CN108890511A - 一种晶圆抛光设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及晶圆制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆抛光设备，方便进行高度调节；容易进行横向移动；电动打磨；包括工作台、夹紧设备和一组抛光轮；还包括下底座、上底座、上螺纹杆、上固定块、下固定块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、一组上固定销、一组下固定销、左固定销、右固定销、过渡杆、长方体柱、卡紧环和圆环；还包括垫板、一组滑块、一组滚珠、下螺纹杆、左支撑杆、右支撑杆、把手、左限位板和右限位板；还包括上支架、一组下支架、第一传动轴、第二传动轴、第三传动轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和一组左支架。

Description

一种晶圆抛光设备

技术领域

本发明涉及晶圆制造附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆抛光设备。

背景技术

众所周知，晶圆抛光设备是一种用于降低晶圆表面粗糙度的设备，其在晶圆制造的领域中得到了广泛的使用；现有的晶圆抛光设备包括工作台、夹紧设备和抛光轮，夹紧设备顶侧壁与工作台顶侧壁连接，抛光轮位于工作台上方；现有的晶圆抛光设备使用时，使用者将夹紧设备安装在工作台上，使用夹紧设备将需抛光物品夹紧，使用抛光轮打磨即可；现有的晶圆抛光设备使用中发现，较难根据使用者身高进行高度调节，使用局限性较高；不方便进行横向移动，使用便捷性较差；使用者需人工打磨，动作效率较低。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种方便进行高度调节，降低使用局限性；容易进行横向移动，提高使用便捷性；电动打磨，提高工作效率的晶圆抛光设备。

本发明的一种晶圆抛光设备，包括工作台、夹紧设备和一组抛光轮，夹紧设备顶侧壁与工作台顶侧壁连接，一组抛光轮均位于工作台上方；还包括下底座、上底座、上螺纹杆、上固定块、下固定块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆、第四连接杆、一组上固定销、一组下固定销、左固定销、右固定销、过渡杆、长方体柱、卡紧环和圆环，所述下底座顶侧壁和工作台底侧壁连接，所述上固定块顶侧壁和下固定块底侧壁分别与上底座底侧壁和下底座顶侧壁连接，所述上固定块底侧壁和下固定块顶侧壁分别设置有上放置槽和下放置槽，上放置槽与上固定块左侧壁和右侧壁连通，下放置槽与下固定块左侧壁和右侧壁连通，所述下固定块左半区域和右半区域分别设置有一组下放置孔，一组下放置孔均与下放置槽连通，所述第三连接杆右侧壁和第四连接杆左侧壁分别设置有第一连接槽和第二连接槽，第一连接槽与第三连接杆顶侧壁和底侧壁连通，第二连接槽与第四连接杆顶侧壁和底侧壁连接，所述第三连接杆与第四连接杆上半区域和下半区域分别设置有一组上固定孔和一组下固定孔，所述一组下固定销分别穿过一组下放置孔和一组下固定孔，所述上固定块左半区域和右半区域分别设置有一组上放置孔，一组上放置孔均与上放置槽连通，所述第一连接杆右侧壁和第二连接杆左侧壁分别设置有第三连接槽和第四连接槽，第三连接槽与第一连接杆顶侧壁和底侧壁连通，第四连接槽与第二连接杆顶侧壁和底侧壁连通，所述第一连接杆与第二连接杆上半区域和下半区域分别设置有一组上紧固孔和一组下紧固孔，所述一组上固定销分别穿过一组上紧固孔和一组上放置孔，所述左固定销和右固定销分别穿过一组下紧固孔和一组上固定孔，所述左固定销和右固定销中央区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔，左伸缩孔内侧壁上设置有与上螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，所述上螺纹杆螺装穿过左固定销，所述过渡杆左侧壁与上螺纹杆右侧壁连接，所述过渡杆右侧壁上设置有四边形槽，所述长方体柱右侧壁与圆环左侧壁连接，所述长方体柱左端插入到四边形槽内，所述卡紧环内侧壁与过渡杆右半区域连接，卡紧环左侧壁与右固定销右侧壁接触；还包括垫板、一组滑块、一组滚珠、下螺纹杆、左支撑杆、右支撑杆、把手、左限位板和右限位板，所述垫板位于下底座下方，所述一组滑块底侧壁分别与垫板顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述下底座底侧壁设置有一组方形槽，一组方形槽顶侧壁分别设置有一组上弧形槽，所述一组滑块顶侧壁设置有一组下弧形槽，一组滑块上半区域分别插入到一组方形槽内，所述一组滚珠分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，所述左支撑杆和右支撑杆底侧壁分别与下底座顶侧壁右端和垫块顶侧壁右端连接，所述左支撑杆中央区域和右支撑杆上半区域分别设置有左支撑孔和右支撑孔，右支撑孔内侧壁上设置有与下螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，所述下支撑杆螺装穿过右支撑孔，下支撑杆穿过左支撑孔，所述下螺纹杆左侧壁与左限位板右侧壁中央区域连接，所述右限位板中央区域横向设置有衔接孔，所述右限位挡板内侧壁与下螺纹杆左半区域外侧壁连接，所述把手底侧壁与下螺纹杆外侧壁右端连接；还包括上支架、一组下支架、第一传动轴、第二传动轴、第三传动轴、第一齿轮、第二齿轮、第三齿轮和一组左支架，所述一组下支架顶侧壁分别与上支架底侧壁左端和右端连接，所述上支架上方设置有电机，所述一组左支架左侧壁和右侧壁分别与电机外侧壁和上支架顶侧壁连接，所述上支架顶侧壁设置有一组抛光槽，所述上支架纵向设置有一组抛光孔，一组抛光孔分别与一组抛光槽连通，所述上支架中央区域纵向设置有贯穿孔，所述第一传动轴安装在电机输出端，第一传动轴底侧壁穿过贯穿孔，所述第一传动轴中央区域设置有第一齿轮，第一齿轮内侧壁与第一传动轴外侧壁连接，所述一组抛光槽内分别设置有一组滚珠轴承，所述第二传动轴和第三传动轴顶端分别穿过一组滚珠轴承，并且第二传动轴和第三传动轴顶端分别与一组滚珠轴承键连接，所述第二传动轴和第三传动轴上半区域分别设置有第二齿轮和第三齿轮，第二齿轮和第三齿轮内侧壁分别与第二传动轴和第三传动轴外侧壁连接，所述第二齿轮和第三齿轮均与第一齿轮啮合连接，所述一组抛光轮分别安装在第二传动轴和第三传动轴底部。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组保护盖，所述一组保护盖底侧壁均与上支架顶侧壁接触，一组保护盖中央区域分别纵向设置有一组加油孔。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组加长球和加长杆，所述加长杆穿过圆环内部，所述一组加长球分别安装在加长杆前端和后端。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组挡块，所述一组挡块分别安装在左固定销、右固定销、一组上固定销和一组下固定销前端和后端。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组阻隔块，所述一组阻隔块分别安装在一组方形槽顶侧壁上。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括夹紧螺母，所述夹紧螺母螺装至上螺纹杆左半区域。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括防滑垫，所述防滑垫安装在把手外侧壁上。

本发明的一种晶圆抛光设备，所述垫块左半区域和右半区域分别纵向设置有一组连接孔。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括吸风管和抽风机，所述吸风管输入端设置在工作台上方，所述抽风机输入端与吸风管输出端连通。

与现有技术相比本发明的有益效果为：上底座支撑工作台，上底座与上固定块连接，从而上底座可随上固定块运动，下底座与下固定块连接，下底座对下固定块起支撑作用，一组上固定销分别穿过第一连接杆与上固定块和第二连接杆与上固定块，从而第一连接杆和第二连接杆可分别以一组上固定销为中心轴转动，一组下固定销分别穿过第三连接杆与下固定块和第四连接杆与下固定块，从而第三连接杆和第四连接杆可以分别以一组下固定销为中心轴转动，左固定销穿过第一连接杆和第三连接杆，从而第一连接杆和第三连接杆可以以左固定销为中心轴转动，右固定销穿过第三连接杆和第四连接杆，从而第三连接杆和第四连接杆可以以右固定销为中心轴转动，上螺纹杆螺装穿过左固定销和右固定销，在上螺纹杆外螺纹和左固定销与右固定销内螺纹的作用下，上固定块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆的位置不会发生变化，四方形柱卡装在四边形槽内，四方形柱与圆环连接，当需要调节高度时，使用者通过转动圆环来旋转过渡杆和上螺纹杆，在外螺纹和内螺纹咬合的作用下，穿过左固定销的上螺纹杆距离会变化，卡紧环与右固定销紧密接触，变化过程中，第一连接杆与第三连接杆之间的夹角会发生变化，从而使上固定块产生纵向位移，方便进行高度调节，降低使用局限性；垫板起支撑作用，一组滑块安装在垫板上，一组滑块顶侧壁上分别设置有一组下弧形槽，上底座设置有一组方形槽，并且一组方形槽顶侧壁上设置有一组上弧形槽，一组滑块分别插入到一组方形槽内，一组滚珠分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，一组滚珠减小上底座移动时与一组滑块的摩擦力，左支撑杆和右支撑杆分别与下底座和垫板连接，并且下螺纹杆螺装穿过右支撑杆，需要移动下底座时，使用者抓住把手旋转下螺纹杆，下螺纹杆会向左或向右移动，当左限位板或右限位板与左支撑杆紧密接触时，继续旋转下螺纹杆，在右支撑杆的支撑下，下底座可向右或向左运动，容易进行横向移动，提高使用便捷性；一组下支架底端均与地面连接，提高稳定性，电机通过一组左支架固定在上支架上，使用者将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第一传动轴转动，进而带动第一齿轮转动，第二传动轴和第三传动轴分别与一组滚珠轴承键连接，第二传动轴和第三传动轴可转动，第二齿轮和第三齿轮均与第一齿轮啮合连接，第一齿轮转动过程中，带动第二齿轮和第三齿轮转动，从而带动第二传动轴和第三传动轴转动，进而带动一组抛光轮转动，电动打磨，提高工作效率。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是图1中A部的局部放大图；

图3是下底座、垫板、一组滑块、一组滚珠和阻隔块连接示意右视图；

图4是上固定块右视图；

图5是第三连接杆右视图；

图6是加长球和加长杆的连接示意俯视图；

附图中标记：1、工作台；2、夹紧设备；3、抛光轮；4、下底座；5、上底座；6、上螺纹杆；7、上固定块；8、下固定块；9、第一连接杆；10、第二连接杆；11、第三连接杆；12、第四连接杆；13、上固定销；14、下固定销；15、左固定销；16、右固定销；17、过渡杆；18、长方体柱；19、卡紧环；20、圆环；21、垫板；22、滑块；23、滚珠；24、下螺纹杆；25、左支撑杆；26、右支撑杆；27、把手；28、左限位板；29、右限位板；30、上支架；31、下支架；32、第一传动轴；33、第二传动轴；34、第三传动轴；35、第一齿轮；36、第二齿轮；37、第三齿轮；38、左支架；39、电机；40、滚珠轴承；41、保护盖；42、加长球；43、加长杆；44、挡块；45、阻隔块；46、夹紧螺母；47、防滑垫；48、吸风管；49、抽风机。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1至图6所示，本发明的一种晶圆抛光设备，包括工作台1、夹紧设备2和一组抛光轮3，夹紧设备顶侧壁与工作台顶侧壁连接，一组抛光轮均位于工作台上方；还包括下底座4、上底座5、上螺纹杆6、上固定块7、下固定块8、第一连接杆9、第二连接杆10、第三连接杆11、第四连接杆12、一组上固定销13、一组下固定销14、左固定销15、右固定销16、过渡杆17、长方体柱18、卡紧环19和圆环20，下底座顶侧壁和工作台底侧壁连接，上固定块顶侧壁和下固定块底侧壁分别与上底座底侧壁和下底座顶侧壁连接，上固定块底侧壁和下固定块顶侧壁分别设置有上放置槽和下放置槽，上放置槽与上固定块左侧壁和右侧壁连通，下放置槽与下固定块左侧壁和右侧壁连通，下固定块左半区域和右半区域分别设置有一组下放置孔，一组下放置孔均与下放置槽连通，第三连接杆右侧壁和第四连接杆左侧壁分别设置有第一连接槽和第二连接槽，第一连接槽与第三连接杆顶侧壁和底侧壁连通，第二连接槽与第四连接杆顶侧壁和底侧壁连接，第三连接杆与第四连接杆上半区域和下半区域分别设置有一组上固定孔和一组下固定孔，一组下固定销分别穿过一组下放置孔和一组下固定孔，上固定块左半区域和右半区域分别设置有一组上放置孔，一组上放置孔均与上放置槽连通，第一连接杆右侧壁和第二连接杆左侧壁分别设置有第三连接槽和第四连接槽，第三连接槽与第一连接杆顶侧壁和底侧壁连通，第四连接槽与第二连接杆顶侧壁和底侧壁连通，第一连接杆与第二连接杆上半区域和下半区域分别设置有一组上紧固孔和一组下紧固孔，一组上固定销分别穿过一组上紧固孔和一组上放置孔，左固定销和右固定销分别穿过一组下紧固孔和一组上固定孔，左固定销和右固定销中央区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔，左伸缩孔内侧壁上设置有与上螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，上螺纹杆螺装穿过左固定销，过渡杆左侧壁与上螺纹杆右侧壁连接，过渡杆右侧壁上设置有四边形槽，长方体柱右侧壁与圆环左侧壁连接，长方体柱左端插入到四边形槽内，卡紧环内侧壁与过渡杆右半区域连接，卡紧环左侧壁与右固定销右侧壁接触；还包括垫板21、一组滑块22、一组滚珠23、下螺纹杆24、左支撑杆25、右支撑杆26、把手27、左限位板28和右限位板29，垫板位于下底座下方，一组滑块底侧壁分别与垫板顶侧壁前半区域和后半区域连接，下底座底侧壁设置有一组方形槽，一组方形槽顶侧壁分别设置有一组上弧形槽，一组滑块顶侧壁设置有一组下弧形槽，一组滑块上半区域分别插入到一组方形槽内，一组滚珠分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，左支撑杆和右支撑杆底侧壁分别与下底座顶侧壁右端和垫块顶侧壁右端连接，左支撑杆中央区域和右支撑杆上半区域分别设置有左支撑孔和右支撑孔，右支撑孔内侧壁上设置有与下螺纹杆外螺纹相对应的内螺纹，下支撑杆螺装穿过右支撑孔，下支撑杆穿过左支撑孔，下螺纹杆左侧壁与左限位板右侧壁中央区域连接，右限位板中央区域横向设置有衔接孔，右限位挡板内侧壁与下螺纹杆左半区域外侧壁连接，把手底侧壁与下螺纹杆外侧壁右端连接；还包括上支架30、一组下支架31、第一传动轴32、第二传动轴33、第三传动轴34、第一齿轮35、第二齿轮36、第三齿轮37和一组左支架38，一组下支架顶侧壁分别与上支架底侧壁左端和右端连接，上支架上方设置有电机39，一组左支架左侧壁和右侧壁分别与电机外侧壁和上支架顶侧壁连接，上支架顶侧壁设置有一组抛光槽，上支架纵向设置有一组抛光孔，一组抛光孔分别与一组抛光槽连通，上支架中央区域纵向设置有贯穿孔，第一传动轴安装在电机输出端，第一传动轴底侧壁穿过贯穿孔，第一传动轴中央区域设置有第一齿轮，第一齿轮内侧壁与第一传动轴外侧壁连接，一组抛光槽分别内设置有一组滚珠轴承40，第二传动轴和第三传动轴顶端分别穿过一组滚珠轴承，并且第二传动轴和第三传动轴顶端分别与一组滚珠轴承键连接，第二传动轴和第三传动轴上半区域分别设置有第二齿轮和第三齿轮，第二齿轮和第三齿轮内侧壁分别与第二传动轴和第三传动轴外侧壁连接，第二齿轮和第三齿轮均与第一齿轮啮合连接，一组抛光轮分别安装在第二传动轴和第三传动轴底部；上底座支撑工作台，上底座与上固定块连接，从而上底座可随上固定块运动，下底座与下固定块连接，下底座对下固定块起支撑作用，一组上固定销分别穿过第一连接杆与上固定块和第二连接杆与上固定块，从而第一连接杆和第二连接杆可分别以一组上固定销为中心轴转动，一组下固定销分别穿过第三连接杆与下固定块和第四连接杆与下固定块，从而第三连接杆和第四连接杆可以分别以一组下固定销为中心轴转动，左固定销穿过第一连接杆和第三连接杆，从而第一连接杆和第三连接杆可以以左固定销为中心轴转动，右固定销穿过第三连接杆和第四连接杆，从而第三连接杆和第四连接杆可以以右固定销为中心轴转动，上螺纹杆螺装穿过左固定销和右固定销，在上螺纹杆外螺纹和左固定销与右固定销内螺纹的作用下，上固定块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆的位置不会发生变化，四方形柱卡装在四边形槽内，四方形柱与圆环连接，当需要调节高度时，使用者通过转动圆环来旋转过渡杆和上螺纹杆，在外螺纹和内螺纹咬合的作用下，穿过左固定销的上螺纹杆距离会变化，卡紧环与右固定销紧密接触，变化过程中，第一连接杆与第三连接杆之间的夹角会发生变化，从而使上固定块产生纵向位移，方便进行高度调节，降低使用局限性；垫板起支撑作用，一组滑块安装在垫板上，一组滑块顶侧壁上分别设置有一组下弧形槽，上底座设置有一组方形槽，并且一组方形槽顶侧壁上设置有一组上弧形槽，一组滑块分别插入到一组方形槽内，一组滚珠分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，一组滚珠减小上底座移动时与一组滑块的摩擦力，左支撑杆和右支撑杆分别与下底座和垫板连接，并且下螺纹杆螺装穿过右支撑杆，需要移动下底座时，使用者抓住把手旋转下螺纹杆，下螺纹杆会向左或向右移动，当左限位板或右限位板与左支撑杆紧密接触时，继续旋转下螺纹杆，在右支撑杆的支撑下，下底座可向右或向左运动，容易进行横向移动，提高使用便捷性；一组下支架底端均与地面连接，提高稳定性，电机通过一组左支架固定在上支架上，使用者将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第一传动轴转动，进而带动第一齿轮转动，第二传动轴和第三传动轴分别与一组滚珠轴承键连接，第二传动轴和第三传动轴可转动，第二齿轮和第三齿轮均与第一齿轮啮合连接，第一齿轮转动过程中，带动第二齿轮和第三齿轮转动，从而带动第二传动轴和第三传动轴转动，进而带动一组抛光轮转动，电动打磨，提高工作效率。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组保护盖41，一组保护盖底侧壁均与上支架顶侧壁接触，一组保护盖中央区域分别纵向设置有一组加油孔；一组保护盖阻碍杂质进入一组滚珠轴承，使用者可通过加油口定期对一组滚珠轴承加润滑油，提高使用稳定性。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组加长球42和加长杆43，加长杆穿过圆环内部，一组加长球分别安装在加长杆前端和后端；加长杆间接延长力臂，使用者可更省力转动上螺纹杆，一组加长球阻碍加长杆脱离圆环。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组挡块44，一组挡块分别安装在左固定销、右固定销、一组上固定销和一组下固定销前端和后端；一组挡块阻碍左固定销、右固定销、一组上固定销和一组下固定脱离。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括一组阻隔块45，一组阻隔块分别安装在一组方形槽顶侧壁上；一组阻隔块阻碍一组滚珠脱离，提高稳定性。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括夹紧螺母46，夹紧螺母螺装至上螺纹杆左半区域；高度调整完毕后，旋紧夹紧螺母，提高固定效果。

本发明的一种晶圆抛光设备，还包括防滑垫47，防滑垫安装在把手外侧壁上；防滑垫增加使用者与把手摩擦力，更方便旋转把手。

本发明的一种晶圆抛光设备，垫块左半区域和右半区域分别纵向设置有一组连接孔；通过一组连接孔螺接至地面，提高稳定性。

本发明的晶圆抛光设备，还包括吸风管48和抽风机49，吸风管输入端设置在工作台上方，抽风机输入端与吸风管输出端连通；使用者将抽风机通电，抛光过程中产生的粉末在抽风机的带动下，沿吸风管被排出。

本发明的一种晶圆抛光设备，上底座支撑工作台，上底座与上固定块连接，从而上底座可随上固定块运动，下底座与下固定块连接，下底座对下固定块起支撑作用，一组上固定销分别穿过第一连接杆与上固定块和第二连接杆与上固定块，从而第一连接杆和第二连接杆可分别以一组上固定销为中心轴转动，一组下固定销分别穿过第三连接杆与下固定块和第四连接杆与下固定块，从而第三连接杆和第四连接杆可以分别以一组下固定销为中心轴转动，左固定销穿过第一连接杆和第三连接杆，从而第一连接杆和第三连接杆可以以左固定销为中心轴转动，右固定销穿过第三连接杆和第四连接杆，从而第三连接杆和第四连接杆可以以右固定销为中心轴转动，上螺纹杆螺装穿过左固定销和右固定销，在上螺纹杆外螺纹和左固定销与右固定销内螺纹的作用下，上固定块、第一连接杆、第二连接杆、第三连接杆和第四连接杆的位置不会发生变化，一组挡块阻碍左固定销、右固定销、一组上固定销和一组下固定脱离，四方形柱卡装在四边形槽内，四方形柱与圆环连接，当需要调节高度时，使用者通过转动圆环来旋转过渡杆和上螺纹杆，加长杆间接延长力臂，使用者可更省力转动上螺纹杆，一组加长球阻碍加长杆脱离圆环，在外螺纹和内螺纹咬合的作用下，穿过左固定销的上螺纹杆距离会变化，卡紧环与右固定销紧密接触，变化过程中，第一连接杆与第三连接杆之间的夹角会发生变化，从而使上固定块产生纵向位移，高度调整完毕后，旋紧夹紧螺母，提高固定效果，方便进行高度调节，降低使用局限性，垫板起支撑作用，通过一组连接孔螺接至地面，一组滑块安装在垫板上，一组滑块顶侧壁上分别设置有一组下弧形槽，上底座设置有一组方形槽，并且一组方形槽顶侧壁上设置有一组上弧形槽，一组滑块分别插入到一组方形槽内，一组滚珠分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，一组滚珠减小上底座移动时与一组滑块的摩擦力，一组阻隔块阻碍一组滚珠脱离，左支撑杆和右支撑杆分别与下底座和垫板连接，并且下螺纹杆螺装穿过右支撑杆，需要移动下底座时，使用者抓住防滑垫或把手旋转下螺纹杆，防滑垫增加使用者与把手摩擦力，下螺纹杆会向左或向右移动，当左限位板或右限位板与左支撑杆紧密接触时，继续旋转下螺纹杆，在右支撑杆的支撑下，下底座可向右或向左运动，容易进行横向移动，提高使用便捷性，一组下支架底端均与地面连接，提高稳定性，电机通过一组左支架固定在上支架上，使用者将电机通电，电能转化为电机的动能，从而带动第一传动轴转动，进而带动第一齿轮转动，第二传动轴和第三传动轴分别与一组滚珠轴承键连接，一组保护盖阻碍杂质进入一组滚珠轴承，使用者可通过加油口定期对一组滚珠轴承加润滑油，第二传动轴和第三传动轴可转动，第二齿轮和第三齿轮均与第一齿轮啮合连接，第一齿轮转动过程中，带动第二齿轮和第三齿轮转动，从而带动第二传动轴和第三传动轴转动，进而带动一组抛光轮转动，电动打磨，提高工作效率，使用者将抽风机通电，抛光过程中产生的粉末在抽风机的带动下，沿吸风管被排出。

发明的一种晶圆抛光设备涉及到的第一齿轮、第二齿轮和第三齿轮使用者可选择不同规格。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种晶圆抛光设备，包括工作台（1）、夹紧设备（2）和一组抛光轮（3），夹紧设备（2）顶侧壁与工作台（1）顶侧壁连接，一组抛光轮（3）均位于工作台（1）上方；其特征在于，还包括下底座（4）、上底座（5）、上螺纹杆（6）、上固定块（7）、下固定块（8）、第一连接杆（9）、第二连接杆（10）、第三连接杆（11）、第四连接杆（12）、一组上固定销（13）、一组下固定销（14）、左固定销（15）、右固定销（16）、过渡杆（17）、长方体柱（18）、卡紧环（19）和圆环（20），所述下底座（4）顶侧壁和工作台（1）底侧壁连接，所述上固定块（7）顶侧壁和下固定块（8）底侧壁分别与上底座（5）底侧壁和下底座（4）顶侧壁连接，所述上固定块（7）底侧壁和下固定块（8）顶侧壁分别设置有上放置槽和下放置槽，上放置槽与上固定块（7）左侧壁和右侧壁连通，下放置槽与下固定块（8）左侧壁和右侧壁连通，所述下固定块（8）左半区域和右半区域分别设置有一组下放置孔，一组下放置孔均与下放置槽连通，所述第三连接杆（11）右侧壁和第四连接杆（12）左侧壁分别设置有第一连接槽和第二连接槽，第一连接槽与第三连接杆（11）顶侧壁和底侧壁连通，第二连接槽与第四连接杆（12）顶侧壁和底侧壁连接，所述第三连接杆（11）与第四连接杆（12）上半区域和下半区域分别设置有一组上固定孔和一组下固定孔，所述一组下固定销（14）分别穿过一组下放置孔和一组下固定孔，所述上固定块（7）左半区域和右半区域分别设置有一组上放置孔，一组上放置孔均与上放置槽连通，所述第一连接杆（9）右侧壁和第二连接杆（10）左侧壁分别设置有第三连接槽和第四连接槽，第三连接槽与第一连接杆（9）顶侧壁和底侧壁连通，第四连接槽与第二连接杆（10）顶侧壁和底侧壁连通，所述第一连接杆（9）与第二连接杆（10）上半区域和下半区域分别设置有一组上紧固孔和一组下紧固孔，所述一组上固定销（13）分别穿过一组上紧固孔和一组上放置孔，所述左固定销（15）和右固定销（16）分别穿过一组下紧固孔和一组上固定孔，所述左固定销（15）和右固定销（16）中央区域分别横向设置有左伸缩孔和右伸缩孔，左伸缩孔内侧壁上设置有与上螺纹杆（6）外螺纹相对应的内螺纹，所述上螺纹杆（6）螺装穿过左固定销（15），所述过渡杆（17）左侧壁与上螺纹杆（6）右侧壁连接，所述过渡杆（17）右侧壁上设置有四边形槽，所述长方体柱（18）右侧壁与圆环（20）左侧壁连接，所述长方体柱（18）左端插入到四边形槽内，所述卡紧环（19）内侧壁与过渡杆（17）右半区域连接，卡紧环（19）左侧壁与右固定销（16）右侧壁接触；还包括垫板（21）、一组滑块（22）、一组滚珠（23）、下螺纹杆（24）、左支撑杆（25）、右支撑杆（26）、把手（27）、左限位板（28）和右限位板（29），所述垫板（21）位于下底座（4）下方，所述一组滑块（22）底侧壁分别与垫板（21）顶侧壁前半区域和后半区域连接，所述下底座（4）底侧壁设置有一组方形槽，一组方形槽顶侧壁分别设置有一组上弧形槽，所述一组滑块（22）顶侧壁设置有一组下弧形槽，一组滑块（22）上半区域分别插入到一组方形槽内，所述一组滚珠（23）分别位于一组上弧形槽内和一组下弧形槽内，所述左支撑杆（25）和右支撑杆（26）底侧壁分别与下底座（4）顶侧壁右端和垫块顶侧壁右端连接，所述左支撑杆（25）中央区域和右支撑杆（26）上半区域分别设置有左支撑孔和右支撑孔，右支撑孔内侧壁上设置有与下螺纹杆（24）外螺纹相对应的内螺纹，所述下支撑杆螺装穿过右支撑孔，下支撑杆穿过左支撑孔，所述下螺纹杆（24）左侧壁与左限位板（28）右侧壁中央区域连接，所述右限位板（29）中央区域横向设置有衔接孔，所述右限位挡板内侧壁与下螺纹杆（24）左半区域外侧壁连接，所述把手（27）底侧壁与下螺纹杆（24）外侧壁右端连接；还包括上支架（30）、一组下支架（31）、第一传动轴（32）、第二传动轴（33）、第三传动轴（34）、第一齿轮（35）、第二齿轮（36）、第三齿轮（37）和一组左支架（38），所述一组下支架（31）顶侧壁分别与上支架（30）底侧壁左端和右端连接，所述上支架（30）上方设置有电机（39），所述一组左支架（38）左侧壁和右侧壁分别与电机（39）外侧壁和上支架（30）顶侧壁连接，所述上支架（30）顶侧壁设置有一组抛光槽，所述上支架（30）纵向设置有一组抛光孔，一组抛光孔分别与一组抛光槽连通，所述上支架（30）中央区域纵向设置有贯穿孔，所述第一传动轴（32）安装在电机（39）输出端，第一传动轴（32）底侧壁穿过贯穿孔，所述第一传动轴（32）中央区域设置有第一齿轮（35），第一齿轮（35）内侧壁与第一传动轴（32）外侧壁连接，所述一组抛光槽内分别设置有一组滚珠轴承（40），所述第二传动轴（33）和第三传动轴（34）顶端分别穿过一组滚珠轴承（40），并且第二传动轴（33）和第三传动轴（34）顶端分别与一组滚珠轴承（40）键连接，所述第二传动轴（33）和第三传动轴（34）上半区域分别设置有第二齿轮（36）和第三齿轮（37），第二齿轮（36）和第三齿轮（37）内侧壁分别与第二传动轴（33）和第三传动轴（34）外侧壁连接，所述第二齿轮（36）和第三齿轮（37）均与第一齿轮（35）啮合连接，所述一组抛光轮（3）分别安装在第二传动轴（33）和第三传动轴（34）底部。

2.如权利要求1所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括一组保护盖（41），所述一组保护盖（41）底侧壁均与上支架（30）顶侧壁接触，一组保护盖（41）中央区域分别纵向设置有一组加油孔。

3.如权利要求2所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括一组加长球（42）和加长杆（43），所述加长杆（43）穿过圆环（20）内部，所述一组加长球（42）分别安装在加长杆（43）前端和后端。

4.如权利要求3所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括一组挡块（44），所述一组挡块（44）分别安装在左固定销（15）、右固定销（16）、一组上固定销（13）和一组下固定销（14）前端和后端。

5.如权利要求4所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括一组阻隔块（45），所述一组阻隔块（45）分别安装在一组方形槽顶侧壁上。

6.如权利要求5所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括夹紧螺母（46），所述夹紧螺母（46）螺装至上螺纹杆（6）左半区域。

7.如权利要求6所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，所述垫块左半区域和右半区域分别纵向设置有一组连接孔。

8.如权利要求7所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括防滑垫（47），所述防滑垫（47）安装在把手（27）外侧壁上。

9.如权利要求8所述的一种晶圆抛光设备，其特征在于，还包括吸风管（48）和抽风机（49），所述吸风管（48）输入端设置在工作台（1）上方，所述抽风机（49）输入端与吸风管（48）输出端连通。