CN218666850U - 一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，包括放置石墨毡制品圆料的工作台，工作台上方设置裁割单元，所述的裁割单元包括圆环定位圈板，圆环定位圈板的外周设置限位块，圆环定位圈板的上板面上设置支撑骨架，支撑骨架上架置有旋转切割机构，所述的旋转切割机构包括与圆环定位圈板同轴心布置的旋转芯轴，旋转芯轴的下端位于圆环定位圈板的上方，旋转芯轴的下端横置有旋转杠杆，旋转杠杆上设置刀片固定架，刀片固定架上设置刀片，所述的刀片沿刀片固定架高度方向可调，刀片侧设置紧固螺栓。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体材料技术领域，具体涉及一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装。
背景技术
在半导体材料生产制备过程中，需要使用到长晶炉，为了保证晶体材料在长晶炉内温度的稳定，保证晶体生产的稳定性，需要对每个同一规格的长晶炉采用同一规格的石墨毡对长晶炉上盖部进行覆盖。现有的对长晶炉上盖部的石墨毡的裁剪采用不锈钢模具配合刀片进行裁剪。即分割获取所需石墨毡制品时，为了获得所需尺寸的石墨毡制品，通过定制的尺寸的不锈钢模具(通常为圆形模具)，使用刀片人工分割获取石墨毡制品(即不锈钢模具压于石墨毡原料上，人工的使用刀片沿模具周向进行裁剪)，但每次人工分割石墨毡，由于手持刀具角度、力量、视角的不同，会导致获得的石墨毡制品尺寸大小不一，切口角度不一致，即形成得到的石墨毡制品有的盖不住长晶炉，即压不住长晶炉的温度，无法均匀保温，即长晶炉位于未盖处形成散热；当然也会形成裁剪的石墨毡制品过量，造成对其他区域的干涉。最主要是前者，即导致碳化硅温场保温效果偏差度大，存在工艺的不可重复性，对晶体生长工艺造成很大的不良影响。
基于上述背景，部分晶体材料由于温场需要调整，会在石墨毡制品圆料的中间开设测算规格的圆形空部，采用现有的不锈钢模具配合人工的使用刀片也会出现前述问题，即导致碳化硅温场偏差度大，存在工艺的不可重复性，对晶体生长工艺造成很大的不良影响。
发明内容
为解决背景技术中的问题，本实用新型提出一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，解决背景技术中的问题，得到的石墨毡制品圆料尺寸大小一致、切口角度一致，进而保证碳化硅温场基本无偏差，工艺的可重复性高，保证晶体生长的稳定。
为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，包括放置石墨毡制品圆料的工作台，工作台上方设置裁割单元，所述的裁割单元包括圆环定位圈板，圆环定位圈板的外周设置限位块，圆环定位圈板的上板面上设置支撑骨架，支撑骨架上架置有旋转切割机构，所述的旋转切割机构包括与圆环定位圈板同轴心布置的旋转芯轴，旋转芯轴的下端位于圆环定位圈板的上方，旋转芯轴的下端横置有旋转杠杆，旋转杠杆上设置刀片固定架，刀片固定架上设置刀片，所述的刀片沿刀片固定架高度方向可调，刀片侧设置紧固螺栓。
进一步的，所述的刀片固定架沿旋转杠杆杆长方向来回可调，所述的刀片固定架与旋转杠杆之间设置紧固螺钉。
进一步的，所述的支撑骨架包括圆环定位圈板的上板面上立置的支撑杆，支撑杆的上端平置有支撑架，支撑架内侧的中心开孔供旋转切割机构布置，所述的中心开孔与圆环定位圈板同轴心布置。
再进一步的，所述的支撑杆沿圆环定位圈板的环形方向等间隔的设置有组，支撑杆与支撑架的所在平面垂直。
进一步的，所述的中心开孔与旋转切割机构之间设置旋转芯轴固定套，所述的旋转芯轴穿置于旋转芯轴固定套上，旋转芯轴的上端设置圆轮缘手轮双幅条可折手柄。
再进一步的，所述的圆轮缘手轮双幅条可折手柄与旋转芯轴固定套之间设置垫圈。
再进一步的，旋转芯轴的上端通过平键与圆轮缘手轮双幅条可折手柄固连。
进一步的，所述的刀片固定架上开设安装槽，安装槽中设置垫铁，紧固螺栓的栓头抵靠于垫铁上通过垫铁压紧刀片。
本实用新型的有益效果：使用时，将刀片固定架调整至所需规格的尺寸，刀片固定，抬起本实用新型工装的裁割单元，将石墨毡制品圆料卡在圆环定位圈板上，限位块的下端距离圆环定位圈板的下板面的间距等于或者小于石墨毡制品圆料的厚度，限位块的内侧的圆环定位圈板的外径等于石墨毡制品圆料的外径，将整个工装的裁割单元放置在工作台上，利用本实用新型工装的裁割单元自身重力压紧石墨毡制品圆料，转动旋转切割机构的旋转芯轴，旋转芯轴带动旋转杠杆上的刀片固定架上的刀片即完成执行，获得所需产品。得到的石墨毡制品圆料尺寸大小一致、切口角度一致，进而保证碳化硅温场基本无偏差，工艺的可重复性高，保证晶体生长的稳定。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1为本实用新型的一个实施例的结构图；
图2为本实用新型的一个实施例的俯视结构图。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，包括放置石墨毡制品圆料a的工作台，工作台上方设置裁割单元，所述的裁割单元包括圆环定位圈板17，圆环定位圈板17的外周设置限位块15，圆环定位圈板17的上板面上设置支撑骨架，支撑骨架上架置有旋转切割机构，所述的旋转切割机构包括与圆环定位圈板17 同轴心布置的旋转芯轴6，旋转芯轴6的下端位于圆环定位圈板17的上方，旋转芯轴6的下端横置有旋转杠杆3，旋转杠杆3上设置刀片固定架2，刀片固定架2上设置刀片1，所述的刀片1沿刀片固定架2高度方向可调，刀片1侧设置紧固螺栓。
使用时，将刀片固定架2调整至所需规格的尺寸，刀片1固定，抬起本实用新型工装的裁割单元，将石墨毡制品圆料a卡在圆环定位圈板17上，限位块 15的下端距离圆环定位圈板17的下板面的间距等于或者小于石墨毡制品圆料a 的厚度(优选的采用小于石墨毡制品圆料a的厚度)，限位块15的内侧的圆环定位圈板17的外径等于石墨毡制品圆料a的外径，将整个工装的裁割单元按照图1的状态放置在工作台上，利用本实用新型工装的裁割单元自身重力压紧石墨毡制品圆料a，转动旋转切割机构的旋转芯轴6，旋转芯轴6带动旋转杠杆3 上的刀片固定架2上的刀片1即完成执行，获得所需产品。得到的石墨毡制品圆料a尺寸大小一致、切口角度一致，进而保证碳化硅温场基本无偏差，工艺的可重复性高，保证晶体生长的稳定。
进一步的，所述的刀片固定架2沿旋转杠杆3杆长方向来回可调，所述的刀片固定架2与旋转杠杆3之间设置紧固螺钉。
这是刀片固定架2与旋转杠杆3之间的连接结构，参照图1，图中左侧虚线位的刀片固定架2表示刀片固定架2的可移动位。这样，刀片固定架2上的刀片1可以根据所需规格调整至所需位置。
进一步的，所述的支撑骨架包括圆环定位圈板17的上板面上立置的支撑杆 13，支撑杆13的上端平置有支撑架12，支撑架12内侧的中心开孔供旋转切割机构布置，所述的中心开孔与圆环定位圈板17同轴心布置。
这是支撑骨架的具体结构，平稳且方便旋转切割机构的执行。
再进一步的，所述的支撑杆13沿圆环定位圈板17的环形方向等间隔的设置有6组，支撑杆13与支撑架12的所在平面垂直。
进一步的，所述的中心开孔与旋转切割机构之间设置旋转芯轴固定套11，所述的旋转芯轴6穿置于旋转芯轴固定套11上，旋转芯轴6的上端设置圆轮缘手轮双幅条可折手柄9。
通过摇动圆轮缘手轮双幅条可折手柄9方便的带动刀片固定架2上的刀片1 裁割。
再进一步的，所述的圆轮缘手轮双幅条可折手柄9与旋转芯轴固定套11之间设置垫圈10。
设置垫圈10更利于圆轮缘手轮双幅条可折手柄9摇动的转动。
再进一步的，旋转芯轴6的上端通过平键7与圆轮缘手轮双幅条可折手柄9 固连。
进一步的，所述的刀片固定架2上开设安装槽，安装槽中设置垫铁18，紧固螺栓的栓头抵靠于垫铁18上通过垫铁18压紧刀片1。
这样，保证刀片1执行的稳定。且紧固螺栓不直接作用于刀片1，对刀片1 保护且紧锁作用也强。
本实用新型的碳化硅温场石墨毡制品制作工装，通过调节刀片固定架2相对旋转杠杆3的位移，实现达到所需规格的尺寸，对于确定规格，直接锁死刀片固定架2，执行即可，移动圆轮缘手轮双幅条可折手柄9转动旋转杠杆3时带动刀片1实现快速分割保温毡(即石墨毡制品圆料a)，基于此刀片1位置也可调，尺寸调试确定后固定方便，定心精度高，工作方便，得到的产品切口平整角度一致，极大地提高了后续保温的工艺的重复性，同时工作效率提高，劳动强度减轻。
综上所述，本实用新型装置稳定的可重复性保证了裁切石墨毡制品圆料a 的成品率，大大降低了原材料的消耗(次品率大大降低)，节省了生产成本，提高了工作效率。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，包括放置石墨毡制品圆料(a)的工作台，其特征在于：工作台上方设置裁割单元，所述的裁割单元包括圆环定位圈板(17)，圆环定位圈板(17)的外周设置限位块(15)，圆环定位圈板(17)的上板面上设置支撑骨架，支撑骨架上架置有旋转切割机构，所述的旋转切割机构包括与圆环定位圈板(17)同轴心布置的旋转芯轴(6)，旋转芯轴(6)的下端位于圆环定位圈板(17)的上方，旋转芯轴(6)的下端横置有旋转杠杆(3)，旋转杠杆(3)上设置刀片固定架(2)，刀片固定架(2)上设置刀片(1)，所述的刀片(1)沿刀片固定架(2)高度方向可调，刀片(1)侧设置紧固螺栓。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：所述的刀片固定架(2)沿旋转杠杆(3)杆长方向来回可调，所述的刀片固定架(2)与旋转杠杆(3)之间设置紧固螺钉。
3.根据权利要求2所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：所述的支撑骨架包括圆环定位圈板(17)的上板面上立置的支撑杆(13)，支撑杆(13)的上端平置有支撑架(12)，支撑架(12)内侧的中心开孔供旋转切割机构布置，所述的中心开孔与圆环定位圈板(17)同轴心布置。
4.根据权利要求3所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：所述的支撑杆(13)沿圆环定位圈板(17)的环形方向等间隔的设置有6组，支撑杆(13)与支撑架(12)的所在平面垂直。
5.根据权利要求3所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：所述的中心开孔与旋转切割机构之间设置旋转芯轴固定套(11)，所述的旋转芯轴(6)穿置于旋转芯轴固定套(11)上，旋转芯轴(6)的上端设置圆轮缘手轮双幅条可折手柄(9)。
6.根据权利要求5所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：所述的圆轮缘手轮双幅条可折手柄(9)与旋转芯轴固定套(11)之间设置垫圈(10)。
7.根据权利要求6所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：旋转芯轴(6)的上端通过平键(7)与圆轮缘手轮双幅条可折手柄(9)固连。
8.根据权利要求1所述的一种碳化硅温场石墨毡制品制作工装，其特征在于：所述的刀片固定架(2)上开设安装槽，安装槽中设置垫铁(18)，紧固螺栓的栓头抵靠于垫铁(18)上通过垫铁(18)压紧刀片(1)。
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