CN109609999B - 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 - Google Patents
一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109609999B CN109609999B CN201910119502.9A CN201910119502A CN109609999B CN 109609999 B CN109609999 B CN 109609999B CN 201910119502 A CN201910119502 A CN 201910119502A CN 109609999 B CN109609999 B CN 109609999B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- bottom plate
- shaped positioning
- piece
- inch
- pulling method
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000003292 glue Substances 0.000 title claims abstract description 30
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 title claims abstract description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 title abstract description 14
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 9
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 7
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 3
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 3
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 claims description 3
- 239000003381 stabilizer Substances 0.000 claims 1
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 3
- 238000004026 adhesive bonding Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000000265 homogenisation Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，包括呈矩形状的底板，分别安装于所述底板四角下方的四个支脚，多个沿着所述底板的长度方向间隔设置于所述底板两侧边缘的第一V形定位块和第二V形定位块以及一个沿着所述底板的长度方向固定安装于所述底板中部上方的直角靠板，其中，所述第一V形定位块、第二V形定位块和直角靠板固定有3英寸大片，且所述第一V形定位块、第二V形定位块和所述3英寸大片与所述直角靠板的接触点间形成等腰三角形。本发明能够有效防止粘胶现象和降低破片率。
Description
技术领域
本发明属于烘胶治具技术领域，尤其是涉及一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具。
背景技术
提拉法又称丘克拉斯基法，是丘克拉斯基发明的从熔体中提拉生长高质量单晶的方法。随着科技的进步，提拉法进一步发展为一种更为先进的定型晶体生长方法—熔体导模法，它是控制晶体形状的提拉法，即直接从熔体中拉制出具有各种截面形状晶体的生长技术，这不仅免除了工业生产中对人造晶体所带来的繁重的机械加工，还有效的节约了原料和降低了生产成本，因此得到了广泛的应用。
在提拉法的使用过程中经常需要对晶体进行烘胶处理，烘胶的作用是使生胶硬度减小、结晶熔化，以便于进行切割和塑炼加工，同时烘胶还能去除其中的水分等。其中，烘胶温度不宜过高，否则会影响胶块的物理机械性能。烘胶必须达到胶块内外温度均匀，否则会影响塑炼质量和效率。目前，烘胶治具对大片采用的固定方式往往使得大片之间相互粘连，并且不容易脱离烘胶治具，从而导致较高的破片率。
发明内容
本发明的目的在于提供一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，旨在有效防止粘胶现象和降低破片率。
本发明实施例提供了一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，包括呈矩形状的底板，分别安装于所述底板四角下方的四个支脚，多个沿着所述底板的长度方向间隔设置于所述底板两侧边缘的第一V形定位块和第二V形定位块以及一个沿着所述底板的长度方向固定安装于所述底板中部上方的直角靠板，其中，所述第一V形定位块、第二V形定位块和直角靠板固定有3英寸大片，且所述第一V形定位块、第二V形定位块和所述3英寸大片与所述直角靠板的接触点间形成等腰三角形。
进一步地，所述直角靠板还包括沿着所述直角靠板的长度方向且靠近所述底板一侧开设的多个方形通孔。
进一步地，所述直角靠板还包括沿着所述直角靠板的长度方向且远离所述底板一侧开设的多个第一圆形通孔，其中，所述第一圆形通孔的直径小于所述方形通孔的长度。
进一步地，所述底板在所述直角靠板的两侧开设有多个第二圆形通孔，所述多个第二圆形通孔沿着所述底板的长度方向间隔设置。
进一步地，所述第一V形定位块和第二V形定位块的V形夹角分别在45-60度之间。
进一步地，所述四个支脚分别通过第一内六角螺栓固定安装于所述底板的四角下方。
进一步地，所述多个第一V形定位块和第二V形定位块分别通过第二内六角螺栓固定安装于所述底板上。
进一步地，所述底板由聚四氟乙烯和镀铝不锈钢材料制成而成。
进一步地，所述3英寸大片包括晶体片、非晶体片、陶瓷片或金属片。
综上所述，本发明将多个第一V形定位块和第二V形定位块沿着所述底板的长度方向间隔设置于所述底板的两侧边缘以及将一个直角靠板沿着所述底板的长度方向固定安装于所述底板的中部上方。其中，所述第一V形定位块、第二V形定位块和直角靠板固定有3英寸大片，且所述第一V形定位块、第二V形定位块和所述3英寸大片与所述直角靠板的接触点间形成等腰三角形。由于第一V形定位块和第二V形定位块能够减少所述3英寸大片与烘胶治具的接触面积，从而能够有效防止粘胶现象和降低破片率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应该看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本发明实施例提供的一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具的结构示意图。
图2是本发明实施例提供的一种应用于图1中的直角靠板的放大结构示意图。
图3是本发明实施例提供的一种应用于图1中的第一V形定位块和第二V形定位块的结构示意图。
图标：
底板100； 支脚200；第一V形定位块300； 第二V形定位块400； 直角靠板500；
3英寸大片600； 方形通孔101； 第一圆形通孔102； 第二圆形通孔103；
第一内六角螺栓104； 第二内六角螺栓105。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本发明的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
如图1-图3所示，本发明实施例提供的一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具可以包括底板100、支脚200、第一V形定位块300、第二V形定位块400和直角靠板500。所述3英寸大片主要包括晶体片、非晶体片、陶瓷片或金属片。
其中，所述底板100呈矩形状。所述支脚200的数量为四个，且分别安装于所述底板100的四角下方。所述第一V形定位块300的数量为多个，且多个所述第一V形定位块300沿着所述底板100的长度方向间隔设置于所述底板100的两侧边缘。所述第二V形定位块400的数量为多个，且多个所述第二V形定位块400沿着所述底板100的长度方向间隔设置于所述底板100的两侧边缘。相邻设置的所述第一V形定位块300和第二V形定位块400能构成一个定位块组合。所述直角靠板500的数量为一个，且沿着所述底板100的长度方向固定安装于所述底板100的中部上方。
优选地，所述四个支脚200分别通过第一内六角螺栓104固定安装于所述底板100的四角下方。以及所述多个第一V形定位块300和第二V形定位块400分别通过第二内六角螺栓105固定安装于所述底板100上。因此，所述烘胶治具的结构简单，具备易拆卸以及加工难度小等优点。另外，所述底板100由聚四氟乙烯和镀铝不锈钢材料制成而成，从而具备硬度高和耐高温等优点。
本实施例中，所述第一V形定位块300、第二V形定位块400和直角靠板500固定有3英寸大片600。所述第一V形定位块300、第二V形定位块400和所述3英寸大片600与所述直角靠板500的接触点间形成等腰三角形。由于所述第一V形定位块300和第二V形定位块400能够减少所述3英寸大片600与烘胶治具的接触面积，从而能够有效防止粘胶现象和降低破片率。
为了提高所述第一V形定位块300和第二V形定位块400的定位效果，所述第一V形定位块300和第二V形定位块400的V形夹角分别在45-60度之间。例如，45度、50度、55度和60度等。
进一步地，所述直角靠板500还包括沿着所述直角靠板500的长度方向且靠近所述底板100一侧开设的多个方形通孔101，所述方形通孔101优选为3个。所述多个方形通孔101用于保证所述直角靠板500上的热量分布均匀以及降低所述3英寸大片600与所述直角靠板500大面积接触的可能性。
另外，所述直角靠板500还包括沿着所述直角靠板500的长度方向且远离所述底板100一侧开设的多个第一圆形通孔102。其中，所述第一圆形通孔102的直径小于所述方形通孔101的长度。所述第一圆形通孔102优选为两个。所述第一圆形通孔102的设置便于采用特定专用的钩子取放所述烘胶治具等。
本实施例中，所述底板100在所述直角靠板500的两侧开设有多个第二圆形通孔103，所述多个第二圆形通孔103沿着所述底板100的长度方向间隔设置。
实施时，首先将所述3英寸大片600在匀胶机上进行匀胶处理；然后将已匀胶的3英寸大片600放置在所述烘胶治具上，并依靠所述第一V形定位块300、第二V形定位块400和直角靠板500定位进行固定；接着将已放置好的3英寸大片600和烘胶治具一起放入高温烘箱进行烘胶处理；待烘胶结束后从烘箱取出，最后完成整个涂胶工艺。
综上所述，本发明将多个第一V形定位块300和第二V形定位块400沿着所述底板100的长度方向间隔设置于所述底板100的两侧边缘以及将一个直角靠板500沿着所述底板100的长度方向固定安装于所述底板100的中部上方。其中，所述第一V形定位块300、第二V形定位块400和直角靠板500固定有3英寸大片600，且所述第一V形定位块300、第二V形定位块400和所述3英寸大片600与所述直角靠板500的接触点间形成等腰三角形。由于第一V形定位块300和第二V形定位块400能够减少所述3英寸大片600与烘胶治具的接触面积，从而能够有效防止粘胶现象和降低破片率。
以上所述仅为本发明的优选实施方式而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，其特征在于，包括呈矩形状的底板，分别安装于所述底板四角下方的四个支脚，多个沿着所述底板的长度方向间隔设置于所述底板两侧边缘的第一V形定位块和第二V形定位块以及一个沿着所述底板的长度方向固定安装于所述底板中部上方的直角靠板，其中，所述第一V形定位块、第二V形定位块和直角靠板固定有3英寸大片，且所述第一V形定位块、第二V形定位块和所述3英寸大片与所述直角靠板的接触点间形成等腰三角形；
所述直角靠板还包括沿着所述直角靠板的长度方向且靠近所述底板一侧开设的多个方形通孔；
所述直角靠板还包括沿着所述直角靠板的长度方向且远离所述底板一侧开设的多个第一圆形通孔，其中，所述第一圆形通孔的直径小于所述方形通孔的长度；
所述底板在所述直角靠板的两侧开设有多个第二圆形通孔，所述多个第二圆形通孔沿着所述底板的长度方向间隔设置。
2.根据权利要求1所述的用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，其特征在于，所述第一V形定位块和第二V形定位块的V形夹角分别在45-60度之间。
3.根据权利要求1所述的用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，其特征在于，所述四个支脚分别通过第一内六角螺栓固定安装于所述底板的四角下方。
4.根据权利要求1所述的用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，其特征在于，所述多个第一V形定位块和第二V形定位块分别通过第二内六角螺栓固定安装于所述底板上。
5.根据权利要求1所述的用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，其特征在于，所述底板由聚四氟乙烯和镀铝不锈钢材料制成而成。
6.根据权利要求1所述的用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具，其特征在于，所述3英寸大片包括晶体片、非晶体片、陶瓷片或金属片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910119502.9A CN109609999B (zh) | 2019-02-18 | 2019-02-18 | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201910119502.9A CN109609999B (zh) | 2019-02-18 | 2019-02-18 | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109609999A CN109609999A (zh) | 2019-04-12 |
| CN109609999B true CN109609999B (zh) | 2024-01-26 |
Family
ID=66021912
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201910119502.9A Active CN109609999B (zh) | 2019-02-18 | 2019-02-18 | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109609999B (zh) |
Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57167625A (en) * | 1980-11-24 | 1982-10-15 | Ee Esu Kiyuu Bootsu Inc | Quartz boat for machining semiconductor wafer |
| CN101802272A (zh) * | 2007-09-19 | 2010-08-11 | 应用材料股份有限公司 | 具有冷却的背板的pecvd工艺腔室 |
| CN107052695A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-08-18 | 尹先敏 | 焊接机器人用通用型焊接夹具 |
| CN207031606U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-02-23 | 蓝思科技（长沙）有限公司 | 一种镜片退火夹具 |
| CN209685951U (zh) * | 2019-02-18 | 2019-11-26 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050133437A1 (en) * | 2003-12-17 | 2005-06-23 | Intel Corporation | Sieving media from planar arrays of nanoscale grooves, method of making and method of using the same |
-
2019
- 2019-02-18 CN CN201910119502.9A patent/CN109609999B/zh active Active
Patent Citations (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57167625A (en) * | 1980-11-24 | 1982-10-15 | Ee Esu Kiyuu Bootsu Inc | Quartz boat for machining semiconductor wafer |
| CN101802272A (zh) * | 2007-09-19 | 2010-08-11 | 应用材料股份有限公司 | 具有冷却的背板的pecvd工艺腔室 |
| CN107052695A (zh) * | 2017-03-23 | 2017-08-18 | 尹先敏 | 焊接机器人用通用型焊接夹具 |
| CN207031606U (zh) * | 2017-08-14 | 2018-02-23 | 蓝思科技（长沙）有限公司 | 一种镜片退火夹具 |
| CN209685951U (zh) * | 2019-02-18 | 2019-11-26 | 成都泰美克晶体技术有限公司 | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| SiC单晶片的取向研磨;赵树峰;人工晶体学报;第39卷(第2期);365-368 * |
| 高效销轴铣扁V型槽夹具和刀具设计;叶俊勇;机械工程师;第213卷(第3期);33-34 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN109609999A (zh) | 2019-04-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109609999B (zh) | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 | |
| CN209685951U (zh) | 一种用于3英寸大片光刻提拉法的烘胶治具 | |
| CN212493588U (zh) | 一种无孔刀片涂层装夹工具 | |
| CN109319653B (zh) | 一种建筑类异形结构的吊装设备 | |
| CN208159983U (zh) | 曲奇饼干成型机 | |
| CN205091338U (zh) | 一种混凝土早期抗裂性能试验装置 | |
| CN203711277U (zh) | 喷涂烘烤支架 | |
| CN201245242Y (zh) | 一种复合材料构件成形用框架式模具 | |
| CN209063244U (zh) | 热切割刀安装型材及采用该型材的热切割刀安装结构 | |
| CN208743999U (zh) | 滑触线支架制作多功能平台 | |
| CN207405199U (zh) | 一种用于金属丝网退火处理的料架 | |
| CN207951806U (zh) | 一种耳机喷涂生产线循环多工位夹具 | |
| CN206318935U (zh) | 一种立式碳化设备 | |
| CN210566024U (zh) | 一种机电安装的安全结构支架 | |
| CN209061801U (zh) | 一种手机玻璃清洗用夹持架 | |
| CN203512376U (zh) | 一种手机玻璃承载治具 | |
| CN218666850U (zh) | 一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装 | |
| CN209867018U (zh) | 一种薄钛饼矫正装置 | |
| CN219113214U (zh) | 一种车架制作用的多工位焊接设备 | |
| CN219542162U (zh) | 一种可调节夹持幅度的模具夹持机构 | |
| JP3186659U (ja) | 陶芸用亀板ユニット | |
| CN213733496U (zh) | 一种大尺寸变截面碳纤维复合材料管梁的固化工装 | |
| CN215848683U (zh) | 一种竹木纤维板切割定位装置 | |
| CN220908409U (zh) | 光伏柔性支架混凝土基础定位模具 | |
| CN219839626U (zh) | 双曲钢化玻璃成型模具 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |