CN109386833A - 废气处理装置以及废气处理方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种废气处理装置及废气处理方法，当在燃烧式废气处理装置中处理含有氢的处理气体时，该废气处理装置将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，从而能够防止燃烧室的热损伤。一种对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室(1)构成为圆筒状的燃烧室(1)，燃烧室(1)具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室(1)的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)，处理气体用喷嘴(3A)和助燃性气体用喷嘴(3B)位于与燃烧室(1)的轴线正交的同一平面上。

Description

废气处理装置以及废气处理方法
技术领域
本发明涉及对从制造半导体器件等的制造装置排出的废气进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置，尤其涉及一种对从EUV(Extreme Ultra Violet：极短紫外光)曝光装置排出的废气进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置。
背景技术
MPU、DRAM等半导体集成电路的高集成化及其必需的微细化通过转印电路图案的曝光装置光学系统的短波长化、和浸液、多图案化(multi patterning)等技术而得到了实现。
光学系统的短波长化可以说已接近技术上的极限，但是近几年EUV(ExtremeUltra Violet：极短紫外光)曝光装置逐渐实现实用化。EUV是指将到目前为止花费数十年间以365nm→248nm→193nm(现行)阶段性发展而来的短波长化一下子推进到13.5nm的技术，正因为如此，才存在要克服的各种各样的技术上的障碍。
其中之一是装置内的污染对策。EUV曝光装置是超精密设备，尤其会因异物进入光学系统而导致性能急剧下降。EUV曝光装置由产生EUV的光源部、和通过由光源部产生的EUV进行晶片的曝光的曝光部构成，已知在光源部中通过向目标的激光照射而生成的锡(Sn)的氧化物、和在曝光部中从感光性物质(抗蚀剂)脱离的有机物质分别为代表性的污染源，但它们是在装置的运用上必然产生的，且无法防止其产生。
作为针对它们的污染对策，有一种使用氢气的方法。在光源部中使用数百L/分的氢气将锡的氧化物作为气态的氢化物来除去，并在曝光部中同样使用数十L/分的氢气使有机物质气化来除去。所使用的氢气虽然大半都未发生反应，但会作为所除去的污染物质的载体而从装置排出。但是，由于存在使曝光部内成为真空的动作工序、光源部与曝光部在某种程度上独立动作、以及定期的维护这些主要原因，所以排出的氢气的量的变动很大。
因此，从EUV曝光装置排出包含具有一百几十～几百L/分这一变动幅度的氢气在内的处理气体(废气)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第4937886号公报
发明内容
从半导体器件等制造装置排出的处理气体(废气)通常在由废气处理装置实现了无害化处理之后被排出到大气中。作为该无害化处理方法，如专利文献1等公开的那样广泛采用了燃烧式废气处理装置，该燃烧式废气处理装置将燃料(燃料气体)与助燃性气体(含氧气体)混合而使燃料燃烧来形成火焰，并在火焰中混合处理气体(废气)而对处理气体进行燃烧处理。
然而，由于从EUV曝光装置排出的处理气体(废气)中包含大量氢气，所以有可能无需另行供给燃料，而仅通过供给助燃性气体(含氧气体)就能对处理气体进行燃烧处理。
氢即使在可燃性气体中也尤其具有燃烧速度快、且燃烧范围广(不管是高浓度还是低浓度都燃烧)的特征。因此，氢在流入燃烧室内之后立即迅速燃烧而形成局部的高温部，燃烧室有可能会热损伤。虽然热损伤的可能性随着氢的流入量越多而变得越高，但作为一般的手法，通过使用大量的助燃性气体(空气)使其燃烧而能够防止热损伤。然而在这种情况下，由于需要大容量的燃烧室，且燃烧气体量也变多，所以装置变得大型化。另外，需要将助燃性气体量配合着氢的流量进行调整。这是因为，在相对于大量的助燃性气体混合少量的氢气并使其燃烧的情况下，只要低于能够燃烧的下限浓度(在氢与空气的混合气体的情况下，氢浓度为4％)将不再燃烧。
然而，由于氢的流量因EUV曝光装置的运转状态而变动，所以很难跟随氢的流量来调整助燃性气体量。因此，对于大量的氢需要利用最低必要限度的助燃性气体使其燃烧，需要针对燃烧室的热损伤的对策。
作为能够使从EUV曝光装置排出的包含大量的氢在内的处理气体(废气)燃烧、且有能够防止燃烧室的热损伤的可能性的燃烧方式，本案发明人想到了一种通过将含有氢的处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰的隔热混烧方式。
于是，本发明以提供一种废气处理装置为目的，当在燃烧式废气处理装置中处理含有氢的处理气体时，该废气处理装置将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成从燃烧室内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰，从而能够防止燃烧室的热损伤。
为了达成上述目的，本发明的废气处理装置的一个形态是对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化，该废气处理装置的特征在于，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室构成为圆筒状的燃烧室，所述燃烧室具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴，所述处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴位于与所述燃烧室的轴线正交的同一平面上。在此，位于同一平面上是指处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴的燃烧室内周面侧的开口的一部分位于同一平面上。
根据本发明，通过将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成圆筒状混合火焰，由此，利用回旋离心力形成圆筒状混合火焰的外侧偏重且温度低的没有燃烧的两种混合气体、内侧偏轻且温度高的两种混合的燃烧后气体的分布。因此，由于圆筒状混合火焰成为被温度低的没有燃烧的两种混合气体覆盖的自隔热的状态，所以燃烧火焰不会直接接触燃烧室的内壁，燃烧室的内壁不易受到热损伤。
根据本发明的优选形态，其特征在于，在所述助燃性气体用喷嘴上连接冷却水供给配管，从所述助燃性气体用喷嘴将助燃性气体与冷却水一并朝向所述燃烧室的内周面的切线方向吹入。
根据本发明，由于与助燃性气体一并吹入燃烧室的冷却水的水滴比气体重，所以冷却水的水滴与圆筒状混合火焰中的没有燃烧的两种混合气体相比进一步绕着壁面边缘旋转流动，而不会成为燃烧的障碍。而且，冷却水的水滴在旋转流动中冷却燃烧室的内壁。由此，即使是处理气体中包含大量氢的情况下，也不会在燃烧室内形成局部的高温部，能够在确保气体处理性能的同时防止燃烧室的热损伤。
根据本发明的优选形态，其特征在于，通过从所述冷却水供给配管使冷却水与在所述助燃性气体用喷嘴内流动的助燃性气体合流而使冷却水微粒化，将包含被微粒化后的冷却水在内的助燃性气体吹入所述燃烧室。
根据本发明的优选形态，其特征在于，在所述燃烧室的上部壁形成有供给冷却水来冷却所述上部壁的冷却套。
根据本发明的优选形态，其特征在于，将从所述冷却套排出的冷却水向所述冷却水供给配管供给。
根据本发明的优选形态，其特征在于，在向所述助燃性气体用喷嘴供给助燃性气体的助燃性气体供给线路上设有止回阀，构成为使所述燃烧室内的处理气体不向助燃性气体供给线路逆流。
根据本发明的优选形态，其特征在于，在所述冷却水供给配管上设有止回阀，构成为使所述燃烧室内的处理气体不向所述冷却水供给配管逆流。
根据本发明的优选形态，其特征在于，含有氢的所述处理气体是从EUV曝光装置排出的废气。
本发明的一个形态是一种对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化的废气处理方法，其特征在于，对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室构成为圆筒状的燃烧室，从位于与所述燃烧室的轴线正交的同一平面上的处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入，形成处理气体与助燃性气体的两种混合的回旋流。
根据本发明的优选形态，其特征在于，向所述助燃性气体用喷嘴供给冷却水，从所述助燃性气体用喷嘴将助燃性气体与冷却水一并朝向所述燃烧室的内周面的切线方向吹入。
根据本发明的优选形态，其特征在于，通过使冷却水与从所述助燃性气体用喷嘴内流动的助燃性气体合流而使冷却水微粒化，将包含被微粒化后的冷却水在内的助燃性气体吹入所述燃烧室。
根据本发明的优选形态，其特征在于，向所述燃烧室的上部壁供给冷却水来冷却所述上部壁。
根据本发明的优选形态，其特征在于，将冷却所述燃烧室的上部壁后的冷却水向所述助燃性气体用喷嘴供给。
根据本发明的优选形态，其特征在于，含有氢的所述处理气体是从EUV曝光装置排出的废气。
根据本发明的优选形态，其特征在于，在所述燃烧室中，在从处理气体及助燃性气体的吹入位置沿所述燃烧室的轴线方向分离的位置，从供水喷嘴供给水而在所述燃烧室的内周面上形成水膜。
根据本发明的优选形态，其特征在于，通过从所述供水喷嘴将水朝向蓄水部的内周面的切线方向喷出，在所述蓄水部中形成由回旋流构成的水膜，所述回旋流具有从半径方向外侧朝向内侧且向斜下方倾斜的水面。
发明效果
根据本发明，通过将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入而形成圆筒状混合火焰，由此，利用回旋离心力形成圆筒状混合火焰的外侧偏重且温度低的没有燃烧的两种混合气体、内侧偏轻且温度高的两种混合的燃烧后气体的分布。因此，由于圆筒状混合火焰成为被温度低的没有燃烧的两种混合气体覆盖的自隔热的状态，所以燃烧火焰不会直接接触燃烧室的内壁，燃烧室的内壁不易受到热损伤。
另外，根据本发明，由于与助燃性气体一起吹入燃烧室的冷却水的水滴比气体重，所以冷却水的水滴与圆筒状混合火焰中的没有燃烧的两种混合气体相比进一步绕着壁面边缘旋转流动，而不会成为燃烧的障碍。而且，冷却水的水滴在旋转流动中冷却燃烧室的内壁附近。由此，即使是处理气体中包含大量氢的情况下，处理气体中的氢也不会急剧燃烧而在燃烧室内形成局部的高温部，能够防止燃烧室的热损伤。
附图说明
图1是表示本发明的废气处理装置的燃烧室的结构例的示意性剖视图。
图2是图1的Ⅱ-Ⅱ线剖视图。
图3是表示具备向助燃性气体注入冷却水的结构的燃烧室的示意性剖视图。
图4是图3的A部的放大图。
图5是图3的Ⅴ-Ⅴ线剖视图。
图6是表示在燃烧室的顶板具备冷却套的实施例的示意性剖视图。
图7是表示在图1所示的废气处理装置的助燃性气体供给线路上设置有止回阀的实施方式的示意性剖视图。
图8是表示在图3所示的废气处理装置的助燃性气体供给线路及冷却水供给线路上分别设置有止回阀的实施方式的示意性剖视图。
图9是表示在图6所示的废气处理装置的助燃性气体供给线路及冷却水供给线路上分别设置有止回阀的实施方式的示意性剖视图。
附图标记说明
1 燃烧室
2 导燃器
3A 处理气体用喷嘴
3B 助燃性气体用喷嘴
5 供水喷嘴
6 蓄水部
6a 底板
6b 侧板
10 冷却水供给配管
11 冷却套
12 热电偶
L1 助燃性气体供给线路
L2 冷却水供给线路
CV1 止回阀
CV2 止回阀
具体实施方式
以下，参照图1至图9对本发明的废气处理装置的实施方式进行说明。在图1至图9中，对相同或相当的构成要素标注相同的标记并省略重复的说明。在实施方式中，说明对从EUV曝光装置排出的废气进行燃烧处理而实现无害化的废气处理装置。
图1是表示本发明的废气处理装置的燃烧室的结构例的示意性剖视图。燃烧室1构成为一端(在图示例中为上端)被闭塞且另一端(在图示例中为下端)开口的圆筒容器状的燃烧室。在闭塞端部附近向圆筒容器状的燃烧室1吹入处理气体(废气)和助燃性气体(含氧气体)。
在燃烧室1的闭塞端部设置有点火用兼火种供给用的导燃器2，向导燃器2供给燃料和空气。需要说明的是，在图1中，省略了位于燃烧室1的下方的清洗部等的图示。
图2是图1的Ⅱ-Ⅱ线剖视图。如图2所示，吹入处理气体(废气)的处理气体用喷嘴3A和吹入助燃性气体(含氧气体)的助燃性气体用喷嘴3B朝向燃烧室1的内周面的切线方向而设置。在图2的示例中，处理气体用喷嘴3A和助燃性气体用喷嘴3B各设置有两个，但各喷嘴3A、3B的个数能够根据燃烧室的尺寸、设置空间等适当变更。吹入处理气体的处理气体用喷嘴3A和吹入助燃性气体的助燃性气体用喷嘴3B位于与圆筒状的燃烧室1的轴线正交的同一平面上。在此，位于同一平面上是指处理气体用喷嘴3A和助燃性气体用喷嘴3B的燃烧室内周面侧的开口的一部分位于同一平面上。
如图1所示，在燃烧室1中，在与吹入处理气体和助燃性气体的位置相比稍下方的位置设置有向燃烧室1的内壁面上供给用于形成润湿壁(水膜)的水的供水喷嘴5。供水喷嘴5设置在从燃烧室1的侧壁向半径方向外侧扩宽的蓄水部6上。蓄水部6由从燃烧室1的侧壁向半径方向外侧延伸而形成蓄水部6的底面的环状的底板6a、和从底板6a的外周端沿大致垂直方向延伸而形成蓄水部6的侧壁的圆筒状的侧板6b构成。供水喷嘴5固定在侧板6b上。供水喷嘴5以朝向蓄水部6的内周面的切线方向喷出水的方式配置。通过从供水喷嘴5朝向蓄水部6的内周面的切线方向喷出水，在蓄水部6中形成有由具有从半径方向外侧朝向内侧且向斜下方倾斜的水面的回旋流构成的水膜。而且，水膜从具有倾斜的水面的回旋流(水膜)的下端且半径方向内端、即蓄水部6的底板6a的半径方向内端沿着燃烧室1的内壁流下来，从而在燃烧室1的内壁形成润湿壁(水膜)。
接着，在如图1及2所示构成的燃烧室1中，从处理气体用喷嘴3A和助燃性气体用喷嘴3B将处理气体和助燃性气体朝向燃烧室1的内周面的切线方向以火焰的燃烧速度以上的流速吹入。由此，形成从燃烧室1的内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰。圆筒状混合火焰沿着燃烧室1的轴线方向形成。通过将两种气体一并沿切线方向吹入，利用回旋离心力形成了圆筒状混合火焰的外侧偏重且温度低的没有燃烧的两种混合气体、且内侧偏轻且温度高的两种混合的燃烧后气体的分布。因此，由于圆筒状混合火焰成为被温度低的没有燃烧的两种混合气体覆盖的自隔热的状态，所以燃烧火焰不会直接接触燃烧室1的内壁，燃烧室的内壁不易受到热损伤。另外，由于圆筒状混合火焰是该自隔热的状态，所以不存在散热引起的温度降低，能够进行燃烧效率高的气体处理。另外，由于处理气体通常被N2气体等稀释后向废气处理装置流入，所以通过将包含该N2气体在内的处理气体与助燃性气体混烧而变成缓慢的燃烧，不会形成局部的高温部，因此，能够抑制NOx的产生。
如上所述，根据本发明，通过由从燃烧室1的内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰实现的自隔热效果，燃烧室1的内壁变得不易受到热损伤，但在处理气体中含有300L/min以上的氢的情况下，即使是处理气体与助燃性气体的两种混合的圆筒状混合火焰，也有可能在燃烧室1内形成局部的高温部而使燃烧室1热损伤。在这种情况下，通过向助燃性气体注入适量的冷却水，能够在确保气体处理性能的同时防止燃烧室1的热损伤。以下，对该结构进行说明。
图3是表示具备向助燃性气体注入冷却水的结构的燃烧室的示意性剖视图。如图3所示，使冷却水与助燃性气体合流，并将包含冷却水的水滴在内的助燃性气体吹入燃烧室1。冷却水使用城市供水，但也可以使用碱性水(氢氧化钠、氢氧化钾等的水溶液)。
图4是图3的A部的放大图。图5是图3的Ⅴ-Ⅴ线剖视图。如图4所示，在助燃性气体用喷嘴3B上连接有冷却水供给配管10，使冷却水与助燃性气体合流，并将包含冷却水的水滴在内的助燃性气体吹入燃烧室1。在助燃性气体用喷嘴3B与冷却水供给配管10合流的合流部处的助燃性气体的流速为数十m/s，当冷却水与该助燃性气体的流动合流时，冷却水变成细小的水滴(基于与喷雾器相同的原理)，水滴随着燃烧室内的气体的回旋流而在助燃性气体端口周边的壁面和燃烧室的顶板的下表面流动。
如图3及图4所示，当将包含冷却水的水滴在内的助燃性气体、和处理气体朝向燃烧室1的内周面的切线方向吹入时，形成从燃烧室1的内壁浮起的两种混合的圆筒状混合火焰。圆筒状混合火焰沿着燃烧室1的轴线方向形成。通过将两种气体一起沿切线方向吹入，利用回旋离心力形成圆筒状混合火焰的外侧偏重且温度低的没有燃烧的两种混合气体、内侧偏轻且温度高的燃烧后气体的分布。因此，由于圆筒状混合火焰成为被温度低的没有燃烧的两种混合气体覆盖的自隔热的状态，所以燃烧火焰不会直接接触燃烧室1的内壁，燃烧室的内壁不易受到热损伤。另外，由于圆筒状混合火焰是该自隔热的状态，所以不存在散热引起的温度降低，能够进行燃烧效率高的气体处理。
另一方面，由于冷却水的水滴比气体重，所以如图5所示，冷却水的水滴与圆筒状混合火焰中的没有燃烧的两种混合气体相比进一步绕着壁面边缘旋转流动(在图5中用虚线的圆表示)，而不会成为燃烧的障碍。而且，冷却水的水滴在旋转流动中将燃烧室1的内壁附近冷却。由此，即使是处理气体中包含大量氢的情况下，处理气体中的氢也不会急剧燃烧而在燃烧室1内形成局部的高温部，能够防止燃烧室1的热损伤。
图6是表示在燃烧室的顶板具备冷却套的实施例的示意性剖视图。如图6所示，燃烧室1在顶板的内部具备冷却套11，向冷却套11供给冷却水来间接冷却顶板。从冷却套11排出的冷却水被供给至冷却水供给配管10并被吹入燃烧室1内(参照图4)。即，冷却水在用于燃烧室顶板的间接冷却之后被吹入燃烧室内以对燃烧室的上部内壁附近进行冷却。
本案发明人使用图6所示的废气处理装置进行了氢气的处理试验。处理试验在仅供给助燃性气体的情况(无冷却水的情况)和供给助燃性气体及冷却水的情况(有冷却水的情况)下进行，并通过热电偶12测定了气体处理中的燃烧室的外壁的温度。
首先，当进行试验时，将流入废气处理装置的处理气体假定为EUV曝光装置的废气，并如以下表1那样对组成和流量进行设定。
【表1】
表1的条件中的在氢量最大时设定最低必要限度的助燃性气体量(空气量)，对即使在保持该助燃性气体量(空气量)的情况下在氢量最小时是否变成能够燃烧的浓度进行验算而得到的结果为表2。
【表2】
即使在氢量最小时，氢浓度也超过了能够燃烧的下限浓度即4％，根据已知的数据可知，即使氢的量变动，在保持助燃性气体量的情况下也能够燃烧。
接着，以表2的条件向实际的废气处理装置供给处理气体和助燃性气体，验证了能够实现稳定的燃烧、和燃烧室温度保持在安全温度的情况。验证结果如表3所示。
【表3】
由表3可知，即使是无冷却水的情况下，也能通过由圆筒状混合火焰实现的自隔热效果来极力抑制燃烧室温度上升，但在氢最大时(620L/min)，除了由圆筒状混合火焰实现的自隔热效果之外优选有冷却水的情况。
图7是表示在图1所示的废气处理装置的助燃性气体供给线路上设置有止回阀的实施方式的示意性剖视图。如图7所示，通过在向助燃性气体用喷嘴3B供给助燃性气体的助燃性气体供给线路L1上设置止回阀CV1，燃烧室1内的没有燃烧的处理气体不向助燃性气体供给线路L1逆流。
图8是表示在图3所示的废气处理装置的助燃性气体供给线路及冷却水供给线路上分别设置有止回阀的实施方式的示意性剖视图。如图8所示，在向助燃性气体用喷嘴3B供给助燃性气体的助燃性气体供给线路L1上设置止回阀CV1，并且在向助燃性气体用喷嘴3B供给冷却水的冷却水供给线路L2上设置止回阀CV2，由此，燃烧室1内的没有燃烧的处理气体不向助燃性气体供给线路L1及冷却水供给线路L2逆流。
图9是表示在图6所示的废气处理装置的助燃性气体供给线路及冷却水供给线路上分别设置有止回阀的实施方式的示意性剖视图。如图9所示，在向助燃性气体用喷嘴3B供给助燃性气体的助燃性气体供给线路L1上设置止回阀CV1，并且在从冷却套11向助燃性气体用喷嘴3B供给冷却水的冷却水供给线路L2上设置止回阀CV2，由此，燃烧室1内的没有燃烧的处理气体不向助燃性气体供给线路L1及冷却水供给线路L2逆流。
图7至图9所示的实施方式所使用的止回阀CV1、CV2是用于仅允许管路内的流动为一个方向的目的的阀，阀体受到因其上游侧与下游侧的压力差产生的力而动作，且是当与压力差为正流的情况相反时阀体迅速压在阀座上以防止逆流的阀，优选为平板上的阀体摆动的摆动式止回阀、和球状阀体往复移动的球式止回阀。
到此为止对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式，在其技术思想的范围内当然可以以各种不同的方式实施。

Claims (16)

1.一种废气处理装置，其对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化，该废气处理装置的特征在于，
对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室构成为圆筒状的燃烧室，
所述燃烧室具备将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入的处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴，
所述处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴位于与所述燃烧室的轴线正交的同一平面上。
2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在所述助燃性气体用喷嘴上连接冷却水供给配管，从所述助燃性气体用喷嘴将助燃性气体与冷却水一并朝向所述燃烧室的内周面的切线方向吹入。
3.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，通过从所述冷却水供给配管使冷却水与在所述助燃性气体用喷嘴内流动的助燃性气体合流而使冷却水微粒化，将包含被微粒化后的冷却水在内的助燃性气体吹入所述燃烧室。
4.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，在所述燃烧室的上部壁形成有供给冷却水来冷却所述上部壁的冷却套。
5.根据权利要求4所述的废气处理装置，其特征在于，将从所述冷却套排出的冷却水向所述冷却水供给配管供给。
6.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，在向所述助燃性气体用喷嘴供给助燃性气体的助燃性气体供给线路上设有止回阀，构成为使所述燃烧室内的处理气体不向助燃性气体供给线路逆流。
7.根据权利要求2所述的废气处理装置，其特征在于，在所述冷却水供给配管上设有止回阀，构成为使所述燃烧室内的处理气体不向所述冷却水供给配管逆流。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的废气处理装置，其特征在于，含有氢的所述处理气体是从EUV曝光装置排出的废气。
9.一种废气处理方法，其对含有氢的处理气体进行燃烧处理而实现无害化，该废气处理方法的特征在于，
对含有氢的处理气体进行燃烧的燃烧室构成为圆筒状的燃烧室，
从位于与所述燃烧室的轴线正交的同一平面上的处理气体用喷嘴和助燃性气体用喷嘴将处理气体和助燃性气体分别朝向燃烧室的内周面的切线方向吹入，形成处理气体与助燃性气体的两种混合的回旋流。
10.根据权利要求9所述的废气处理方法，其特征在于，向所述助燃性气体用喷嘴供给冷却水，从所述助燃性气体用喷嘴将助燃性气体与冷却水一并朝向所述燃烧室的内周面的切线方向吹入。
11.根据权利要求10所述的废气处理方法，其特征在于，通过使冷却水与在所述助燃性气体用喷嘴内流动的助燃性气体合流而使冷却水微粒化，将包含被微粒化后的冷却水在内的助燃性气体吹入所述燃烧室。
12.根据权利要求10所述的废气处理方法，其特征在于，向所述燃烧室的上部壁供给冷却水来冷却所述上部壁。
13.根据权利要求12所述的废气处理方法，其特征在于，将对所述燃烧室的上部壁进行了冷却之后的冷却水向所述助燃性气体用喷嘴供给。
14.根据权利要求9至13中任一项所述的废气处理方法，其特征在于，含有氢的所述处理气体是从EUV曝光装置排出的废气。
15.根据权利要求9至13中任一项所述的废气处理方法，其特征在于，在所述燃烧室中，在从处理气体及助燃性气体的吹入位置沿所述燃烧室的轴线方向分离的位置，从供水喷嘴供给水而在所述燃烧室的内周面上形成水膜。
16.根据权利要求15所述的废气处理方法，其特征在于，通过从所述供水喷嘴将水朝向蓄水部的内周面的切线方向喷出，在所述蓄水部中形成由回旋流构成的水膜，所述回旋流具有从半径方向外侧朝向内侧且向斜下方倾斜的水面。
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