。因此,在相对于第三端子结构部33连接驱动器12的驱动器侧输出端子部28的结构中,面板侧输出端子部26相对于驱动器12的驱动器侧输出端子部28的连接面积被充分确保,因此实现了驱动器12的驱动器侧输出端子部28及面板侧输出端子部26间的电阻的降低。
如以上进行说明那样,本实施方式的阵列基板(安装基板)11b至少具备:玻璃基板GS,其安装有驱动器(安装部件)12;面板侧输出端子部(端子部)26,其配置在玻璃基板GS中的安装有驱动器12的安装区域DMA并为与驱动器12连接的端子部;第一端子结构部31,其由设置在玻璃基板GS上的第一金属膜(第一导电膜)15构成,并构成面板侧输出端子部26;栅极绝缘膜16,其是配置在第一金属膜15的上层侧的栅极绝缘膜(第一绝缘膜)16,且在与第一端子结构部31重叠的位置开口形成第一接触孔34;第二端子结构部32,其由配置在栅极绝缘膜16的上层侧的第二金属膜(第二导电膜)18构成并构成面板侧输出端子部26,且以至少与第一接触孔34及其开口边缘重叠的形式配置并且通过第一接触孔34而连接到第一端子结构部31;第一层间绝缘膜19,其是配置在第二金属膜18的上层侧的第一层间绝缘膜(第二绝缘膜)19,第一层间绝缘膜19与第二端子结构部32重叠且在与第一接触孔34不重叠的位置开口形成第二接触孔35;第三端子结构部33,其由配置在第一层间绝缘膜19的上层侧的第一透明电极膜(第三导电膜)20构成并构成面板侧输出端子部26,且以至少与第二接触孔35及其开口边缘重叠的形式配置并且通过第二接触孔35而与第二端子结构部32连接。
根据这样的结构,若驱动器12安装于玻璃基板GS中的安装区域DMA,则与在该安装区域DMA配置的面板侧输出端子部26连接。面板侧输出端子部26为如下结构:通过相对于由第一金属膜15构成的第一端子结构部31开口形成于栅极绝缘膜16的第一接触孔34而连接由第二金属膜18构成的第二端子结构部32,并且通过相对于第二端子结构部32开口形成于第一层间绝缘膜19的第二接触孔35而连接由第一透明电极膜20构成的第三端子结构部33。
第二端子结构部32以至少与第一接触孔34及其开口边缘重叠的形式配置,因此即使由于制造上的原因而使第二端子结构部32相对于第一接触孔34的位置稍微偏差,也能够在第一接触孔34的整个区域通过第二端子结构部32,因此第一端子结构部31及第二端子结构部32间的连接面积为恒定。同样地,第三端子结构部33通过以至少与第二接触孔35及其开口边缘重叠的形式配置,因此第二端子结构部32及第三端子结构部33间的连接面积为恒定。
通过在采用这样的结构的同时,第二接触孔35配置在与第一接触孔34不重叠的位置,能够将第二端子结构部32相对于栅极绝缘膜16中的第一接触孔34的开口边缘的重叠量设定为与第一层间绝缘膜19中的第二接触孔35的开口边缘无关。即,在假设第二接触孔被配置在与第一接触孔34重叠的位置的情况下,需要考虑不使第一层间绝缘膜19中的第二接触孔的开口边缘相对于由于通过第一接触孔34的第二端子结构部32在栅极绝缘膜16中的第一接触孔34的开口边缘爬升而产生的高低差部位32a重叠,具体地,需要确保第二端子结构部32相对于栅极绝缘膜16中的第一接触孔34的开口边缘的重叠量较多。与此相比,若将第二接触孔35配置在与第一接触孔34不重叠的位置,则能够减小第二端子结构部32相对于栅极绝缘膜16中的第一接触孔34的开口边缘的重叠量。由此,面板侧输出端子部26的形成范围变得较小。
另外,面板侧输出端子部26呈长条状,栅极绝缘膜16及第一层间绝缘膜19形成为第一接触孔34与第二接触孔35沿着面板侧输出端子部26的长条方向排列。通过这样做,关于与第一接触孔34和第二接触孔35的排列方向正交的方向、即与面板侧输出端子部26中的长条方向正交的短边方向,能够减小面板侧输出端子部26的形成范围。因此,例如在采用将面板侧输出端子部26沿着短边方向排列多个的配置的情况下,能够减小面板侧输出端子部26间的排列间隔。
另外,第一端子结构部31以与第二接触孔35重叠的形式设置。假设第一端子结构部31以不与第二接触孔35重叠的形式设置,则存在由于第二端子结构部32及第三端子结构部33中的与第二接触孔35重叠的部分以第一金属膜的膜厚大小变低所引起的在第二端子结构部32及第三端子结构部33形成高低差部位较多的担忧。关于这一点,如上述那样,通过第一端子结构部31以与第二接触孔35重叠的形式设置,保证了第二端子结构部32及第三端子结构部33的平坦性。
另外,第三端子结构部33以与第一接触孔34重叠的形式设置。若这样做,则与假设第三端子结构部33以不与第一接触孔34重叠的形式设置的情况相比,第三端子结构部33的形成范围被较宽地确保。因此,例如若采用相对于第三端子结构部33连接驱动器12的结构,则面板侧输出端子部26相对于驱动器12的连接面积被充分确保,因此实现了驱动器12及面板侧输出端子部26间的电阻的降低。
另外,在端子部中含有用于向驱动器12输入信号的面板侧输入端子部(输入端子部)25、和将来自驱动器12的信号输出的面板侧输出端子部(输出端子部)26,至少面板侧输出端子部26至少由第一端子结构部31、第二端子结构部32及第三端子结构部33构成。输入来自驱动器12的信号的面板侧输出端子部26与面板侧输入端子部相比,处于伴随着输出的信号数量的增加等而要求将设置数量设为更多的趋势,因此通过将面板侧输出端子部26至少由第一端子结构部31、第二端子结构部32及第三端子结构部33构成,能够减小面板侧输出端子部26的形成范围,因此在实现面板侧输出端子部26所涉及的设置数量的增加方面适合。
另外,本实施方式所涉及的液晶面板(显示面板)11具备阵列基板11b、和以与阵列基板11b对置的形式配置的CF基板(对置基板)11a。根据这样的结构的液晶面板11,面板侧输出端子部26的形成范围较小,因此在实现显示的图像的高清晰度等方面上适合。
<第二实施方式>
通过图11至图15对发明的第二实施方式进行说明。在该第二实施方式中,表示变更了面板侧输出端子部126的结构。此外,对于与上述的第一实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图11及图15所示,本实施方式所涉及的面板侧输出端子部126构成为包括:由第一金属膜115构成的第一端子结构部131、由第二金属膜118构成的第二端子结构部132、由第一透明电极膜120构成的第三端子结构部133以及由第二透明电极膜122构成的第四端子结构部36。在本实施方式中,构成第四端子结构部36的第二透明电极膜122与构成第三端子结构部133的第一透明电极膜120由同一材料(例如ITO)构成。像这样若将第一透明电极膜120与第二透明电极膜122设为同一材料,则在阵列基板111b的制造时通过蚀刻选择性地仅去除第一透明电极膜120和第二透明电极膜122中的任意一方是困难的,因此在本实施方式中,面板侧输出端子部126为四层结构。
如图14及图15所示,第四端子结构部36至少相对于第三端子结构部133在俯视时重叠并且通过开口形成于第二层间绝缘膜121的第三接触孔37而连接。因此,面板侧输出端子部126为如下结构:第一端子结构部131、第二端子结构部132及第三端子结构部133相互被连接,相对于第三端子结构部133通过开口形成于第二层间绝缘膜121的第三接触孔37而连接由第二透明电极膜122构成的第四端子结构部36。第三接触孔37配置在第二层间绝缘膜121中的、相对于第三端子结构部133及第四端子结构部36双方重叠的位置。第四端子结构部36以其主要部分相对于第三接触孔37重叠,外周端部相对于第三接触孔37的开口边缘重叠的形式配置。因此,第四端子结构部36的外周端部成为相对于第三接触孔37的开口边缘爬升的高低差部位36a。第四端子结构部36以与第三接触孔37及其开口边缘重叠的形式配置,因此即使由于制造上的原因而使第四端子结构部36相对于第三接触孔37的位置稍微偏差,也能够在第三接触孔37的整个区域通过第四端子结构部36,因此第三端子结构部132及第四端子结构部36间的连接面积被保持为恒定。
进而,如图11及图15所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜116、第一层间绝缘膜119及第二层间绝缘膜121形成为第一接触孔134与第二接触孔135及第三接触孔37成为彼此不重叠的配置。具体地,第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37沿着作为面板侧输出端子部126的长边方向的Y轴方向之间隔开间隔地排列配置。各接触孔134、135、37与面板侧输出端子部126的外形同样地,在俯视观察时呈纵长的方形,其长边尺寸至少比面板侧输出端子部126的长边尺寸的1/3小。
如已经叙述的那样,如图12至图15所示,第二端子结构部132、第三端子结构部133及第四端子结构部36具有由于各自的外周端部成为相对于第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37的各开口边缘重叠的配置所引起的高低差部位132a、133a、36a,通过在采用这样的结构的同时第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37配置在彼此为不重叠的位置,能够将第二端子结构部132相对于栅极绝缘膜116中的第一接触孔134的开口边缘的重叠量设定为与第一层间绝缘膜119中的第二接触孔135的开口边缘无关,并且能够将第三端子结构部133相对于第一层间绝缘膜119中的第二接触孔135的开口边缘的重叠量设定为与第二层间绝缘膜121中的第三接触孔37的开口边缘无关。即,假设在第一接触孔、第二接触孔及第三接触孔配置在彼此重叠的位置的情况下,需要考虑不使第一层间绝缘膜119中的第二接触孔的开口边缘相对于由于通过第一接触孔的第二端子结构部132在栅极绝缘膜116中的第一接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位132a重叠,并且不使第二层间绝缘膜121中的第三接触孔的开口边缘相对于由于通过第二接触孔的第三端子结构部133在第一层间绝缘膜119中的第二接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位133a重叠,具体地,需要分别确保第二端子结构部132相对于栅极绝缘膜116中的第一接触孔的开口边缘的重叠量较多,且第三端子结构部133相对于第一层间绝缘膜119中的第二接触孔的开口边缘的重叠量较多。这样的设计为了假设第二接触孔的开口边缘相对于第二端子结构部132的高低差部位132a重叠,则存在该重叠的部分变成将第二金属膜118及第一层间绝缘膜119的膜厚相加后的较大的高低差而在层叠于该上层侧的第三端子结构部133产生阶梯错位等的担忧、并且假设第三接触孔的开口边缘相对于第三端子结构部133的高低差部位133a重叠,则存在该重叠的部分变成将第一透明电极膜120及第二层间绝缘膜121的膜厚相加后的较大的高低差而在层叠于该上层侧的第四端子结构部36产生阶梯错位等的担忧而进行。与此相比,若将第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37相互配置在不重叠的位置,则不需要考虑第二接触孔135的开口边缘相对于第二端子结构部132的高低差部位132a的配置,并且不需要考虑第三接触孔37的开口边缘相对于第三端子结构部133的高低差部位133a的配置,因此能够分别减小第二端子结构部132相对于栅极绝缘膜116中的第一接触孔134的开口边缘的重叠量、和第三端子结构部133相对于第一层间绝缘膜119中的第二接触孔135的开口边缘的重叠量。由此,面板侧输出端子部126的形成范围变得较小,因此在实现高清晰度方面上适合。
如以上说明的那样,根据本实施方式,至少具备:第二层间绝缘膜121,其是配置在第一透明电极膜120的上层侧的第二层间绝缘膜(第三绝缘膜)121,且在与第三端子结构部133重叠的位置开口形成第三接触孔37;和第四端子结构部36,其由配置在第二层间绝缘膜121的上层侧的第二透明电极膜(第四导电膜)122构成,且构成面板侧输出端子部126,并以与第三接触孔37及其开口边缘重叠的形式配置并且通过第三接触孔37而连接到第三端子结构部133。这样做,面板侧输出端子部126为如下结构:在第一端子结构部131、第二端子结构部132及第三端子结构部133相互被连接的基础上,相对于第三端子结构部133通过开口形成于第二层间绝缘膜121的第三接触孔37而连接有由第二透明电极膜122构成的第四端子结构部36。
另外,栅极绝缘膜116、第一层间绝缘膜119及第二层间绝缘膜121形成为第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37彼此成为不重叠。假设在第一接触孔、第二接触孔及第三接触孔配置在彼此重叠的位置的情况下,需要考虑不使第一层间绝缘膜119中的第二接触孔的开口边缘相对于由于通过第一接触孔的第二端子结构部32在栅极绝缘膜116中的第一接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位132a重叠,并且需要考虑不使第二层间绝缘膜121中的第三接触孔的开口边缘相对于由于通过第二接触孔的第三端子结构部133在第一层间绝缘膜119中的第二接触孔的开口边缘爬升而产生的高低差部位133a重叠,具体地,需要分别确保第二端子结构部132相对于栅极绝缘膜116中的第一接触孔的开口边缘的重叠量较多、和第三端子结构部133相对于第一层间绝缘膜119中的第二接触孔的开口边缘的重叠量较多。与其相比,若第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37为彼此不重叠的配置,则能够分别减小第二端子结构部132相对于栅极绝缘膜116中的第一接触孔134的开口边缘的重叠量、和第三端子结构部133相对于第一层间绝缘膜119中的第二接触孔135的开口边缘的重叠量。由此,由第一端子结构部131、第二端子结构部132、第三端子结构部133及第四端子结构部36构成的面板侧输出端子部126的形成范围变小。
<第三实施方式>
通过图16到图19,对本发明的第三实施方式进行说明。在该第三实施方式中,示出根据上述的第二实施方式变更了各接触孔234、235、237的配置及形成范围。此外,关于与上述的第二实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图16到图19所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜216、第一层间绝缘膜219及第二层间绝缘膜221形成为第一接触孔234相对于第二接触孔235及第三接触孔237不重叠,但第二接触孔235与第三接触孔237相互重叠。具体地,第一接触孔234在面板侧输出端子部226中关于Y轴方向配置在图16所示的上侧,第二接触孔235及第三接触孔237在面板侧输出端子部226中关于Y轴方向配置在该图的下侧。即,第一接触孔234与第二接触孔235及第三接触孔237的排列方向和面板侧输出端子部226的长边方向一致。第一接触孔234的长边尺寸与第二接触孔235及第三接触孔237的长边尺寸彼此几乎相等且至少比面板侧输出端子部226的长边尺寸的1/2小。
根据这样的结构,如上述的第二实施方式所记载的那样,若与第一接触孔134、第二接触孔135及第三接触孔37以相互为不重叠的方式排列成一列的配置的情况相比(参照图11),能够减小关于各接触孔234、235、237的排列方向的面板侧输出端子部226的形成范围。
如以上说明的那样,根据本实施方式,第二层间绝缘膜221形成为第三接触孔237至少与第二接触孔235重叠。通过这样做,与假设第一接触孔、第二接触孔及第三接触孔以相互为不重叠的方式排列成一列的配置的情况相比,能够关于第一接触孔234与第二接触孔235的排列方向减小面板侧输出端子部226的形成范围。
<第四实施方式>
根据图20到图23,对本发明的第四实施方式进行说明。在该第四实施方式中,示出了由上述的第三实施方式变更了第三接触孔337的形成范围。此外,对于与上述的第三实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图20到图23所示,本实施方式所涉及的第二层间绝缘膜321形成为第三接触孔337在第二接触孔335的基础上也与第一接触孔334重叠。具体地,第三接触孔337具有在面板侧输出端子部326中关于Y轴方向横跨沿图20所示的上下方向排列的第一接触孔334与第二接触孔335的形成范围。第三接触孔337虽然其长边尺寸比面板侧输出端子部326的长边尺寸小,但为第一接触孔334及第二接触孔335的各长边尺寸的2倍以上。
这里,通过第三接触孔337而连接的第三端子结构部333及第四端子结构部336构成为包括均由透明电极材料构成的第一透明电极膜320及第二透明电极膜322。因此,第三端子结构部333及第四端子结构部336间的电阻与第一端子结构部331及第二端子结构部332间的电阻、第二端子结构部332及第三端子结构部333间的电阻相比,往往变得较大。关于这一点,如上述那样,第三接触孔337在第二接触孔335的基础上也与第一接触孔334重叠,从而第四端子结构部336相对于第三端子结构部333的接触面积变大,因此实现了面板侧输出端子部326所涉及的电阻的降低。
如以上说明的那样,根据本实施方式,作为第三导电膜的第一透明电极膜320及作为第四导电膜的第二透明电极膜322分别设为透明电极膜,第二层间绝缘膜321形成为第三接触孔337也与第一接触孔334重叠。在第一透明电极膜320及第二透明电极膜322分别设为透明电极膜的结构中,第三端子结构部333及第四端子结构部336间的电阻往往变得较大。关于这一点,如上述那样,第三接触孔337在第二接触孔335的基础上也与第一接触孔334重叠,从而第四端子结构部336相对于第三端子结构部333的接触面积较大,因此实现了面板侧输出端子部326所涉及的电阻的降低。
<第五实施方式>
通过图24或图25对本发明的第五实施方式进行说明。在该第五实施方式中,示出了由上述的第二实施方式变更了各接触孔434、435、437的开口面积。此外,关于与上述的第二实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图24及图25所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜416、第一层间绝缘膜419及第二层间绝缘膜421形成为各接触孔434、435、437的开口面积彼此不同。具体地,第一接触孔434的长边尺寸为最小,伴随于此,开口面积也为最小。相对于此,第三接触孔437的长边尺寸为最大,伴随于此,开口面积也为最大。第二接触孔435的长边尺寸比第一接触孔434大而比第三接触孔437小,伴随于此,开口面积也比第一接触孔434大而比第三接触孔437小。
这里,通过第一接触孔434而连接的第一端子结构部431及第二端子结构部432构成为包括均由金属材料构成的第一金属膜415及第二金属膜418。相对于此,通过第二接触孔435而连接的第二端子结构部432与第三端子结构部433分别构成为包括由金属材料构成的第二金属膜418、与由透明电极材料构成的第一透明电极膜420。进一步,通过第三接触孔437而连接的第三端子结构部433及第四端子结构部436构成为包括均由透明电极材料构成的第一透明电极膜420及第二透明电极膜422。因此,假设各端子结构部间的接触面积全部相同,则第一端子结构部431及第二端子结构部432间的电阻为最小,而第三端子结构部433及第四端子结构部436间的电阻变得最大,另外,第二端子结构部432及第三端子结构部433间的电阻为它们中间的值。关于这一点,如上述那样,若将第一接触孔434的开口面积设为最小,将第三接触孔437的开口面积设为最大,则能够将原本电阻较小的第一端子结构部431及第二端子结构部432间的接触面积保持在最小限度,并与其相应地将原本电阻较大的第三端子结构部433及第四端子结构部436间的接触面积确保为最大限度。由此,能够降低面板侧输出端子部426的电阻。
如以上说明的那样,根据本实施方式,作为第一导电膜的第一金属膜415及作为第二导电膜的第二金属膜418分别设为金属膜,作为第三导电膜的第一透明电极膜420及作为第四导电膜的第二透明电极膜422分别设为透明电极膜,栅极绝缘膜416、第一层间绝缘膜419及第二层间绝缘膜421形成为第一接触孔434的开口面积为最小,第三接触孔437的开口面积为最大。第一金属膜415及第二金属膜418分别设为金属膜,在第一透明电极膜420及第二透明电极膜422分别设为透明电极膜的结构中,若接触面积全部相同,则第一端子结构部431及第二端子结构部432间的电阻为最小,第三端子结构部433及第四端子结构部436间的电阻为最大。相对于此,如上述那样,第一接触孔434的开口面积为最小,第三接触孔437的开口面积为最大,因此能够将原本电阻较小的第一端子结构部431及第二端子结构部432间的接触面积保持在最小限度,与其相应地将原本电阻较大的第三端子结构部433及第四端子结构部436间的接触面积确保为最大限度。由此,能够降低面板侧输出端子部426的电阻。
<第六实施方式>
通过图26或图27对本发明的第六实施方式进行说明。在该第六实施方式中,示出了根据上述的第二实施方式变更了各接触孔534、535、537的结构。此外,关于与上述的第二实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图26及图27所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜516、第一层间绝缘膜519及第二层间绝缘膜521形成为各接触孔534、535、537分别由各自多个的分割接触孔534S、535S、537S构成。具体地,第一接触孔534由沿着Y轴方向(面板侧输出端子部526的长边方向)隔开间隔地排列的四个第一分割接触孔(分割接触孔)534S构成。第二接触孔535由沿着Y轴方向隔开间隔地排列的四个第二分割接触孔(分割接触孔)535S构成。第三接触孔537由沿着Y轴方向隔开间隔地排列的四个第三分割接触孔(分割接触孔)537S构成。像这样,在面板侧输出端子部526中,合计12个分割接触孔534S、535S、537S以排列成一列的方式设置。各分割接触孔534S、535S、537S在俯视时大致为正方形,关于其Y轴方向的尺寸至少比面板侧输出端子部526的长边尺寸的1/12小。
第二端子结构部532通过构成第一接触孔534的四个第一分割接触孔534S而相对于第一端子结构部531被连接。第二端子结构部532为位于通过各第一分割接触孔534S的部分之间的部分配置在夹设在栅极绝缘膜516中的相邻的第一分割接触孔534S之间的部分的上层侧,因此作为整体保证了表面的平坦性。同样地,第三端子结构部533通过构成第二接触孔535的四个第二分割接触孔535S而相对于第二端子结构部532被连接。第三端子结构部533成为位于通过各第二分割接触孔535S的部分之间的部分配置在夹设在第一层间绝缘膜519中的相邻的第二分割接触孔535S之间的部分的上层侧,因此作为整体保证了表面的平坦性。第四端子结构部536通过构成第三接触孔537的四个第三分割接触孔537S而相对于第三端子结构部533被连接。第四端子结构部536成为位于通过各第三分割接触孔537S的部分之间的部分夹设在第二层间绝缘膜521中的相邻的第三分割接触孔537S之间的部分的上层侧,因此作为整体保证了表面的平坦性。
如以上说明的那样,根据本实施方式,栅极绝缘膜516、第一层间绝缘膜519及第二层间绝缘膜521形成为第一接触孔534、第二接触孔535及第三接触孔537中的至少任意一个由隔开间隔地排列配置的多个分割接触孔534S、535S、537S构成。通过这样做,第二端子结构部532、第三端子结构部533及第四端子结构部536中的至少任意一个通过隔开间隔地排列的多个分割接触孔534S、535S、537S而相对于第一端子结构部531、第二端子结构部532及第三端子结构部533中的至少任意一个被连接。第二端子结构部532、第三端子结构部533及第四端子结构部536中的至少任意一个位于通过各分割接触孔534S、535S、537S的部分之间的部分配置在夹设在栅极绝缘膜516、第一层间绝缘膜519及第二层间绝缘膜521中的至少任一个中相邻的分割接触孔534S、535S、537S之间的部分的上层侧,因此整体保证了表面的平坦性。
<第七实施方式>
通过图28或图29对本发明的第七实施方式进行说明。在该第七实施方式中,示出了根据上述的第一实施方式将各接触孔634、635的开口面积与上述的第五实施方式同样地进行了变更。此外,关于与上述的第一实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图28及图29所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜616及第一层间绝缘膜619形成为各接触孔634、635的开口面积相互不同。具体地,第一接触孔634的长边尺寸及开口面积相对较小。相对于此,第二接触孔635的长边尺寸及开口面积相对较大。这里,通过第一接触孔634而被连接的第一端子结构部631及第二端子结构部632由均由金属材料构成的第一金属膜615及第二金属膜618构成。相对于此,通过第二接触孔635而被连接的第二端子结构部632与第三端子结构部633分别由第二金属膜618和第一透明电极膜620构成,第二金属膜618由金属材料构成,第一透明电极膜620由透明电极材料构成。因此,假设各端子结构部间的接触面积为全部相同,则第一端子结构部631及第二端子结构部632间的电阻相对变小,而第二端子结构部632及第三端子结构部633间的电阻相对变大。在关于这一点,如上述那样,若将第一接触孔634的开口面积相对地减小,并将第二接触孔635的开口面积相对地增大,则能够将原本电阻较小的第一端子结构部631及第二端子结构部632间的接触面积保持为较小,与其相应地将原本电阻较大的第三端子结构部633及第四端子结构部636间的接触面积确保为较大。由此,能够降低面板侧输出端子部626的电阻。
如以上说明的那样,根据本实施方式,作为第一导电膜的第一金属膜615及作为第二导电膜的第二金属膜618分别设为金属膜,作为第三导电膜的第一透明电极膜620设为透明电极膜,栅极绝缘膜616及第一层间绝缘膜619形成为第二接触孔635的开口面积比第一接触孔634的开口面积大。第一金属膜615及第二金属膜618分别设为金属膜,在第一透明电极膜620设为透明电极膜的结构中,若接触面积全部相同,则第一端子结构部631及第二端子结构部632间的电阻变得比第二端子结构部632及第三端子结构部633间的电阻小。相对于此,如上述那样,第二接触孔635的开口面积比第一接触孔634的开口面积大,因此能够将原本电阻较小的第一端子结构部631及第二端子结构部632间的接触面积保持较小,与其相应地将原本电阻较大的第二端子结构部632及第三端子结构部633间的接触面积确保为较大。由此,能够降低面板侧输出端子部626的电阻。
<第八实施方式>
根据图30或图31对本发明的第八实施方式进行说明。在该第八实施方式中,示出根据上述的第一实施方式将各接触孔734、735的结构与上述的第六实施方式同样地进行变更。此外,关于与上述的第一实施方式同样的结构、作用及效果省略重复的说明。
如图30及图31所示,本实施方式所涉及的栅极绝缘膜716及第一层间绝缘膜719形成为各接触孔734、735各自由多个的分割接触孔734S、735S构成。具体地,第一接触孔734由沿着Y轴方向(面板侧输出端子部726的长边方向)隔开间隔地排列的六个第一分割接触孔734S构成。第二接触孔735由沿着Y轴方向隔开间隔地排列的六个第二分割接触孔735S构成。像这样在面板侧输出端子部726中,合计12个分割接触孔734S、735S排列成一列地设置。各分割接触孔734S、735S在俯视时为大致正方形,关于其Y轴方向的尺寸至少比面板侧输出端子部726的长边尺寸的1/12小。
第二端子结构部732通过构成第一接触孔734的六个第一分割接触孔734S而相对于第一端子结构部731被连接。第二端子结构部732成为位于通过各第一分割接触孔734S的部分之间的部分配置在夹设在栅极绝缘膜716中相邻的第一分割接触孔734S之间的部分的上层侧,因此整体保证了表面的平坦性。同样地,第三端子结构部733通过构成第二接触孔735的六个第二分割接触孔735S而相对于第二端子结构部732被连接。第三端子结构部733成为位于通过各第二分割接触孔735S的部分之间的部分配置在夹设在第一层间绝缘膜719中相邻的第二分割接触孔735S之间的部分的上层侧,因此整体保证了表面的平坦性。
<其他实施方式>
本发明并不限于通过上述叙述及附图进行说明的实施方式,例如如下的实施方式也包含在本发明的技术范围内。
(1)在上述的各实施方式中,例示了输出来自驱动器的信号的面板侧输出端子部的结构,但也可以将用于向驱动器输入信号的面板侧输入端子部、与柔性基板连接的柔性基板用面板侧端子部的结构设为与已述的面板侧输出端子部的结构相同。通过这样做,在实现伴随着进一步的高清晰度的各端子部的宽度尺寸、排列间隔的窄小化方面上适合。
(2)在上述的第一实施方式、第七实施方式、第八实施方式中,示出了第一透明电极膜由IZO等透明电极材料构成,第二透明电极膜由ITO等透明电极材料构成的情况,但也可以为第一透明电极膜由ITO等透明电极材料构成,第二透明电极膜由IZO等透明电极材料构成。
(3)在上述的第二实施方式~第六实施方式中,示出了第一透明电极膜及第二透明电极膜均由ITO等透明电极材料构成的情况,但也可以是第一透明电极膜及第二透明电极膜均由IZO等透明电极材料构成。另外,也可以是第一透明电极膜及第二透明电极膜由不同的透明电极材料构成。具体地,也可以是第一透明电极膜及第二透明电极膜中的一方由ITO等构成,另一方由IZO等构成的结构。
(4)在上述的第三实施方式中,示出了第二接触孔及第三接触孔相互重叠而与第一接触孔不重叠的情况,但也可以是第一接触孔及第二接触孔相互重叠而与第三接触孔不重叠的结构。另外,也可以是第一接触孔及第三接触孔相互重叠而与第二接触孔不重叠的结构。
(5)也可以对上述的第三实施方式、第四实施方式所记载的结构组合第五实施方式、第六实施方式所记载的结构。
(6)也可以对上述的第五实施方式所记载的结构组合第六实施方式所记载的结构。同样地,也可以对上述的第七实施方式所记载的结构组合第八实施方式所记载的结构。
(7)在上述的第六实施方式、第八实施方式中,示出了各分割接触孔的开口面积大致相等的情况,但也可以使各分割接触孔含有开口面积不同孔。
(8)在上述的第六实施方式、第八实施方式中,示出了各接触孔分别由多个分割接触孔构成的情况,但也可以在各接触孔中混合由多个分割接触孔构成的孔、和非分割的孔。
(9)在上述的各实施方式中,示出了各接触孔的排列方向与面板侧输出端子部的长边方向并行的情况,但也可以是各接触孔的排列方向与相对于面板侧输出端子部的长边方向的倾斜方向并行的结构、与面板侧输出端子部的短边方向并行的结构。
(10)在上述的各实施方式中,示出了呈长条状的面板侧输出端子部的长边方向与Y轴方向、短边方向与X轴方向分别一致的配置的情况,但也可以为呈长条状的面板侧输出端子部的长边方向与X轴方向、短边方向与Y轴方向分别一致的配置。
(11)在上述的各实施方式中,示出了面板侧输出端子部的平面形状为长方形的情况,但面板侧输出端子部的平面形状也可以是正方形、长圆形、圆形、椭圆形、梯形等。
(12)除上述的各实施方式以外,驱动器的安装区域中的多个面板侧输出端子部所涉及的具体的配置也可以适当地变更。例如,多个面板侧输出端子部也可以是不沿着相对于X轴方向及Y轴方向的倾斜方向排列,而为关于X轴方向以隔开间隔地排列的方式配置的结构。另外,也能够将沿着相对于X轴方向及Y轴方向的倾斜方向排列的面板侧输出端子部的排列数量变更为除4个以外(2个、3个、5个以上)。
(13)在上述的各实施方式中,示出了构成面板侧输出端子部的全部端子结构部的主要部分(中央侧部分)彼此相互重叠的结构,但也可以是各端子结构部的主要部分局部不重叠的结构。
(14)在上述的各实施方式中,示出了第一金属膜与第二金属膜为同一材料且为同一结构的情况,但也可以是第一金属膜与第二金属膜的材料不同,或者结构(在层叠膜的情况下,层叠顺序、层叠数量等)不同。
(15)在上述的各实施方式中,例示了将“第一导电膜”设为第一金属膜的情况,但也可以将“第一导电膜”设为第二金属膜。该情况下,“第二导电膜”成为第一透明电极膜,“第三导电膜”成为第二透明电极膜,“第一绝缘膜”成为第一层间绝缘膜,“第二绝缘膜”成为第二层间绝缘膜。
(16)在上述的各实施方式中,例示了被从面板侧输出端子部向显示区域侧引出的引出配线与源极配线直接连接的情况,但也可以是引出配线与源极配线例如经由单片设置在阵列基板上的电路部(RGB开关电路部等)间接地连接的结构。在引出配线与源极配线经由RGB开关电路部连接的结构中,能够对面板侧输出端子部及引出配线的设置数量的3倍的数量的源极配线供给输出信号,因此更加适合高清晰度。
(17)在上述的各实施方式中,示出了引出配线被从面板侧输出端子部向显示区域侧与其相反侧(检查端子部侧)双方引出的情况,但也可以是引出配线仅被从面板侧输出端子部向显示区域侧引出的结构。
(18)在上述的各实施方式中,示出了引出配线由第一金属膜构成的情况,但也可以是引出配线由第二金属膜构成。
(19)在上述的各实施方式中,示出了全部的引出配线由第一金属膜构成的情况,但也可以混合由第一金属膜构成的引出配线、和由第二金属膜构成的引出配线。具体地,可以采用从端部数第奇数个引出配线、与第偶数个引出配线由不同的金属膜构成的结构,由此能够将相邻的引出配线间的间隔减小或几乎消除,因此更加适合在实现高清晰度上。
(20)在上述的各实施方式中,示出了具备栅极绝缘膜、第一层间绝缘膜及第二层间绝缘膜三层的绝缘膜的情况,但也可以是具备四层以上的绝缘膜的结构。该情况下,例如也能够对第一层间绝缘膜的上层侧且在第一透明电极膜的下层侧增加由有机材料(丙烯酸树脂等)构成的平坦化膜。
(21)在上述的各实施方式中,示出了各绝缘膜均由无机材料构成的情况,但也可以在各绝缘膜中的任一个中含有由有机材料(丙烯酸树脂等)构成的材料。
(22)除上述的各实施方式以外,也可以使用ZnO(Zinc Oxide)等作为第一透明电极膜、第二透明电极膜的具体的透明电极材料。
(23)在上述的各实施方式中,示出了液晶面板的平面形状为纵长的方形的情况,但液晶面板的平面形状也可以是横长的方形、正方形、长圆形状、椭圆形状、圆形、梯形等。
(24)在上述的各实施方式中,关于动作模式为FFS模式的液晶面板进行了例示,但除此之外,关于IPS(In-Plane Switching)模式、VA(Vertical Alignment:垂直取向)模式等其他动作模式的液晶面板也能够应用本发明。其中,例如在VA模式的液晶面板中,采用在上述的第一实施方式、第七实施方式、第八实施方式所记载的结构中,不具备第二透明电极膜及第二层间绝缘膜的结构即可。
(25)在上述的各实施方式中,例示了驱动器相对于液晶面板的阵列基板被COG安装的情况,但也可以是驱动器相对于具有柔性的柔性基板被COF(ChipOn Film)安装的结构。该情况下,柔性基板成为“安装基板”,因此对设置在柔性基板上并与驱动器的各端子部连接的各端子部中的任一个(优选输出端子部)或者全部应用本发明即可。
(26)在上述的各实施方式中,例示了构成TFT的信道部的半导体膜由氧化物半导体材料构成的情况,但除此之外,例如也可以使用作为多晶硅(多晶化的硅(多晶硅)的一种的CG硅(Continuous Grain Silicon))、非晶硅作为半导体膜的材料。
(27)在上述的各实施方式中,例示了液晶面板的彩色滤光片为红色、绿色及蓝色三色结构,但对于具备在红色、绿色及蓝色的各着色部添加黄色或白色的着色部而为四色结构的彩色滤光片的液晶面板也可以应用本发明。
(28)在上述的各实施方式中,关于为在一对基板间夹持有液晶层的结构的液晶面板及其制造方法进行了例示,但关于在一对基板间夹持了除液晶材料以外的功能性有机分子(介质层)的显示面板也能够应用本发明。
(29)在上述的各实施方式中,作为液晶面板的开关元件使用了TFT,但也能够应用于使用了TFT以外的开关元件(例如薄膜二极管(TFD))的液晶面板,除彩色显示的液晶面板以外,也能够应用于黑白显示的液晶面板。
(30)在上述的各实施方式中,作为显示面板例示了液晶面板,但也能够对其他种类的显示面板(PDP(等离子显示面板)、有机EL面板、EPD(电泳显示面板)、MEMS(MicroElectro Mechanical Systems)显示面板等)也应用本发明。
(31)在上述的第一实施方式、第七实施方式、第八实施方式中,例示了将“第三导电膜”设为第一透明电极膜的情况,但也可以将“第三导电膜”设为第二透明电极膜。该情况下,在驱动器的安装区域中至少将第一透明电极膜去除,在上述安装区域中未去除第一层间绝缘膜及第二层间绝缘膜的情况下,“第二绝缘膜”由第一层间绝缘膜及第二层间绝缘膜构成,而在该安装区域中选择性地去除第二层间绝缘膜的情况下,“第二绝缘膜”由第一层间绝缘膜构成。另外,在上述安装区域中选择性地去除第一层间绝缘膜的情况下,“第二绝缘膜”由第二层间绝缘膜构成。
附图标记说明
11…液晶面板(显示面板);11a…CF基板(对置基板);11b…阵列基板(安装基板);12…驱动器(安装部件);14…柔性基板(安装部件);15、115、415、615…第一金属膜(第一导电膜);16、116、216、416、516、616、716…栅极绝缘膜(第一绝缘膜);18、118、418…第二金属膜(第二导电膜);19、119、219、419、519、619、719…第一层间绝缘膜(第二绝缘膜);20、120、320、420、620…第一透明电极膜(第三导电膜);21、121、221、321、421、521…第二层间绝缘膜(第三绝缘膜);22、122、422…第二透明电极膜(第四导电膜);25…面板侧输入端子部(端子部、输入端子部);26、126、226、326、426、526、626、726…面板侧输出端子部(端子部、输出端子部);31、131、331、431、531、631、731…第一端子结构部;32、132、332、432、532、632、732…第二端子结构部;33、133、333、433、533、633、733…第三端子结构部;34、134、234、334、434、534、634、734…第一接触孔;35、135、235、335、435、535、635、735…第二接触孔;36、336、436、536…第四端子结构部;37、237、337、437、537…第三接触孔;534S、734S…第一分割接触孔(分割接触孔);535S、735S…第二分割接触孔(分割接触孔);537S…第三分割接触孔(分割接触孔);DMA…安装区域;FMA…安装区域;GS…玻璃基板(基板)。
Claims (9)
1.一种安装基板,其特征在于,至少具备:
基板,其安装有安装部件;
端子部,其配置在所述基板中的安装所述安装部件的安装区域并与所述安装部件连接;
第一端子结构部,其由设置在所述基板上的第一导电膜构成,并构成所述端子部;
第一绝缘膜,其配置在所述第一导电膜的上层侧,并在与所述第一端子结构部重叠的位置开口形成第一接触孔;
第二端子结构部,其由配置在所述第一绝缘膜的上层侧的第二导电膜构成并构成所述端子部,所述第二端子结构部以至少与所述第一接触孔及其开口边缘重叠的形式配置并且通过所述第一接触孔而与所述第一端子结构部连接;
第二绝缘膜,其配置在所述第二导电膜的上层侧,并与所述第二端子结构部重叠且在与所述第一接触孔不重叠的位置开口形成第二接触孔;
第三端子结构部,其由配置在所述第二绝缘膜的上层侧的第三导电膜构成并构成所述端子部,所述第三端子结构部以至少与所述第二接触孔及其开口边缘重叠的形式配置并且通过所述第二接触孔而与所述第二端子结构部连接;
第三绝缘膜,其配置在所述第三导电膜的上层侧,并在与所述第三端子结构部重叠的位置开口形成第三接触孔;和
第四端子结构部,其由配置在所述第三绝缘膜的上层侧的第四导电膜构成,并构成所述端子部,所述第四端子结构部以与所述第三接触孔及其开口边缘重叠的形式配置并且通过所述第三接触孔而与所述第三端子结构部连接,
所述端子部呈长条状,
所述第一绝缘膜及所述第二绝缘膜形成为所述第一接触孔与所述第二接触孔沿着所述端子部的长边方向排列,
所述第三导电膜及所述第四导电膜分别设为透明电极膜,
所述第三绝缘膜中,所述第三接触孔以横跨在所述端子部的长边方向上排列的所述第一接触孔与所述第二接触孔的方式延伸设置,且所述第三接触孔与所述第一接触孔和所述第二接触孔重叠配置。
2.根据权利要求1所述的安装基板,其特征在于,
所述第一绝缘膜、所述第二绝缘膜及所述第三绝缘膜形成为所述第一接触孔、所述第二接触孔及所述第三接触孔彼此不重叠。
3.根据权利要求2所述的安装基板,其特征在于,
所述第一导电膜及所述第二导电膜分别设为金属膜,
所述第一绝缘膜、所述第二绝缘膜及所述第三绝缘膜形成为所述第一接触孔的开口面积为最小,所述第三接触孔的开口面积为最大。
4.根据权利要求1~3中的任一项所述的安装基板,其特征在于,
所述第三接触孔的长边尺寸小于所述端子部的长边尺寸,但为所述第一接触孔以及所述第二接触孔的各长边尺寸的2倍以上。
5.根据权利要求1~3中的任一项所述的安装基板,其特征在于,
所述第一端子结构部以与所述第二接触孔重叠的形式设置。
6.根据权利要求1~3中的任一项所述的安装基板,其特征在于,
所述第三端子结构部以与所述第一接触孔重叠的形式设置。
7.根据权利要求1~3中的任一项所述的安装基板,其特征在于,
所述第一绝缘膜及所述第二绝缘膜形成为所述第一接触孔及所述第二接触孔中的至少任意一方由以隔开间隔排列的方式配置的多个分割接触孔构成。
8.根据权利要求1~3中的任一项所述的安装基板,其特征在于,
在所述端子部中含有用于向所述安装部件输入信号的输入端子部、和输出来自所述安装部件的信号的输出端子部,
至少所述输出端子部至少由所述第一端子结构部、所述第二端子结构部及所述第三端子结构部构成。
9.一种显示面板,其特征在于,具备:
权利要求1~3中的任一项所述的安装基板;和
对置基板,其以与所述安装基板对置的形式配置。
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