CN109461718B - 显示面板以及显示装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及显示面板技术领域，公开了一种显示面板以及显示装置。该显示面板包括：功能连接孔，该功能连接孔设置于显示面板的背板上；赝连接孔，该赝连接孔处于背板上，赝连接孔末端所处的背板的层结构与功能连接孔末端所处的背板的层结构相同。通过上述方式，本发明能够提高连接孔刻蚀终点监测结果的准确度。

Description

显示面板以及显示装置

技术领域

本发明涉及显示面板技术领域，特别是涉及一种显示面板以及显示装置。

背景技术

目前，显示面板上的部分连接孔由于其在显示面板上的分布位置不均，并且大部分区域并无该连接孔设计，使得该部分连接孔在显示面板上的分布均匀性较差，不利于其刻蚀终点的监测。

发明内容

有鉴于此，本发明主要解决的技术问题是提供一种显示面板以及显示装置，能够提高连接孔刻蚀终点监测结果的准确度。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种显示面板，该显示面板包括：功能连接孔，该功能连接孔设置于显示面板的背板上；赝连接孔，该赝连接孔处于背板上，赝连接孔末端所处的背板的层结构与功能连接孔末端所处的背板的层结构相同。

在本发明的一实施例中，背板包括有源层和处于有源层上方的功能层组，功能连接孔、赝连接孔穿过功能层组连接至有源层，功能连接孔的末端和赝连接孔的末端均处于有源层。

在本发明的一实施例中，有源层图案化为对应功能连接孔的第一区域和对应赝连接孔的第二区域，第一区域与第二区域间隔设置。

在本发明的一实施例中，第二区域的面积大于或等于赝连接孔的面积。

在本发明的一实施例中，背板包括层间绝缘层和处于层间绝缘层上方的功能层组，功能连接孔、赝连接孔穿过功能层组连接至层间绝缘层，功能连接孔的末端和赝连接孔的末端均处于层间绝缘层。

在本发明的一实施例中，背板包括有金属走线，赝连接孔的数量为多个，并且至少一个赝连接孔处于金属走线所定义的背板区域中。

在本发明的一实施例中，显示面板包括显示区和非显示区，非显示区内的赝连接孔的数量大于显示区内的赝连接孔的数量。

在本发明的一实施例中，非显示区包括弧形边缘，在非显示区的靠近弧形边缘位置以台阶状分布有多个电路模块，在台阶区分布有赝连接孔。

在本发明的一实施例中，显示面板的显示区中设置有多个像素开口，显示区内的赝连接孔偏离像素开口。

为解决上述技术问题，本发明采用的又一个技术方案是：提供一种显示装置，该显示装置包括驱动电路以及如上述实施例所阐述的显示面板，显示面板耦接驱动电路，驱动电路用于驱动显示面板实现其显示功能。

本发明的有益效果是：区别于现有技术，本发明提供一种显示面板。该显示面板包括设置于背板上的功能连接孔，并且该背板上还包括有赝连接孔，赝连接孔末端所处的背板的层结构与功能连接孔末端所处的背板的层结构相同。赝连接孔为功能连接孔的仿孔，赝连接孔用于在显示面板上增加与功能连接孔具有相同刻蚀终点的连接孔的数量，有利于功能连接孔刻蚀终点的监测，从而提高功能连接孔刻蚀终点监测结果的准确度。

附图说明

图1是本发明显示面板第一实施例的结构示意图；

图2是本发明显示面板第二实施例的结构示意图；

图3是图2所示显示面板局部的结构示意图；

图4是本发明显示面板第三实施例的结构示意图；

图5是图2所示显示面板的金属走线一实施例的结构示意图；

图6是图2所示显示面板的显示区与非显示区一实施例的结构示意图；

图7是图2所示显示面板的非显示区边缘的结构示意图；

图8是本发明显示装置一实施例的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

为解决现有技术中连接孔刻蚀终点监测结果的准确度较差的技术问题，本发明的一实施例提供一种显示面板，该显示面板包括：功能连接孔，该功能连接孔设置于显示面板的背板上；赝连接孔，该赝连接孔处于背板上，赝连接孔末端所处的背板的层结构与功能连接孔末端所处的背板的层结构相同。以下进行详细阐述。

通常显示面板中设计有不同的功能膜层。为实现不同功能膜层的电信号输入/输出，或是功能膜层之间的电信号传递，显示面板上需要设计不同深度的连接孔，并在连接孔中形成导电走线，以用于传递电信号。可见，连接孔作为不同功能膜层之间的电信号传输通道，其在显示面板的集成电路组成中具有重要作用。

举例而言，图1示意性地显示了显示面板1的部分结构。在显示面板1中具有将薄膜晶体管的漏极与OLED器件的阳极相连的深孔11。部分第一层金属12与第三层金属13之间的导电连接孔设计为中孔14。并且部分第二层金属15与第三层金属13之间的导电连接孔设计为浅孔16。上述深孔11、中孔14、浅孔16在显示面板1的制程中，由一张掩膜板并在同一道工序中刻蚀而得，如图1所示。

请参阅图2-3，图2是本发明显示面板第二实施例的结构示意图，图3是图2所示显示面板局部的结构示意图。

在一实施例中，显示面板2包括功能连接孔3。功能连接孔3设置于显示面板2的背板21上。背板21定义为显示面板2上功能膜层的集合，而功能连接孔3穿过背板21中的部分功能膜层，具有相应的电路功能。举例而言，功能连接孔3可以为背板21中半导体器件的沟道结构，用于形成半导体器件的源、漏电极。

显示面板2还包括赝连接孔4，赝连接孔4与功能连接孔3同处于背板21上。理论上，赝连接孔4可以设置于背板21上不影响背板21电路功能的任意位置。赝连接孔4末端所处的背板21的层结构与功能连接孔3末端所处的背板21的层结构相同，即赝连接孔4的末端与功能连接孔3的末端处于同一层结构。赝连接孔4为功能连接孔3的仿孔，其不具备电路功能，并且也不影响背板21中原有电路的功能实现。

在上述实施例中，背板21上所设计的赝连接孔4旨在增加背板21上与功能连接孔3具有相同刻蚀终点的连接孔的数量(该连接孔为赝连接孔4与功能连接孔3的集合)，并且赝连接孔4的设计能够使得背板21上的赝连接孔4与功能连接孔3分布更加均匀，其有利于功能连接孔3刻蚀终点的监测，从而提高功能连接孔3刻蚀终点监测结构的准确度。

在一实施例中，赝连接孔4与功能连接孔3由同一张掩膜板并且在同一道刻蚀工序中形成。

在使用诸如EPD(End Point Detector，终点侦测机)等设备监测功能连接孔3的刻蚀过程中，功能连接孔3的刻蚀过程在EPD上反映充分，能够准确监测到功能连接孔3的刻蚀终点，并且除功能连接孔3以外的连接孔(例如图1所示的中孔14、浅孔16)发生过刻而短路的情况明显改善，有助于提高显示面板2的产品良率。

相较于传统连接孔的刻蚀方案中增加刻蚀时间以保证连接孔完全刻开的方式。上述实施例中背板21的赝连接孔4设计，提高了背板21上功能连接孔3的刻蚀终点监测结果的准确度。功能连接孔3的刻蚀终点监测结果准确，自然无需额外增加刻蚀时间，从而降低显示面板2中除功能连接孔3之外的连接孔过刻而短路的风险，保证了显示面板2的产品良率。

需要说明的是，赝连接孔4虽然不具备功能连接孔3的电路功能，但其深度、尺寸以及其所穿过的层结构均与功能连接孔3相同。赝连接孔4与功能连接孔3的刻蚀过程在EPD上的反映相同。由于显示面板2上与功能连接孔3具有相同刻蚀终点的连接孔数量增多，该连接孔的刻蚀过程在EPD上得到充分反映，其有利于通过EPD监测功能连接孔3的刻蚀过程(同时也监测赝连接孔4的刻蚀过程)，以准确判断功能连接孔3的刻蚀终点。

进一步地，背板21包括有源层211和处于有源层211上方的功能层组212，有源层211上方的功能层组212包括诸如层间绝缘层、平坦化层等功能膜层。功能连接孔3、赝连接孔4穿过功能层组212连接至有源层211，并且功能连接孔3、赝连接孔4的末端均处于有源层211。有源层211图案化为对应功能连接孔3的第一区域31和对应赝连接孔4的第二区域41，第一区域31与第二区域41间隔设置。

第一区域31内的有源层211通过离子掺杂，并且功能连接孔3中形成导电材料，以用于制作显示面板2的半导体器件。而由于赝连接孔4不具备电路功能，因此第二区域41的有源层211可以不进行离子掺杂，仅起到刻蚀阻挡作用，避免刻蚀赝连接孔4的过程中，刻蚀体过刻至有源层211下方的缓冲层等层结构。

需要说明的是，第一区域31的有源层211同样也起到功能连接孔3的刻蚀阻挡作用。在刻蚀功能连接孔3、赝连接孔4的过程中，刻蚀体刻蚀到有源层211时，其与有源层211之间不存在反应联系，或是其与有源层211之间的反应速率过于缓慢，刻蚀体在刻蚀到有源层211后，其停止继续刻蚀。相应地，在EPD上所反映的反应物气体的量锐减，即可得知功能连接孔3、赝连接孔4已刻蚀完全。

可选地，有源层211可以为多晶硅层(P-Si)。

进一步地，第二区域41的面积大于或等于赝连接孔4的面积。即第二区域41中的有源层211的面积大于或等于赝连接孔4末端的横截面积，以保证有源层211对赝连接孔4的刻蚀阻挡作用。如果第二区域41中的有源层211的面积小于赝连接孔4末端的横截面积，刻蚀赝连接孔4的刻蚀体在完成赝连接孔4的刻蚀后，会继续刻蚀有源层211下的缓冲层等层结构，第二区域41中的有源层211也就未起到其所应当具备的刻蚀阻挡作用。

优选地，第二区域41的面积大于赝连接孔4的面积。其原因在于，在实际的制程工序中，很难保证第二区域41中的有源层211的面积等于赝连接孔4末端的横截面积，并且对工艺精度要求也比较高。因此，优选设计为第二区域41的面积大于赝连接孔4的面积，在保证第二区域41中的有源层211能够起到刻蚀阻挡作用的前提下，降低对工艺精度的要求。

需要说明的是，有源层211的第一区域31和第二区域41的图案化过程具体可以为：在形成整面的有源层211后，对应功能连接孔3以及赝连接孔4的有源层211区域进行图案化，留下有源层211对应功能连接孔3以及赝连接孔4的区域，即第一区域31和第二区域41。

请参阅图4，图4是本发明显示面板第三实施例的结构示意图。

在替代实施例中，背板21包括层间绝缘层213和处于层间绝缘层213上方的功能层组214，层间绝缘层213为背板21中对应不同功能的无机层的集合，处于层间绝缘层213上方的功能层组214包括诸如平坦化层等功能膜层。

本实施例与上述实施例的不同之处在于，背板21中的功能连接孔3并未延伸至上述实施例中所阐述的有源层211，而是功能连接孔3的末端止于背板21的层间绝缘层213。赝连接孔4为功能连接孔3的仿孔，赝连接孔4的末端同样止于背板21的层间绝缘层213。功能连接孔3、赝连接孔4穿过功能层组214连接至层间绝缘层213，功能连接孔3的末端和赝连接孔4的末端均处于层间绝缘层213。

以上可以看出，本发明所提供的显示面板，其背板上的赝连接孔末端所处的背板的层结构与功能连接孔末端所处的背板的层结构相同。赝连接孔作为功能连接孔的仿孔，赝连接孔用于在显示面板上增加与功能连接孔具有相同刻蚀终点的连接孔的数量，有利于功能连接孔刻蚀终点的监测，从而提高功能连接孔刻蚀终点监测结果的准确度。

请参阅图3、5，图5是图2所示显示面板的金属走线一实施例的结构示意图。

在一实施例中，背板21包括有金属走线215，金属走线215用于传输电信号。金属走线215沿背板21的表面延伸，金属走线215与其所要连接的金属膜层5之间通过换线孔51实现电性连接。并且背板21包括有多个赝连接孔4。其中，背板21所包括的赝连接孔4中，至少一个赝连接孔4处于金属走线215所定义的背板21区域中。

本实施例中，为进一步增加背板21上的赝连接孔4数量，在背板21表面金属走线215所定义的区域设置赝连接孔4。赝连接孔4不同于上述的换线孔51，换线孔51用于连接金属走线215与金属膜层5；而赝连接孔4仅为一孔结构，其中沉积有金属走线215，赝连接孔4中所沉积的金属走线215并未起到连接功能膜层的作用，并且赝连接孔4设置于金属走线215的延伸路径上。

可见，本实施例中通过在金属走线215定义的背板21区域增设赝连接孔4，增加背板21表面与功能连接孔3具有相同刻蚀终点的连接孔的数量，以利于功能连接孔3刻蚀终点的监测，提高功能连接孔3刻蚀终点监测结果的准确度。

请参阅图6-7，图6是图2所示显示面板的显示区与非显示区一实施例的结构示意图，图7是图2所示显示面板的非显示区边缘的结构示意图。

在一实施例中，显示面板2包括显示区22和非显示区23。显示面板2上设有阵列排布的像素，像素阵列所定义的区域即为显示区22，而显示面板2除显示区22之外的区域即为非显示区23，显示面板2的显示区22作为人机交互的媒介。

显示面板2的非显示区23相较于显示区22而言，其更有利于设置赝连接孔4。因此，非显示区23内的赝连接孔4的数量大于显示区22内的赝连接孔4的数量。显示面板2上的赝连接孔4更多得设置在非显示区23内，而显示区22在设置有功能连接孔3外，同样也设置有赝连接孔4。通过上述方式，增加了显示面板2上与功能连接孔3具有相同刻蚀终点的连接孔的数量，从而提高功能连接孔3刻蚀终点监测结果的准确度。

进一步地，显示面板2拐角趋于弧形化设置。显示面板2的非显示区23具有弧形边缘216。显示面板2的像素驱动电路部分电路模块6设置于非显示区23，其中就包括位于非显示区23边缘的电路模块6。具体地，非显示区23的靠近弧形边缘216的位置以台阶状分布有多个电路模块6，其可以包括具有不同功能的控制电路以及金属走线等。多个电路模块6呈现台阶状分布，以拟合非显示区23的弧形边缘216，使得从宏观上台阶状分布的电路模块6表现为弧形结构，从而适配非显示区23的弧形边缘216。台阶状的电路模块6相较于适配弧形边缘216的弧形电路模块6而言，台阶状的电路模块6其电路结构简单，易于工艺实现。

台阶状的电路模块6附近的台阶区231，由于其空间有限，通常不设置有电路结构，因此台阶区231可以用于设置赝连接孔4，以进一步增加显示面板2上赝连接孔4的数量，以及分布均匀性，也就增加了显示面板2上与功能连接孔3具有相同刻蚀终点的连接孔的数量以及分布均匀性，以利于功能连接孔3刻蚀终点的监测。

进一步地，显示区22中设置有多个像素开口7。相邻像素开口7之间的区域可以设置赝连接孔4，以进一步增加显示面板2上赝连接孔4的数量以及分布均匀性。并且，显示区22内的赝连接孔4偏离像素开口7设置，以避免赝连接孔4影响像素开口7的电路功能。

需要说明的是，在显示面板2的实际制备工艺中，通常是在一块母板上同时制备多块显示面板2，之后通过切割工艺形成单独的显示面板2。有鉴于此，为进一步提高显示面板2的功能连接孔3其刻蚀终点监测结果的准确度，可以在母板上除显示面板2之外的区域设置赝连接孔4，增加整块母板上赝连接孔4的数量，使得赝连接孔4与功能连接孔3在母板上分布得更加均匀。

与之对应的是，显示面板2刻蚀工艺所使用的掩膜板上也需要设计对应功能连接孔3、赝连接孔4的掩膜图案，才可在显示面板2上图案化出对应的功能连接孔3、赝连接孔4。

请参阅图8，图8是本发明显示装置一实施例的结构示意图。

在一实施例中，显示装置8包括驱动电路81以及显示面板82，显示面板82耦接驱动电路81，驱动电路81用于驱动显示面板82实现其显示功能。

需要说明的是，本实施例所阐述的显示面板82即为上述实施例中所阐述的显示面板，在此就不再赘述。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：

功能连接孔，所述功能连接孔设置于所述显示面板的背板上；

赝连接孔，所述赝连接孔处于所述背板上，所述功能连接孔和所述赝连接孔穿过所述背板的层结构以及深度相同，并且所述功能连接孔的末端和所述赝连接孔的末端连接的层结构相同；

所述显示面板包括显示区和非显示区，所述显示区和所述非显示区内均设有所述赝连接孔，并且所述非显示区内的所述赝连接孔的数量大于所述显示区内的所述赝连接孔的数量。

2.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，

所述背板包括有源层和处于所述有源层上方的功能层组，所述功能连接孔、所述赝连接孔穿过所述功能层组连接至所述有源层，所述功能连接孔的末端和所述赝连接孔的末端均处于所述有源层。

3.根据权利要求2所述的显示面板，其特征在于，所述有源层图案化为对应所述功能连接孔的第一区域和对应所述赝连接孔的第二区域，所述第一区域与所述第二区域间隔设置。

4.根据权利要求3所述的显示面板，其特征在于，所述第二区域的面积大于或等于所述赝连接孔的面积。

5.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述背板包括层间绝缘层和处于所述层间绝缘层上方的功能层组，所述功能连接孔、所述赝连接孔穿过所述功能层组连接至所述层间绝缘层，所述功能连接孔的末端和所述赝连接孔的末端均处于所述层间绝缘层。

6.根据权利要求2或5所述的显示面板，其特征在于，所述背板包括有金属走线，所述赝连接孔的数量为多个，并且至少一个所述赝连接孔处于所述金属走线所定义的背板区域中。

7.根据权利要求1所述的显示面板，其特征在于，所述非显示区包括弧形边缘，在所述非显示区的靠近所述弧形边缘位置以台阶状分布有多个电路模块，在台阶区分布有所述赝连接孔。

8.根据权利要求7所述的显示面板，其特征在于，所述显示面板的显示区中设置有多个像素开口，所述显示区内的所述赝连接孔偏离所述像素开口。

9.一种显示装置，其特征在于，所述显示装置包括驱动电路以及如权利要求1至8任一项所述的显示面板，所述显示面板耦接所述驱动电路，所述驱动电路用于驱动所述显示面板实现其显示功能。

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