CN109277912A - 一种晶圆生产用外径滚磨装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆生产加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用外径滚磨装置，其可以对硅晶柱进行同心夹紧调节，提高硅晶柱打磨直径的精确度，减少人为因素，导致其使用可靠性较低；并且提高打磨面积，同时减轻人力，提高打磨效率，提高实用性；包括工作板、左支撑板、右支撑板、顶板、左转轴、右转轴、带动电机、左调节板、左夹紧圆盘、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱、第一调节丝杠、第一调节手轮、四组第一夹紧螺栓、四组第二夹紧螺栓、上调节板、下调节板、四组第二支撑滑柱、第二调节丝杠、第二调节手轮、压板、左前支撑杆、左后支撑杆、右前支撑杆、右后支撑杆、前支撑轴、后支撑轴、打磨砂带、四组第三支撑滑柱和四组压紧弹簧。

Description

一种晶圆生产用外径滚磨装置

技术领域

本发明涉及晶圆生产加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆生产用外径滚磨装置。

背景技术

众所周知，晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，晶圆的原始材料是硅，而地壳表面有用之不竭的二氧化硅，二氧化硅矿石经由电弧炉提炼，盐酸氯化，并经蒸馏后，制成了高纯度的多晶硅，硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石和砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型，由于单晶硅棒的外径表面并不平整且直径也比最终抛光晶片所规定的直径规格大，在晶体生长过程中，整个晶体长度中直径有偏差，晶圆生产用外径滚磨装置是一种用于晶圆生产过程中，对其硅晶柱进行外径打磨，以便于更好的获得较为精确的直径的辅助装置，其在晶圆生产加工的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆生产用外径滚磨装置包括工作板和打磨砂布；现有的晶圆生产用外径滚磨装置使用时，首先将待打磨的硅晶柱放置在工作板上，然后人工使用打磨砂布进行外径打磨即可；现有的晶圆生产用外径滚磨装置使用中发现，其不能对硅晶柱进行同心夹紧调节，硅晶柱打磨直径的精确度较低，打磨操作不便，人为因素较多，导致其使用可靠性较低；并且人工使用打磨砂布进行打磨，打磨面积较小，同时浪费较多人力，打磨效率较低，导致其实用性较差。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种其可以对硅晶柱进行同心夹紧调节，提高硅晶柱打磨直径的精确度，方便打磨操作，减少人为因素，导致其使用可靠性较低；并且提高打磨面积，同时减轻人力，提高打磨效率，提高实用性的晶圆生产用外径滚磨装置。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，包括工作板；包括左支撑板、右支撑板、顶板、左转轴、右转轴、带动电机、左调节板、左夹紧圆盘、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱、第一调节丝杠、第一调节手轮、四组第一夹紧螺栓和四组第二夹紧螺栓，所述左支撑板和右支撑板的底端分别与所述工作板顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板和右支撑板的顶端分别与所述顶板底端的左侧和右侧连接，所述左支撑板左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧均横向设置有左右贯穿的第一滑动通孔，所述四组第一支撑滑柱的右端均自左支撑板的左端分别可滑动穿过四组第一滑动通孔内部并伸出至左支撑板的右端外界，所述左调节板位于所述左支撑板的右侧，并且所述四组第一支撑滑柱的右端分别与所述左调节板左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧连接，所述左支撑板的左端横向设置有第一调节通孔，并且所述第一调节通孔位于所述四组第一滑动通孔中部，所述第一调节丝杠的右端自左支撑板的左端横向穿过第一调节通孔内部并伸出至左支撑板的右端外节与所述左调节板的左端中部连接，所述第一调节手轮中部横向设置有左右贯穿的第一螺纹通孔，并且第一调节手轮通过第一螺纹通孔螺装套设在第一调节丝杠的外部右侧，第一调节手轮的左端与所述支撑板的右端接触，左调节板的右端中部设置有调节槽，并且调节槽的固定设置有滚珠轴承，所述左转轴的左端插入并固定安装至滚珠轴承内部，所述左夹紧圆盘的左端与所述左转轴的右端同心连接，所述左夹紧圆盘的右端设置有左圆形放置槽，并且左圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第二螺纹通孔，所述四组第一夹紧螺栓的一端分别自左夹紧圆盘圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第二螺纹通孔内部并旋进至左圆形放置槽内部，并且四组第一夹紧螺栓的一端均指向左圆形放置槽内部的中心轴线位置，所述带动电机安装在所述右支撑板的右端中部，并且所述右转轴的右端自右支撑板的左端横向穿过右支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界与所述带动电机的左部输出端同心连接，所述左转轴和右转轴同心设置，所述右夹紧圆盘的右端与所述右转轴的左端同心连接，并且右夹紧圆盘的左端设置有右圆形放置槽，并且右圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第三螺纹通孔，所述四组第二夹紧螺栓的一端分别自右夹紧圆盘圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第三螺纹通孔内部并旋进至右圆形放置槽内部，并且四组第二夹紧螺栓的一端均指向右圆形放置槽内部的中心轴线位置；还包括上调节板、下调节板、四组第二支撑滑柱、第二调节丝杠、第二调节手轮、压板、左前支撑杆、左后支撑杆、右前支撑杆、右后支撑杆、前支撑轴、后支撑轴、打磨砂带、四组第三支撑滑柱和四组压紧弹簧，所述上调节板位于所述顶板的上方，并且所述下调节板位于所述顶板的下方，所述顶板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧均纵向设置有上下贯穿的第二滑动通孔，并且所述四组第二支撑滑柱的顶端分别与所述上调节板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组第二支撑滑柱的底端均自顶板的顶端分别可滑动穿过四组第二滑动通孔内部并伸出至顶板的底端外界，所述四组第二支撑滑柱的底端分别与所述下调节板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述上调节板的顶端中部设置有上下贯穿的第二调节通孔，并且所述第二调节丝杠的底端自上调节板的顶端穿过第二调节通孔内部并伸出至上调节板的底端外界与所述顶板的顶端连接，所述第二调节手轮的中部纵向设置有上下贯穿的第四螺纹通孔，并且所述第二调节手轮通过所述第四螺纹通孔螺装套设在所述第二调节丝杠的外部上侧，并且第二调节手轮的底端与所述上调节板的顶端接触，所述四组第三支撑滑柱的底端分别与所述压板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且所述下调节板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧均纵向设置有上下贯穿的第三滑动通孔，并且所述四组第三支撑滑柱的顶端自下调节板的底端分别可滑动穿过四组第三滑动通孔内部并伸出至下调节板的顶端外界，四组第三支撑滑柱的顶端均设置有挡板，所述四组压紧弹簧的顶端分别与所述下调节板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且四组压紧弹簧的底端分别与所述压板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述左前支撑杆和左后支撑杆的顶端分别设置在所述压板的左端中部，并且左前支撑杆的底端向前倾斜设置，左后支撑杆的底端向后倾斜设置，所述右前支撑杆和右后支撑杆的顶端分别设置在所述压板的右端中部，并且右前支撑杆的底端向前倾斜设置，右后支撑杆的底端向后倾斜设置，所述前支撑轴的左端与所述左前支撑杆的右端下侧连接，并且前支撑轴的右端与所述右前支撑杆左端的下侧连接，所述后支撑轴的左端与所述左后支撑杆的右端下侧连接，并且后支撑轴的右端与所述右后支撑杆左端的下侧连接，所述打磨砂带分别套装在所述前支撑轴和后支撑轴上。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括左固定板、右固定板、左前固定环、左后固定环、右前固定环、右后固定环、左前丝杆、左后丝杆、左前螺纹管、左后螺纹管、右前丝杆、右后丝杆、右前螺纹管和右后螺纹管，所述压板的左端中部设置有左旋轴，并且所述左前支撑杆和左后支撑杆的顶端均与所述左旋轴可转动连接，所述压板的右端中部设置有旋轴，并且所述右前支撑杆和右后支撑杆的顶端均与所述右旋轴可转动连接，所述左固定板的左端与所述左前支撑杆的右端中部连接，并且所述左前固定环的前端与所述左固定板的后端连接，所述左前丝杆的前端与所述左前固定环可旋转连接，并且所述左后固定环的后端与所述左后支撑杆的前端中部连接，并且所述左后丝杆的后端与所述左后固定环可旋转连接，所述左前丝杆的后端插入并螺装至左前螺纹管的前端内部，并且所述左后丝杆的前端插入并螺装至左后螺纹管的后端内部，所述左前螺纹管的后端与所述左后螺纹管的前端同心连接，所述左前丝杆和左后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，所述右固定板的右端与所述右前支撑杆的左端中部连接，并且所述右前固定环的前端与所述右固定板的后端连接，所述右前丝杆的前端与所述右前固定环可旋转连接，并且所述右后固定环的后端与所述右后支撑杆的前端中部连接，并且所述右后丝杆的后端与所述右后固定环可旋转连接，所述右前丝杆的后端插入并螺装至右前螺纹管的前端内部，并且所述右后丝杆的前端插入并螺装至右后螺纹管的后端内部，所述右前螺纹管的后端与所述右后螺纹管的前端同心连接，所述右前丝杆和右后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括左防滑圈和右防滑圈，所述左防滑圈固定套装在所述左前螺纹管和左后螺纹管外壁上，并且所述右防滑圈固定套装在所述右前螺纹管和右后螺纹管的外壁上。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括支板和肋板，所述支板的顶端与所述带动电机的底端接触，并且所述肋板的顶端与所述支板的底端连接，肋板的左端与所述右支撑板的右端连接。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括挡盘，所述挡盘的底端与所述第二调节丝杠的顶端连接。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括安装螺栓，所述第二调节丝杠的顶端中部设置有安装螺纹孔，并且所述挡盘的顶端中部设置有上下贯穿的沉头通孔，所述安装螺栓的底端自挡盘的顶端穿过沉头通孔内部插入并螺装至安装螺纹孔内部。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括废屑收集槽，所述废屑收集槽的底端与所述工作板顶端中部连接。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括四组防滑垫，所述四组防滑垫的顶端分别与所述工作板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。

与现有技术相比本发明的有益效果为：可以通过左夹紧圆盘和右夹紧圆盘，将硅晶柱的左端和右端分别横向插入至左圆形放置槽和右圆形放置槽内部，然后通过四组第一支撑弹簧分别与四组第一滑动通孔之间的滑动配合，使左调节板带动左夹紧圆盘可以沿着四组第一支撑滑柱的方向进行移动，通过第一调节手轮内部的第一螺纹通孔与第一调节丝杠之间的螺装配合，通过旋转第一调节手轮，使第一调节丝杠可以向第一调节手轮的右侧旋出，从而可以通过左支撑板的支撑，使第一调节丝杠可以在第一调节通孔内部向右伸出，转动第一调节手轮，使左夹紧圆盘可以向右移动，从而可以将硅晶柱横向夹紧在左圆形放置槽和右圆形放置槽内部，然后通过分别同步旋转四组第一夹紧螺栓，将四组第一夹紧螺栓的一端分别将硅晶柱左侧外部的前端、后端、上端和下端进行夹紧，并且将硅晶柱的左端调节至与圆形放置槽中心轴线同心的位置，同时通过分别同步旋转四组第二夹紧螺栓，将四组第二夹紧螺栓的一端分别将硅晶柱右侧外部的前端、后端、上端和下端进行夹紧，并且将硅晶柱的右端调节至与圆形放置槽中心轴线同心的位置，从而可以对硅晶柱进行同心夹紧调节，提高硅晶柱打磨直径的精确度，并且可以通过带动电机带动硅晶柱进行转动，使硅晶柱在转动过程中进行打磨，方便打磨操作，减少人为因素，导致其使用可靠性较低；并且可以通过打磨砂带的底端与硅晶柱的顶端全面贴紧，同时可以通过四组压紧弹簧的弹力，始终推动打磨砂带向下动作与硅晶柱的外部保持贴紧，同时可以通过四组第三支撑滑柱分别与四组第三滑动通孔之间的滑动配合，防止压板与下调节板之间发生相对晃动，使打磨砂带可以沿着四组第三支撑滑柱的方向进行向下移动调节，使打磨砂带对硅晶柱可以进行稳定打磨，并且可以通过旋转第二调节手轮，通过第二调节手轮内部的第二螺纹通孔与第二调节丝杠之间的螺装配合，转动第二调节手轮，使上调节板可以沿着四组第二支撑滑柱的方向向下移动，从而可以提高四组压紧弹簧的压缩量，提高四组压紧弹簧推动打磨砂带对硅晶柱的压紧效果，在带动电机的转动下，使硅晶柱可以在打磨砂带的压紧下进行圆周转动打磨，从而可以提高打磨面积，同时减轻人力，提高打磨效率，提高实用性。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明压板、左前支撑杆和打磨砂带等连接的左视结构示意图；

图3是本发明图1中A处的局部放大结构示意图；

图4是本发明图1中B处的局部放大结构示意图；

图5是本发明图1中C处的局部放大结构示意图；

图6是本发明图1中D处的局部放大结构示意图；

图7是本发明图2中E处的局部放大结构示意图；

附图中标记：1、工作板；2、左支撑板；3、顶板；4、左转轴；5、带动电机；6、左调节板；7、左夹紧圆盘；8、第一支撑滑柱；9、第一调节丝杠；10、第一调节手轮；11、第一夹紧螺栓；12、上调节板；13、第二支撑滑柱；14、第二调节丝杠；15、第二调节手轮；16、压板；17、左前支撑杆；18、前支撑轴；19、打磨砂带；20、第三支撑滑柱；21、压紧弹簧；22、左固定板；23、左前固定环；24、左前丝杆；25、左前螺纹管；26、左防滑圈；27、支板；28、肋板；29、挡盘；30、安装螺栓；31、废屑收集槽；32、防滑垫。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图7所示，本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，包括工作板1；包括左支撑板2、右支撑板、顶板3、左转轴4、右转轴、带动电机5、左调节板6、左夹紧圆盘7、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱8、第一调节丝杠9、第一调节手轮10、四组第一夹紧螺栓11和四组第二夹紧螺栓，左支撑板2和右支撑板的底端分别与工作板1顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板2和右支撑板的顶端分别与顶板3底端的左侧和右侧连接，左支撑板2左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧均横向设置有左右贯穿的第一滑动通孔，四组第一支撑滑柱8的右端均自左支撑板2的左端分别可滑动穿过四组第一滑动通孔内部并伸出至左支撑板2的右端外界，左调节板6位于左支撑板2的右侧，并且四组第一支撑滑柱8的右端分别与左调节板6左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧连接，左支撑板2的左端横向设置有第一调节通孔，并且第一调节通孔位于四组第一滑动通孔中部，第一调节丝杠9的右端自左支撑板2的左端横向穿过第一调节通孔内部并伸出至左支撑板2的右端外节与左调节板6的左端中部连接，第一调节手轮10中部横向设置有左右贯穿的第一螺纹通孔，并且第一调节手轮10通过第一螺纹通孔螺装套设在第一调节丝杠9的外部右侧，第一调节手轮10的左端与支撑板的右端接触，左调节板6的右端中部设置有调节槽，并且调节槽的固定设置有滚珠轴承，左转轴4的左端插入并固定安装至滚珠轴承内部，左夹紧圆盘7的左端与左转轴4的右端同心连接，左夹紧圆盘7的右端设置有左圆形放置槽，并且左圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第二螺纹通孔，四组第一夹紧螺栓11的一端分别自左夹紧圆盘7圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第二螺纹通孔内部并旋进至左圆形放置槽内部，并且四组第一夹紧螺栓11的一端均指向左圆形放置槽内部的中心轴线位置，带动电机5安装在右支撑板的右端中部，并且右转轴的右端自右支撑板的左端横向穿过右支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界与带动电机5的左部输出端同心连接，左转轴4和右转轴同心设置，右夹紧圆盘的右端与右转轴的左端同心连接，并且右夹紧圆盘的左端设置有右圆形放置槽，并且右圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第三螺纹通孔，四组第二夹紧螺栓的一端分别自右夹紧圆盘圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第三螺纹通孔内部并旋进至右圆形放置槽内部，并且四组第二夹紧螺栓的一端均指向右圆形放置槽内部的中心轴线位置；还包括上调节板12、下调节板、四组第二支撑滑柱13、第二调节丝杠14、第二调节手轮15、压板16、左前支撑杆17、左后支撑杆、右前支撑杆、右后支撑杆、前支撑轴18、后支撑轴、打磨砂带19、四组第三支撑滑柱20和四组压紧弹簧21，上调节板12位于顶板3的上方，并且下调节板位于顶板3的下方，顶板3顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧均纵向设置有上下贯穿的第二滑动通孔，并且四组第二支撑滑柱13的顶端分别与上调节板12底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组第二支撑滑柱13的底端均自顶板3的顶端分别可滑动穿过四组第二滑动通孔内部并伸出至顶板3的底端外界，四组第二支撑滑柱13的底端分别与下调节板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，上调节板12的顶端中部设置有上下贯穿的第二调节通孔，并且第二调节丝杠14的底端自上调节板12的顶端穿过第二调节通孔内部并伸出至上调节板12的底端外界与顶板3的顶端连接，第二调节手轮15的中部纵向设置有上下贯穿的第四螺纹通孔，并且第二调节手轮15通过第四螺纹通孔螺装套设在第二调节丝杠14的外部上侧，并且第二调节手轮15的底端与上调节板12的顶端接触，四组第三支撑滑柱20的底端分别与压板16顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且下调节板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧均纵向设置有上下贯穿的第三滑动通孔，并且四组第三支撑滑柱20的顶端自下调节板的底端分别可滑动穿过四组第三滑动通孔内部并伸出至下调节板的顶端外界，四组第三支撑滑柱20的顶端均设置有挡板，四组压紧弹簧21的顶端分别与下调节板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且四组压紧弹簧21的底端分别与压板16顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，左前支撑杆17和左后支撑杆的顶端分别设置在压板16的左端中部，并且左前支撑杆17的底端向前倾斜设置，左后支撑杆的底端向后倾斜设置，右前支撑杆和右后支撑杆的顶端分别设置在压板16的右端中部，并且右前支撑杆的底端向前倾斜设置，右后支撑杆的底端向后倾斜设置，前支撑轴18的左端与左前支撑杆17的右端下侧连接，并且前支撑轴18的右端与右前支撑杆左端的下侧连接，后支撑轴的左端与左后支撑杆的右端下侧连接，并且后支撑轴的右端与右后支撑杆左端的下侧连接，打磨砂带19分别套装在前支撑轴18和后支撑轴上；可以通过左夹紧圆盘和右夹紧圆盘，将硅晶柱的左端和右端分别横向插入至左圆形放置槽和右圆形放置槽内部，然后通过四组第一支撑弹簧分别与四组第一滑动通孔之间的滑动配合，使左调节板带动左夹紧圆盘可以沿着四组第一支撑滑柱的方向进行移动，通过第一调节手轮内部的第一螺纹通孔与第一调节丝杠之间的螺装配合，通过旋转第一调节手轮，使第一调节丝杠可以向第一调节手轮的右侧旋出，从而可以通过左支撑板的支撑，使第一调节丝杠可以在第一调节通孔内部向右伸出，转动第一调节手轮，使左夹紧圆盘可以向右移动，从而可以将硅晶柱横向夹紧在左圆形放置槽和右圆形放置槽内部，然后通过分别同步旋转四组第一夹紧螺栓，将四组第一夹紧螺栓的一端分别将硅晶柱左侧外部的前端、后端、上端和下端进行夹紧，并且将硅晶柱的左端调节至与圆形放置槽中心轴线同心的位置，同时通过分别同步旋转四组第二夹紧螺栓，将四组第二夹紧螺栓的一端分别将硅晶柱右侧外部的前端、后端、上端和下端进行夹紧，并且将硅晶柱的右端调节至与圆形放置槽中心轴线同心的位置，从而可以对硅晶柱进行同心夹紧调节，提高硅晶柱打磨直径的精确度，并且可以通过带动电机带动硅晶柱进行转动，使硅晶柱在转动过程中进行打磨，方便打磨操作，减少人为因素，导致其使用可靠性较低；并且可以通过打磨砂带的底端与硅晶柱的顶端全面贴紧，同时可以通过四组压紧弹簧的弹力，始终推动打磨砂带向下动作与硅晶柱的外部保持贴紧，同时可以通过四组第三支撑滑柱分别与四组第三滑动通孔之间的滑动配合，防止压板与下调节板之间发生相对晃动，使打磨砂带可以沿着四组第三支撑滑柱的方向进行向下移动调节，使打磨砂带对硅晶柱可以进行稳定打磨，并且可以通过旋转第二调节手轮，通过第二调节手轮内部的第二螺纹通孔与第二调节丝杠之间的螺装配合，转动第二调节手轮，使上调节板可以沿着四组第二支撑滑柱的方向向下移动，从而可以提高四组压紧弹簧的压缩量，提高四组压紧弹簧推动打磨砂带对硅晶柱的压紧效果，在带动电机的转动下，使硅晶柱可以在打磨砂带的压紧下进行圆周转动打磨，从而可以提高打磨面积，同时减轻人力，提高打磨效率，提高实用性。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括左固定板22、右固定板、左前固定环23、左后固定环、右前固定环、右后固定环、左前丝杆24、左后丝杆、左前螺纹管25、左后螺纹管、右前丝杆、右后丝杆、右前螺纹管和右后螺纹管，压板16的左端中部设置有左旋轴，并且左前支撑杆17和左后支撑杆的顶端均与左旋轴可转动连接，压板16的右端中部设置有旋轴，并且右前支撑杆和右后支撑杆的顶端均与右旋轴可转动连接，左固定板22的左端与左前支撑杆17的右端中部连接，并且左前固定环23的前端与左固定板22的后端连接，左前丝杆24的前端与左前固定环23可旋转连接，并且左后固定环的后端与左后支撑杆的前端中部连接，并且左后丝杆的后端与左后固定环可旋转连接，左前丝杆24的后端插入并螺装至左前螺纹管25的前端内部，并且左后丝杆的前端插入并螺装至左后螺纹管的后端内部，左前螺纹管25的后端与左后螺纹管的前端同心连接，左前丝杆24和左后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，右固定板的右端与右前支撑杆的左端中部连接，并且右前固定环的前端与右固定板的后端连接，右前丝杆的前端与右前固定环可旋转连接，并且右后固定环的后端与右后支撑杆的前端中部连接，并且右后丝杆的后端与右后固定环可旋转连接，右前丝杆的后端插入并螺装至右前螺纹管的前端内部，并且右后丝杆的前端插入并螺装至右后螺纹管的后端内部，右前螺纹管的后端与右后螺纹管的前端同心连接，右前丝杆和右后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置；可以通过左前丝杆和左后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，同时通过左前螺纹管和左后螺纹管分别与左前丝杆和左后丝杆之间的螺装配合，同时转动左前螺纹管和左后螺纹管，使左前丝杆和左后丝杆可以分别同时在左前螺纹管和左后螺纹管内部进行旋进和旋出，从而可以调节左前支撑杆和左后支撑杆之间的角度，同时可以通过右前丝杆和右后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，同时通过右前螺纹管和右后螺纹管分别与右前丝杆和右后丝杆之间的螺装配合，同时转动右前螺纹管和右后螺纹管，使右前丝杆和右后丝杆可以分别同时在右前螺纹管和右后螺纹管内部进行旋进和旋出，从而可以调节右前支撑杆和右后支撑杆之间的角度，从而可以方便调节前支撑轴和后支撑轴对打磨砂带的支撑效果，将打磨砂带进行撑紧，防止打磨砂带与前支撑轴和后支撑轴之间发生相对滑动，提高打磨砂带的使用可靠性。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括左防滑圈26和右防滑圈，左防滑圈26固定套装在左前螺纹管25和左后螺纹管外壁上，并且右防滑圈固定套装在右前螺纹管和右后螺纹管的外壁上；可以通过左防滑圈提高摩擦力，方便人手对左前螺纹管和左后螺纹管的转动调节，同时可以通过右防滑圈提高摩擦力，方便人手对右前螺纹管和右后螺纹管的转动调节，操作方便，提高实用性。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括支板27和肋板28，支板27的顶端与带动电机5的底端接触，并且肋板28的顶端与支板27的底端连接，肋板28的左端与右支撑板的右端连接；可以通过支板和肋板提高对带动电机的支撑能力。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括挡盘29，挡盘29的底端与第二调节丝杠14的顶端连接；可以通过挡盘防止第二调节手轮自第二支撑丝杠的顶端旋出，从而可以防止打磨砂带等部件整体与顶板之间发生掉落，提高使用可靠性。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括安装螺栓30，第二调节丝杠14的顶端中部设置有安装螺纹孔，并且挡盘29的顶端中部设置有上下贯穿的沉头通孔，安装螺栓30的底端自挡盘29的顶端穿过沉头通孔内部插入并螺装至安装螺纹孔内部；可以通过安装螺栓与安装螺纹孔之间的螺装配合，方便挡盘的安装和拆卸，从而可以方便打磨砂带等部件整体与顶板之间进行拆卸和安装，方便维修，提高实用性。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括废屑收集槽31，废屑收集槽31的底端与工作板1顶端中部连接；可以通过废屑收集槽方便将硅晶柱打磨过程中产生的废屑进行收集，提高实用性。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，还包括四组防滑垫32，四组防滑垫32的顶端分别与工作板1底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接；可以通过四组防滑垫提高整体的防滑稳定能力。

本发明的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其在工作时，可以通过左夹紧圆盘和右夹紧圆盘，将硅晶柱的左端和右端分别横向插入至左圆形放置槽和右圆形放置槽内部，然后通过四组第一支撑弹簧分别与四组第一滑动通孔之间的滑动配合，使左调节板带动左夹紧圆盘可以沿着四组第一支撑滑柱的方向进行移动，通过第一调节手轮内部的第一螺纹通孔与第一调节丝杠之间的螺装配合，通过旋转第一调节手轮，使第一调节丝杠可以向第一调节手轮的右侧旋出，从而可以通过左支撑板的支撑，使第一调节丝杠可以在第一调节通孔内部向右伸出，转动第一调节手轮，使左夹紧圆盘可以向右移动，从而可以将硅晶柱横向夹紧在左圆形放置槽和右圆形放置槽内部，然后通过分别同步旋转四组第一夹紧螺栓，将四组第一夹紧螺栓的一端分别将硅晶柱左侧外部的前端、后端、上端和下端进行夹紧，并且将硅晶柱的左端调节至与圆形放置槽中心轴线同心的位置，同时通过分别同步旋转四组第二夹紧螺栓，将四组第二夹紧螺栓的一端分别将硅晶柱右侧外部的前端、后端、上端和下端进行夹紧，并且将硅晶柱的右端调节至与圆形放置槽中心轴线同心的位置，从而可以对硅晶柱进行同心夹紧调节，提高硅晶柱打磨直径的精确度，并且可以通过带动电机带动硅晶柱进行转动，使硅晶柱在转动过程中进行打磨，并且可以通过打磨砂带的底端与硅晶柱的顶端全面贴紧，同时可以通过四组压紧弹簧的弹力，始终推动打磨砂带向下动作与硅晶柱的外部保持贴紧，同时可以通过四组第三支撑滑柱分别与四组第三滑动通孔之间的滑动配合，防止压板与下调节板之间发生相对晃动，使打磨砂带可以沿着四组第三支撑滑柱的方向进行向下移动调节，使打磨砂带对硅晶柱可以进行稳定打磨，并且可以通过旋转第二调节手轮，通过第二调节手轮内部的第二螺纹通孔与第二调节丝杠之间的螺装配合，转动第二调节手轮，使上调节板可以沿着四组第二支撑滑柱的方向向下移动，从而可以提高四组压紧弹簧的压缩量，提高四组压紧弹簧推动打磨砂带对硅晶柱的压紧效果，在带动电机的转动下，使硅晶柱可以在打磨砂带的压紧下进行圆周转动打磨，通过左前丝杆和左后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，同时通过左前螺纹管和左后螺纹管分别与左前丝杆和左后丝杆之间的螺装配合，同时转动左前螺纹管和左后螺纹管，使左前丝杆和左后丝杆可以分别同时在左前螺纹管和左后螺纹管内部进行旋进和旋出，从而可以调节左前支撑杆和左后支撑杆之间的角度，同时可以通过右前丝杆和右后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，同时通过右前螺纹管和右后螺纹管分别与右前丝杆和右后丝杆之间的螺装配合，同时转动右前螺纹管和右后螺纹管，使右前丝杆和右后丝杆可以分别同时在右前螺纹管和右后螺纹管内部进行旋进和旋出，从而可以调节右前支撑杆和右后支撑杆之间的角度，从而可以方便调节前支撑轴和后支撑轴对打磨砂带的支撑效果，将打磨砂带进行撑紧，防止打磨砂带与前支撑轴和后支撑轴之间发生相对滑动，通过左防滑圈提高摩擦力，方便人手对左前螺纹管和左后螺纹管的转动调节，同时可以通过右防滑圈提高摩擦力，方便人手对右前螺纹管和右后螺纹管的转动调节，通过支板和肋板提高对带动电机的支撑能力，通过挡盘防止第二调节手轮自第二支撑丝杠的顶端旋出，从而可以防止打磨砂带等部件整体与顶板之间发生掉落，通过安装螺栓与安装螺纹孔之间的螺装配合，方便挡盘的安装和拆卸，从而可以方便打磨砂带等部件整体与顶板之间进行拆卸和安装，通过废屑收集槽方便将硅晶柱打磨过程中产生的废屑进行收集，通过四组防滑垫提高整体的防滑稳定能力即可。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种晶圆生产用外径滚磨装置，包括工作板（1）；其特征在于，包括左支撑板（2）、右支撑板、顶板（3）、左转轴（4）、右转轴、带动电机（5）、左调节板（6）、左夹紧圆盘（7）、右夹紧圆盘、四组第一支撑滑柱（8）、第一调节丝杠（9）、第一调节手轮（10）、四组第一夹紧螺栓（11）和四组第二夹紧螺栓，所述左支撑板（2）和右支撑板的底端分别与所述工作板（1）顶端的左侧和右侧连接，并且左支撑板（2）和右支撑板的顶端分别与所述顶板（3）底端的左侧和右侧连接，所述左支撑板（2）左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧均横向设置有左右贯穿的第一滑动通孔，所述四组第一支撑滑柱（8）的右端均自左支撑板（2）的左端分别可滑动穿过四组第一滑动通孔内部并伸出至左支撑板（2）的右端外界，所述左调节板（6）位于所述左支撑板（2）的右侧，并且所述四组第一支撑滑柱（8）的右端分别与所述左调节板（6）左端的上前侧、上后侧、下前侧和下后侧连接，所述左支撑板（2）的左端横向设置有第一调节通孔，并且所述第一调节通孔位于所述四组第一滑动通孔中部，所述第一调节丝杠（9）的右端自左支撑板（2）的左端横向穿过第一调节通孔内部并伸出至左支撑板（2）的右端外节与所述左调节板（6）的左端中部连接，所述第一调节手轮（10）中部横向设置有左右贯穿的第一螺纹通孔，并且第一调节手轮（10）通过第一螺纹通孔螺装套设在第一调节丝杠（9）的外部右侧，第一调节手轮（10）的左端与所述支撑板的右端接触，左调节板（6）的右端中部设置有调节槽，并且调节槽的固定设置有滚珠轴承，所述左转轴（4）的左端插入并固定安装至滚珠轴承内部，所述左夹紧圆盘（7）的左端与所述左转轴（4）的右端同心连接，所述左夹紧圆盘（7）的右端设置有左圆形放置槽，并且左圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第二螺纹通孔，所述四组第一夹紧螺栓（11）的一端分别自左夹紧圆盘（7）圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第二螺纹通孔内部并旋进至左圆形放置槽内部，并且四组第一夹紧螺栓（11）的一端均指向左圆形放置槽内部的中心轴线位置，所述带动电机（5）安装在所述右支撑板的右端中部，并且所述右转轴的右端自右支撑板的左端横向穿过右支撑板的内部并伸出至右支撑板的右端外界与所述带动电机（5）的左部输出端同心连接，所述左转轴（4）和右转轴同心设置，所述右夹紧圆盘的右端与所述右转轴的左端同心连接，并且右夹紧圆盘的左端设置有右圆形放置槽，并且右圆形放置槽圆周内侧壁的顶端、底端、前端和后端均设置有与外界相通的第三螺纹通孔，所述四组第二夹紧螺栓的一端分别自右夹紧圆盘圆周外壁的顶端、底端、前端和后端分别螺装穿过四组第三螺纹通孔内部并旋进至右圆形放置槽内部，并且四组第二夹紧螺栓的一端均指向右圆形放置槽内部的中心轴线位置；还包括上调节板（12）、下调节板、四组第二支撑滑柱（13）、第二调节丝杠（14）、第二调节手轮（15）、压板（16）、左前支撑杆（17）、左后支撑杆、右前支撑杆、右后支撑杆、前支撑轴（18）、后支撑轴、打磨砂带（19）、四组第三支撑滑柱（20）和四组压紧弹簧（21），所述上调节板（12）位于所述顶板（3）的上方，并且所述下调节板位于所述顶板（3）的下方，所述顶板（3）顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧均纵向设置有上下贯穿的第二滑动通孔，并且所述四组第二支撑滑柱（13）的顶端分别与所述上调节板（12）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，四组第二支撑滑柱（13）的底端均自顶板（3）的顶端分别可滑动穿过四组第二滑动通孔内部并伸出至顶板（3）的底端外界，所述四组第二支撑滑柱（13）的底端分别与所述下调节板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述上调节板（12）的顶端中部设置有上下贯穿的第二调节通孔，并且所述第二调节丝杠（14）的底端自上调节板（12）的顶端穿过第二调节通孔内部并伸出至上调节板（12）的底端外界与所述顶板（3）的顶端连接，所述第二调节手轮（15）的中部纵向设置有上下贯穿的第四螺纹通孔，并且所述第二调节手轮（15）通过所述第四螺纹通孔螺装套设在所述第二调节丝杠（14）的外部上侧，并且第二调节手轮（15）的底端与所述上调节板（12）的顶端接触，所述四组第三支撑滑柱（20）的底端分别与所述压板（16）顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且所述下调节板顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧均纵向设置有上下贯穿的第三滑动通孔，并且所述四组第三支撑滑柱（20）的顶端自下调节板的底端分别可滑动穿过四组第三滑动通孔内部并伸出至下调节板的顶端外界，四组第三支撑滑柱（20）的顶端均设置有挡板，所述四组压紧弹簧（21）的顶端分别与所述下调节板底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且四组压紧弹簧（21）的底端分别与所述压板（16）顶端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，所述左前支撑杆（17）和左后支撑杆的顶端分别设置在所述压板（16）的左端中部，并且左前支撑杆（17）的底端向前倾斜设置，左后支撑杆的底端向后倾斜设置，所述右前支撑杆和右后支撑杆的顶端分别设置在所述压板（16）的右端中部，并且右前支撑杆的底端向前倾斜设置，右后支撑杆的底端向后倾斜设置，所述前支撑轴（18）的左端与所述左前支撑杆（17）的右端下侧连接，并且前支撑轴（18）的右端与所述右前支撑杆左端的下侧连接，所述后支撑轴的左端与所述左后支撑杆的右端下侧连接，并且后支撑轴的右端与所述右后支撑杆左端的下侧连接，所述打磨砂带（19）分别套装在所述前支撑轴（18）和后支撑轴上。

2.如权利要求1所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括左固定板（22）、右固定板、左前固定环（23）、左后固定环、右前固定环、右后固定环、左前丝杆（24）、左后丝杆、左前螺纹管（25）、左后螺纹管、右前丝杆、右后丝杆、右前螺纹管和右后螺纹管，所述压板（16）的左端中部设置有左旋轴，并且所述左前支撑杆（17）和左后支撑杆的顶端均与所述左旋轴可转动连接，所述压板（16）的右端中部设置有旋轴，并且所述右前支撑杆和右后支撑杆的顶端均与所述右旋轴可转动连接，所述左固定板（22）的左端与所述左前支撑杆（17）的右端中部连接，并且所述左前固定环（23）的前端与所述左固定板（22）的后端连接，所述左前丝杆（24）的前端与所述左前固定环（23）可旋转连接，并且所述左后固定环的后端与所述左后支撑杆的前端中部连接，并且所述左后丝杆的后端与所述左后固定环可旋转连接，所述左前丝杆（24）的后端插入并螺装至左前螺纹管（25）的前端内部，并且所述左后丝杆的前端插入并螺装至左后螺纹管的后端内部，所述左前螺纹管（25）的后端与所述左后螺纹管的前端同心连接，所述左前丝杆（24）和左后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置，所述右固定板的右端与所述右前支撑杆的左端中部连接，并且所述右前固定环的前端与所述右固定板的后端连接，所述右前丝杆的前端与所述右前固定环可旋转连接，并且所述右后固定环的后端与所述右后支撑杆的前端中部连接，并且所述右后丝杆的后端与所述右后固定环可旋转连接，所述右前丝杆的后端插入并螺装至右前螺纹管的前端内部，并且所述右后丝杆的前端插入并螺装至右后螺纹管的后端内部，所述右前螺纹管的后端与所述右后螺纹管的前端同心连接，所述右前丝杆和右后丝杆的外部螺纹的螺纹旋向相反设置。

3.如权利要求2所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括左防滑圈（26）和右防滑圈，所述左防滑圈（26）固定套装在所述左前螺纹管（25）和左后螺纹管外壁上，并且所述右防滑圈固定套装在所述右前螺纹管和右后螺纹管的外壁上。

4.如权利要求3所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括支板（27）和肋板（28），所述支板（27）的顶端与所述带动电机（5）的底端接触，并且所述肋板（28）的顶端与所述支板（27）的底端连接，肋板（28）的左端与所述右支撑板的右端连接。

5.如权利要求4所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括挡盘（29），所述挡盘（29）的底端与所述第二调节丝杠（14）的顶端连接。

6.如权利要求5所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括安装螺栓（30），所述第二调节丝杠（14）的顶端中部设置有安装螺纹孔，并且所述挡盘（29）的顶端中部设置有上下贯穿的沉头通孔，所述安装螺栓（30）的底端自挡盘（29）的顶端穿过沉头通孔内部插入并螺装至安装螺纹孔内部。

7.如权利要求6所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括废屑收集槽（31），所述废屑收集槽（31）的底端与所述工作板（1）顶端中部连接。

8.如权利要求7所述的一种晶圆生产用外径滚磨装置，其特征在于，还包括四组防滑垫（32），所述四组防滑垫（32）的顶端分别与所述工作板（1）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接。