CN109534394B

CN109534394B - 一种基于目标涂层相结构和短流程等离子物理气相沉积热障涂层喷涂粉末制备方法

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Publication number: CN109534394B
Application number: CN201811575949.9A
Authority: CN
Inventors: 何箐; 由晓明; 邹晗
Original assignee: Beijing Golden Wheel Special Machine Co ltd
Current assignee: Beijing Golden Wheel Special Machine Co ltd
Priority date: 2018-12-22
Filing date: 2018-12-22
Publication date: 2020-10-16
Anticipated expiration: 2038-12-22
Also published as: CN109534394A

Abstract

本发明公开了一种基于目标涂层相结构和短流程等离子物理气相沉积热障涂层喷涂粉末制备方法，该方法以和涂层相结构相同的固相合成或化学合成粉体处理后粉末为原料，通过料浆制备、喷雾干燥、烘干短流程进行细团聚球形粉体制备，喷雾干燥采用二流体雾化或四流体雾化的压力雾化方式，粉末压溃强度介于1～6MPa之间，且粉末内部具有较高的微孔分布，粉末为典型的松散团聚结构；该方法的优点是具有极短的流程，可以直接通过料浆制备、喷雾干燥、烘干三步获得稳定输送和工艺过程中高气化率的粉末；更进一步的是，通过浆料浓度、粘度控制，及雾化过程中雾化器关键尺寸、温度、压力等关键参数控制，可以实现该微结构和特性粉末的可控制备。

Description

一种基于目标涂层相结构和短流程等离子物理气相沉积热障涂层喷涂粉末制备方法

技术领域

本发明涉及一种等离子物理气相沉积用热障涂层用粉末制备方法，更特别的是，利用与目标涂层物相结构相同的粉末，通过控制料浆中粉末粒度范围、雾化形式及雾化设备结构、雾化过程中关键参数等，实现快速制备多孔、粗细颗粒复合、沉积效率高的喷涂粉末，实现该工艺应用喷涂粉末的极短流程制备。

背景技术

热障涂层(Thermal Barrier Coating，TBC)是燃气涡轮发动机高压涡轮叶片三大关键制造技术之一，是现代高性能燃气涡轮发动机不可或缺的热防护技术。目前获得批量应用的热障涂层制备技术主要有大气等离子喷涂(Atmospheric plasma spraying，APS)和电子束物理气相沉积(Electron-beam physical vapour deposition，EB-PVD)，其中大气等离子喷涂原料通常为中值粒径D₅₀在约40～60μm的球形或近球形粉末，具有一定的流动性和松装密度，可以获得层状结构的涂层；等离子喷涂工艺应用的粉末通常采用熔炼破碎、烧结破碎或团聚烧结等工艺制备，不同粉末制备方式和粉末特性对导致涂层性能差异及不同。等离子物理气相沉积技术(Plasma spraying-physical vapour deposition，PS-PVD)，结合了等离子喷涂熔融沉积和物理气相沉积气化气相沉积工艺的优点，可通过工艺调节实现典型的固-液-气三相复合沉积技术，可以制备柱状晶或准柱状结构的热障涂层陶瓷层，被认为是今后热障涂层发展的核心工艺之一。

PS-PVD工艺过程中，粉末在喷枪阳极出口位置能快速分散成细小颗粒，在高速(12500K，200Pa压力下可达3200m/s)、大直径(200-400mm)、长等离子体(最长可达2000mm)中充分的熔融气化，要求粉体中粘结剂可以快速挥发、避免闭孔导致的快速烧结、粉末破碎成更细小的颗粒，保证粉末尽可能飞行轨迹在等离子中心位置，并实现良好的加速、熔融和气化，实现高性能PS-PVD热障涂层的制备。

目前PS-PVD喷涂粉末的制备技术主要有：1)采用氧化物为原料团聚造粒筛分，后续利用PS-PVD高能等离子体合成形成目标成分和物相的涂层；2)采用合成后物料，采用可挥发填充物或颗粒尺寸不同，实现高开孔率和粗细颗粒搭配粉体制备，喷雾干燥造粒后，通过筛分，低温烘干或中低温煅烧方式制备；3)采用“二次团聚”方式制备，即物料通过一次喷雾干燥团聚造粒后，再次球磨分散形成粗细颗粒，团聚造粒形成，最终通过筛分获得喷涂粉末。

目前公开报导的该粉末采用的工艺途径，均需要经过筛分工序，由于PS-PVD工艺中使用的细小粉末(一般为1～30μm)，采用机械式筛分，即使耦合超声波振动，也很难筛分；同时PS-PVD粉末要求具有一定的团聚强度，同时强度不能过高避免在等离子体中烧结难以熔融及气化，气流筛分中也存在筛分过程导致粉末颗粒二次破碎等问题，难以有效的控制粉末特性，保障工艺使用需求。

因而，进一步探讨低成本PS-PVD喷涂粉末制备技术，在PS-PVD新工艺开发过程中，快速的制备不同成分的热障涂层粉末材料，减少筛分或二次团聚等工序导致的粉末特性的不可控性，实现基于目标涂层相结构和短流程PS-PVD粉末的制备方法，具有显著的研究意义和工程价值。

发明内容

本发明提出的一种基于目标涂层相结构和短流程等离子物理气相沉积热障涂层喷涂粉末制备方法，其特征在于采用二流体或四流体雾化方式，二流体雾化分为气路和液路两路，四流体雾化包括两路液路和两路气路，其设备包括喷雾干燥塔和布袋除尘器组成；该方法采用的原材料为和目标涂层物相组成和成分一致，原材料要求低，可采用化学合成、熔炼破碎、烧结破碎等原材料；喷雾干燥过程中控制浆料特性(固含量、粘结剂含量、粒度分布、粘度等)，并控制雾化压缩空气压力和进口、出口温度，最终可以实现在喷雾干燥塔塔底实现粒径范围在1～30μm喷涂粉末和在布袋除尘器下方收得1～20μm不同粒度范围的喷涂粉末，根据喷涂要求，可以选择高气化率的1～20μm粉末喷涂，也可选择1～30μm粉末进行喷涂，或者两者混合后喷涂，均可获得良好的喷涂效果。

本发明制备的粉末，通过浆料制备、喷雾干燥、烘干三步进行，具体如下：

(1)浆料制备：

①根据单次制备要求，称量原材料，原材料物相和目标涂层一致，成分可根据喷涂粉末成分和涂层成分变化关系确定；原材料可以为常规等离子喷涂制备过程中产生的筛分废料、也可为电子束物理气相沉积过程中冷等静压-烧结后废靶材破碎而得、可为纳米团聚烧结粉体，也可为熔炼破碎粉末、烧结破碎粉末，原材料粉末的特征除成分和物相要求外，平均团聚粒径大于3μm；

②将粉末原料，分为两等重部分，使用搅拌球磨机进行球磨，加入纯净水配备浆料固含量为20％～60％，加入粉末质量的1～3％酚醛树脂为粘结剂，粘结剂按照1～3％浓度溶于纯水中溶液粘度为1～5mPa·s(溶液粘度指的是粘结剂和水的溶液)；

③两等重部分粉末配置相同固含量，其中一部分球磨至浆料内粉末粒径D₅₀≤0.2μm、D₇₅≤0.3μm；另一部分球磨至浆料内粉末颗粒D₅₀为3～6μm，D₉₀≤10μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，搅拌均匀浆料粘度控制1～50mPa·s，控制搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D10＜0.2μm，D50＜0.8μm，D90＜3μm；

上述特性的浆料待用；

(2)喷雾干燥：

①采用主结构为喷雾干燥塔和布袋除尘器的压力式雾化设备制备喷涂粉末，其中雾化器采用二流体或四流体雾化器，喷雾干燥塔和布袋除尘器下方均配置料筒用于粉末收集；

②调整喷雾干燥设备进口温度为230～250℃，出口温度为130～150℃，送料蠕动泵转速为20～40rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.2～0.6MPa；

④输送纯水稳定喷雾干燥塔进出口温度达到设定值后，输送浆料开始喷雾干燥。

(3)烘干：

①收集布袋除尘器底部料筒可以获得主控粒度范围在1～20μm粉末，收集喷雾干燥塔底部料筒可以获得主控粒度范围在1～30μm粉末，两种粉末均可单独使用，也可混合使用；

②粉末烘干温度为80℃±5℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

上述粉末具有的其他特征是，粉末具有相对疏松的微结构，粉末压溃强度介于1～6MPa之间。

更进一步的是，通过两个不同料筒收集不同特性粉末，其中主控粒度范围在1～20μm粉末，D₅₀在4～6μm，D₉₀≤18μm；松装密度为1.1～1.4g/cm³；其中主控粒度范围在1～30μm粉末，D50在13～17μm；

更进一步的是，通过两种粉末的配比混合，可以实现PS-PVD喷涂粉末的D₅₀、松装密度和振实密度的可控调控；其中D₅₀可在6～15μm宽幅范围内调整。上述PS-PVD喷涂粉末，对原材料的要求极低，甚至可以使用其他等离子喷涂或物理气相沉积过程中制备原材料的筛分废料或不合格品制备，提高了资源利用效率，同时具有极短的流程，可以快速制备满足PS-PVD工艺要求的喷涂粉末，同时规避筛分流程，通过不同过程控制参数，实现微小粒径或宽粒径细团聚粉末的制备，同时两种粉末均可直接用于喷涂，更进一步的，两种粉末进行一定比例混合，可以调整粉末的物理特性和喷涂效果，从而达到喷涂工艺过程中对粉末特性快速调整优化的要求。

(1)该粉末制备过程无筛分过程，减少筛分过程破碎；

(2)粉末物相和目标制备涂层物相一致，少量在等离子体周围的细小粉末未经充分熔融、气化，即使沉积到涂层中，不影响涂层性能；

(3)成本低，对原料粉末要求极低，可以采用其他热障涂层制备工艺所需材料的不合格品或筛分废料，提高资源利用效率；

(4)通过简单的喷雾干燥造粒和烘干，可以直接获得满足PS-PVD工艺的粉体，也可通过不同粒径粉末配比混合方式优化粉体性能，即可实现预定目标的粉体可控制备，也可通过粉末混合方式调控粉体的D₅₀值及物理特性；

(5)突破了极细小球形颗粒粉末制备的技术瓶颈，通过该方法，可以获得主要粒径范围在1～20μm的粉末，这种直接获得细小粉末，在PS-PVD工艺中可以提高气化率比例，无大颗粒存在，同时球形粉末具有良好的输送特征，从而大幅度提高气化率，获得性能更佳的涂层；涂层制备的沉积效率相对商用常规粉末提高3倍以上。

附图说明

图1a主要粒度范围在1～30μm内的Gd₂Zr₂O₇喷涂粉末

图1b主要粒度范围在1～30μm内的Gd₂Zr₂O₇喷涂粉末

图2a主要粒度范围在1～20μm内的8YSZ喷涂粉末

图2b主要粒度范围在1～20μm内的8YSZ喷涂粉末

图3主要粒度范围在1～20μm内的8YSZ喷涂粉末

具体实施方式

下面结合附图及实施例对本发明提供的一种等离子物理气相沉积用热障涂层粉末及其制备方法进行详细说明。

实施例1：

(1)浆料制备：

①称量锆酸钆(化学式：Gd₂Zr₂O₇)粉末2Kg，原材料D50为50μm，为等离子喷涂粉末重筛分的细粉和粗粉，粉末经过团聚烧结制备，原料粉末相结构为烧绿石结构；

②配置固含量为20％，分为各1Kg粉末球磨，分别在各自浆料中加入1％酚醛树脂为粘结剂(该浓度纯水溶液粘度为1mPa·s)，

③将其中一部分浆料使用搅拌球磨机300rpm下球磨，球磨1h，至D₅₀为0.15μm、D₇₅为0.28μm；另一部分在相关球磨转速300rpm，球磨15min，浆料中粉末颗粒粒径特征为D50为3μm，D90为10μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，搅拌均匀浆料粘度为6.0mPa·s，搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D₁₀为0.19μm，D₅₀为0.78μm，D₉₀为2.5μm；

④上述特性的浆料待用。

(2)喷雾干燥：

①雾化器采用二流体雾化器，喷雾干燥塔和布袋除尘器下方均配置料筒用于粉末收集；调整喷雾干燥设备进口温度为230℃，出口温度为150℃，送料蠕动泵转速为20rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.2MPa；

(3)烘干：

①粉末烘干温度为85℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

上述粉末具有的其他特征是，粉末具有相对疏松的微结构，粉末压溃强度为1.1MPa。

最终两个不同料筒收集的不同特性粉末按照配比混合，D50为13.5μm，粉末松装密度为1.25g/cm³。采用PS-PVD设备喷涂，涂层的沉积效率为100μm/5min。上述粉末的微观形貌如图1所示。

实施例2：

(1)浆料制备：

①称量8YSZ粉末(6～8wt.％Y₂O₃部分稳定ZrO₂粉末，粉末为单一亚稳态四方相结构(与目标制备涂层相结构一致)，为熔炼破碎粉末)5Kg，粉末的平均粒径为25μm；

②将粉末原料分为两等重部分，加入纯净水控制固含量为60％，加入粉末质量的2％酚醛树脂为粘结剂，粘结剂按照2％浓度溶于纯水中溶液粘度为2.1mPa·s；

③一部分球磨至浆料内粉末粒径D₅₀为0.1μm、D₇₅为0.23μm；另一部分球磨至浆料内粉末颗粒D₅₀为6μm，D₉₀为9.9μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，浆料粘度分8mPa·s，控制搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D10为0.12μm，D50为0.6μm，D90为2.9μm；

④上述特性的浆料待用。

(2)喷雾干燥：

①喷雾干燥采用二流体雾化器，喷雾干燥塔和布袋除尘器下方均配置料筒用于粉末收集；

②调整喷雾干燥设备进口温度为250℃，出口温度为130℃，送料蠕动泵转速为25rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.6MPa；

(3)烘干：

①粉末烘干温度为75℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

收集布袋除尘器下方的料筒内物料，粉末的粒度情况：D₅₀为5.1μm，D₉₀为17.5μm，粉末的松装密度为1.12g/cm³，粉末中部分为松散球形，部分为破碎颗粒，粉末压溃强度为2.7MPa；使用上述粉末通过PS-PVD喷涂，沉积效率达到160～190μm/min，达到常规商用粉末的三倍以上。

按照实施例2制备的粉末微观形貌如图2所示。

实施例3：

(1)浆料制备：

①称量铈酸镧(化学式：La₂Ce₂O₇)粉末4Kg，原材料D50为42μm，为纳米团聚烧结粉，原料粉末相结构为；萤石相。

②配置固含量为40％，分为各2Kg粉末球磨，分别在各自浆料中加入1.5％酚醛树脂为粘结剂(该浓度纯水溶液粘度为1.6mPa·s)，

③将其中一部分浆料使用搅拌球磨机250rpm下球磨，球磨1.5h，至D₅₀为0.14μm、D₇₅为0.25μm；另一部分在相关球磨转速250rpm，球磨40min，浆料中粉末颗粒粒径特征为D50为4.5μm，D90为8.7μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，搅拌均匀浆料粘度为40mPa·s，搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D₁₀为0.17μm，D₅₀为0.76μm，D₉₀为2.7μm；

④上述特性的浆料待用。

(2)喷雾干燥：

①雾化器采用四流体雾化器，喷雾干燥塔和布袋除尘器下方均配置料筒用于粉末收集；调整喷雾干燥设备进口温度为235℃，出口温度为140℃，送料蠕动泵转速为35rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.4MPa；

(3)烘干：

①粉末烘干温度为80℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

上述粉末具有的其他特征是，粉末具有相对疏松的微结构，粉末压溃强度为3.5MPa。

收集喷雾干燥塔底下方的料筒内物料，粉末的主控粒度范围为1～30μm，D₅₀为15.5μm，粉末的松装密度为1.32g/cm³，粉末中部分为松散球形，部分为破碎颗粒，粉末压溃强度为3.5MPa；使用上述粉末通过PS-PVD喷涂，沉积效率达到90～120μm/5min。

实施例4：

(1)浆料制备：

①称量La₂Ce_2.5O₈粉末(粉末为萤石相结构(与目标制备涂层相结构一致)，为烧结破碎粉末)5Kg，粉末的平均粒径为30μm；

②将粉末原料分为两等重部分，加入纯净水控制固含量为30％，加入粉末质量的3％酚醛树脂为粘结剂，粘结剂按照3％浓度溶于纯水中溶液粘度为4.5mPa·s；

③一部分球磨至浆料内粉末粒径D₅₀为0.18μm、D₇₅为0.29μm；另一部分球磨至浆料内粉末颗粒D₅₀为5.3μm，D₉₀为9.0μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，浆料粘度分5.0mPa·s，控制搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D10为0.15μm，D50为0.53μm，D90为2.0μm；

④上述特性的浆料待用。

(2)喷雾干燥：

①喷雾干燥采用四流体雾化器，喷雾干燥塔和布袋除尘器下方均配置料筒用于粉末收集；

②调整喷雾干燥设备进口温度为240℃，出口温度为145℃，送料蠕动泵转速为40rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.5MPa；

(3)烘干：

①粉末烘干温度为85℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

最终两个不同料筒收集的不同特性粉末按照配比混合，

调至D50为11μm，粉末松装密度为1.26g/cm³。采用PS-PVD设备喷涂，涂层的沉积效率为120μm/5min。

实施例5：

(1)浆料制备：

①称量电子束物理气相沉积过程中冷等静压-烧结后废靶材破碎而得锆酸镧(化学式：La₂Zr₂O₇)粉末6Kg，原材料平均粒径为28μm，原料粉末相结构为；烧绿石相。

②配置固含量为50％，分为各3Kg粉末球磨，分别在各自浆料中加入1.2％酚醛树脂为粘结剂(该浓度纯水溶液粘度为1.5mPa·s)，

③将其中一部分浆料使用搅拌球磨机400rpm下球磨，球磨5h，至D₅₀为0.19μm、D₇₅为0.26μm；另一部分在相关球磨转速400rpm，球磨3h，浆料中粉末颗粒粒径特征为D50为5.7μm，D90为9.7μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，搅拌均匀浆料粘度为15.0mPa·s，搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D₁₀为0.17μm，D₅₀为0.72μm，D₉₀为2.6μm；

④上述特性的浆料待用。

(2)喷雾干燥：

①雾化器采用四流体雾化器，喷雾干燥塔和布袋除尘器下方均配置料筒用于粉末收集；调整喷雾干燥设备进口温度为230℃，出口温度为135℃，送料蠕动泵转速为38rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.3MPa；

(3)烘干：

①粉末烘干温度为75℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

上述粉末具有的其他特征是，粉末具有相对疏松的微结构，粉末压溃强度为5.6MPa。

最终两个不同料筒收集的不同特性粉末按照配比混合，调至D50为14μm，粉末松装密度为1.32g/cm³，。采用PS-PVD设备喷涂，涂层的沉积效率为95μm/5min。

实施例6：

(1)浆料制备：

①称量(Gd_0.5Yb_0.5)₂Zr₂O₇粉末2Kg，粉末为烧绿石相结构(与目标制备涂层相结构一致)团聚烧结粉末，原材料D50为60μm；

②将粉末原料分为两等重部分，加入纯净水控制固含量为35％，加入粉末质量的2.5％酚醛树脂为粘结剂，粘结剂按照2.5％浓度溶于纯水中溶液粘度为45.0mPa·s；

③一部分球磨至浆料内粉末粒径D₅₀为0.12μm、D₇₅为0.22μm；另一部分球磨至浆料内粉末颗粒D₅₀为4.0μm，D₉₀为8.6μm；

④将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，浆料粘度分8.5mPa·s，控制搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D10为0.19μm，D50为0.79μm，D90为2.8μm；

④上述特性的浆料待用。

(2)喷雾干燥：

②调整喷雾干燥设备进口温度为245℃，出口温度为140℃，送料蠕动泵转速为30rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.3MPa；

(3)烘干：

①粉末烘干温度为80℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

上述粉末具有的其他特征是，粉末具有相对疏松的微结构，粉末压溃强度为1.5MPa。

将布袋除尘器下方的料筒内物料及喷雾干燥塔底部料筒内物料按比例混合调至D50为8μm，粉末松装密度为1.22g/cm³。采用PS-PVD设备喷涂，涂层的沉积效率为150μm/5min。

当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims

1.一种基于目标涂层相结构和短流程等离子物理气相沉积热障涂层喷涂粉末制备方法，通过浆料制备、喷雾干燥、烘干三步进行，其特征在于具体如下：

(1)浆料制备：

①根据单次制备要求，称量原材料，原材料物相和目标涂层一致，且平均团聚粒径大于3μm；

②将粉末原料，分为两等重部分，使用搅拌球磨机进行球磨，加入纯净水配备浆料固含量为20％～60％，分别加入粉末质量的1～3％酚醛树脂为粘结剂，粘结剂按照质量百分比浓度为1～3％溶于纯水中；

两等重部分粉末配置相同固含量，其中一部分球磨至浆料内粉末粒径D₅₀≤0.2μm、D₇₅≤0.3μm；另一部分球磨至浆料内粉末颗粒D₅₀为3～6μm，D₉₀≤10μm；

③将上述相同固含量浆料进行混合，并搅拌均匀，搅拌均匀浆料后粘度控制1～50mPa·s，控制搅拌均匀后浆料中粉末颗粒的粒度分布为双峰分布，粒度分布累积分布特征为D10＜0.2μm，D50＜0.8μm，D90＜3μm；

上述特性的浆料待用；

(2)喷雾干燥：

②设定喷雾干燥设备进口温度为230～250℃，出口温度为130～150℃，送料蠕动泵转速为20～40rpm；

③雾化器压缩空气压力为0.2～0.6MPa；

④输送纯水稳定喷雾干燥塔进出口温度达到设定值后，输送浆料开始喷雾干燥；(3)烘干：

①收集布袋除尘器底部料筒获得主控粒度范围在1～20μm粉末，收集喷雾干燥塔底部料筒获得主控粒度范围在1～30μm粉末，两种粉末均可单独使用，或混合使用；

②粉末烘干温度为80℃±5℃；烘干时间为2h，去除残留水分。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：原材料为常规等离子喷涂制备过程中产生的筛分废料、电子束物理气相沉积过程中冷等静压-烧结后废靶材破碎而得、纳米团聚烧结粉体，或者熔炼破碎粉末。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：粘结剂按照质量百分比浓度为1～3％溶于纯水中得到的溶液粘度为1～5mPa·s。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：其中主控粒度范围在1～20μm粉末，D₅₀在4～6μm，D₉₀≤18μm；松装密度为1.1～1.4g/cm³；其中主控粒度范围在1～30μm粉末，D50在13～17μm。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：通过烘干后两种粉末的配比混合，实现PS-PVD喷涂粉末的D₅₀、松装密度和振实密度的可控调控；其中D₅₀在6～15μm宽幅范围内调整。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：烘干后粉末压溃强度介于1～6MPa之间。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：原材料为烧结破碎粉末。