CN109530345A - 探针清洁装置及探针清洁方法 - Google Patents
探针清洁装置及探针清洁方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN109530345A CN109530345A CN201811216264.5A CN201811216264A CN109530345A CN 109530345 A CN109530345 A CN 109530345A CN 201811216264 A CN201811216264 A CN 201811216264A CN 109530345 A CN109530345 A CN 109530345A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- probe
- adhesion layer
- cleaning device
- fixing piece
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
- B08B7/0028—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass by adhesive surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B24—GRINDING; POLISHING
- B24D—TOOLS FOR GRINDING, BUFFING OR SHARPENING
- B24D15/00—Hand tools or other devices for non-rotary grinding, polishing, or stropping
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
Abstract
一种探针清洁装置及探针清洁方法,所述探针清洁装置包括基板、第一粘附层、第二粘附层、以及研磨层,第一粘附层设置于所述基板上,第二粘附层设置于所述第一粘附层上,所述研磨层设置于所述第一粘附层和所述第二粘附层之间。本发明提供的探针清洁装置能够快速、高效地对探针进行清洁和研磨,从而节省清洁时间并降低探针的使用成本。
Description
技术领域
本发明显示技术领域,尤其涉及一种探针清洁装置及探针清洁方法。
背景技术
在显示面板中,各显示像素的打开或关闭由TFT(Thin Film Transistor,薄膜晶体管)来控制,TFT的电学特性测试一般通过探针装置来完成。探针装置对TFT进行量测时,探针会戳入TFT的电极,通过对探针施加一定的电讯号并量测相应的反馈电讯号来计算得出TFT的电学特性。
在日常使用过程中,探针的表面会逐渐粘连一些异物并且会逐渐钝化,其使用效果会逐渐变差。传统的清洁探针的方法通常是采用擦拭或打磨的方法,但是如果在使用过程中探针需要清洁,采用该传统方法易改变探针位置或伤害针尖,从而需要耗费时间来调整探针位置。
发明内容
本发明提供一种探针清洁装置,以解决现有的探针清洁装置,由于采用擦拭或打磨的方法对探针进行清洁,导致探针位置易受到影响,从而需要耗费一定的时间重新调整探针位置,进而影响生产效率的问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种探针清洁装置,包括:基板、第一粘附层、第二粘附层、以及研磨层;所述第一粘附层设置于所述基板上,所述第二粘附层设置于所述第一粘附层上,所述研磨层设置于所述第一粘附层和所述第二粘附层之间。
在本发明的至少一种实施例中,所述清洁装置还包括固定件,所述固定件设置于所述基板上。
在本发明的至少一种实施例中,所述固定件包括相对设置在所述基板两端的第一子固定件和第二子固定件,所述第一粘附层、所述研磨层、所述第二粘附层均位于所述第一子固定件与所述第二子固定件之间。
在本发明的至少一种实施例中,所述固定件采用环氧树脂胶制备。
在本发明的至少一种实施例中,所述研磨层采用金刚石研磨膏制备。
在本发明的至少一种实施例中,所述第一粘附层和所述第二粘附层均采用PET材料制备。
在本发明的至少一种实施例中,所述基板为玻璃基板或柔性基板。
本发明还提供一种探针清洁方法,包括:
S10,提供探针清洁装置,所述探针清洁装置包括依次层叠设置的基板、第一粘附层、研磨层以及第二粘附层;
S20,将待清洁的探针戳入所述探针清洁装置的多层膜层中;
S30,利用所述研磨层对所述探针进行研磨、抛光;
S40,利用所述第二粘附层和所述第一粘附层粘附所述探针表面的异物。
在本发明的至少一种实施例中,所述清洁装置还包括固定件,所述固定件包括相对设置在所述基板两端的第一子固定件和第二子固定件,所述第一粘附层、所述研磨层、所述第二粘附层均位于所述第一子固定件与所述第二子固定件之间。
在本发明的至少一种实施例中,所述研磨层采用金刚石研磨膏制备
本发明的有益效果为:本发明提供的探针清洁装置及清洁方法,能够快速、高效地对探针进行清洁和研磨,从而节省清洁时间并降低探针的使用成本。
附图说明
为了更清楚地说明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明的探针清洁装置的结构示意图;
图2为本发明的探针清洁方法的步骤流程图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图示,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如[上]、[下]、[前]、[后]、[左]、[右]、[内]、[外]、[侧面]等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是用以相同标号表示。
本发明针对现有的探针清洁装置,由于采用擦拭或打磨的方法对探针进行清洁,导致探针位置易受到影响,从而需要耗费一定的时间重新调整探针位置,进而影响生产效率的问题,本实施例能够解决该缺陷。
如图1所示,本发明提供一种探针清洁装置10,包括基板11、第一粘附层12、研磨层13、第二粘附层14以及固定件。
其中,所述第一粘附层12设置于所述基板11上,所述第二粘附层设置于所述第二粘附层12上,所述研磨层13设置于所述第一粘附层12和所述第二粘附层14之间。
在本实施例中,所述固定件包括相对设置的第一子固定件151和第二子固定件152,所述第一子固定件151和所述第二子固定件152分别设置在所述基板11的相对的两端,所述第一粘附层12、所述研磨层13、以及所述第二粘附层14均位于所述第一子固定件151和所述第二子固定件152之间。两个子固定件起到将所述研磨膏层13、所述第一粘附层12以及所述第二粘附层14一起固定在所述基板11上。在其他实施例中,所述固定件可为闭合结构,形成围墙,将所述第一粘附层12、所述研磨层13、以及所述第二粘附层14包围。
所述基板11为玻璃基板、塑料基板以及其他柔性基板中的一种。
所述研磨层13采用金刚石研磨膏制备,金刚石研磨膏可对探针表面进行研磨和抛光。
所述第一粘附层12、所述第二粘附层14均采用PET(Polyethyleneterephthalate,聚对苯二甲酸乙二醇酯)材料制备,PET薄膜具有较好的韧性和强度,可粘附探针表面粘连的异物。
通过设置所述第一粘附层12、所述研磨层13、所述第二粘附层14这样的三层夹心结构,能够高效地去除探针表面的异物,探针在戳入该三层夹心结构中,利用所述研磨层13对探针进行研磨和抛光之后,探针表面会残留有粉末等异物,通过再继续戳入所述第一粘附层12内,对研磨后的探针进行异物粘附,之后拔出探针的时候,再经过所述第二粘附层14,对所述探针再次进行异物清洁,两道粘附膜层的设置,可有效去除探针表面的异物。
所述固定件采用环氧树脂胶制备,环氧树脂胶是一种仪环氧树脂为主体制备的胶粘剂。在制备所述探针清洁装置的过程中,在所述基板11上制备好所述第一粘附层12、所述研磨层13、以及所述第二粘附层14后,在所述基板11上的设定位置涂布配好的环氧树脂胶,待固化后,形成所述第一子固定件151和所述第二子固定件152,每一子固定件将第一粘附层12、研磨层13、以及粘附层14的对应的端部粘接在一起,以起到固定作用。
本发明提供的探针清洁装置,操作简单,在使用该装置时,仅需将本装置置于探针装置附近,通过调整探针位置及长短使探针的针尖反复戳入本装置的膜层中,即可达到研磨和去除衣物的效果。
如图2所示,本发明还提供一种利用上述清洁装置对探针进行清洁的方法,包括以下步骤:首先提供清洁装置,所述探针清洁装置包括依次层叠设置的基板、第一粘附层、研磨层以及第二粘附层,由于所述清洁装置与上述清洁装置结构相同,此处不再赘述。
然后将待清洁的探针戳入所述清洁装置的多层膜层中,其中,探针装置上设置有可调旋钮,通过调节该可调旋钮来调整探针位置,使得探针的针尖戳入所述清洁装置的膜层中。
利用所述研磨层对所述探针进行研磨和抛光,所述研磨层的材料为金刚石研磨膏,在研磨过程中磨料不断滚动,产生挤压和切削两种作用,使得探针的针尖趋于平整光滑。
之后利用所述第二粘附层和所述第一粘附层粘附研磨后的所述探针表面的异物,通过设置两层粘附膜层可有效去除探针表面的异物。
与传统擦拭或打磨的方法相比较,本发明提供的探针清洁方法,不用将探针从设备上取下,仅需调整探针,使探针反复戳入清洁装置即可得到清洁和研磨。
有益效果:本发明提供的探针清洁装置及清洁方法,能够快速、高效地对探针进行清洁和研磨,从而节省清洁时间并降低探针的使用成本。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。
Claims (10)
1.一种探针清洁装置,其特征在于,包括:
基板;
第一粘附层,设置于所述基板上;
第二粘附层,设置于所述第一粘附层上;以及
研磨层,设置于所述第一粘附层和所述第二粘附层之间。
2.根据权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述清洁装置还包括固定件,所述固定件设置于所述基板上。
3.根据权利要求2所述的探针清洁装置,其特征在于,所述固定件包括相对设置在所述基板两端的第一子固定件和第二子固定件,所述第一粘附层、所述研磨层、所述第二粘附层均位于所述第一子固定件与所述第二子固定件之间。
4.根据权利要求2所述的探针清洁装置,其特征在于,所述固定件采用环氧树脂胶制备。
5.根据权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述研磨层采用金刚石研磨膏制备。
6.根据权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述第一粘附层和所述第二粘附层均采用PET材料制备。
7.根据权利要求1所述的探针清洁装置,其特征在于,所述基板为玻璃基板或柔性基板。
8.一种探针清洁方法,其特征在于,包括:
S10,提供探针清洁装置,所述探针清洁装置包括依次层叠设置的基板、第一粘附层、研磨层以及第二粘附层;
S20,将待清洁的探针戳入所述清洁装置的多层膜层中;
S30,利用所述研磨层对所述探针进行研磨、抛光;
S40,利用所述第二粘附层和所述第一粘附层粘附所述探针表面的异物。
9.根据权利要求8所述的探针清洁方法,其特征在于,所述清洁装置还包括固定件,所述固定件包括相对设置在所述基板两端的第一子固定件和第二子固定件,所述第一粘附层、所述研磨层、所述第二粘附层均位于所述第一子固定件与所述第二子固定件之间。
10.根据权利要求8所述的探针清洁方法,其特征在于,所述研磨层采用金刚石研磨膏制备。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811216264.5A CN109530345A (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 探针清洁装置及探针清洁方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201811216264.5A CN109530345A (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 探针清洁装置及探针清洁方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN109530345A true CN109530345A (zh) | 2019-03-29 |
Family
ID=65844599
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201811216264.5A Pending CN109530345A (zh) | 2018-10-18 | 2018-10-18 | 探针清洁装置及探针清洁方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN109530345A (zh) |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6056627A (en) * | 1997-09-03 | 2000-05-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe cleaning tool, probe cleaning method and semiconductor wafer testing method |
JP2000314822A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Ntt Advanced Technology Corp | 光コネクタの清掃具 |
US20050191952A1 (en) * | 2004-03-01 | 2005-09-01 | Kenji Mitarai | Cleaning sheet for probe needles |
CN101207060A (zh) * | 2006-12-20 | 2008-06-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种晶圆背部定位装置及其使用方法 |
CN201578245U (zh) * | 2009-12-22 | 2010-09-15 | 刘伟忠 | 新型骨孔测深器 |
WO2011013383A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | Wit株式会社 | テストプローブ用のクリーニングパッドおよびテストプローブのクリーニング方法 |
CN102087333A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 国际测试技术公司 | 清洁测试器接口接触元件和支持硬件的装置、器件和方法 |
CN202307806U (zh) * | 2011-09-01 | 2012-07-04 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 用于手动探针台标记晶粒的装置 |
CN203858219U (zh) * | 2014-01-02 | 2014-10-01 | 上海大学 | 一种温差电材料塞贝克系数及电阻率的测量装置 |
KR20140136635A (ko) * | 2013-05-21 | 2014-12-01 | 실리콘밸리(주) | 반도체 탐침봉의 연마클리닝시트 |
CN205594100U (zh) * | 2016-05-03 | 2016-09-21 | 东风汽车公司 | 一种便携式线束诊断辅助工具 |
CN106504977A (zh) * | 2015-09-07 | 2017-03-15 | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 | 探针清洁方法及探针清洁装置 |
CN108326729A (zh) * | 2017-01-19 | 2018-07-27 | 智胜科技股份有限公司 | 研磨垫及研磨方法 |
-
2018
- 2018-10-18 CN CN201811216264.5A patent/CN109530345A/zh active Pending
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6056627A (en) * | 1997-09-03 | 2000-05-02 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Probe cleaning tool, probe cleaning method and semiconductor wafer testing method |
JP2000314822A (ja) * | 1999-04-30 | 2000-11-14 | Ntt Advanced Technology Corp | 光コネクタの清掃具 |
US20050191952A1 (en) * | 2004-03-01 | 2005-09-01 | Kenji Mitarai | Cleaning sheet for probe needles |
CN101207060A (zh) * | 2006-12-20 | 2008-06-25 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 一种晶圆背部定位装置及其使用方法 |
WO2011013383A1 (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-03 | Wit株式会社 | テストプローブ用のクリーニングパッドおよびテストプローブのクリーニング方法 |
CN102087333A (zh) * | 2009-12-03 | 2011-06-08 | 国际测试技术公司 | 清洁测试器接口接触元件和支持硬件的装置、器件和方法 |
CN201578245U (zh) * | 2009-12-22 | 2010-09-15 | 刘伟忠 | 新型骨孔测深器 |
CN202307806U (zh) * | 2011-09-01 | 2012-07-04 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 用于手动探针台标记晶粒的装置 |
KR20140136635A (ko) * | 2013-05-21 | 2014-12-01 | 실리콘밸리(주) | 반도체 탐침봉의 연마클리닝시트 |
CN203858219U (zh) * | 2014-01-02 | 2014-10-01 | 上海大学 | 一种温差电材料塞贝克系数及电阻率的测量装置 |
CN106504977A (zh) * | 2015-09-07 | 2017-03-15 | 中芯国际集成电路制造(天津)有限公司 | 探针清洁方法及探针清洁装置 |
CN205594100U (zh) * | 2016-05-03 | 2016-09-21 | 东风汽车公司 | 一种便携式线束诊断辅助工具 |
CN108326729A (zh) * | 2017-01-19 | 2018-07-27 | 智胜科技股份有限公司 | 研磨垫及研磨方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105005108B (zh) | 显示装置、全贴合偏光片及其生产方法 | |
CN101738774A (zh) | 超薄柔性液晶显示器及其制造方法 | |
CN107442538A (zh) | 清洗装置及清洗方法 | |
WO2009158474A3 (en) | Method and apparatus for layer bonding of display assembly | |
CN201314989Y (zh) | 超薄柔性液晶显示器 | |
CN109530345A (zh) | 探针清洁装置及探针清洁方法 | |
CN107491231B (zh) | 基于电容式触摸屏的贴合设备以及贴合方法 | |
CN105183209B (zh) | 触摸显示屏及其制备方法和贴合胶治具 | |
JP2009237278A (ja) | 液晶表示装置の製造方法、偏光板貼り付け装置及びこれらを用い製造された湾曲液晶表示装置 | |
CN106753005B (zh) | 胶带结构及其使用方法 | |
CN105446559B (zh) | 一种单层双面导电线电极膜的电容式触摸屏及制造方法 | |
CN207440452U (zh) | 光学膜剥离装置 | |
CN106772919A (zh) | 大口径反射镜支撑垫的粘结方法 | |
TWI574749B (zh) | Methods and systems for removing colloids | |
CN109762478A (zh) | 一种pe胶带 | |
CN106800892A (zh) | 泡棉胶带及其粘贴治具和粘贴方法 | |
CN104029112A (zh) | 一种芯片反向工艺的研磨方法 | |
CN110794598B (zh) | 捕捉治具 | |
CN210736637U (zh) | 一种电子设备屏膜的贴膜装置 | |
CN101386773A (zh) | 航空器塑料修补 | |
CN207817665U (zh) | 一种防静电触摸屏 | |
CN105223728B (zh) | 一种基于液晶遮光装置的液晶板的装配方法 | |
CN102925070A (zh) | 显示器面板固定用粘接胶带及其制作方法 | |
CN211441495U (zh) | Oca光学胶的离型膜便捷式剥离装置 | |
CN207415138U (zh) | 磨边机定盘装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication | ||
RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20190329 |