KR102351236B1 - 직병렬 모드 변경 가능한 필터 시스템 및 이를 구비한 슬러리 공급 장치 - Google Patents

직병렬 모드 변경 가능한 필터 시스템 및 이를 구비한 슬러리 공급 장치 Download PDF

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조동원
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Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치는, 임의의 약액으로부터 슬러리를 생산하는 슬러리 생산 시스템; 상기 슬러리 생산 시스템에서 생산된 슬러리에 함유되어 있는 이물질을 필터링하여 슬러리 소비 장치로 전달하는 제1 필터 시스템; 및 상기 슬러리 생산 시스템과 상기 제1 필터 시스템을 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 제1 필터 시스템은, 상기 슬러리 생산 시스템으로부터 배출된 슬러리가 유입되는 제1 유입부에 연결되는 제1-1 필터부, 상기 제1-1 필터부와 직렬적으로 연결되고 상기 슬러리 소비 장치로 슬러리를 가이드하는 제1 배출부와 연결되는 제1-2 필터부, 상기 제1-1 필터부와 병렬적으로 연결되는 제1-3 필터부, 상기 제1-3 필터부와 직렬적으로 연결되는 것과 동시에 상기 제1-2 필터부와 병렬적으로 연결되며 상기 제1 배출부와 연결되는 제1-4 필터부 및 각각의 필터부로 슬러리의 유입 여부를 조절하는 제1 밸브부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 제1 유입부로부터 배출되는 슬러리가 적어도 하나의 필터부를 통해 필터링되도록 상기 제1 밸브부를 제어할 수 있다.

Description

직병렬 모드 변경 가능한 필터 시스템 및 이를 구비한 슬러리 공급 장치 {FILTER SYSTEM CAPABLE OF CHANGING SERIAL AND PRRALLEL MODE AND SLURRY SUPPLYING DEVICE INCLUDING THE SAME}
본 발명은 다양한 상황과 목적에 부합되게 필터링을 할 수 있는 직병렬 모드 변경 가능한 필터 시스템 및 이를 구비한 슬러리 공급 장치에 대한 것이다.
반도체 장치를 제조하기 위한 공정에서 일반적으로 반도체 기판위에 소정의 막질을 증착하고, 노광, 현상, 식각, 증착 등의 공정이 반복적으로 수행되며, 절연막, 금속배선, 절연(Isolation) 및 트렌치(Trench) 구조를 형성하도록 원하는 부위의 평탄화를 위해 화학 기계적 연마(Chemaical Mechanical Polishing, 이하 CMP)공정이 이루어진다. CMP공정은 화학액과 연마입자로 구성된 슬러리의 화학작용과, 연마기의 기계적 작용의 조합에 의해 수행된다.
CMP 공정을 위해서는 복 수의 약액을 믹싱하고 희석하여 제공하는 슬러리 제공 장치(한국등록특허공보 제10-1858201호, 2018.05.09, 등록)가 필요하다. 구체적으로, 슬러리 공급 장치는 CMP 공정을 위해 복 수개의 약액을 소정의 비율로 믹싱하고 물과 희석한다. 여기서, 슬러리 공급 장치에는 약액 혹은 슬러리에 함유되어 있는 이물질을 제거하기 위해 필터 시스템이 구비되어 있다. 다만, 기존의 필터 시스템은 회로적인 구조를 변경할 수 없기 때문에, 다양한 상황에 대해서 적합하게 필터링하지 못하는 문제를 가지고 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 다양한 목적과 상황에 적합하게 슬러리를 생산할 수 있도록 다양한 모드로서 필터링을 할 수 있는 필터링 시스템을 구비한 슬러리 공급 장치를 제공하고자 한다.
다만, 본 실시예가 이루고자 하는 기술적 과제는 상기된 바와 같은 기술적 과제들로 한정되지 않으며, 또 다른 기술적 과제들이 존재할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치는, 임의의 약액으로부터 슬러리를 생산하는 슬러리 생산 시스템; 상기 슬러리 생산 시스템에서 생산된 슬러리에 함유되어 있는 이물질을 필터링하여 슬러리 소비 장치로 전달하는 제1 필터 시스템; 및 상기 슬러리 생산 시스템과 상기 제1 필터 시스템을 제어하는 제어부;를 포함하고, 상기 제1 필터 시스템은, 상기 슬러리 생산 시스템으로부터 배출된 슬러리가 유입되는 제1 유입부에 연결되는 제1-1 필터부, 상기 제1-1 필터부와 직렬적으로 연결되고 상기 슬러리 소비 장치로 슬러리를 가이드하는 제1 배출부와 연결되는 제1-2 필터부, 상기 제1-1 필터부와 병렬적으로 연결되는 제1-3 필터부, 상기 제1-3 필터부와 직렬적으로 연결되는 것과 동시에 상기 제1-2 필터부와 병렬적으로 연결되며 상기 제1 배출부와 연결되는 제1-4 필터부 및 각각의 필터부로 슬러리의 유입 여부를 조절하는 제1 밸브부를 구비하고, 상기 제어부는, 상기 제1 유입부로부터 배출되는 슬러리가 적어도 하나의 필터부를 통해 필터링되도록 상기 제1 밸브부를 제어할 수 있다.
또한, 상기 제1 필터 시스템은, 상기 제1 유입부와 상기 제1-1 필터부를 연결하는 제1-1 배관, 상기 제1-1 필터부와 상기 제1-2 필터부를 직렬로 연결하는 제1-2 배관, 상기 제1-2 필터부와 상기 제1 배출부를 서로 연결시키는 제1-3 배관, 상기 제1 유입부와 상기 제1-3 필터부를 연결하는 제1-4 배관, 상기 제1-3 필터부와 상기 제1-4 필터부를 직렬로 연결하는 제1-5 배관 및 상기 제1-4 필터부와 상기 제1 배출부를 서로 연결시키는 제1-6 배관을 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 제1 필터 시스템은, 필터부를 거치지 않고 상기 제1 유입부에서 상기 제1 배출부로 유동될 수 있도록, 상기 제1 유입부와 상기 제1 배출부에 직접적으로 연결되는 바이패스 배관;을 더 구비할 수 있다.
또한, 상기 바이패스 배관은, 상기 제1-1 배관과 상기 1-2 배관을 서로 연결하는 제1-1 바이패스 배관, 상기 제1-2 배관과 상기 제1-3 배관을 서로 연결하는 제1-2 바이패스배관, 상기 제1 필터 시스템은 상기 제1-4 배관과 상기 제1-5 배관을 서로 연결하는 제1-3 바이패스 배관 및 상기 제1-5 배관과 상기 제1-6 배관을 서로 연결하는 제1-4 바이패스 배관을 구비할 수 있다.
또한, 상기 제1 필터 시스템은, 상기 제1-1 배관 내지 제1-6 배관 중 적어도 하나에 배치되어 슬러지에 함유된 이물질의 양을 센싱하는 제1 센서부;를 더 구비하고, 상기 제어부는, 상기 제1 센서부로부터 제공되는 센싱 정보를 기초로 필터의 교체 여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 제1-1 필터부, 상기 제1-2 필터부, 상기 제1-3 필터부 및 상기 제1-4 필터부와 병렬적으로 각각 연결되어, 각 필터부를 개별적으로 세척할 수 있는 세척 시스템;을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 센싱 정보를 기초로 임의의 필터부가 교체되어야 한다고 판단하는 경우, 상기 슬러리 공급 장치에 장착된 필터부 중에서 임의의 필터부를 대체할 필터부가 존재하는지를 산출하기 위해 미리 정해진 조건을 만족하는 필터부가 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 센싱 정보를 기초로 임의의 필터부가 교체되어야 한다고 판단하는 경우, 재고 관리 서버로부터 필터부의 재고 정보를 전달 받아, 필터부의 재고가 없을 경우에만, 상기 미리 정해진 조건이 만족하는지 여부를 판단할 수 있다.
또한, 상기 미리 정해진 조건은, 슬러리가 필터링 되고 있지 않을 조건인 미리 정해진 제1 조건을 구비하며, 상기 미리 정해진 제1 조건은, 상기 제1 필터 시스템의 필터부 중에서 만족 여부가 판단될 수 있다.
또한, 상기 슬러리 생산 시스템은, 약액이 저장되어 있는 스토리지 탱크, 약액과 임의의 물질이 서로 혼합되어 슬러리를 생성하는 혼합 탱크 및 상기 혼합 탱크에서 배출된 슬러리가 임시적으로 보관되는 공급 탱크를 포함하고, 상기 슬러리 공급 장치는, 상기 스토리지 탱크에서 상기 혼합 탱크로 유동되는 약액에 함유되어 있는 이물질을 필터링하는 제2 필터 시스템;을 더 포함하고, 상기 제2 필터 시스템은, 상기 스토리지 탱크로부터 배출된 약액이 유입되는 제2 유입부와 연결되어 약액을 필터링하는 복 수개의 제2 필터부 및 각각의 필터부로 약액의 유입 여부를 조절하는 제2 밸브부를 구비하고, 상기 미리 정해진 조건은, 상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우 상기 제2 필터 시스템의 필터부 중에서 만족 여부가 판단되는 미리 정해진 제2 조건을 더 구비하고, 상기 미리 정해진 제2 조건은, 약액이 필터링 되고 있지 않을 조건일 수 있다.
또한, 상기 제어부는, 상기 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우, 미리 정해진 상태가 만족되는 경우, 상기 제2 필터 시스템의 필터부 중에서 하나의 필터부를 임의의 필터부로 대체할 수 있다고 산출하고, 미리 정해진 상태가 만족되지 않는 경우, 임의의 필터부로 슬러리가 통과되지 못하도록 상기 제1 밸브부를 제어할 수 있다.
본 발명에 직병렬 모드 변경 가능한 필터 시스템 및 이를 구비한 슬러리 공급 장치는 다양한 목적을 해결하기 위해서 가동될 수 있다.
또한, 다양한 상황에 가장 최적화된 슬러리를 제공할 수 있다.
또한, 비상 상황에 효율적으로 대응할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 개략 외면도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 구성 관계도
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 블록도
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 제1 필터 시스템을 도시한 도면
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 제2 필터 시스템을 도시한 도면
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 입력부에 표시되는 제어 화면을 도시한 도면
도 7 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 제1 필터 시스템의 작동을 설명하기 위한 도면
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템의 필터부의 교체 시기를 설명하기 위한 그래프
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템을 제어하기 위한 미리 정해진 제1 조건을 설명하기 위한 도면
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템을 제어하기 위한 미리 정해진 제2 조건을 설명하기 위한 도면
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템을 제공하기 위한 미리 해진 제2 조건이 만족되지 않을 경우의 제어 방법을 설명하기 위한 도면
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상 범위 내에 포함된다고 할 것이다.
또한, 각 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 개략 외면도이고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 구성 관계도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치의 블록도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치(T10)는 임의의 약액으로부터 슬러리를 생산하는 슬러리 생산 시스템(10), 상기 슬러리 생산 시스템(10)에서 생산된 슬러리에 함유되어 있는 이물질을 필터링하여 슬러리 소비 장치로 전달하는 제1 필터 시스템(100) 및 상기 슬러리 생산 시스템(10)과 상기 제1 필터 시스템(100)을 제어하는 제어부(20)를 포함할 수 있다.
상기 슬러리 생산 시스템(10)은 약액이 저장되어 있는 스토리지 탱크(11), 약액과 임의의 물질이 서로 혼합되어 슬러리를 생성하는 혼합 탱크(12) 및 상기 혼합 탱크(12)에서 배출된 슬러리가 임시적으로 보관되는 공급 탱크(13)를 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬러리 공급 장치는 상기 스토리지 탱크(11)에서 상기 혼합 탱크(12)로 유동되는 약액에 함유되어 있는 이물질을 필터링하는 제2 필터 시스템(200)을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬러리 공급 장치는 필터 시스템이 구비하는 필터부를 세척할 수 있는 세척 시스템(30)을 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 슬러리 공급 장치는 슬러리 공급 장치의 구성들의 가동 여부 및 슬러리 공급 장치의 동작 상태 등을 표시하고, 사용자가 제어 정보를 입력할 수 있는 입력부(40)를 더 포함할 수 있다.
상기 슬러리 생산 시스템(10)은 약액이 개별적으로 저장되어 있는 탱크부(14)를 더 포함할 수 있다.
상기 슬러리 생산 시스템(10)은 적어도 하나 이상의 탱크부(14)를 포함할 수 있다.
탱크부(14)는 각각의 약액이 저장되어 있을 수 있다.
상기 스토리지 탱크(11)는 각각의 탱크부(14)로부터 배출된 약액이 유입되어 저장될 수 있다.
적어도 하나 이상의 약액이 스토리지 탱크(11)로 주입되어 혼합 약액이 생성될 수 있다.
스토리지 탱크(11)로부터 배출된 혼합 약액이 혼합 탱크(12)로 주입되고 물도 상기 혼합 탱크(12)로 주입되어, 혼합 약액이 희석됨에 따라 혼합 탱크(12)에서 슬러리가 생성될 수 있다.
상기 슬러리 생산 시스템(10)은 적어도 하나 이상의 혼합 탱크(12)를 포함할 수 있다.
혼합 탱크(12)에서 제조된 슬러리는 공급 탱크(13)로 전달되어 임시적으로 보관될 수 있다.
공급 탱크(13)에서 슬러리 소비 장치(일례로, CMP)로 슬러리가 전달될 수 있으며, 여기서, 제1 필터 시스템(100)은 슬러리 소비 장치로 전달되는 슬러리에 함유되어 있는 이물질을 필터링할 수 있다.
상기 슬러리 생산 시스템(10)은 각각의 구성 간에 배관에 의해 서로 연결될 수 있으며, 각각의 구성 간의 유체 유동 여부를 조절할 수 있는 밸브가 배치될 수 있다.
상기 제어부(20)는 슬러리 생산 시스템(10)의 밸브를 제어하여, 약액 혹은 슬러지의 유동을 조절, 제어할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 제1 필터 시스템을 도시한 도면이다.
상기 제1 필터 시스템(100)은 상기 슬러리 생산 시스템(10)으로부터 배출된 슬러리가 유입되는 제1 유입부(110)에 연결되는 제1-1 필터부(121), 상기 제1-1 필터부(121)와 직렬적으로 연결되고 상기 슬러리 소비 장치로 슬러리를 가이드하는 제1 배출부(180)와 연결되는 제1-2 필터부(122), 상기 제1-1 필터부(121)와 병렬적으로 연결되는 제1-3 필터부(123), 상기 제1-3 필터부(123)와 직렬적으로 연결되는 것과 동시에 상기 제1-2 필터부(122)와 병렬적으로 연결되며 상기 제1 배출부(180)와 연결되는 제1-4 필터부(124) 및 각각의 필터부로 슬러리의 유입 여부를 조절하는 제1 밸브부를 구비할 수 있다.
상기 제1 필터 시스템(100)은 상기 제1 유입부(110)와 상기 제1-1 필터부(121)를 연결하는 제1-1 배관(131), 상기 제1-1 필터부(121)와 상기 제1-2 필터부(122)를 직렬로 연결하는 제1-2 배관(132), 상기 제1-2 필터부(122)와 상기 제1 배출부(180)를 서로 연결시키는 제1-3 배관(133), 상기 제1 유입부(110)와 상기 제1-3 필터부(123)를 연결하는 제1-4 배관(134), 상기 제1-3 필터부(123)와 상기 제1-4 필터부(124)를 직렬로 연결하는 제1-5 배관(135) 및 상기 제1-4 필터부(124)와 상기 제1 배출부(180)를 서로 연결시키는 제1-6 배관(136)을 더 구비할 수 있다.
상기 제1 필터 시스템(100)은 상기 제1-1 배관(131)과 상기 제1-2 배관(132)을 서로 연결하는 제1-1 바이패스 배관(141) 및 상기 제1-2 배관(132)과 상기 제1-3 배관(133)을 서로 연결하는 제1-2 바이패스배관(142)을 더 구비할 수 있다.
상기 제1 필터 시스템(100)은 상기 제1-4 배관(134)과 상기 제1-5 배관(135)을 서로 연결하는 제1-3 바이패스 배관(143) 및 상기 제1-5 배관(135)과 상기 제1-6 배관(136)을 서로 연결하는 제1-4 바이패스 배관(144)을 더 구비할 수 있다.
상기 제1 필터 시스템(100)은 상기 제1-1 배관(131) 내지 제1-6 배관(136) 및 상기 제1-1 바이패스 배관(141) 내지 제1-4 바이패스 배관(144) 중 적어도 하나에 배치되어 슬러지에 함유된 이물질의 양을 센싱하는 제1 센서부를 더 구비할 수 있다.
상기 제1 센서부는 상기 제1-1 배관(131)에 배치되어 상기 제1-1 필터부(121)로 유입되는 슬러리에 대해서 센싱을 하는 제1-1 센서부(151), 상기 제1-2 배관(132)에 배치되어 상기 제1-1 필터부(121)로부터 배출되는 슬러리에 대해서 센싱을 하는 제1-2 센서부(152), 상기 제1-2 배관(132)에 배치되어 상기 제1-2 필터부(122)로 유입되는 슬러리에 대해서 센싱을 하는 제1-3 센서부(153), 상기 제1-3 배관(133)에 배치되어 상기 제1-2 필터부(122)로부터 배출되는 슬러리에 대해서 센싱을 하는 제1-4 센서부(154), 상기 제1-4 배관(134)에 배치되어 상기 제1-3 필터부(123)로 유입되는 슬러리에 대해서 센싱하는 제1-5 센서부(155), 상기 제1-5 배관(135)에 배치되어 상기 제1-3 필터부(123)로부터 배출되는 슬러리에 대해서 센싱하는 제1-6 센서부(156), 상기 제1-5 배관(135)에 배치되어 상기 제1-4 필터부(124)로 유입되는 슬러리에 대해서 센싱하는 제1-7 센서부(157) 및 상기 제1-6 배관(136)에 배치되어 상기 제1-4 필터부(124)로부터 배출되는 슬러리에 대해서 센싱하는 제1-8 센서부(158)를 구비할 수 있다.
제1 밸브부는 상기 제1-1 배관(131)에 배치되어 상기 제1-1 필터부(121)로 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-1 밸브부(161), 상기 제1-2 배관(132)에 배치되어 상기 제1-1 필터부(121)로부터 배출되는 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-2 밸브부(162), 상기 제1-2 배관(132)에 배치되어 상기 제1-2 필터부(122)로 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-3 밸브부(163), 상기 제1-3 배관(133)에 배치되어 상기 제1-2 필터부(122)로부터 배출되는 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-4 밸브부(164), 상기 제1-4 배관(134)에 배치되어 상기 제1-3 필터부(123)로 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-5 밸브부(165), 상기 제1-5 배관(135)에 배치되어 상기 제1-3 필터부(123)로부터 배출되는 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-6 밸브부(166), 상기 제1-5 배관(135)에 배치되어 상기 제1-4 필터부(124)로 유입되는 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-7 밸브부(167) 및 상기 제1-6 배관(136)에 배치되어 상기 제1-4 필터부(124)로부터 배출되는 슬러리의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제1-8 밸브부(168)를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제1 밸브부는 상기 제1-1 바이패스 배관(141)에 배치되는 제1-9 밸브부(169), 상기 제1-2 바이패스 배관(142)에 배치되는 제1-10 밸브부(170), 상기 제1-3 바이패스 배관(143)에 배치되는 제1-11 밸브부(171) 및 상기 제1-4 바이패스 배관(144)에 배치되는 제1-12 밸브부(172)를 더 구비할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 제2 필터 시스템을 도시한 도면이다.
도 5를 참조하면, 상기 제2 필터 시스템(200)은 상기 스토리지 탱크(11)로부터 배출된 약액이 유입되는 제2 유입부(210)와 연결되어 약액을 필터링하는 복 수개의 제2 필터부 및 각각의 필터부로 약액의 유입 여부를 조절하는 제2 밸브부를 구비할 수 있다.
구체적으로 제2 필터 시스템(200)은 스토리지 탱크(11)로부터 전달된 약액이 유입되는 제2 유입부(210)에 연결되는 제2-1 필터부(221), 상기 제1-1 필터부(121)와 직렬적으로 연결되고 상기 혼합 탱크(12)로 약액을 가이드하는 제2 배출부(280)와 연결되는 제2-2 필터부(222), 상기 제2-1 필터부(221)와 병렬적으로 연결되는 제2-3 필터부(223), 상기 제2-3 필터부(223)와 직렬적으로 연결되는 것과 동시에 상기 제2-2 필터부(222)와 병렬적으로 연결되며 상기 제2 배출부(280)와 연결되는 제2-4 필터부(224) 및 각각의 필터부로 약액의 유입 여부를 조절하는 제2 밸브부를 구비할 수 있다.
상기 제2 필터 시스템(200)은 상기 제2 유입부(210)와 상기 제2-1 필터부(221)를 연결하는 제2-1 배관(231), 상기 제2-1 필터부(221)와 상기 제2-2 필터부(222)를 직렬로 연결하는 제2-2 배관(232), 상기 제2-2 필터부(222)와 상기 제1 배출부(180)를 서로 연결시키는 제2-3 배관(233), 상기 제2 유입부(210)와 상기 제2-3 필터부(223)를 연결하는 제2-4 배관(234), 상기 제2-3 필터부(223)와 상기 제2-4 필터부(224)를 직렬로 연결하는 제2-5 배관(235), 상기 제2-4 필터부(224)와 상기 제2 배출부(280)를 서로 연결시키는 제2-6 배관(236)을 더 구비할 수 있다.
상기 제2 필터 시스템(200)은 상기 제2-1 배관(231)과 상기 제2-2 배관(232)을 서로 연결하는 제2-1 바이패스 배관(241) 및 상기 제2-2 배관(232)과 상기 제2-3 배관(233)을 서로 연결하는 제2-2 바이패스배관(242)을 더 구비할 수 있다.
상기 제2 필터 시스템(200)은 상기 제2-4 배관(234)과 상기 제2-5 배관(235)을 서로 연결하는 제2-3 바이패스 배관(243) 및 상기 제1-5 배관(135)과 상기 제2-6 배관(236)을 서로 연결하는 제2-4 바이패스 배관(244)을 더 구비할 수 있다.
상기 제2 필터 시스템(200)은 상기 제2-1 배관(231) 내지 제2-6 배관(236) 및 상기 제2-1 바이패스 배관(241) 내지 제2-4 바이패스 배관(244) 중 적어도 하나에 배치되어 약액에 함유된 이물질의 양을 센싱하는 제2 센서부를 더 구비할 수 있다.
상기 제2 센서부는 상기 제2-1 배관(231)에 배치되어 상기 제2-1 필터부(221)로 유입되는 약액에 대해서 센싱을 하는 제2-1 센서부(251), 상기 제2-2 배관(232)에 배치되어 상기 제2-1 필터부(221)로부터 배출되는 약액에 대해서 센싱을 하는 제2-2 센서부(252), 상기 제2-2 배관(232)에 배치되어 상기 제2-2 필터부(222)로 유입되는 약액에 대해서 센싱을 하는 제2-3 센서부(253), 상기 제2-3 배관(233)에 배치되어 상기 제2-2 필터부(222)로부터 배출되는 약액에 대해서 센싱을 하는 제2-4 센서부(254), 상기 제2-4 배관(234)에 배치되어 상기 제2-3 필터부(223)로 유입되는 약액에 대해서 센싱하는 제2-5 센서부(255), 상기 제2-5 배관(235)에 배치되어 상기 제2-3 필터부(223)로부터 배출되는 약액에 대해서 센싱하는 제2-6 센서부(256), 상기 제2-5 배관(235)에 배치되어 상기 제2-4 필터부(224)로 유입되는 약액에 대해서 센싱하는 제2-7 센서부(257) 및 상기 제2-6 배관(236)에 배치되어 상기 제2-4 필터부(224)로부터 배출되는 약액에 대해서 센싱하는 제2-8 센서부(258)를 구비할 수 있다.
제2 밸브부는 상기 제2-1 배관(231)에 배치되어 상기 제2-1 필터부(221)로 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-1 밸브부(261), 상기 제2-2 배관(232)에 배치되어 상기 제2-1 필터부(221)로부터 배출되는 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-2 밸브부(262), 상기 제2-2 배관(232)에 배치되어 상기 제2-2 필터부(222)로 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-3 밸브부(263), 상기 제2-3 배관(233)에 배치되어 상기 제2-2 필터부(222)로부터 배출되는 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-4 밸브부(264), 상기 제2-4 배관(234)에 배치되어 상기 제2-3 필터부(223)로 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-5 밸브부(265), 상기 제2-5 배관(235)에 배치되어 상기 제2-3 필터부(223)로부터 배출되는 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-6 밸브부(266), 상기 제2-5 배관(235)에 배치되어 상기 제2-4 필터부(224)로 유입되는 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-7 밸브부(267), 상기 제2-6 배관(236)에 배치되어 상기 제2-4 필터부(224)로부터 배출되는 약액의 유동 여부 및 유동량을 조절하는 제2-8 밸브부(268)를 구비할 수 있다.
또한, 상기 제2 밸브부는 상기 제2-1 바이패스 배관(241)에 배치되는 제2-9 밸브부(269), 상기 제2-2 바이패스 배관(242)에 배치되는 제2-10 밸브부(270), 상기 제2-3 바이패스 배관(243)에 배치되는 제2-11 밸브부(271) 및 상기 제2-4 바이패스 배관(244)에 배치되는 제2-12 밸브부(272)를 더 구비할 수 있다.
제어부(20)는 각각의 밸브부들을 제어하여, 다양한 경로로 슬러리 또는 약액이 필터 시스템 상에서 유동될 수 있다.
상기 센싱부는 슬러리 혹은 약액 상에 부유하고 있는 이물질에 대한 양을 센싱 할 수 있고,이에 대한 정보인 센싱 정보를 상기 제어부(20)로 전송할 수 있다.
상기 제어부(20)는 센서부로부터 전달되는 센싱 정보를 기반으로 필터의 교체 여부를 판단할 수 있다.
일례로, 상기 제어부(20)는 상기 제1 센서부로부터 제공되는 센싱 정보를 기초로 제1-1 필터부(121) 내지 제1-4 필터부(124)의 교체 여부를 판단할 수 있다.
일례로, 상기 제어부(20)는 상기 제2 센서부로부터 제공되는 센싱 정보를 기초로 제2-1 필터부(221) 내지 제2-4 필터부(224)의 교체 여부를 판단할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 입력부에 표시되는 제어 화면을 도시한 도면이다.
도 6을 참조하면, 상기 입력부(40)의 화면에는 제1 필터 시스템(100)에서 슬러리가 유동되도록 하는 필터부를 선택할 수 있는 인터페이스 화면이 표시될 수 있다.
또는, 상기 입력부(40)의 화면에는 상기 제2 필터 시스템(200)에서 약액이 유동되도록 하는 필터부를 선택할 수 있는 인터페이스 화면이 표시될 수 있다.
사용자는 입력부(40)에 희망하는 작동 모드를 선택함으로써 상기 제어부(20)를 제어할 수 있다.
제어부(20)는 입력부(40)를 통해 입력된 필터부를 통해 슬러리 및/또는 약액이 필터링될 수 있도록 제1 밸브부 내지 제2 밸브부를 적절하게 개폐 제어할 수 있다.
또한, 입력부(40)에는 약액 또는 슬러리가 필터링되는 필터부를 개별적으로 선택할 수 있는 인터페이스가 제공될 수 있다.
이를 통해, 사용자는 수동으로 약액 또는 슬러리가 통과되는 필터부를 선택할 수 있다.
도 7 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 제1 필터 시스템의 작동을 설명하기 위한 도면이다.
도 7을 참조하면, 작업자가 입력부(40)를 통해 "모두 사용"을 선택하는 경우, 직병렬(ALL MODE)로서 슬러리가 필터링 될 수 있다.
이를 위해, 제1-9 밸브부(169) 내지 제1-12 밸브부(172)는 폐쇄되고 나머지 밸브부는 개방될 수 있다.
도 8을 참조하면, 작업자는 입력부(40)를 통해 "직렬모드"를 선택할 수 있다.
도 8(a)를 참조하면, 제1-1 필터부(121)와 제1-2 필터부(122)만으로 슬러리가 필터링될 수 있다.
이를 위해, 제1-1 밸브부(161), 제1-2 밸브부(162), 제1-3 밸브부(163) 및 제1-4 밸브부(164)만이 개방되고 나머지 밸브부들은 폐쇄될 수 있다.
도 8(b)를 참조하면, 제1-3 필터부(123)와 제1-4 필터부(124)만으로 슬러리가 필터링될 수 있다.
이를 위해, 제1-5 밸브부(165), 제1-6 밸브부(166), 제1-7 밸브부(167) 및 제1-8 밸브부(168)만이 개방되고 나머지 밸브부들은 폐쇄될 수 있다.
도 9를 참조하면, 작업자는 입력부(40)를 통해 "병렬모드"를 선택할 수 있다.
도 9(a)를 참조하면, 제1-1 필터부(121)와 제1-3 필터부(123)만으로 슬러리가 필터링될 수 있다.
이를 위해, 제1-1 밸브부(161), 제1-2 밸브부(162), 제1-10 밸브부(170), 제1-5 밸브부(165), 제1-6 밸브부(166) 및 제1-12 밸브부(172)가 개방되고, 나머지 밸브부들은 폐쇄될 수 있다.
도 9(b)를 참조하면, 제1-2 필터부(122)와 제1-4 필터부(124)만으로 슬러리가 필터링될 수 있다.
이를 위해, 제1-9 밸브부(169), 제1-3 밸브부(163), 제1-4 밸브부(164), 제1-11 밸브부(171), 제1-7 밸브부(167) 및 제1-8 밸브부(168)가 개방되고, 나머지 밸브부들은 폐쇄될 수 있다.
작업자는 약품 타입에 따라 사용하는 필터링 되는 정도 또는 필터 종류가 상이하기 때문에, 이에 따라 적합하게 모드를 선택할 수 있다.
제2 필터 시스템(200)도 동일한 방식으로 작동될 수 있으며, 이에 대한 자세한 설명은 중복되는 한도에서 생략될 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템의 필터부의 교체 시기를 설명하기 위한 그래프이다.
도 10을 참조하면, 상기 제어부(20)는 필터부로부터 배출되는 약액 또는 슬러리에 함유되어 있는 이물질의 양이 제1 기준(X10) 이상일 경우, 해당 필터부가 교체되어야 한다고 판단할 수 있다.
상기 제어부(20)가 상기 센싱 정보를 기초로 임의의 필터부가 교체되어야 한다고 판단하는 경우, 재고 관리 서버로부터 필터부의 재고 정보를 전달 받아, 필터부의 재고가 없을 경우에만, 미리 정해진 조건이 만족하는지 여부를 판단할 수 있다.
즉, 보관되어 있는 필터부가 없을 경우에, 기존에 장착되어 있는 필터부를 활용하기 위해 미리 정해진 조건이 만족되는 필터부가 존재하는지 여부가 판단될 수 있다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템을 제어하기 위한 미리 정해진 제1 조건을 설명하기 위한 도면이다.
상기 제어부(20)는 상기 센싱 정보를 기초로 임의의 필터부가 교체되어야 한다고 판단하는 경우, 상기 슬러리 공급 장치에 장착된 필터부 중에서 임의의 필터부를 대체할 필터부가 존재하는지를 산출하기 위해 미리 정해진 조건을 만족하는 필터부가 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.
상기 미리 정해진 조건은 슬러리가 필터링 되고 있지 않을 조건인 미리 정해진 제1 조건을 구비할 수 있다.
상기 미리 정해진 제1 조건은 상기 제1 필터 시스템(100)의 필터부 중에서 만족 여부가 판단될 수 있다.
도 11 참조하면, 만일, 제1 필터 시스템(100)의 제1-1 필터부(121) 및 제1-3 필터부(123)를 통해 슬러리가 필터링되고 있는 상황을 가정할 수 있다.
여기서, 상기 제어부(20)는 상기 제1-6 센서부(156)로부터 전달되는 정보를 기반으로 상기 제1-3 필터부(123)가 교체되여야 한다고 판단할 수 있다.
상기 제어부(20)는 재고 관리 서버로부터 필터부의 재고 정보를 전달 받을 수 있다.
만일, 필터부의 재고가 없다면, 상기 제어부(20)는 상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.
본 예시에서 제1-2 필터부(122)와 제1-4 필터부(124)에는 슬러리가 통과되고 있지 않기 때문에, 제1-2 필터부(122) 또는 상기 제1-4 필터부(124)가 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부일 수 있다.
상기 제어부(20)는 제1-3 필터부(123)의 교체 경고와 상기 제1-2 필터부(122) 또는 상기 제1-4 필터부(124)가 대체 가능하다는 정보가 상기 입력부(40)에 표시되도록 상기 입력부(40)를 제어할 수 있다.
상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 복수 개일 경우 아래와 같은 추가적인 판단이 추가될 수 있다.
상기 제어부(20)는 상기 제1-2 필터부(122)와 상기 제1-4 필터부(124) 중에서 상기 제1-3 필터부(123)와 대체되었을 경우, 슬러리 필터링에 더욱 적합한 필터부에 대해서 대체 가능하다고 산출하여 상기 입력부(40)에 표시할 수 있다. (제1-1 산출 방법)
또는, 상기 제어부(20)는 상기 제1-2 필터부(122)와 상기 제1-4 필터부(124) 중에서 슬러리를 필터링하는 실제 사용 기간이 더 적은 필터부에 대해서 대체 가능하다고 산출하여 상기 입력부(40)에 표시할 수 있다. (제1-2 산출 방법)
또는, 상기 입력부(40)에는 상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 복수 개일 경우에 상기 제1-1 산출 방법과 상기 제1-2 산출 방법을 선택할 수 있는 인터페이스가 제공되어, 사용자는 목적과 상황에 따라 대체 가능한 필터부가 무엇인지 명확하게 파악할 수 있다.
사용자는 제어부(20)에 소정 기준 이상의 필터부를 미리 정해진 조건이 만족되는 필터부로 변경한다는 것을 입력부(40)에 입력할 수 있다.
이와 같을 경우, 상기 제어부(20)는 상기 세척 시스템(30)이 소정 기준 이상의 필터부와 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부 만을 세척할 수 있도록 상기 세척 시스템(30) 및/또는 제1 밸브부를 제어할 수 있다.
상기 세척 시스템(30)은 상기 제1-1 필터부(121), 상기 제1-2 필터부(122), 상기 제1-3 필터부(123) 및 상기 제1-4 필터부(124)와 병렬적으로 각각 연결되어, 각 필터부를 개별적으로 세척할 수 있다.
상기 세척 시스템(30)은 물, 공기 등을 청소 대상 필터부에 통과시켜, 필터부와 필터부에 연결되어 있는 배관에 남겨진 슬러리 혹은 약액을 제거할 수 있다.
작업자는 제1-3 필터부(123)를 사용하지 않는 필터부인 제1-2 필터부(122) 혹은 제1-4 필터부(124)로 변경하여, 긴급 상황에 용이하게 대처할 수 있다.
여기서, 작업 과정에서도 슬러리의 공급이 중단되지 않도록, 상기 제어부(20)는 나머지 필터부(본 예시에서 제1-1 필터부(121))를 통하여 제1 배출부(180)로 슬러리가 유동되도록 제1 밸브부를 적절하게 제어할 수 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템을 제어하기 위한 미리 정해진 제2 조건을 설명하기 위한 도면이다.
상기 미리 정해진 조건은 상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우 상기 제2 필터 시스템(200)의 필터부 중에서 만족 여부가 판단되는 미리 정해진 제2 조건을 더 구비할 수 있다.
상기 미리 정해진 제2 조건은 약액이 필터링 되고 있지 않을 조건일 수 있다.
도 12를 참조하면, 제1 필터 시스템(100)의 모든 필터부가 슬러리를 필터링하고 있으며, 제2 필터 시스템(200)의 제2-1 필터부(221) 및 제2-3 필터부(223)를 통해 슬러리가 필터링되고 있는 상황을 가정할 수 있다.
상기 미리 정해진 제2 조건은 상기 제2 필터 시스템(200)의 필터부 중에서 만족 여부가 판단될 수 있다.
여기서, 상기 제어부(20)는 상기 제1-6 센서부(156)로부터 전달되는 정보를 기반으로 상기 제1-3 필터부(123)가 교체되여야 한다고 판단할 수 있다.
상기 제어부(20)는 재고 관리 서버로부터 필터부의 재고 정보를 전달 받을 수 있다.
만일, 필터부의 재고가 없다면, 상기 제어부(20)는 상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.
본 예시에서, 제1 필터 시스템(100)의 모든 필터부가 슬러리를 필터링하고 있기 때문에, 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 수 있다.
상기 제어부(20)는 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 존재하는지 여부를 판단할 수 있다.
본 예시에서 제2-2 필터부(222)와 제2-4 필터부(224)에는 약액이 통과되고 있지 않기 때문에, 제2-2 필터부(222)와 제2-4 필터부(224)가 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부일 수 있다.
상기 제어부(20)는 제1-3 필터부(123)의 교체 경고와 상기 제2-2 필터부(222) 또는 상기 제2-4 필터부(224)가 대체 가능하다는 정보가 상기 입력부(40)에 표시되도록 상기 입력부(40)를 제어할 수 있다.
상기 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 복수 개일 경우 아래와 같은 추가적인 판단이 추가될 수 있다.
상기 제어부(20)는 상기 제2-2 필터부(222)와 상기 제2-4 필터부(224) 중에서 상기 제1-3 필터부(123)와 대체되었을 경우, 슬러리 필터링에 더욱 적합한 필터부에 대해서 대체 가능하다고 산출하여 상기 입력부(40)에 표시할 수 있다. (제2-1 산출 방법)
또는, 상기 제어부(20)는 상기 제2-2 필터부(222)와 상기 제2-4 필터부(224) 중에서 약액을 필터링한 실제 사용 시간이 더 적은 필터부에 대해서 대체 가능하다고 산출하여 상기 입력부(40)에 표시할 수 있다. (제2-2 산출 방법)
또는, 상기 입력부(40)에는 상기 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 복수 개일 경우에 상기 제2-1 산출 방법과 상기 제2-2 산출 방법을 선택할 수 있는 인터페이스가 제공되어, 사용자는 목적과 상황에 따라 대체 가능한 필터부가 무엇인지 명확하게 파악할 수 있다.
사용자는 제어부(20)에 소정 기준 이상의 필터부를 미리 정해진 조건이 만족되는 필터부로 변경한다는 것을 입력부(40)에 입력할 수 있다.
이와 같을 경우, 상기 제어부(20)는 상기 세척 시스템(30)이 소정 기준 이상의 필터부와 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부 만을 세척할 수 있도록 상기 세척 시스템(30), 제1 밸브부 및 제2 밸브부를 제어할 수 있다.
또는 상기 제어부(20)는 교체되어야 하는 필터부와 대체되는 필터부만이 세척될 수 있도록 상기 세척 시스템(30), 제1 밸브부 및 제2 밸브부를 제어할 수 있다.
작업자는 제2 필터 시스템(200)의 필터부를 이용하여 긴급 상황에 용이하게 대처할 수 있다.
여기서, 작업 과정에서도 약액의 공급이 중단되지 않도록, 상기 제어부(20)는 나머지 필터부(본 예시에서 제2-1 필터부(221), 제2-2 필터부(222) 및 제2-4 필터부(224))를 통하여 제2 배출부(280)로 약액이 유동되도록 제2 밸브부를 적절하게 제어할 수 있다.
도 13은 본 발명의 일 실시예에 따른 슬러리 공급 장치가 구비하는 필터 시스템을 제공하기 위한 미리 해진 제2 조건이 만족되지 않을 경우의 제어 방법을 설명하기 위한 도면이다.
상기 제어부(20)는 상기 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우, 미리 정해진 상태가 만족되는 경우 상기 제2 필터 시스템(200)의 필터부 중에서 하나의 필터부를 임의의 필터부로 대체할 수 있다고 산출하고, 미리 정해진 상태가 만족되지 않는 경우 임의의 필터부(교체가 필요한 필터부)로 슬러리가 통과되지 못하도록 상기 제1 밸브부를 제어할 수 있다.
미리 정해진 상태는 슬러리에 함유된 이물질의 함량이 제2 기준 이상인 상태를 말할 수 있다.
구체적으로, 임의의 필터부로부터 배출된 슬러리에 함유된 이물질의 함량이 제1 기준 이상인 상황에서, 임의의 필터부로 유입되는 슬러리에 함유된 이물질의 함량이 제2 기준 이상일 경우, 미리 정해진 상태가 만족될 수 있다.
즉, 상기 미리 정해진 제1 조건과 상기 제2 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우에는 도 13과 같이 모든 필터부가 필터링하고 있는 상황을 말하는 것일 수 있다.
이 때, 임의의 필터부(일례로, 제1-3 필터부(123))가 교체가 필요한 상황이라면, 상기 제어부(20)는 상기 제1-3 필터부(123)에 슬러리가 통과하지 않도록 제1 밸브부를 제어할 수 있다.
다만, 상기 제1-3 필터부(123)에 유입되는 슬러리에 이물질의 함량이 많을 경우(미리 정해진 상태가 만족함) ), 단순하게 제1-3 필터부(123)에 슬러리가 통과하지 않도록 하면, 다른 필터부가 이물질을 필터링하는데 부하가 걸릴 수 있다.
이와 같은 경우, 제2 필터 시스템(200)에서 미리 정해진 기준이 만족되는 필터부를 선정하여 교체가 필요한 필터와 교체시킬 수 있다.
이는, 상기 제1 필터 시스템(100)은 직접적으로 바로 슬러리 생산 시스템(10)에서 사용되는 슬러리이기 때문에 이물질 제거가 매우 중요한 요인이기 때문일 수 있다.
미리 정해진 기준은 판단 대상의 필터부로 유입되는 약액에 함유되는 이물질의 양이 제2 기준 미만이고, 판단 대상의 필터부로부터 배출되는 약액에 함유된 이물질의 양이 제1 기준 미만인 기준일 수 있다.
또한, 상기 미리 정해진 기준은 세척 시스템(30)에 의해 청소된 시점이 가장 최근일 조건일 수 있다.
청소된 시기가 오래될수록 필터부에 남겨지거나 고착된 약액의 양이 많아질 수 있다.
세척 시스템(30)에 의해 필터부에 남아있는 약액이 완전하게 제거되지 않을 수 있다.
이로 인해, 제2 필터 시스템(200)에서 제1 필터 시스템(100)으로 필터부를 옮기는 과정에서 약액이 외부로 노출될 경우, 인명 사고가 발생될 수 있다.
이러한 사고를 최대한 예방하기 위해, 가장 최근에 청소된 필터부를 교체할 필터부로 채택할 수 있다.
첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상을 보다 명확하게 표현하기 위해, 본 발명의 기술적 사상과 관련성이 없거나 떨어지는 구성에 대해서는 간략하게 표현하거나 생략하였다.
상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야의 당업자에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.
10 : 슬러리 생산 시스템 11 : 스토리지 탱크
12 : 혼합 탱크 13 : 공급 탱크

Claims (11)

  1. 임의의 약액이 저장되어 있는 스토리지 탱크, 약액과 임의의 물질이 서로 혼합되어 슬러리를 생성하는 혼합 탱크 및 상기 혼합 탱크에서 배출된 슬러리가 임시적으로 보관되는 공급 탱크를 포함하는 슬러리 생산 시스템;
    상기 슬러리 생산 시스템에서 생산된 슬러리에 함유되어 있는 이물질을 필터링하여 슬러리 소비 장치로 전달하는 제1 필터 시스템;
    상기 스토리지 탱크에서 상기 혼합 탱크로 유동되는 약액에 함유되어 있는 이물질을 필터링하는 제2 필터 시스템; 및
    상기 슬러리 생산 시스템과 상기 제1 필터 시스템을 제어하는 제어부;를 포함하고,
    상기 제1 필터 시스템은,
    상기 슬러리 생산 시스템으로부터 배출된 슬러리가 유입되는 제1 유입부에 연결되는 제1-1 필터부, 상기 제1-1 필터부와 직렬적으로 연결되고 상기 슬러리 소비 장치로 슬러리를 가이드하는 제1 배출부와 연결되는 제1-2 필터부, 상기 제1-1 필터부와 병렬적으로 연결되는 제1-3 필터부, 상기 제1-3 필터부와 직렬적으로 연결되는 것과 동시에 상기 제1-2 필터부와 병렬적으로 연결되며 상기 제1 배출부와 연결되는 제1-4 필터부, 각각의 필터부로 슬러리의 유입 여부를 조절하는 제1 밸브부, 상기 제1 유입부와 상기 제1-1 필터부를 연결하는 제1-1 배관, 상기 제1-1 필터부와 상기 제1-2 필터부를 직렬로 연결하는 제1-2 배관, 상기 제1-2 필터부와 상기 제1 배출부를 서로 연결시키는 제1-3 배관, 상기 제1 유입부와 상기 제1-3 필터부를 연결하는 제1-4 배관, 상기 제1-3 필터부와 상기 제1-4 필터부를 직렬로 연결하는 제1-5 배관, 상기 제1-4 필터부와 상기 제1 배출부를 서로 연결시키는 제1-6 배관 및 상기 제1-1 배관 내지 상기 제1-6 배관 중 적어도 하나에 배치되어 슬러리에 함유된 이물질의 양을 센신하는 제1 센서부를 구비하고,
    상기 제2 필터 시스템은,
    상기 스토리지 탱크로부터 배출된 약액이 유입되는 제2 유입부와 연결되어 약액을 필터링하는 복수 개의 제2 필터부 및 각각의 필터부로 약액의 유입 여부를 조절하는 제2 밸브부를 구비하고,
    상기 제어부는,
    상기 제1 유입부로부터 배출되는 슬러리가 적어도 하나의 필터부를 통해 필터링되도록 상기 제1 밸브부를 제어하며,
    상기 제1 센서부로부터 제공되는 센싱 정보를 기초로 임의의 필터부가 교체되어야 한다고 판단하는 경우, 상기 슬러리 공급 장치에 장착된 필터부 중에서 임의의 필터부를 대체할 필터부가 존재하는지를 산출하기 위해 미리 정해진 조건을 만족하는 필터부가 존재하는지 여부를 판단하며,
    상기 미리 정해진 조건은,
    상기 제1 필터 시스템의 필터부 중에서 슬러리가 필터링 되고 있지 않을 조건인 미리 정해진 제1 조건 및 상기 미리 정해진 제1 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우 상기 제2 필터 시스템의 필터부 중에서 약액이 필터링 되고 있지 않을 조건인 미리 정해진 제2 조건을 구비하는,
    슬러리 공급 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 필터 시스템은,
    필터부를 거치지 않고 상기 제1 유입부에서 상기 제1 배출부로 유동될 수 있도록, 상기 제1 유입부와 상기 제1 배출부에 직접적으로 연결되는 바이패스 배관;을 더 구비하는,
    슬러리 공급 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 바이패스 배관은,
    상기 제1-1 배관과 상기 제1-2 배관을 서로 연결하는 제1-1 바이패스 배관, 상기 제1-2 배관과 상기 제1-3 배관을 서로 연결하는 제1-2 바이패스배관, 상기 제1 필터 시스템은 상기 제1-4 배관과 상기 제1-5 배관을 서로 연결하는 제1-3 바이패스 배관 및 상기 제1-5 배관과 상기 제1-6 배관을 서로 연결하는 제1-4 바이패스 배관을 구비하는,
    슬러리 공급 장치.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1-1 필터부, 상기 제1-2 필터부, 상기 제1-3 필터부 및 상기 제1-4 필터부와 병렬적으로 각각 연결되어, 각 필터부를 개별적으로 세척할 수 있는 세척 시스템;을 더 포함하는,
    슬러리 공급 장치.
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 센싱 정보를 기초로 임의의 필터부가 교체되어야 한다고 판단하는 경우, 재고 관리 서버로부터 필터부의 재고 정보를 전달 받아, 필터부의 재고가 없을 경우에만, 상기 미리 정해진 조건이 만족하는지 여부를 판단하는,
    슬러리 공급 장치.
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 미리 정해진 제2 조건이 만족되는 필터부가 존재하지 않을 경우,
    미리 정해진 상태가 만족되는 경우, 상기 제2 필터 시스템의 필터부 중에서 하나의 필터부를 임의의 필터부로 대체할 수 있다고 산출하고,
    미리 정해진 상태가 만족되지 않는 경우, 임의의 필터부로 슬러리가 통과되지 못하도록 상기 제1 밸브부를 제어하는,
    슬러리 공급 장치.
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