CN109564245A - 探针卡和检查方法 - Google Patents

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Abstract

根据本发明的探针卡(100)检查具有多个焊盘(51)的工件(50)。探针卡(100)具有：平面二次电池(10)，其包括平面电极(22)并且设置成使得平面电极(22)面对工件(50)；以及设置在工件(50)和二次电池(10)之间的电连接体(30)。二次电池(10)具有能够在任意位置从平面电极(22)引出布线的结构。电连接体(30)具有朝向所面对的焊盘(51)突出的多个触头(31)；并且多个焊盘(51)和平面电极(22)通过多个触头(31)彼此电连接。

Description

探针卡和检查方法
技术领域
本发明涉及通过使用电池进行电气检查的技术。
背景技术
专利文献1公开了一种探针卡，其在探针基板和电路板之间设置有连接体。在专利文献1的探针卡上安装有继电器开关和电容。根据专利文献1，适当地设置继电器开关以抑制从器件到旁路电容的布线长度的变化。
引用列表
专利文献
专利文献1：日本未经审查的专利申请公开第2014-25761号
发明内容
技术问题
根据这种半导体器件的电气检查，从电源到接触头的距离之间的差异影响响应性能和测量精度。在电气检查期间，由于发生从电压施加指令到响应的速度延迟，因此即使良好的电路也被确定为NG。
对于这种响应速度的延迟，存在通过布线设计来执行等距布线图案制作(patterning)的方法，以及通过使用电容来消除由于布线距离引起的响应速度的延迟的方法。此外，还存在一种用于设置不受速度延迟影响的有效区域并执行从有效区域中限定出集中测量区域的偏移检查的方法。
然而，难以在有限的区域中执行等距布线图案制作。此外，当执行等距布线图案制作时，需要根据最长的布线长度来设计布线长度。另外，根据用于消除距离的方法，当测量通道增加时，诸如电容的电路元件的数量也增加。因此，安装电路元件变得困难，并且安装成本增加。与集中测量相比，偏移检查需要循环时间。因此，偏移检查的生产率低于集中测量。
本发明是鉴于上述问题而完成的，并且本发明的目的在于提供一种能够抑制电气检查的响应速度变化的技术。
解决问题的方案
根据本发明实施方式的一个实施方式，一种探针卡是用于检查包括多个焊盘的工件的探针卡，并且包括：平面形状的二次电池，其包括平面形状的平面电极并且被设置成使得平面电极面对工件；以及设置在工件和二次电池之间的电连接体，电连接体包括朝向所面对的焊盘突出的多个触头，并且通过置于多个焊盘和平面电极之间的多个触头将该多个焊盘和平面电极电连接。
在上述探针卡中，从平面电极到所面对的触头的布线长度优选相等。
在上述探针卡中，电连接体可以包括被构造为与平面电极接触的弹簧顶针(Pogo针)。
在上述探针卡中，电连接体可以通过置于其与平面电极之间的导电粘合体连接至平面电极。
根据本发明实施方式的一个实施方式，一种二次电池是用于向检查包括多个焊盘的工件所用的检查装置供电的平面形状的二次电池，并且包括：平面形状的电池元件；以及设置成面对电池元件上部的平面形状的平面电极，平面电极可以从电池元件的任意位置引出电流。
根据本发明实施方式的一个实施方式，一种检查方法是用于检查在表面上包括多个焊盘的工件的检查方法，并且包括：将探针卡设置成面对工件；以及将设置在探针卡上的多个触头放置成与焊盘接触，探针卡包括：平面形状的二次电池，该二次电池包括平面形状的平面电极并且被设置成使得平面电极面对工件；以及设置在工件和二次电池之间的电连接体，电连接体包括朝向所面对的焊盘突出的多个触头，并且通过置于多个焊盘和平面电极之间的多个触头将该多个焊盘和平面电极电连接。
根据上述检查方法，在触头与焊盘接触的状态下，电流可以在焊盘和平面电极之间沿与平面电极的平面方向垂直的方向流动。
根据上述检查方法，电连接体可以包括被构造成与平面电极接触的Pogo针。
根据上述检查方法，电连接体可以通过置于其与平面电极之间的导电粘合体连接至平面电极。
发明的有益效果
根据本发明，可以提供一种能够抑制电气检查的响应速度变化的技术。
附图说明
图1是示出探针卡的构造的立体图；
图2是用于说明使用探针卡进行检查的剖视图；
图3是示出探针卡的触头和焊盘相接触时的状态的剖视图；
图4是示出用于测量从电池供应的电流的延迟的测试构造的视图；
图5是示出图4的构造的测试结果的曲线图；
图6是示出电路元件安装在电连接体上的构造的剖视图；
图7是示出用于将电连接体和电池相连接的构造例1的剖视图；
图8是示出用于将电连接体和电池相连接的构造例2的剖视图；以及
图9是示出用于探针卡的二次电池的构造的剖视图。
具体实施方式
下面将参照附图描述本发明的实施方式的一个例子。以下说明将描述本发明的优选实施方式，并且本发明的技术范围不限于以下实施方式。
下面将参照图1描述根据本实施方式的探针卡的构造。图1是示出根据本实施方式的探针卡的构造的立体图。另外，为了说明清楚，图1示出了XYZ三维正交坐标系。+Z方向是触碰(touchdown)方向，并且在检查期间是垂直下侧。此外，XY平面是垂直于触碰方向的平面方向。此外，X方向和Y方向是沿矩形形状的电池10的端侧的方向。
探针卡100包括电池10和电连接体30。电池10设置在电连接体30的+Z侧。例如，电池10是片状的电池并且设置成平行于XY平面。电池10包括第一电极14和第二电极22。例如，电池10采用可以从第二电极22的任意部分引出布线的结构。另外，电池10在第一电极14和第二电极22之间包括充电层，但是它没有在图1中示出。在这方面，下面将描述电池10的详细的截面构造。
例如，第一电极14由金属片或金属基板形成。第一电极14是负电极。在某些情况下，第一电极14也成为用于形成下述层叠结构的基材。第二电极22是形成在电池10的表面上的正电极。
在设置电连接体30之前的状态下，第一电极14从电池10的一个表面露出，并且第二电极22从另一个表面露出。第二电极22是形成在除第一电极14的边缘之外的区域中的平面电极。第一电极14和第二电极22基本上平行于XY平面。另外，将在假设第一电极14是负电极并且第二电极22是正电极的情况下描述根据本实施方式的探针卡。然而，第一电极14可以是正电极，而第二电极22可以是负电极。
平板形状的电连接体30面对电池10设置。电连接体30包括基部32和触头31。基部32是沿XY平面的平坦基板。在基部32的-Z侧的表面上设置有多个触头31。在这方面，多个触头31布置为阵列图案。
每个触头31从基部32朝-Z方向突出，以与相对的工件接触。每个触头31的远端都放置成通过触碰而与相对的工件接触。另外，触头31可以采用任何构造，只要触头31在-Z方向上突出即可。例如，触头31可以是悬臂型探针。可替代地，触头31可以是通过弹簧偏置的Pogo针。触头31优选被构造为通过过压而被焊盘偏置。也就是说，触头31优选采用产生弹力的结构。
此外，将参照图2和图3详细描述电连接体30的构造。图2是示出工件50和探针卡100的构造的剖视图。图3是示出探针卡100的触头31与焊盘51接触时的状态的剖视图。电连接体30设置在工件50和电池10之间。即，电池10设置成面对工件50，同时电连接体30置于它们之间。电连接体30可以可拆卸地设置在电池10上。
电连接体30附接至电池10以面对电池10的第二电极22。即，电连接体30的上表面面对电池10的下表面，并且电连接体30的下表面(-Z方向)面对工件50的上表面。工件50是半导体器件，例如半导体晶片、CCD器件和CMOS器件。在工件50的上表面(+Z方向)上设置有输入和输出信号的多个焊盘51。
基部32包括多个导电部分34和多个绝缘部分33。导电部分34由诸如金属的导电材料形成。导电部分34沿Z方向延伸，以将触头31电连接至第二电极22。绝缘部分33由诸如树脂的绝缘材料形成。绝缘部分33设置在导电部分34之间，以隔开相邻的导电部分34。绝缘部分33和导电部分34在X方向上交替设置。
绝缘部分33在X方向和Y方向上设置在两个相邻的导电部分34之间。因此，相邻的导电部分34通过绝缘部分33电隔离。此外，触头31设置在导电部分34的正下方。即，触头31与触头31正上方的导电部分34电连接。通过这样做，相邻的触头31被电隔离。因此，可以向触头31独立地提供检查信号。
多个触头31中的每一个从基部32的下表面向-Z方向突出。当将触头31放置成通过触碰而与焊盘51接触时，探针卡100与工件50之间的位置关系如图3所示。即，通过触碰，第二电极22和触头31经由导电部分34电导通。电池10的第一电极14和工件50的接地部是共通的。因此，来自电池10的电流(检查信号)经由每个触头31被供应到面对的焊盘51。
触头31和导电部分34形成从第二电极22到各个焊盘中的焊盘51的电流路径P(图3中的箭头)。因此，可以向每个焊盘51用电力独立地供应电流。
在第二电极22上没有设置沿XY平面的布线图案，使得电流不沿XY平面流动。也就是说，电流路径P使来自电池10的电流主要在Z方向上流动。换言之，从第二电极22到焊盘51的布线长度根据电连接体30在Z方向上的厚度确定。
在这方面，电连接体30在Z方向上的厚度是均匀的，使得可以相对于所有焊盘51使布线长度几乎等距。也就是说，图3示出了从第二电极22到焊盘51的所有布线长度都基本上与电流路径P的布线长度等距。布线长度基本上是等距的，从而可以使电流从电池10没有速度延迟地流到焊盘51。也就是说，根据本实施方式的探针卡可以防止检查信号的响应速度变化，并因此可以适当地对工件50进行电气检查。
电池10是平面形状的二次电池，其向检查包括多个焊盘的工件的检查装置供电。电池10包括第二电极22，即使从任意位置引出电流时，第二电极22也不会引起电流获得时间的响应延迟。从第二电极22到每个触头31的布线长度相等，并且电流在-Z方向上从第二电极22流到每个触头31。
此外，相邻的触头31通过绝缘部分33隔开，使得来自电池10的电流独立地流到每个触头31。例如，从电池10流到每个焊盘51的电流用作检查信号以对工件50进行电气检查。
电池10的输出电压在整个第二电极22中是固定的。因此，从电池10给多个焊盘51供应相同的输出电压。当工件50中的负载根据焊盘51而有差别时，从电池10给每个焊盘51供应对应于每个焊盘51的负载的电流。因此，可以执行适当的电连接。
将参照图4和图5描述可以从电池10到每个焊盘51的适当的电流供应。图4是示出用于执行电池10的放电测试的构造的平面图。图5是示出图4所示的构造的测试结果的曲线图。
如图4所示，三个正电极端子40a至40c附接至电池10的第二电极22。三个正电极端子40a至40c附接至第二电极22在XY平面上的不同位置。更具体而言，正电极端子40a附接至第二电极22的+Y侧的端部，正电极端子40b附接至+X侧的端部，并且正电极端子40c附接至-Y侧的端部。此外，一个负电极端子41附接至作为负电极的第一电极14。
图5示出了通过将充电/放电电源连接至图4中的正电极端子40a至40c中的每一个并使充电/放电电源同时放电而获得的测量结果。图5示出了当进行下列的两次放电测试时放电电压和放电电流的暂时变化。图5以a、b和c示出了正电极端子40a至40c的测量结果。
在测试I中，从三个正电极端子40a至40c引出相同的放电电流。更具体而言，执行放电以从正电极端子40a至40c引出相同的电流值D。在测试II中，使从正电极端子40a引出的放电电流高于来自正电极端子40b和40c的放电电流。
更具体而言，执行放电以分别从正电极端子40a引出电流值3D以及从正电极端子40b和40c引出电流值D。此外，在测试I和测试II的每一个中，正电极端子40a至40c同时开始放电。即，同时从正电极端子40a至40c引出电流。
在测试I中，来自三个正电极端子40a至40c的放电电流相等。可以从所有正电极端子40a至40c均匀地引出电流。此外，直到放电结束，放电电流基本上是固定的。因此，从正电极端子40a至40c稳定地引出电流值D。此外，正电极端子40a至40c的放电电压相等地变化。
在测试II中，来自正电极端子40b和40c的放电电流相等。来自正电极端子40a的放电电流基本上固定在电流值3D。此外，来自正电极端子40b和40c的放电电流基本上固定在电流值D。来自正电极端子40a的放电电流是来自正电极端子40b或40c的放电电流的三倍。正电极端子40a至40c的放电电压相等地变化。因此，从正电极端子40a稳定地引出电流值3D，并且从正电极端子40b和40c稳定地引出电流值D。在测试II中，从电池10放出的电流值高于测试I的电流值。因此，测试II中放电产生的电压降快于测试I中的电压降。
此外，图5示出了在测试II中开始放电之后立即放大的放电电流。可以确认，即使放电电流不同，电流上升也不会延迟。
在测试I和测试II中，可以稳定地引出所需的电流。也就是说，可以根据第二电极22的引出位置确认不存在响应延迟。换言之，即使在从第二电极22的任意位置引出电流时也没有响应延迟。
此外，即使在如测试II中那样从不同位置引出不同电流时，也不会发生响应延迟。因此，可以从第二电极22的任意位置适当地供应电流。因此，即使在使用图1至图3所示的探针卡100时，也可以抑制每个焊盘51的信号响应速度的变化。
此外，当需要根据每个焊盘51改变从电池10供应的检查电压时，仅需要在每个电流路径中串联连接电阻。通过这样做，电阻分压允许向每个焊盘51供应适当的电压。例如，通过调节导电部分34和触头31的电阻，可以改变每个焊盘51要供应给工件50的检查电压。此外，电阻元件可以设置在电流路径中。更具体而言，仅需要在电连接体30的下表面上的触头31附近形成电阻元件。
此外，还可以向电连接体30设置继电器开关。通过这样做，可以控制向每个触头31提供检查信号的时间。即，通过接通和断开继电器开关，可以控制电流流过触头31的时间。例如，仅需要在电连接体30的下表面上的触头31附近形成继电器开关。
图6示出了包括诸如电阻元件或继电器开关的电路元件37的探针卡100A的构造。电路元件37安装在电连接体30A的下表面上。与电路元件37相比，触头31朝向-Z侧突出。电路元件37不限于上述继电器开关或电阻元件，并且可以是电容。另外，电路元件可以安装在不同于电连接体30A的电路板上。也就是说，可以向探针卡100进一步添加安装有电路元件37的电路板。此外，可以向电连接体30和电路板中的至少一个设置用于控制电路元件37的布线。
另外，当电池10的尺寸大于工件50的尺寸时，可以集中检查整个工件50。也就是说，电池10的第二电极22面对工件50的所有焊盘。因此，可以同时从电池10向所有焊盘51供应检查信号(电流)。在这种情况下，电连接体30设置有与所有焊盘51相关联的触头31。例如，当电池10在XY平面上的尺寸是350mm×350mm的正方形时，可以集中检查直径为300mm的半导体晶片。因此，可以进行高生产率的检查。
此外，当电池10的尺寸小于工件50的尺寸时，工件50仅需要进行多次电气检查。也就是说，通过改变探针卡100和工件50之间在XY平面上的相对位置并且重复触碰，可以检查整个工件50。
接下来，将描述用于将电池10和电连接体30相连接的构造。图7是示出用于将电池10和电连接体30B相连接的构造例1的剖视图。图7示出了探针卡100B，其中电池10和电连接体30B通过置于它们之间的导电粘合体35连接。导电粘合体35是具有与电连接体30B基本相同尺寸的片状构件，并且粘合电池10和电连接体30B。第二电极22和导电部分34经由导电粘合体35的构件彼此电连接。通过这样做，从电池10输出的电流经由导电粘合部35的构件供应到焊盘51。因此，可以进行适当的电气检查。
图8是示出用于将电池10和电连接体30C相连接的构造例2的剖视图。图8示出了探针卡100C，其中电池10和电连接体30通过置于它们之间的Pogo针36连接。Pogo针36从基部32的上表面向+Z方向突出。因此，Pogo针36接触第二电极22。设置多个Pogo针36以对应多个触头31。
第二电极22和导电部分34通过Pogo针36导通。通过这样做，从电池10输出的电流通过Pogo针36供应给焊盘51。因此，可以进行适当的电气检查。此外，通过使用Pogo针36，可以容易地拆卸和附接电池10和电连接体30。因此，当电池10的容量和性能降低时，可以容易地更换电池10。
接下来，将参照图9描述电池10的层叠结构。图1是示意性示出电池10的构造的剖视图。电池10采用第一电极14、n型氧化物半导体层16、充电层18、p型氧化物半导体层20和第二电极22按此顺序层叠的层叠结构(从电池10移除第一电极14和第二电极22的状态在下面被称为“电池元件”)。电池10采用这种层叠结构，因此，第二电极22采用可以从电池元件的任意部分引出布线的结构。
第一电极14由导电片或导电基板形成，并且用作用于形成层叠结构的基材。例如，可以使用金属箔片作为第一电极14。在这种情况下，使用SUS(Steel Use Stainless，不锈钢)片作为第一电极14。可替代地，可以使用诸如铜或铝的金属箔片作为第一电极14。
另外，还可以制备由绝缘材料制成的基材，并在基材上形成第一电极14。当在基材上形成第一电极14时，可以使用诸如铬(Cr)或钛(Ti)的金属材料作为第一电极14的材料。包含铝(Al)或银(Ag)的合金膜可以用作第一电极14的材料。当第一电极14形成在基材上时，第一电极14可以通过与下面描述的第二电极22相同的方式形成。
在第一电极14上形成n型氧化物半导体层16。可以使用二氧化钛(TiO2)、氧化锡(SnO2)或氧化锌(ZnO)作为n型氧化物半导体层16的材料。可以使用氧化钛作为n型氧化物半导体层16。n型氧化物半导体层16的厚度优选为30nm至120nm。例如，可以使用厚度为60至120nm的氧化钛作为n型氧化物半导体层16。例如，n型氧化物半导体可以通过溅射或蒸发沉积在第一电极14上形成为膜。
充电层18形成在n型氧化物半导体层16上。充电层18由通过将绝缘材料和n型氧化物半导体材料相混合而获得的混合物形成。例如，n型氧化物半导体的微粒可以用作充电层18的n型氧化物半导体材料。当用紫外线照射时，n型氧化物半导体引起光激发结构的变化，并成为具有充电功能的层。n型氧化物半导体包含通过将n型氧化物半导体材料和绝缘材料相混合而获得的混合物。有机硅树脂可用作绝缘材料。例如，优选使用具有通过氧化硅的硅氧烷键联形成的主骨架的硅化合物(有机硅)。
例如，n型氧化物半导体由氧化硅和二氧化钛形成。可用于充电层18的n型氧化物半导体材料任选地为二氧化钛(TiO2)、氧化锡(SnO2)或氧化锌(ZnO)。也可以使用二氧化钛、氧化锡或氧化锌中的两种或全部的组合而获得的材料。充电层18包含通过将绝缘材料和n型氧化物半导体材料相混合而获得的混合物。
将描述充电层18的制造步骤。首先，通过在二氧化钛、氧化锡或氧化锌的前体与硅油的混合物中混合溶剂获得涂布溶液。制备通过在溶剂中将脂肪酸钛和硅油相混合而获得的涂布溶液。此外，通过旋转涂布法和狭缝涂布法将涂布溶液涂布于n型氧化物半导体层16上。通过干燥和煅烧涂膜，可以在n型氧化物半导体层16上形成充电层18。另外，例如，可以将作为氧化钛前体的硬脂酸钛用作前体的一个例子。氧化钛、氧化锡和氧化锌是通过分解作为金属氧化物前体的脂肪族盐而制成的。经干燥和煅烧的充电层18可以通过紫外线照射并进行UV固化。
另外，也可以在不使用前体的情况下将氧化物半导体的微粒用于氧化钛、氧化锡和氧化锌。通过将氧化钛或氧化锌的纳米颗粒与硅油混合，产生混合溶液。此外，通过在混合溶液中混合溶剂，产生涂布溶液。通过旋转涂布法或狭缝涂布法将该涂布溶液涂布于n型氧化物半导体层16上。通过对涂膜进行干燥、煅烧和UV照射，可以形成充电层18。
在充电层18上形成p型氧化物半导体层20。设置p型氧化物半导体层20是为了防止电子从上部的第二电极22注入到充电层18中。氧化镍(NiO)和铜铝氧化物(CuAlO2)可以用作p型氧化物半导体层20的材料。例如，p型氧化物半导体层20是厚度为400nm的氧化镍膜。p型氧化物半导体层20通过诸如蒸发沉积或溅射的成膜方法在充电层18上形成为膜。
第二电极22形成在p型氧化物半导体层20上。第二电极22仅需要由导电膜形成。此外，诸如铬(Cr)或铜(Cu)的金属材料可用作第二电极22的材料。其他金属材料包括含铝(Al)的银(Ag)合金。第二电极22的形成方法包括气相沉积、例如溅射、离子镀、电子束沉积、真空沉积或化学沉积。可替代地，可以通过电镀法或无电镀法形成金属电极。通常，铜、铜合金、镍、铝、银、金、锌或锡可用作电镀用金属。例如，第二电极22是厚度为300nm的Al膜。
充电层18设置在第二电极22的正下方。因此，即使在从第二电极22的任意位置引出电流时，也可以防止响应延迟。电池10是全固态二次电池，其不使用电解质溶液，因此可以在不密封的情况下使用。也就是说，电池10可以在第二电极22露出的状态下充电和放电。因此，根据本实施方式，电池10对于电气检查是最佳的。此外，电连接体30和电池10是可拆卸的，从而可以容易地更换电池10。电池10可以连接至外部电源并在检查期间或检查之后充电。
与电容相比，电池10具有大的电力存储容量，因此可以检查需要大量电力的设备。此外，电池10也适合于使用射频信号的测量。
此外，用于根据本实施方式的探针卡100的电池最佳地是采用上述层叠结构的电池10，但也可以是其他电池。也就是说，在表面上形成有电极的电池适用于根据本实施方式的探针卡100。例如，锂离子电池可以是电池10。
根据本实施方式的检查方法包括将探针卡100和工件50设置成彼此面对的步骤，以及将设置在探针卡100上的触头31放置成与焊盘51接触的步骤。
本发明的实施方式的一个例子已在上面进行了描述，但是在不破坏本发明的目的和优点的情况下可以包括适当的修改，并且也不限于上述实施方式。
本申请要求2016年8月2日提交的日本专利申请第2016-151786号的优先权，其全部内容通过引用并入本文。
附图标记列表
100 探针卡
10 电池
14 第一电极
16n 型氧化物半导体层
18 充电层
20p 型氧化物半导体层
22 第二电极
30 电连接体
31 触头
32 基部
33 绝缘部分
34 导电部分
35 导电粘合体构件
36 Pogo针
37 电路元件
40 正电极端子
41 负电极端子
50 工件
51 焊盘

Claims (9)

1.一种探针卡，其用于检查包括多个焊盘的工件，所述探针卡包括：
平面形状的二次电池，其包括平面形状的平面电极并且被设置成使得所述平面电极面对所述工件；以及
设置在所述工件和所述二次电池之间的电连接体，其中，
所述二次电池包括能从所述平面电极的任意位置引出布线的结构，并且
所述电连接体包括朝向所面对的所述焊盘突出的多个触头，并且通过置于多个所述焊盘和所述平面电极之间的多个所述触头将多个所述焊盘和所述平面电极电连接。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其中，从所述平面电极到所面对的各个所述触头的布线长度彼此相等。
3.根据权利要求1或2所述的探针卡，其中，所述电连接体包括被构造为与所述平面电极接触的Pogo针。
4.根据权利要求1或2所述的探针卡，其中，所述电连接体通过置于所述电连接体与所述平面电极之间的导电粘合体连接至所述平面电极。
5.一种平面形状的二次电池，其用于向检查包括有多个焊盘的工件所用的检查装置供电，所述二次电池包括：
平面形状的电池元件；以及
平面形状的平面电极，其在所述电池元件上部设置成彼此面对，
其中，所述平面电极能够从所述电池元件的任意位置引出电流。
6.一种检查方法，其用于检查在表面上包括多个焊盘的工件，所述检查方法包括：
将探针卡设置成面对所述工件；以及
将设置在所述探针卡上的多个触头放置成与所述焊盘接触，其中，
所述探针卡包括：平面形状的二次电池，其包括平面形状的平面电极并且被设置成使得所述平面电极面对所述工件；以及设置在所述工件和所述二次电池之间的电连接体，并且
所述电连接体包括朝向所面对的焊盘突出的多个触头，并且通过置于多个所述焊盘和所述平面电极之间的多个所述触头将多个所述焊盘和所述平面电极电连接。
7.根据权利要求6所述的检查方法，其中，在所述触头与所述焊盘接触的状态下，电流在所述焊盘和所述平面电极之间沿与所述平面电极的平面方向垂直的方向流动。
8.根据权利要求6或7所述的检查方法，其中，所述电连接体包括被构造成与所述平面电极接触的Pogo针。
9.根据权利要求6或7所述的检查方法，其中，所述电连接体通过置于所述电连接体与所述平面电极之间的导电粘合体连接至所述平面电极。
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