CN109254446A - 基板及显示面板的制造方法 - Google Patents

基板及显示面板的制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109254446A
CN109254446A CN201811244119.8A CN201811244119A CN109254446A CN 109254446 A CN109254446 A CN 109254446A CN 201811244119 A CN201811244119 A CN 201811244119A CN 109254446 A CN109254446 A CN 109254446A
Authority
CN
China
Prior art keywords
substrate
light
spacer
manufacturing
filter layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201811244119.8A
Other languages
English (en)
Inventor
黄世帅
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
HKC Co Ltd
Original Assignee
HKC Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by HKC Co Ltd filed Critical HKC Co Ltd
Priority to CN201811244119.8A priority Critical patent/CN109254446A/zh
Priority to PCT/CN2019/072252 priority patent/WO2020082630A1/zh
Publication of CN109254446A publication Critical patent/CN109254446A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • G02F1/133516Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/26Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
    • G03F1/32Attenuating PSM [att-PSM], e.g. halftone PSM or PSM having semi-transparent phase shift portion; Preparation thereof
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13396Spacers having different sizes
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13398Spacer materials; Spacer properties

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

本申请提供一种基板及显示面板的制造方法,所述基板的制造方法,包括:提供一第一基底;依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上;以及形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上。

Description

基板及显示面板的制造方法
技术领域
本申请涉及显示领域,特别是涉及一种基板及显示面板的制造方法。
背景技术
薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display,简称TFT-LCD)具有体积小,功耗低,无辐射等特点,近年来得到迅速发展,在当前的平板显示器市场中占据主导地位。液晶显示器的主体结构为液晶面板,在在液晶面板的制造过程中,盒厚和抗压能力的设计是液晶显示器的关键技术之一,其直接影响液晶显示器的品质。
而液晶显示器由一彩色滤光基板、主动开关阵列基板及二基板间充满液晶所构成,在较大尺寸液晶显示器中,其为维持二基板的间隙,在液晶层内分布多个间隔物以维持间隙高度保持二基板平行,另在液晶注入法以液晶真空注入法为主,但注入时间耗时,目前逐渐以滴下注入法(One Drop Fill,ODF)取代,对于间隔物的结构需要更新设计。已知技术以球型间隔物分布在液晶层间,此种结构在基板受到压力时,因间隔物滚动而破坏基板,或因为任意分布而位于画素区内产生不均匀分布,更因为间隔物的散射问题而影响产品良率,近年以微影技术形成光间隔物(Photo Spacer,PS),精确的控制间隔物的位置、大小及高度取代传统球型间隔物的构造。
在TFT-LCD(Thin Film Transistor Liquid Crystal Display)领域,通常在彩色滤光片基板上制作一层光间隔物(Photo Spacer,简称PS)支柱来支撑陣列基板和彩色滤光片基板之间的液晶层的盒厚(Cell Gap),光间隔物的面积比一般不超过AA区(面板的显示区)的2%,光间隔物比率(PS ratio)的设计对面板显示有很大的影响,光间隔物比率(PSratio)过大,面板受到外力时不容易恢复,容易产生漏光;若光间隔物比率(PS ratio)过小,不能保证液晶层的盒厚(Cell Gap)的均一性,导致面板的光学特性受到影响。
另外光间隔物还会分为主光间隔物(Main PS)和次光间隔物(Sub PS)两种,在玻璃基板不受外力的情况下,主光间隔物(Main PS)起到主要的支撑作用;当外力受到时,主光间隔物(Main PS)被压缩,次光间隔物(Sub PS)开始起到支撑作用。一般光间隔物设计会设计一个主光间隔物(Main PS)和一个次光间隔物(Sub PS),来形成断差,以应对外力的变化。但是外力的变化是多样的,只一个断差来应对的话,能力会比较弱,多样的外力变化会导致气泡(bubble)或者重力不均匀(Mura)瑕疵出现,即液晶填充范围(LC margin)不足,不利于产品的品质。
因此,本申请的主要目的在于提供一种基板及显示面板的制造方法,以更优化上述所提之问题。
发明内容
为了解决上述技术问题,本申请的目的在于,提供一种基板的制造方法,包括:提供一第一基底;依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上;以及形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上。
本申请的另一目的为一种基板的制造方法,包括:提供一第一基底;依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上;以及形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上;其中所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种;所述主要光间隔物及所述次要光间隔物之间具有设定的段差。
本申请的又一目的为一种显示面板的制造方法,包括:提供一第一基底;依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要间隔物在所述彩色滤光层上;形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上,以完成一第一基板;提供一第二基板,与所述第一基板对向设置,其中该些光间隔物位于所述第一基板以及所述第二基板之间,用以定义一液晶间隔空间;以及形成一液晶层于所述第一基板以及所述第二基板之间,并填满所述液晶间隔空间;其中所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种;所述主要光间隔物及所述次要光间隔物之间具有设定的段差。
本申请的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
在本申请的一实施例中,所述基板的制造方法,所述在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上的步骤包括:在所述第一基底上形成一光阻材料层;在所述光阻材料层上设置一光罩,所述光罩具有一透光区、一非透光区以及一半透光区;以及进行一曝光制造以及一显影制造,而形成所述彩色滤光层及多个主要光间隔物及次要光间隔物。
在本申请的一实施例中,所述基板的制造方法,所述光罩为灰阶光罩或半色调光罩。
在本申请的一实施例中,所述基板的制造方法,所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种。
在本申请的一实施例中,所述基板的制造方法,所述主要光间隔物及次要光间隔物的材质包括聚合物材料。
在本申请的一实施例中,所述显示面板的制造方法,该些光阻层之一和该些光间隔物是通过相同的光阻涂布、曝光、显影及光罩过程而同时形成。
在本申请的一实施例中,所述显示面板的制造方法,所述在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上的步骤包括:在所述第一基底上形成一光阻材料层;在所述光阻材料层上设置一光罩,所述光罩具有一透光区、一非透光区以及一半透光区;以及进行一曝光制造以及一显影制造,而形成所述彩色滤光层及多个主要光间隔物及次要光间隔物。
在本申请的一实施例中,所述显示面板的制造方法,所述光罩为灰阶光罩或半色调光罩。
本申请设计了多个间隔物的断差,来提高产品的液晶填充范围,因而提升产品的品质。
附图说明
图1a为范例性的显示面板中横截面示意图。
图1b为范例性的显示面板中的构造横截面示意图。
图2为本申请一实施例的显示面板中的构造横截面示意图。
图3a为本申请一实施例的显示面板中的光间隔物形状示意图。
图3b为本申请另一实施例的显示面板中的光间隔物形状示意图。
图4为本申请一实施例的基板的制造方法流程图。
图5为本申请一实施例的显示面板的制造方法流程图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本申请所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本申请,而非用以限制本申请。
附图和说明被认为在本质上是示出性的,而不是限制性的。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。另外,为了理解和便于描述,附图中示出的每个组件的尺寸和厚度是任意示出的,但是本申请不限于此。
在附图中,为了清晰起见,夸大了层、膜、面板、区域等的厚度。在附图中,为了理解和便于描述,夸大了一些层和区域的厚度。将理解的是,当例如层、膜、区域或基底的组件被称作“在”另一组件“上”时,所述组件可以直接在所述另一组件上,或者也可以存在中间组件。
另外,在说明书中,除非明确地描述为相反的,否则词语“包括”将被理解为意指包括所述组件,但是不排除任何其它组件。此外,在说明书中,“在......上”意指位于目标组件上方或者下方,而不意指必须位于基于重力方向的顶部上。
为更进一步阐述本申请为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及具体的实施例,对依据本申请提出的一种基板及显示面板的制造方法,其具体实施方式、结构、特征及其功效,详细说明如后。
图1a为范例性的显示面板中横截面示意图及图1b为范例性的显示面板中的构造横截面示意图。请参考图1a及图1b,在目前的液晶显示器的技术发展上,以双间隙(dualgap)的半穿半反MVA液晶显示器为例。通常双间隙的半穿半反液晶显示器会在反射区R设置一个调整层208,如图1a所示,此调整层可以设置在彩色滤光层(color filter,CF)基板侧或薄膜晶体管(thin film transister,TFT)基板侧。如图1a所示,双间隙半穿半反MVA液晶显示器之基本结构包括一第一基板10、一彩色滤光层基板202及一液晶层30。其中,第一基板10具有多个次画素区110,每一个次画素区110均设有一反射区R以及一穿透区T。彩色滤光层基板202亦具有多个次画素区120,该些次画素区120分别与第一基板之多个次画素区110相对应,且每一个次画素区120在与反射区R相对应的位置处均设有一调整层208。液晶层30则设于第一基板10与彩色滤光层基板202之间。
请继续参考图1a及图1b,第一基板10的各个次画素区110内皆设有一薄膜晶体管(thin film transistor,TFT),以及一储存电容308于反射区R的下方。接着形成一平坦层104于第一基板10之上表面。然后在平坦层104上制作出凹凸的表面于反射区R,再镀上具有高反射率的金属(例如:铝、银…等)当作反射电极113,同时每一个次画素区110的穿透区T亦均设有一透明电极114。值得一提的是,第一基板10各次画素区110的反射区R内更具有一接触孔310,用以电性连接反射电极113与储存电容308。另外,彩色滤光层基板202相对于第一基板10的反射区R与穿透区T的位置上更设有一配向凸起物122(protrusion,简称PR)。由于配向凸起物122会改变电力线的分布,使得液晶分子往配向凸起物122的方向倾斜以产生多区域液晶配向(multi-domains)的效果,而达到广视角的技术,并改善单一区域液晶配向(single-domain)时所存在的灰阶反转的问题。如图1b所示,通常在组立第一基板10与彩色滤光层基板202时,彩色滤光层基板202更设有一光间隔物300(photo spacer,简称PS)来固定面板的间距(cell gap)。并在第一基板侧10设计多个与间隙物300相对应的平台,使光间隔物300能够更稳定的维持面板间距。
图2为本申请一实施例的显示面板中的构造横截面示意图、图3a为本申请一实施例的显示面板中的光间隔物形状示意图、图3b为本申请另一实施例的显示面板中的光间隔物形状示意图及图4为本申请一实施例的基板的制造方法流程图。请参考图2、图3a、图3b及图4,在本申请的一实施例中,一种基板21的制造方法,包括:提供一第一基底210;依序形成多个平行配置的光阻层(举例:红色光阻层、绿色光阻层、蓝色光阻层)211、212、213于所述第一基底210上,以完成一彩色滤光层213;在形成该些光阻层211、212、213之一的同时,也形成多个主要光间隔物320及次要光间隔物322在所述彩色滤光层215上;以及形成一透明公共电极层216,设置在所述彩色滤光层215上;其中所述次要光间隔物322的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种;所述主要光间隔物320及所述次要光间隔物322之间具有设定的段差。
在本申请的一实施例中,所述基板21的制造方法,所述在形成该些光阻层211、212、213之一的同时,也形成多个主要光间隔物320及次要光间隔物322在所述彩色滤光层215上的步骤包括:在所述第一基底210上形成一光阻材料层(图未示);在所述光阻材料层上设置一光罩(图未示),所述光罩具有一透光区(举例:穿透率100%)、一非透光区(举例:穿透率8%~16%)以及一半透光区(举例:穿透率20%~40%);以及进行一曝光制造以及一显影制造,而形成所述彩色滤光层215及多个主要光间隔物320及次要光间隔物322。
在本申请的一实施例中,所述基板21的制造方法,所述光罩为灰阶光罩或半色调光罩。
在本申请的一实施例中,所述基板21的制造方法,所述主要光间隔物320及次要光间隔物322的材质包括聚合物材料。
图5为本申请一实施例的显示面板的制造方法流程图。请参考图2、图3a、图3b及图5,在本申请的一实施例中,一种显示面板1的制造方法,包括:提供一第一基底210;依序形成多个平行配置的光阻层(举例:红色光阻层、绿色光阻层、蓝色光阻层)211、212、213于所述第一基底210上,以完成一彩色滤光层215;在形成该些光阻层211、212、213之一的同时,也形成多个主要光间隔物320及次要间隔物322在所述彩色滤光层215上;形成一透明公共电极层216,设置在所述彩色滤光层215上,以完成一第一基板21;提供一第二基板11,与所述第一基板21对向设置,其中该些光间隔物320、322位于所述第一基板21以及所述第二基板11之间,用以定义一液晶间隔空间;以及形成一液晶层31于所述第一基板21以及所述第二基板11之间,并填满所述液晶间隔空间;其中所述次要光间隔物322的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种;所述主要光间隔物320及所述次要光间隔物322之间具有设定的段差。
在本申请的一实施例中,所述显示面板1的制造方法,所述该些光阻层211、212、213之一和该些光间隔物320、322是通过相同的光阻涂布、曝光、显影及光罩过程而同时形成。
在本申请的一实施例中,所述显示面板1的制造方法,所述在形成该些光阻层211、212、213之一的同时,也形成多个主要光间隔物320及次要光间隔物322在所述彩色滤光层215上的步骤包括:在所述第一基底210上形成一光阻材料层(图未示);在所述光阻材料层上设置一光罩(图未示),所述光罩具有一透光区(举例:穿透率100%)、一非透光区(举例:穿透率8%~16%)以及一半透光区(举例:穿透率20%~40%);以及进行一曝光制造以及一显影制造,而形成所述彩色滤光层215及多个主要光间隔物320及次要光间隔物322。
在本申请的一实施例中,所述显示面板1的制造方法,所述光罩为灰阶光罩或半色调光罩。
多灰阶光罩,可分为灰色光罩(Gray-tone Mask)和半色调光罩(Half Tone Mask)2种。灰色光罩是制作出曝光机分辨率以下的微缝,再藉由此微缝部位遮住一部份的光源,以达成半曝光的效果。另一方面,半色调光罩是利用「半透过」的膜,来进行半曝光。因为以上两种方式都是在1次的曝光过程后即可呈现出「曝光部分」「半曝光部分」及「未曝光部分」3种的曝光层次,故在显影后能够形成2种厚度的光阻(藉由利用这样的光阻厚度差异、便可以较一般少的片数下将图形转写至面板基板上,并达成面板生产効率的提升)。若为半色调光罩则光罩成本会略高于一般光罩。
在本申请的某些实施例中,显示面板可包括LCD(Liquid Crystal Display)面板,其中LCD(Liquid Crystal Display)面板包括:开关阵列(thin film transistor,TFT)基板、彩色滤光层(color filter,CF)基板与形成于两基板之间的液晶层,显示面板亦或为OLED(Organic Light-Emitting Diode)面板,或QLED(Quantum Dots Light-EmittingDiode)面板。
请参考图4,在流程S411中,提供一第一基底。
请参照图4,在流程S412中,依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层。
请参照图4,在流程S413中,在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上。
请参照图4,在流程S414中,形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上。
请参照图4,在流程S415中,所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种。
请参照图4,在流程S416中,所述主要光间隔物及所述次要光间隔物之间具有设定的段差。
请参考图5,在流程S511中,提供一第一基底。
请参考图5,在流程S512中,依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层。
请参考图5,在流程S513中,在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要间隔物在所述彩色滤光层上。
请参考图5,在流程S514中,形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上,以完成一第一基板。
请参考图5,在流程S515中,提供一第二基板,与所述第一基板对向设置,其中该些光间隔物位于所述第一基板以及所述第二基板之间,用以定义一液晶间隔空间。
请参考图5,在流程S516中,形成一液晶层于所述第一基板以及所述第二基板之间,并填满所述液晶间隔空间。
请参考图5,在流程S517中,所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种。
请参考图5,在流程S518中,所述主要光间隔物及所述次要光间隔物之间具有设定的段差。
本申请设计了多个间隔物的断差,来提高产品的液晶填充范围,因而提升产品的品质。
“在一些实施例中”及“在各种实施例中”等用语被重复地使用。所述用语通常不是指相同的实施例;但它也可以是指相同的实施例。“包含”、“具有”及“包括”等用词是同义词,除非其前后文意显示出其它意思。
以上所述,仅是本申请的实施例,并非对本申请作任何形式上的限制,虽然本申请已以具体的实施例揭露如上,然而并非用以限定本申请,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本申请技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本申请技术方案的内容,依据本申请的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本申请技术方案的范围内。

Claims (10)

1.一种基板的制造方法,其特征在于,包括:
提供一第一基底;
依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;
在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上;以及
形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上。
2.如权利要求1所述的基板的制造方法,其特征在于,所述在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上的步骤包括:
在所述第一基底上形成一光阻材料层;
在所述光阻材料层上设置一光罩,所述光罩具有一透光区、一非透光区以及一半透光区;以及
进行一曝光制造以及一显影制造,而形成所述彩色滤光层及多个主要光间隔物及次要光间隔物。
3.如权利要求2所述的基板的制造方法,其特征在于,所述光罩为灰阶光罩或半色调光罩。
4.如权利要求1所述的基板的制造方法,其特征在于,所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种。
5.如权利要求1所述的基板的制造方法,其特征在于,所述主要光间隔物及次要光间隔物的材质包括聚合物材料。
6.一种基板的制造方法,其特征在于,包括:
提供一第一基底;
依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;
在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上;以及
形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上;其中所述主要光间隔物及次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种;所述主要光间隔物及所述次要光间隔物之间具有设定的段差。
7.一种显示面板的制造方法,其特征在于,包括:
提供一第一基底;
依序形成多个平行配置的光阻层于所述第一基底上,以完成一彩色滤光层;
在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要间隔物在所述彩色滤光层上;
形成一透明公共电极层,设置在所述彩色滤光层上,以完成一第一基板;
提供一第二基板,与所述第一基板对向设置,其中该些光间隔物位于所述第一基板以及所述第二基板之间,用以定义一液晶间隔空间;以及
形成一液晶层于所述第一基板以及所述第二基板之间,并填满所述液晶间隔空间;其中所述次要光间隔物的形状包括交叉形、裂缝形或多边形中的任意一种;所述主要光间隔物及所述次要光间隔物之间具有设定的段差。
8.如权利要求7所述的显示面板的制造方法,其特征在于,该些光阻层之一和该些光间隔物是通过相同的光阻涂布、曝光、显影及光罩过程而同时形成。
9.如权利要求7所述的显示面板的制造方法,其特征在于,所述在形成该些光阻层之一的同时,也形成多个主要光间隔物及次要光间隔物在所述彩色滤光层上的步骤包括:
在所述第一基底上形成一光阻材料层;
在所述光阻材料层上设置一光罩,所述光罩具有一透光区、一非透光区以及一半透光区;以及
进行一曝光制造以及一显影制造,而形成所述彩色滤光层及多个主要光间隔物及次要光间隔物。
10.如权利要求9所述的显示面板的制造方法,其特征在于,所述光罩为灰阶光罩或半色调光罩。
CN201811244119.8A 2018-10-24 2018-10-24 基板及显示面板的制造方法 Pending CN109254446A (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811244119.8A CN109254446A (zh) 2018-10-24 2018-10-24 基板及显示面板的制造方法
PCT/CN2019/072252 WO2020082630A1 (zh) 2018-10-24 2019-01-18 基板及显示面板的制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201811244119.8A CN109254446A (zh) 2018-10-24 2018-10-24 基板及显示面板的制造方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN109254446A true CN109254446A (zh) 2019-01-22

Family

ID=65046163

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201811244119.8A Pending CN109254446A (zh) 2018-10-24 2018-10-24 基板及显示面板的制造方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN109254446A (zh)
WO (1) WO2020082630A1 (zh)

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003084289A (ja) * 2001-09-13 2003-03-19 Nec Akita Ltd 液晶表示装置
CN102375271A (zh) * 2010-08-16 2012-03-14 上海天马微电子有限公司 液晶显示面板、液晶显示器及液晶显示面板的制造方法
CN104503150A (zh) * 2014-12-04 2015-04-08 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板及其制作方法
CN106526953A (zh) * 2016-12-29 2017-03-22 惠科股份有限公司 彩色滤光层基板的制造方法
CN106773349A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 张家港康得新光电材料有限公司 隔垫物、隔垫物的制造方法及液晶显示装置
CN107145011A (zh) * 2017-07-19 2017-09-08 武汉华星光电技术有限公司 液晶面板及液晶显示装置
CN107450221A (zh) * 2017-08-11 2017-12-08 京东方科技集团股份有限公司 彩膜基板、显示面板、显示装置及其制作方法
CN107561789A (zh) * 2017-09-25 2018-01-09 武汉华星光电技术有限公司 一种彩膜基板及液晶显示面板

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3912663B2 (ja) * 2002-02-26 2007-05-09 富士フイルム株式会社 カラーフィルター用画素の形成方法、液晶表示装置用カラーフィルター、液晶表示装置用スペーサー及び配向制御用突起の形成方法、液晶表示装置用スペーサー及び配向制御用突起
KR20050049985A (ko) * 2003-11-24 2005-05-27 엘지.필립스 엘시디 주식회사 배면노광에 의해 형성된 컬러필터 기판을 이용한액정표시소자 제조방법
KR101033461B1 (ko) * 2003-12-23 2011-05-11 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치 및 그 제조방법
CN107045222A (zh) * 2016-12-29 2017-08-15 惠科股份有限公司 液晶面板及其制造方法
CN106646981A (zh) * 2017-03-20 2017-05-10 惠科股份有限公司 主动开关阵列基板及其制造方法
CN107608124A (zh) * 2017-11-03 2018-01-19 惠科股份有限公司 主动开关阵列基板及其制造方法和液晶面板

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003084289A (ja) * 2001-09-13 2003-03-19 Nec Akita Ltd 液晶表示装置
CN102375271A (zh) * 2010-08-16 2012-03-14 上海天马微电子有限公司 液晶显示面板、液晶显示器及液晶显示面板的制造方法
CN104503150A (zh) * 2014-12-04 2015-04-08 深圳市华星光电技术有限公司 液晶面板及其制作方法
CN106773349A (zh) * 2016-12-28 2017-05-31 张家港康得新光电材料有限公司 隔垫物、隔垫物的制造方法及液晶显示装置
CN106526953A (zh) * 2016-12-29 2017-03-22 惠科股份有限公司 彩色滤光层基板的制造方法
CN107145011A (zh) * 2017-07-19 2017-09-08 武汉华星光电技术有限公司 液晶面板及液晶显示装置
CN107450221A (zh) * 2017-08-11 2017-12-08 京东方科技集团股份有限公司 彩膜基板、显示面板、显示装置及其制作方法
CN107561789A (zh) * 2017-09-25 2018-01-09 武汉华星光电技术有限公司 一种彩膜基板及液晶显示面板

Also Published As

Publication number Publication date
WO2020082630A1 (zh) 2020-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103268037B (zh) 一种彩膜基板、制备方法以及显示装置
CN105974651B (zh) 液晶显示面板的制作方法
WO2017008369A1 (zh) Coa型液晶显示面板及其制作方法
CN103676297B (zh) 一种彩膜基板及液晶显示装置
CN105974636A (zh) 液晶显示面板的制作方法
US20180335553A1 (en) Method for manufacturing color filter substrate and method for manufacturing liquid crystal panel
CN108535909A (zh) Bps型阵列基板的制作方法及bps型阵列基板
CN103149730A (zh) 彩膜基板及其制作方法、液晶显示屏
CN101295093A (zh) 显示装置
CN103018954A (zh) 一种彩色滤光片及其制作方法、显示装置
WO2018176603A1 (zh) 光罩及其主动开关阵列基板的制造方法
WO2019052043A1 (zh) 显示面板及其制造方法
CN102879947B (zh) 彩色滤光片及其制造方法,半透半反式液晶显示装置
CN107065316A (zh) 液晶面板及其制造方法
CN110174803A (zh) 阵列基板及其制作方法
WO2019085292A1 (zh) 主动开关阵列基板及其制造方法和液晶面板
CN208922014U (zh) 显示面板
US20190129221A1 (en) Liquid crystal display panel and manufacturing method thereof
WO2018201545A1 (zh) 光罩及其应用于主动开关阵列基板的制造方法
CN109031807A (zh) 柔性液晶显示面板及其制作方法
US7102716B2 (en) LCD with TFT on upper substrate and color filter on each substrate
CN109254446A (zh) 基板及显示面板的制造方法
TWI375839B (en) Liquid crystal panel and method of making the same
US10061163B2 (en) Color filter plate and fabrication method thereof, display panel
US11137636B2 (en) Curved display panel and manufacturing method thereof

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20190122

RJ01 Rejection of invention patent application after publication