CN211830618U

CN211830618U - 一种具有均匀吸附力的静电吸附装置

Info

Publication number: CN211830618U
Application number: CN202020759337.1U
Authority: CN
Inventors: 杨杰
Original assignee: Chengdu Junchuang Technology Co ltd
Current assignee: Chengdu Junchuang Technology Co ltd
Priority date: 2020-05-11
Filing date: 2020-05-11
Publication date: 2020-10-30
Anticipated expiration: 2030-05-11

Abstract

本实用新型涉及静电吸附领域，尤其涉及一种具有均匀吸附力的静电吸附装置，与电源电连接以用于吸附工件，包括底板、盖板和设置在两者之间的电极组，该电极组包括正电极、负电极和零势电极，所述正电极由若干正极单元构成，所述负电极由若干负极单元构成，所述正极单元和负极单元在相互垂直的第一方向和第二方向上相互交替设置，该静电吸附装置用于吸附工件时可以在盖板的上表面形成均匀的吸附力，以吸附很薄，且要求形变量很小的工件。

Description

一种具有均匀吸附力的静电吸附装置

技术领域

本实用新型涉及静电吸附领域，尤其涉及一种具有均匀吸附力的静电吸附装置。

背景技术

现有的静电吸附装置中，静电吸附阵列结构一般采用单极性、梳状双极性排列结构。单极性阵列需要一定外界条件(被吸物体侧有等离子体存在)才能达到吸附效果，对于一些容易发生电击穿的物体则不适用；梳状双极性排列的结构由于电路结构采用梳状对称结构，仅改变电极的宽度以及电极对数，虽然能够满足增大静电吸附装置的吸附力，但是却忽略了静电吸附装置的吸附力均匀性。

因此，现有的静电吸附装置急需一种能保证每一个位置的吸附力大小均匀，以吸附很薄，且要求形变量很小的工件。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种具有均匀吸附力的静电吸附装置。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种具有均匀吸附力的静电吸附装置，与电源电连接以用于吸附工件，包括底板、盖板和设置在两者之间的电极组，该电极组包括正电极、负电极和零势电极，所述正电极由若干正极单元构成，所述负电极由若干负极单元构成，所述正极单元和负极单元在相互垂直的第一方向和第二方向上相互交替设置。

进一步地，所述电极组还包括零电势电极，该零电势电极曲折延伸依次穿过正电极和负电极间间隙，以间隔正极单元和负极单元。

进一步地，各所述正极单元通过正极连接部串联，且该正极连接部一端向外延伸还设置有用于连接电源正极的正极触点。

进一步地，各所述负极单元通过负极连接部串联，且该负极连接部一端向外延伸还设置有用于连接电源负极的负极触点。

进一步地，所述正极单元、负极单元的整体形状为三角形或四边形。

进一步地，所述正极单元和负极单元上设有倒角。

进一步地，该静电吸附装置还包括用于支撑底板和盖板的基板，所述基板、底板和盖板通过胶结贴合。

进一步地，所述底板和盖板为聚酰亚胺板。

进一步地，所述基板为绝缘基板或导体基板。

进一步地，所述基板上表面的平坦度小于10微米。

由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的静电吸附装置，在底板的上表面和盖板的下表面设置有在相互垂直的第一方向和第二方向上相互交替设置的正极单元和负极单元，且正极单元和负极单元间的电气间隙相同，该静电吸附装置用于吸附工件时可以在盖板的上表面形成均匀的吸附力，以吸附很薄，且要求形变量很小的工件。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制。

图1为实施例一各层爆炸示意图。

图2为实施例一中电极组的结构示意图。

图3为实施例一中正电极的结构示意图。

图4为实施例一中零电势电极的结构示意图。

图5为实施例一中负电极的结构示意图。

图6为图2“S”处的放大示意图。

图7为实施例二中正极单元与负极单元的排列示意图。

附图标记：

1.基板；2.底板；3.电极组；31.正电极；31A.正极触点；31B.正极单元；31C.正极连接部；32.零电势电极；33.负电极组；33A.负极触点；33B.负极单元；33C.负极连接部；4.盖板。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型做进一步详细说明。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以各种不同的配置来布置和设计。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

除非另作定义，本专利文件中所使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本实用新型专利说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同，并不排除其他元件或者物件。“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变，其仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

下面结合附图，对本实用新型的一些实施方式作详细说明。在不冲突的情况下，下述的实施例中的特征可以相互组合。

实施例一：

请参阅图1-6，本实用新型提供一种具有均匀吸附力的静电吸附装置，其包括位于底部的基板1、通过胶结设置在基板1上的底板2、通过胶结设置在底板2上方的盖板4和通过刻蚀设置在挠性顶板与盖板4之间的电极组3；且本实施例中所述底板2与盖板4的材料与聚酰亚胺，所述基板1的材料为陶瓷。需要说明的是，在其它实施例中，底板2与盖板4也可为其它挠性材料，所述基板1的材料也可为铝板等导体基板1，或者不设置基板1，使底板2和盖板4直接固定设置在静电吸附设备上。需要说明的是，除本实施例中电镀的方式在底板2上设置电极组3外，也可采用粘接的方式将电极组3设置在底板2和盖板4之间。

如图2至6所示所示，所述底板2和盖板4之间设置的电极组3包括正电极31和负电极33；所述正电极31包括正极触点31A、若干正极单元31B和正极连接部31C；所述负电极33包括负极触点33A、若干负极单元33B和负极连接部33C；所述正极单元31B和负极单元33B整体上为正方形，所述第一方向和第二方向在本实施例中分别为纵向和横向，在如图2的纵向和横向上，正极单元31B、负极单元33B依次交替排列，即正极单元31B、和负极单元33B都在底板2的纵向和横向上以相同的偏移量进行复制排列，并在两同性电极的中间设置一个异性电极，使正极单元/负极单元的四周都为异性电极，以在正极单元/负极单元的四周与异性电极都具有相同的电气间隙。

需要说明的是，所述若干正极单元31B和负极单元33B指的是在横向和纵向上均不少于3个正电单元31B和3个负极单元33B。如图2和3所示，各正极单元31B间通过正极连接部31C按序依次连接。如图2和5所示，各负极单元33B间通过负极连接部33C按序依次连接。

如图2和5所示，所述电极组3还包括零电势电极32，该零电势电极32有1片，其整体为曲折延伸的片状设置，并依次穿过每一个正极单元31B和负极单元33B之间的间隙，且该零电势电极32与电势电极之间的电气间隙等于该零电势电极32与负极单元之间的电气间隙。此可使正极单元31B与零电势电极32的间隙间、零电势电极32间与负极单元的间隙间具有相同的电势差。

如图3和5所示，所述正极单元31B通过正极连接部31C串联，且该正极连接部31C一端向外延伸还设置有用于连接电源正极的正极触点31A；以使位于所述底板2上的正极单元31B上都具有数量相同的正电势，即每一个正极单元31B与零电势电极32间具有相同的电势差，即正极单元31B与负极单元33B两端相同的电场强度，以使本实施例的静电吸附装置具有均匀的吸附力。

如图2和4所示，所述负极单元33B通过负极连接部33C串联，且该负极连接部33C一端向外延伸还设置有用于连接电源负极的负极触点33A；以使位于所述底板2上的负极单元上都具有数量相同的负电势，即每一个负极单元33B与零电势电极32间具有相同的电势差，即负极单元与负极单元33B两端相同的电场强度，以使本实施例的静电吸附装置具有均匀的吸附力。

如图2和3和4所示，本实施中的正极单元31B和负极单元33B整体上都为具有倒角的正方形，所述正极连接部31C和负极连接部33C设置在其对应电极的倒角上以及外侧对应电极的外侧边上；正极单元的正方向面积与负极单元的正方形各边等长且相邻异性电极对应设置，以最大限度的保证各处吸附力的均匀性。

需要说明的是，正极连接部31C的对应电极指的是正极单元，负极连接部33C的对应电极指的是负极单元；为进一步保证吸附力的均匀性，可减小正极单元和负极单元的间隙、边长，以在单位底板2上设置更多的正极单元和负极单元。

需要说明的是，所述正极连接部31C和负极连接部33C与异性电极间对应边之间也具有用于产生电场的电势差。

实施例二：

如图7所示，本实施例与实施例1的结构基本相同，所不同之处在于，本实施例的正极单元31B和负极单元33B为正三角形，在其各边的对应方向上都设置有1个异性电极。

本实用新型的原理是：

当本实用新型的静电吸附装置连接电源后，即所述正极触点电连接电源的正极、所述负极触点电连接电源的负极，所述正电极、零电势电极和负电极间即产生电势差，该电势差产生电场以将盖板上表面的极化，产生用于吸附工件的吸附力。即本实用新型的电极排列方式将盖板的一个整体的吸附区域切分为多个小的吸附区域，并且每个小的吸附区域中都具有相同的吸附力，以改进现有技术中的盖板中局部不具备静电吸附力的问题。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims

1.一种具有均匀吸附力的静电吸附装置，与电源电连接以用于吸附工件，包括底板、盖板和设置在两者之间的电极组，其特征在于，该电极组包括正电极、负电极和零势电极，所述正电极由若干正极单元构成，所述负电极由若干负极单元构成，所述正极单元和负极单元在相互垂直的第一方向和第二方向上相互交替设置。

2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述电极组还包括零电势电极，该零电势电极曲折延伸依次穿过正电极和负电极间间隙，以间隔正极单元和负极单元。

3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，各所述正极单元通过正极连接部串联，且该正极连接部一端向外延伸还设置有用于连接电源正极的正极触点。

4.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，各所述负极单元通过负极连接部串联，且该负极连接部一端向外延伸还设置有用于连接电源负极的负极触点。

5.根据权利要求1至4任一项所述的静电吸附装置，其特征在于，所述正极单元、负极单元的整体形状为三角形或四边形。

6.根据权利要求5所述的静电吸附装置，其特征在于，所述正极单元和负极单元上设有倒角。

7.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，该静电吸附装置还包括用于支撑底板和盖板的基板，所述基板、底板和盖板通过胶结贴合。

8.根据权利要求1或7所述的静电吸附装置，其特征在于，所述底板和盖板为聚酰亚胺板。

9.根据权利要求7所述的静电吸附装置，其特征在于，所述基板为绝缘基板或导体基板。

10.根据权利要求7或9所述的静电吸附装置，其特征在于，所述基板上表面的平坦度小于10微米。