CN109571227A - 抛光液供给系统、方法及抛光系统 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种抛光液供给系统、方法及抛光系统，该抛光液供给系统包括：中央供给子系统和设备端供给子系统，其中，中央供给子系统与设备端供给子系统通过第一管道连通；当中央供给子系统接收到设备端供给子系统发送的供给请求时，中央供给子系统向设备端供给子系统供给抛光原液；设备端供给子系统混合抛光原液和添加剂得到抛光液，并向抛光设备供给抛光液。本发明实施例中，通过划分子系统的方式分别执行原液供给与原液混合，既缓解了原液供给的压力，又利于对原液混合的集中控制，提高抛光工艺的整体质量。

Description

抛光液供给系统、方法及抛光系统

技术领域

本发明实施例涉及硅片加工领域，特别涉及一种抛光液供给系统、方法及抛光系统。

背景技术

抛光设备在运行过程中需要不断对硅片提供抛光液，设备利用抛光液去除硅片表面的二氧化硅薄膜，然后碱性溶液与硅片表面裸露的单晶硅进行反应生产硅酸盐，设备通过抛光垫及抛光液去除硅片表面的硅酸盐，将硅片表面新的单晶硅裸露出来，再进行反应，直到硅片得到高的平坦度。整个工艺过程中对抛光液需求量大且品质要求高。

现有工艺中采用抛光液供给系统集中向抛光设备提供抛光液，减少人力运输的成本。由于在整个工艺过程中对抛光液的需求量大，而现有抛光液供给系统为独立系统，既需要执行药液混合，又需要执行供给，导致抛光液供给系统的供给压力过大。

发明内容

本发明实施例提供一种抛光液供给系统、方法及抛光系统，解决现有抛光液供给系统的供给压力过大的问题。

依据本发明实施例的第一方面，提供一种抛光液供给系统，包括：中央供给子系统和设备端供给子系统，其中，所述中央供给子系统与所述设备端供给子系统通过管道连通；当所述中央供给子系统接收到所述设备端供给子系统发送的供给请求时，所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液；所述设备端供给子系统混合所述抛光原液和添加剂得到抛光液，并向抛光设备供给所述抛光液。

可选地，所述中央供给子系统包括：第一控制单元和第一供给单元，所述第一控制单元和所述第一供给单元电连接；所述设备端供给子系统包括：第二控制单元和第二供给单元，所述第二控制单元和所述第二供给单元电连接；所述第一控制单元和所述第二控制单元电连接，所述第一供给单元与所述第二供给单元通过第一管道连通；当所述第一控制单元接收到所述第二控制单元发送的供给请求时，所述第一控制单元控制所述第一供给单元向所述第二供给单元供给所述抛光原液；所述第二控制单元控制所述第二供给单元混合所述抛光原液和所述添加剂得到抛光液，以及控制所述第二供给单元向抛光设备供给所述抛光液。

可选地，所述第一供给单元包括：多个第一供给支路、第二管道、多个第二供给支路；所述第二供给单元包括：多个第三供给支路；所述多个第二供给支路采用并联方式分别与所述第一管道的一端和所述第二管道的一端连通；所述多个第一供给支路采用并联方式与所述第二管道的另一端连通，所述多个第三供给支路采用并联方式与所述第一管道的另一端连通；所述第一供给支路包括：第一液罐和第一液泵；所述第二供给支路包括：第二液罐和第二液泵；所述第三供给支路包括：第三液罐、第三液泵和第三管道；所述第一液泵和所述第二液泵分别与所述第一控制单元电连接，所述第三液泵与所述第二控制单元电连接；

其中，所述第一液罐中装有所述抛光原液，所述第二液罐与所述第二管道连通，所述第三液罐与所述第一管道连通；所述第一液罐与所述第一液泵的输入端连通，所述第一液泵的输出端与所述第二管道连通，所述第一控制单元控制所述第一液泵将所述抛光原液从所述第一液罐输入所述第二液罐；所述第二液罐与所述第二液泵的输入端连通，所述第二液泵的输出端与所述第一管道连通，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第二液罐输入所述第三液罐；所述第三液罐内设置有搅拌装置，所述搅拌装置与所述第二控制单元电连接，所述第二控制单元控制所述搅拌装置混合所述抛光原液和所述添加剂得到所述抛光液；所述第三液罐与所述第三液泵的输入端连通，所述第三液泵的输出端与所述第三管道的一端连通，所述第三管道的另一端与所述抛光设备连通，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第三液罐输入所述抛光设备。

可选地，所述中央供给子系统还包括：第一回流管道；所述第一回流管道设置在所述第一管道上，所述第一回流管道与所述第二液罐连通，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐；所述设备端供给子系统还包括：第二回流管道；所述第二回流管道设置在所述第三管道上，所述第二回流管道与所述第三液罐连通，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第二回流管道回流至所述第三液罐。

可选地，所述中央供给子系统还包括：第一温度检测装置和第一温度调节装置；所述第一温度检测装置和所述第一温度调节装置设置在所述第二液罐上，所述第一温度检测装置用于检测流入所述第一管道的所述抛光原液的第一温度，所述第一温度调节装置用于当所述第一温度不在第一预设温度范围内时，将所述抛光原液的温度调节至所述第一预设温度范围内；所述中央供给子系统还包括：第二温度检测装置和第二温度调节装置；所述第二温度检测装置和所述第二温度调节装置设置在所述第一回流管道上，所述第二温度检测装置用于检测流入所述第一回流管道的所述抛光原液的第二温度，所述第二温度调节装置用于当所述第二温度不在第二预设温度范围内时，将所述抛光原液的温度调节至第二预设温度范围内。

可选地，所述中央供给子系统还包括：过滤器；所述过滤器设置在所述第一管道和/或所述第二管道上，所述过滤器用于过滤所述抛光原液中的凝结颗粒。

可选地，所述中央供给子系统还包括：质量检测装置；所述质量检测装置设置在所述第二管道上，所述质量检测装置用于检测所述抛光原液的密度和/或PH值，所述质量检测装置还用于当所述抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，生成用于表示所述抛光原液的质量异常的第一提示信息。

可选地，所述中央供给子系统还包括：重量检测装置；所述重量检测装置设置在所述第二液罐上，所述重量检测装置用于检测所述第二液罐的重量，所述重量检测装置还用于当所述第二液罐的重量不在第二预设数值范围内时，生成用于表示所述第二液罐的重量异常的第二提示信息。

可选地，所述中央供给子系统还包括：清洗装置；所述清洗装置与所述第二液罐连通，所述清洗装置向所述第二液罐输入清洗剂，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述清洗剂从所述第二液罐输入所述第三液罐，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述清洗剂从所述第三液罐输入所述抛光设备，通过所述抛光设备排出所述清洗剂。

依据本发明实施例的第二方面，提供一种抛光液供给方法，应用于如第一方面所述的抛光液供给系统，所述方法包括：设备端供给子系统向中央供给子系统发送供给请求；所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液；所述设备端供给子系统混合所述抛光原液和添加剂得到抛光液；所述设备端供给子系统向抛光设备供给所述抛光液。

可选地，所述设备端供给子系统向中央供给子系统发送供给请求，包括：所述设备端供给子系统的第二控制单元向中央供给子系统的第一控制单元发送所述供给请求；

所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液，包括：所述第一控制单元控制所述中央供给子系统的第一供给单元向所述设备端供给子系统的第二供给单元供给所述抛光原液；

所述设备端供给子系统向抛光设备供给所述抛光液，包括：所述第二控制单元控制所述第二供给单元向所述抛光设备供给所述抛光液。

可选地，所述第一控制单元控制第一供给单元向第二供给单元供给所述抛光原液，包括：一个或多个第一供给支路向第二管道输入所述抛光原液；所述第二管道向一个或多个第二供给支路输入所述抛光原液；所述一个或多个第二供给支路向第一管道输入所述抛光原液；所述第一管道向多个第三供给支路输入所述抛光原液；

所述第二控制单元控制所述第二供给单元向所述抛光设备供给所述抛光液，包括：所述多个第三供给支路向所述抛光设备供给所述抛光液。

可选地，所述一个或多个第一供给支路向第二管道输入所述抛光原液，包括：所述第一控制单元控制所述一个或多个第一液泵将所述抛光原液从一个或多个第一液罐输入所述第二管道；

所述第二管道向一个或多个第二供给支路输入所述抛光原液，包括：所述第二管道向一个或多个第二液罐输入所述抛光原液；

所述一个或多个第二供给支路向第一管道输入所述抛光原液，包括：所述第一控制单元控制一个或多个第二液泵将所述抛光原液从所述一个或多个第二液罐输入所述第一管道；

所述第一管道向多个第三供给支路输入所述抛光原液，包括：所述第一管道向多个第三液罐输入所述抛光原液；

所述多个第三供给支路向所述抛光设备供给所述抛光液，包括：所述第二控制单元控制多个第三液泵将所述抛光液从所述多个第三液罐输入所述抛光设备。

可选地，所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液，还包括：所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐；

所述设备端供给子系统向抛光设备供给所述抛光液，还包括：所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第二回流管道回流至所述第三液罐。

可选地，在所述第一控制单元控制第二液泵将所述抛光原液从所述第二液罐输入所述第一管道之前，所述方法还包括：第一温度检测装置检测流入所述第一管道的所述抛光原液的第一温度；当所述第一温度不在第一预设温度范围内时，第一温度调节装置将所述抛光原液的温度调节至所述第一预设温度范围内；

在所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐之前，所述方法还包括：第二温度检测装置检测流入所述第一回流管道的所述抛光原液的第二温度；当所述第二温度不在第二预设温度范围内时，第二温度调节装置将所述抛光原液的温度调节至所述第二预设温度范围内。

可选地，所述方法还包括：所述第一管道和/或所述第二管道上的过滤器过滤所述抛光原液中的凝结颗粒。

可选地，所述方法还包括：所述第二管道上的质量检测装置检测所述抛光原液的密度和/或PH值；当所述抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，所述质量检测装置生成用于表示所述抛光原液的质量异常的第一提示信息。

可选地，所述方法还包括：所述第二液罐上的重量检测装置检测所述第二液罐的重量；当所述第二液罐的重量不在第二预设数值范围内时，所述重量检测装置生成用于表示所述第二液罐的重量异常的第二提示信息。

可选地，所述方法还包括：清洗装置向所述第二液罐输入清洗剂；所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述清洗剂从所述第二液罐输入所述第三液罐；所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述清洗剂输入所述抛光设备；所述抛光设备排出所述清洗剂。

依据本发明实施例的第三方面，提供一种抛光系统，包括抛光设备和如第一方面所述的抛光液供给系统，所述抛光液供给系统用于向所述抛光设备供给抛光液。

本发明实施例中，将抛光液供给系统分为中央供给子系统和设备端供给子系统两部分，其中中央供给子系统用于供给抛光原液，设备端供给子系统用于对抛光原液混合得到抛光液，并向抛光设备供给该抛光液。通过划分子系统的方式分别执行原液供给与原液混合，既缓解了原液供给的压力，又利于对原液混合的集中控制，提高抛光工艺的整体质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的抛光液供给系统的结构示意图之一；

图2为本发明实施例提供的抛光液供给系统的结构示意图之二；

图3为本发明实施例提供的抛光液供给系统的结构示意图之三；

图4为本发明实施例提供的抛光液供给系统的结构示意图之四；

图5为本发明实施例提供的抛光液供给方法的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

参见图1，本发明实施例提供一种抛光液供给系统，包括：中央供给子系统1和设备端供给子系统2；

其中，中央供给子系统1与设备端供给子系统2通过第一管道31连通；当中央供给子系统1接收到设备端供给子系统2发送的供给请求时，中央供给子系统1向设备端供给子系统2供给抛光原液；设备端供给子系统2混合抛光原液和添加剂得到抛光液，并向抛光设备供给抛光液。

在本发明实施例中，当需要进行硅片抛光时，设备端供给子系统2向中央供给子系统1发送供给请求，然后中央供给子系统1直接向设备端供给子系统2供给未混合稀释的抛光原液，待中央供给子系统1完成抛光原液的供给后，设备端供给子系统2按照工艺要求向抛光原液中加入添加剂，例如：氧化剂、消泡剂等，并进行混合稀释，得到符合抛光工艺要求的抛光液。

这样，由于中央供给子系统1供给的是未混合稀释的抛光原液，相比于现有供给系统，中央供给子系统1需要供给的药液量更少，减少了供给系统的供给压力；此外，设备端供给子系统2仅执行对抛光原液的混合稀释，有利于对混合精度的控制，从而保障抛光液的品质，提高硅片抛光的工艺质量。

可选地，参见图2，中央供给子系统1包括：第一控制单元11和第一供给单元12，第一控制单元11和第一供给单元12电连接；设备端供给子系统2包括：第二控制单元21和第二供给单元22，第二控制单元21和第二供给单元22电连接；第一控制单元11和第二控制单元21电连接，第一供给单元12与第二供给单元22通过第一管道31连通；

当第一控制单元11接收到第二控制单元21发送的供给请求时，第一控制单元11控制第一供给单元12向第二供给单元22供给抛光原液；第二控制单元21控制第二供给单元22混合抛光原液和添加剂得到抛光液，以及控制第二供给单元22向抛光设备供给抛光液。

在本发明实施例中，每个子系统中均包括控制单元和供给单元，通过第一控制单元11与第二控制单元21之间的通信，实现设备端供给子系统2向中央供给子系统1发送供给请求；通过第一控制单元11对第一供给单元12的控制，实现中央供给子系统1向设备端供给子系统2供给抛光原液；通过第二控制单元21对第二供给单元22控制，实现设备端供给子系统2混合抛光原液和添加剂得到抛光液，以及向抛光设备供给抛光液。

进一步地，参见图3，第一供给单元12包括：多个第一供给支路121、第二管道32、多个第二供给支路122；第二供给单元22包括：多个第三供给支路221；多个第二供给支路122采用并联方式分别与第一管道31的一端和第二管道32的一端连通；多个第一供给支路121采用并联方式与第二管道32的另一端连通，多个第三供给支路221采用并联方式与第一管道31的另一端连通；

在本发明实施例中，通过设置多个供给支路，当其中任一个供给支路发生故障无法进行供给时，能够由其它供给支路接替工作，防止供给中断；多个供给支路可以相互交替工作，避免单一支路始终保持工作状态，较少设备损耗；多供给支路交替工作还能够实现在不中断抛光液供给的情况下进行补液。

参见图4，图中示出了一种抛光液供给系统，可以理解的是，图中仅示出了一种可能的抛光液供给系统的结构，本发明实施例对抛光液供给系统中各组成部分的数量不做具体限定。

具体地，第一供给支路包括：第一液罐401和第一液泵402；第二供给支路包括：第二液罐403和第二液泵404；第三供给支路包括：第三液罐405、第三液泵406和第三管道33；

其中，第一液泵402和第二液泵404分别与第一控制单元(图中未示出)电连接，第三液泵406与第二控制单元(图中未示出)电连接；

其中，第一液罐401中装有抛光原液，第二液罐403与第二管道32连通，第三液罐405与第一管道31连通；

第一液罐401与第一液泵402的输入端连通，第一液泵402的输出端与第二管道32连通，第一控制单元控制第一液泵402将抛光原液从第一液罐401输入第二液罐403；

第二液罐403与第二液泵404的输入端连通，第二液泵404的输出端与第一管道31连通，第一控制单元控制第二液泵404将抛光原液从第二液罐403输入第三液罐405；

第三液罐405内设置有搅拌装置(图中未示出)，搅拌装置与第二控制单元电连接，第二控制单元控制搅拌装置混合抛光原液和添加剂得到抛光液；

第三液罐405与第三液泵406的输入端连通，第三液泵406的输出端与第三管道33的一端连通，第三管道33的另一端与抛光设备407连通，第二控制单元控制第三液泵406将抛光液从第三液罐405输入抛光设备407。

在本发明实施例中，第一液罐401，也可称为抛光原液罐，用于盛放抛光原液；第二液罐403，也可称为供给液罐，用于盛放待供给的抛光原液；第三液罐405，也可称为终端液罐，用于混合抛光原液与添加剂得到抛光液。

当任意一个第一液泵402损坏无法工作时，通过其它第一液泵402接替继续工作，避免供给中断；同理，当任意一个第二液泵404损坏无法工作时，通过其它第二液泵402接替继续工作，避免供给中断。

当任意一个第一液罐401中的抛光原液需要补液时，通过其它第一液罐401以及对应的第一液泵402继续工作，实现供给与补液同时进行；同理，当任意一个第二液罐403中的抛光原液需要补液时，通过其它第二液罐403以及对应的第二液泵404继续工作，实现供给与补液同时进行。

可选地，继续参见图4，中央供给子系统还包括：第一回流管道408；第一回流管道408设置在第一管道31上，第一回流管道408与第二液罐403连通，第一控制单元控制第二液泵404将抛光原液从第一回流管道408回流至第二液罐403；

设备端供给子系统还包括：第二回流管道409；第二回流管道409设置在第三管道33上，第二回流管道409与第三液罐405连通，第二控制单元控制第三液泵406将抛光液从第二回流管道409回流至第三液罐405。

在本发明实施例中，通过设置回流管道将抛光原液和抛光液回流至相应的液罐中，避免药液浪费，节省成本。

可选地，继续参见图4，中央供给子系统还包括：第一温度检测装置410和第一温度调节装置(图中未示出)；第一温度检测装置410和第一温度调节装置设置在第二液罐403上，第一温度检测装置410用于检测流入第一管道31的抛光原液的第一温度，第一温度调节装置用于当第一温度不在第一预设温度范围内时，将抛光原液的温度调节至第一预设温度范围内；

中央供给子系统还包括：第二温度检测装置411和第二温度调节装置(图中未示出)；第二温度检测装置411和第二温度调节装置设置在第一回流管道408上，第二温度检测装置用于检测流入第一回流管道408的抛光原液的第二温度，第二温度调节装置用于当第二温度不在第二预设温度范围内时，将抛光原液的温度调节至第二预设温度范围内。

在本发明实施例中，在第二液罐403上设置第一温度检测装置410，对流入第一管道31的抛光原液的温度进行实时监测，确保流入第一管道31的抛光原液符合抛光工艺要求；上述第一预设温度范围是根据抛光工艺要求设置的温度范围，本发明实施例中对第一预设温度范围的具体数值不做限定。

在第一回流管道408上设置第二温度检测装置411，对流入第一回流管道408的抛光原液的温度进行实时监测，确保流入第一回流管道408的抛光原液符合抛光工艺要求；上述第二预设温度范围是根据抛光工艺要求设置的温度范围，本发明实施例中对第二预设温度范围的具体数值不做限定。

可以理解的是，上述第一温度调节装置和第二温度调节装置可以采用现有的温度调节装置，例如：设置在管道外部的冷水管和热水管，当需要对管道内的抛光原液进行冷却时，通过冷水管向管道淋撒冷水；当需要对管道内的抛光原液进行加热时，通过热水管向管道淋撒热水。本发明实施例对第一温度调节装置和第二温度调节装置的类型不做具体限定。

可选地，继续参见图4，中央供给子系统还包括：过滤器412；过滤器412设置在第一管道31和/或第二管道32上，过滤器412用于过滤抛光原液中的凝结颗粒。

在本发明实施例中，由于抛光原液自身性质，在抛光原液中可能会存在凝结颗粒，该凝结颗粒会降低抛光液的质量，通过在第一管道31和/或第二管道32上设置过滤器412，在供给抛光原液的过程中去除凝结颗粒，从而提高抛光液的质量。

可选地，继续参见图4，中央供给子系统还包括：质量检测装置413；质量检测装置413设置在第二管道32上，质量检测装置413用于检测抛光原液的密度和/或PH值，质量检测装置413还用于当抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，生成用于表示抛光原液的质量异常的第一提示信息。

在本发明实施例中，对抛光原液的密度和/或PH值进行实时监测，当监测到抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，生成第一提示信息提示技术人员进行检查，确保抛光原液的质量符合抛光工艺要求。第一预设数值范围为根据抛光工艺要求设置的数值范围，本发明实施例对第一预设数值范围的具体数值不做限定。

可选地，继续参见图4，中央供给子系统还包括：重量检测装置414；重量检测装置414设置在第二液罐403上，重量检测装置414用于检测第二液罐403的重量，重量检测装置414还用于当第二液罐403的重量不在第二预设数值范围内时，生成用于表示第二液罐403的重量异常的第二提示信息；

在本发明实施例中，对第二液罐403的重量进行实时监测，通过第二液罐403的重量换算得到第二液罐403中抛光原液的重量，例如：通过重量检测装置414的测量值减去第二液罐403的自重。当监测到第二液罐403的重量不在第二预设数值范围内时，生成第二提示信息提示技术人员进行检查。第二预设数值范围为根据抛光工艺要求设置的数值范围，本发明实施例对第二预设数值范围的具体数值不做限定。

可选地，继续参见图4，中央供给子系统还包括：清洗装置415；清洗装置415与第二液罐403连通，清洗装置415向第二液罐403输入清洗剂，第一控制单元控制第二液泵404将清洗剂从第二液罐403输入第三液罐405，第二控制单元控制第三液泵406将清洗剂从第三液罐405输入抛光设备407，通过抛光设备407排出清洗剂。

在本发明实施例中，进行清洗之前，将第二液罐403中的抛光原液排尽，然后向第二液罐403输入清洗剂，例如：超纯水，清洗剂按照与抛光液供应相同的流程，从抛光设备407排出，实现对整个抛光液供应系统的清洗。

参见图5，本发明实施例提供一种抛光液供给方法，应用于如上述的抛光液供给系统，该方法具体步骤如下：

步骤501：设备端供给子系统向中央供给子系统发送供给请求；

在本发明实施例中，当需要进行硅片抛光时，设备端供给子系统向中央供给子系统发送供给请求。

具体地，设备端供给子系统的第二控制单元向中央供给子系统的第一控制单元发送供给请求。

步骤502：中央供给子系统向设备端供给子系统供给抛光原液；

在本发明实施例中，第一控制单元控制中央供给子系统的第一供给单元向设备端供给子系统的第二供给单元供给抛光原液。

进一步地，步骤502包括如下子步骤：

(1)一个或多个第一供给支路向第二管道输入抛光原液；

具体地，第一控制单元控制一个或多个第一液泵将抛光原液从一个或多个第一液罐输入第二管道。

(2)第二管道向一个或多个第二供给支路输入抛光原液；

具体地，第二管道向一个或多个第二液罐输入抛光原液。

(3)一个或多个第二供给支路向第一管道输入抛光原液；

具体地，第一控制单元控制一个或多个第二液泵将抛光原液从一个或多个第二液罐输入第一管道。

(4)第一管道向多个第三供给支路输入抛光原液；

具体地，第一管道向多个第三液罐输入抛光原液。

可选地，第一控制单元控制第二液泵将抛光原液从第一回流管道回流至第二液罐。

步骤503：设备端供给子系统混合抛光原液和添加剂得到抛光液；

步骤504：设备端供给子系统向抛光设备供给抛光液；

在本发明实施例中，第二控制单元控制第二供给单元向抛光设备供给抛光液。

进一步地，多个第三供给支路向抛光设备供给抛光液。

具体地，第二控制单元控制多个第三液泵将抛光液从多个第三液罐输入抛光设备。

可选地，第二控制单元控制第三液泵将抛光液从第二回流管道回流至第三液罐。

本发明实施例中，将抛光液供给系统分为中央供给子系统和设备端供给子系统两部分，其中中央供给子系统用于供给抛光原液，设备端供给子系统用于对抛光原液混合得到抛光液，并向抛光设备供给该抛光液。通过划分子系统的方式分别执行原液供给与原液混合，既缓解了原液供给的压力，又利于对原液混合的集中控制，提高抛光工艺的整体质量。

为进一步提高抛光工艺的质量，上述抛光液供给方法还包括如下步骤：

(1)第一温度检测装置检测流入第一管道的抛光原液的第一温度；当第一温度不在第一预设温度范围内时，第一温度调节装置将抛光原液的温度调节至第一预设温度范围内；

在本发明实施例中，对流入第一管道的抛光原液的温度进行实时监测，确保流入第一管道的抛光原液符合抛光工艺要求。

(2)第二温度检测装置检测流入第一回流管道的抛光原液的第二温度；当第二温度不在第二预设温度范围内时，第二温度调节装置将抛光原液的温度调节至第二预设温度范围内；

在本发明实施例中，通过对流入第一回流管道的抛光原液的温度进行实时监测，确保流入第一回流管道的抛光原液符合抛光工艺要求。

(3)第一管道和/或第二管道上的过滤器过滤抛光原液中的凝结颗粒；

在本发明实施例中，对第一管道和/或第二管道中的抛光原液进行过滤，去除抛光原液中的凝结颗粒，从而提高抛光液的质量。

(4)第二管道上的质量检测装置检测抛光原液的密度和/或PH值；当抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，质量检测装置生成用于表示抛光原液的质量异常的第一提示信息；

在本发明实施例中，对抛光原液的密度和/或PH值进行实时监测，确保当抛光原液的质量异常时，及时通知技术人员进行检查，确保抛光原液的质量符合抛光工艺要求。

(5)第二液罐上的重量检测装置检测第二液罐的重量；当第二液罐的重量不在第二预设数值范围内时，重量检测装置生成用于表示第二液罐的重量异常的第二提示信息；

在本发明实施例中，对第二液罐的重量进行实时监测，确保当第二液罐的重量异常时，及时通知技术人员进行检查。

(6)清洗装置向第二液罐输入清洗剂；第一控制单元控制第二液泵将清洗剂从第二液罐输入第三液罐；第二控制单元控制第三液泵将清洗剂输入抛光设备；抛光设备排出清洗剂。

在本发明实施例中，清洗剂从第二液罐输入，并按照与抛光液供应相同的流程，从抛光设备排出，实现对整个抛光液供应系统的清洗。

本发明实施例还提供一种抛光系统，包括抛光设备和上述的抛光液供给系统，该抛光液供给系统用于向抛光设备供给抛光液。

上面结合附图对本发明的实施例进行了描述，但是本发明并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本发明的启示下，在不脱离本发明宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本发明的保护之内。

Claims (20)

1.一种抛光液供给系统，其特征在于，包括：中央供给子系统和设备端供给子系统，其中，

所述中央供给子系统与所述设备端供给子系统通过第一管道连通；

当所述中央供给子系统接收到所述设备端供给子系统发送的供给请求时，所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液；

所述设备端供给子系统混合所述抛光原液和添加剂得到抛光液，并向抛光设备供给所述抛光液。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统包括：第一控制单元和第一供给单元，所述第一控制单元和所述第一供给单元电连接；

所述设备端供给子系统包括：第二控制单元和第二供给单元，所述第二控制单元和所述第二供给单元电连接；

所述第一控制单元和所述第二控制单元电连接，所述第一供给单元与所述第二供给单元通过所述第一管道连通；

当所述第一控制单元接收到所述第二控制单元发送的供给请求时，所述第一控制单元控制所述第一供给单元向所述第二供给单元供给所述抛光原液；

所述第二控制单元控制所述第二供给单元混合所述抛光原液和所述添加剂得到抛光液，以及控制所述第二供给单元向抛光设备供给所述抛光液。

3.根据权利要求2所述的系统，其特征在于，

所述第一供给单元包括：多个第一供给支路、第二管道、多个第二供给支路；

所述第二供给单元包括：多个第三供给支路；

所述多个第二供给支路采用并联方式分别与所述第一管道的一端和所述第二管道的一端连通；

所述多个第一供给支路采用并联方式与所述第二管道的另一端连通，所述多个第三供给支路采用并联方式与所述第一管道的另一端连通；

所述第一供给支路包括：第一液罐和第一液泵；

所述第二供给支路包括：第二液罐和第二液泵；

所述第三供给支路包括：第三液罐、第三液泵和第三管道；

所述第一液泵和所述第二液泵分别与所述第一控制单元电连接，所述第三液泵与所述第二控制单元电连接；

其中，所述第一液罐中装有所述抛光原液，所述第二液罐与所述第二管道连通，所述第三液罐与所述第一管道连通；

所述第一液罐与所述第一液泵的输入端连通，所述第一液泵的输出端与所述第二管道连通，所述第一控制单元控制所述第一液泵将所述抛光原液从所述第一液罐输入所述第二液罐；

所述第二液罐与所述第二液泵的输入端连通，所述第二液泵的输出端与所述第一管道连通，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第二液罐输入所述第三液罐；

所述第三液罐内设置有搅拌装置，所述搅拌装置与所述第二控制单元电连接，所述第二控制单元控制所述搅拌装置混合所述抛光原液和所述添加剂得到所述抛光液；

所述第三液罐与所述第三液泵的输入端连通，所述第三液泵的输出端与所述第三管道的一端连通，所述第三管道的另一端与所述抛光设备连通，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第三液罐输入所述抛光设备。

4.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：第一回流管道；

所述第一回流管道设置在所述第一管道上，所述第一回流管道与所述第二液罐连通，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐；

所述设备端供给子系统还包括：第二回流管道；

所述第二回流管道设置在所述第三管道上，所述第二回流管道与所述第三液罐连通，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第二回流管道回流至所述第三液罐。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：第一温度检测装置和第一温度调节装置；

所述第一温度检测装置和所述第一温度调节装置设置在所述第二液罐上，所述第一温度检测装置用于检测流入所述第一管道的所述抛光原液的第一温度，所述第一温度调节装置用于当所述第一温度不在第一预设温度范围内时，将所述抛光原液的温度调节至所述第一预设温度范围内；

所述中央供给子系统还包括：第二温度检测装置和第二温度调节装置；

所述第二温度检测装置和所述第二温度调节装置设置在所述第一回流管道上，所述第二温度检测装置用于检测流入所述第一回流管道的所述抛光原液的第二温度，所述第二温度调节装置用于当所述第二温度不在第二预设温度范围内时，将所述抛光原液的温度调节至第二预设温度范围内。

6.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：过滤器；

所述过滤器设置在所述第一管道和/或所述第二管道上，所述过滤器用于过滤所述抛光原液中的凝结颗粒。

7.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：质量检测装置；

所述质量检测装置设置在所述第二管道上，所述质量检测装置用于检测所述抛光原液的密度和/或PH值，所述质量检测装置还用于当所述抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，生成用于表示所述抛光原液的质量异常的第一提示信息。

8.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：重量检测装置；

所述重量检测装置设置在所述第二液罐上，所述重量检测装置用于检测所述第二液罐的重量，所述重量检测装置还用于当所述第二液罐的重量不在第二预设数值范围内时，生成用于表示所述第二液罐的重量异常的第二提示信息。

9.根据权利要求3所述的系统，其特征在于，

所述中央供给子系统还包括：清洗装置；

所述清洗装置与所述第二液罐连通，所述清洗装置向所述第二液罐输入清洗剂，所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述清洗剂从所述第二液罐输入所述第三液罐，所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述清洗剂从所述第三液罐输入所述抛光设备，通过所述抛光设备排出所述清洗剂。

10.一种抛光液供给方法，其特征在于，应用于如权利要求1至9任一项所述的抛光液供给系统，所述方法包括：

设备端供给子系统向中央供给子系统发送供给请求；

所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液；

所述设备端供给子系统混合所述抛光原液和添加剂得到抛光液；

所述设备端供给子系统向抛光设备供给所述抛光液。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

所述设备端供给子系统向中央供给子系统发送供给请求，包括：

所述设备端供给子系统的第二控制单元向中央供给子系统的第一控制单元发送所述供给请求；

所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液，包括：

所述第一控制单元控制所述中央供给子系统的第一供给单元向所述设备端供给子系统的第二供给单元供给所述抛光原液；

所述设备端供给子系统向抛光设备供给所述抛光液，包括：

所述第二控制单元控制所述第二供给单元向所述抛光设备供给所述抛光液。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

所述第一控制单元控制所述中央供给子系统的第一供给单元向所述设备端供给子系统的第二供给单元供给所述抛光原液，包括：

一个或多个第一供给支路向第二管道输入所述抛光原液；

所述第二管道向一个或多个第二供给支路输入所述抛光原液；

所述一个或多个第二供给支路向第一管道输入所述抛光原液；

所述第一管道向多个第三供给支路输入所述抛光原液；

所述第二控制单元控制所述第二供给单元向所述抛光设备供给所述抛光液，包括：

所述多个第三供给支路向所述抛光设备供给所述抛光液。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，

所述一个或多个第一供给支路向第二管道输入所述抛光原液，包括：

所述第一控制单元控制所述一个或多个第一液泵将所述抛光原液从一个或多个第一液罐输入所述第二管道；

所述第二管道向一个或多个第二供给支路输入所述抛光原液，包括：

所述第二管道向一个或多个第二液罐输入所述抛光原液；

所述一个或多个第二供给支路向第一管道输入所述抛光原液，包括：

所述第一控制单元控制一个或多个第二液泵将所述抛光原液从所述一个或多个第二液罐输入所述第一管道；

所述第一管道向多个第三供给支路输入所述抛光原液，包括：

所述第一管道向多个第三液罐输入所述抛光原液；

所述多个第三供给支路向所述抛光设备供给所述抛光液，包括：

所述第二控制单元控制多个第三液泵将所述抛光液从所述多个第三液罐输入所述抛光设备。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，

所述中央供给子系统向所述设备端供给子系统供给抛光原液，还包括：

所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐；

所述设备端供给子系统向抛光设备供给所述抛光液，还包括：

所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述抛光液从所述第二回流管道回流至所述第三液罐。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，

在所述第一控制单元控制第二液泵将所述抛光原液从所述第二液罐输入所述第一管道之前，所述方法还包括：

第一温度检测装置检测流入所述第一管道的所述抛光原液的第一温度；

当所述第一温度不在第一预设温度范围内时，第一温度调节装置将所述抛光原液的温度调节至所述第一预设温度范围内；

在所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述抛光原液从所述第一回流管道回流至所述第二液罐之前，所述方法还包括：

第二温度检测装置检测流入所述第一回流管道的所述抛光原液的第二温度；

当所述第二温度不在第二预设温度范围内时，第二温度调节装置将所述抛光原液的温度调节至所述第二预设温度范围内。

16.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述第一管道和/或所述第二管道上的过滤器过滤所述抛光原液中的凝结颗粒。

17.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述第二管道上的质量检测装置检测所述抛光原液的密度和/或PH值；

当所述抛光原液的密度和/或PH值不在第一预设数值范围内时，所述质量检测装置生成用于表示所述抛光原液的质量异常的第一提示信息。

18.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

所述第二液罐上的重量检测装置检测所述第二液罐的重量；

当所述第二液罐的重量不在第二预设数值范围内时，所述重量检测装置生成用于表示所述第二液罐的重量异常的第二提示信息。

19.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

清洗装置向所述第二液罐输入清洗剂；

所述第一控制单元控制所述第二液泵将所述清洗剂从所述第二液罐输入所述第三液罐；

所述第二控制单元控制所述第三液泵将所述清洗剂输入所述抛光设备；

所述抛光设备排出所述清洗剂。

20.一种抛光系统，包括抛光设备和如权利要求1至9任一项所述的抛光液供给系统，所述抛光液供给系统用于向所述抛光设备供给抛光液。