CN109217507A - 能够磁悬浮的转子和具有这种转子的旋转机器 - Google Patents

Abstract

提出一种用于具有磁悬浮转子的旋转机器的转子，该转子能够磁悬浮，该转子具有磁性有效芯部（2）和由热塑性可加工含氟聚合物制成的护套（3），该护套（3）完全封罩所述磁性有效芯部（2），其中所述磁性有效芯部（2）包括至少一个永磁体（21），并且其中每个永磁体（21）具有用于保护以抵抗酸性或化学侵蚀性物质的金属涂层（6），并且其中塑料涂层（7）被设置在所述金属涂层（6）和所述护套（3）之间，该塑料涂层（7）由属于聚对二甲苯类的聚合物构成。此外，提出一种具有这种转子的旋转机器（100）。

Description

能够磁悬浮的转子和具有这种转子的旋转机器

技术领域

本发明涉及用于具有磁悬浮转子的旋转机器的转子，该转子能够磁悬浮，并且本发明涉及根据相应类别的独立权利要求的前序部分的旋转机器。

背景技术

具有磁悬浮转子的旋转机器，例如离心泵或者混合装置或者搅拌装置，被用于许多技术领域，尤其用于其中高纯流体被运输、搅拌或混合的应用，而所述流体不被来自机械轴承的磨损颗粒污染。在半导体产业中，例如，磁悬浮转子被用于运输超纯水以及酸性、氧化性或其它化学侵蚀性流体，因为它们被用于半导体产业来生产或加工半导体结构。至关重要的是，没有金属离子从磁悬浮转子进入液体中，因为这样的金属离子会改变半导体的掺杂。

关于具有磁悬浮转子的旋转机器（尤其是离心泵）的设计，装置是已知的，其中转子借助于单独的磁性轴承以无接触的方式悬浮，同时通过单独的驱动器单元来驱动转子旋转。在这种情况下，每个磁性轴承通常包括轴承定子，其与转子的磁性有效芯部（magnetically effective core）相互作用来使得转子磁悬浮。驱动器单元包括驱动器定子，根据电磁旋转驱动器的原理，通过所述驱动器定子，转子被设定成旋转。

然而，具有无接触磁悬浮转子的旋转机器的这种设计也是已知的，其中不提供单独的磁性轴承，而是使用同一定子实现轴承功能和驱动功能。已经针对这样的设计建立了术语"无轴承马达"，因为针对转子没有提供单独的磁性轴承。轴承功能和驱动功能不能彼此分离。这些特别有效的无轴承马达的特征具体在于它们的非常紧凑的设计以及同时实现"无接触"构思。

因此，无轴承马达是电磁旋转驱动器，其中转子相对于定子完全磁悬浮，其中没有提供单独的磁性轴承。为此目的，定子被设计为轴承定子和驱动器定子，其既是电驱动器的定子并且也是磁性轴承的定子。能够使用轴承定子和驱动器定子的电绕组来生成旋转磁场，该旋转磁场一方面在转子上施加转矩从而导致其旋转，并且另一方面其在转子上施加可自由调整的横向力以致其径向位置能够被主动控制或调制。

旋转机器的转子通常是集成转子，尤其当被设计成泵、混合器或搅拌器时，该集成转子既是电磁驱动器的转子并且也是泵或混合器的转子，这会影响流体。

针对转子的磁性有效芯部的设计也已知许多不同构思。例如，磁性有效芯部能够仅由一个或更多个永磁体构成，以致转子的整个磁性有效芯部由永磁性材料制成。不过，这样的设计也是已知的，其中磁性有效芯部包括与软磁性部分组合的一个或更多个永磁体。通常软磁性部分由铁或者镍-铁或硅-铁制成。

不管旋转机器（例如离心泵）是被设计成具有单独的磁性轴承还是根据无轴承马达的构思被设计，特别重要的是，要运输酸性或化学侵蚀性物质，以便保护转子的磁性有效芯部且尤其也保护永磁体来抵抗这样的侵蚀性物质。通常用于永磁体的材料（例如钕、钐或钴）例如通常对于这样的侵蚀性物质具有非常低的抵抗性。

在半导体生产中必须被使用和运输的酸性或其它化学侵蚀性物质例如是臭氧水（O₃，溶解在H₂O中）、硫酸（H₂SO₄）、磷酸（H₃PO₄）、盐酸（HCl）、氢氟酸（HF）、硝酸（HNO₃）、臭氧（O₃）或者混合物，例如硫酸（H₂SO₄）和过氧化氢（H₂O₂）的混合物或者硫酸（H₂SO₄）和硝酸（HNO₃）的混合物。更糟的是，这些侵蚀性物质通常必须被提供为处于升高的温度，例如在150℃至200℃或者甚至更高。

为了保护以抵抗这样的侵蚀性物质，已知的是向转子的磁性有效芯部且尤其向一个或更多个永磁体提供氟化烃塑料护套（sheathing），因为这些烃对于化学侵蚀性物质（特别是对于以上提及的酸）显示出很好的抵抗性。

不过，氟化烃通常不会针对化学物质的气体成分形成足够的屏障。因此，由氟化烃制成的封装件仅对臭氧（O₃）具有非常有限的屏障效果，该臭氧可以被容纳在例如被大量运输的硫酸和臭氧（带有O₃的H₂SO₄）的混合物中。此外，研究已经表明，即使使用这样的氟化烃护套，在相对短的操作次数之后，特别是在转子的永磁体上，也会发生侵蚀。这能够导致转子的膨胀、金属涂层的劣化、转子芯部或护套的部分的剥离以致转子的磁性有效芯部的完全损坏。

因此在EP-A-2 549 113中，已经提出了提供一种具有双护套的转子的永磁体，即具有完全封罩永磁体的内金属护套并具有完全封罩金属护套的氟化烃外护套。

这个构想在于，外塑料护套保护永磁体或磁性有效芯部以抵抗正常的液体酸，而内金属护套保护磁性有效芯部以抵抗能够相对好地渗入塑料护套的气体成分。

虽然这种双护套的构思已经在实践中进行了自我验证，不过其仍然需要改进。一方面，在EP-A-2 549 113中提出的转子的永磁体的厚壁金属护套是相对难以实现的，因为护套的各个部分的焊接必须是气密的，但是另一方面，在焊接期间的能量输入必须保持足够低以致永磁性材料的结构不会改变。这个问题由于如下事实而是复杂的，即金属护套必须相对靠近永磁体，因为在没有大的力损失的情况下在磁悬浮期间不能够增加磁性空气间隙。为此，焊接护套所需的热会直接耗散到转子的永磁体中。此外，臭氧、氢或者酸蒸汽能够扩散通过塑料并损坏金属护套。一旦转子的金属护套已经被损坏，则金属离子能够扩散通过塑料护套进入到待运输的流体中并污染流体。在半导体产业中的应用中，在流体中的所述金属离子会具有极端负面的后果，因为例如即使非常低浓度的被溶解的金属离子也会以不受控的方式改变待处理的半导体结构的掺杂，并且在最坏的情况下会导致半导体产品不可用。

因此，已经做出了很大努力来更好地保护转子的磁性有效芯部以抵抗酸性或其它化学侵蚀性物质并且同时避免焊接永磁体的金属护套所产生的上述问题。为此目的，各种各样的金属层被通电施加到永磁体并且测试它们的耐蚀性。但是即使例如通过使用被看作极其惰性的金或铑而通电施加的金属护套，也令人惊讶地没有产生非常满意的结果。例如，在100-200小时的相对短的使用寿命之后，在转子上能够发生大量侵蚀。

会建议的是，尤其具有非常小分子的物质，例如盐酸（HCl）或氢氟酸（HF）或臭氧（O₃），经由金属层中的晶格缺陷或微结构缺陷（例如气孔（blowhole）或毛细裂纹）扩散通过护套并且之后损坏转子的永磁体或磁性有效芯部，以致转子从内部被侵蚀。

发明内容

本发明致力于这个问题。

从该现有技术出发，因此本发明的目标是提出一种用于旋转机器的能够磁悬浮的转子，在该转子中，磁性有效芯部且尤其转子的永磁体被特别好地保护以抵抗氧化和酸性物质或者其它化学侵蚀性物质。此外，本发明旨在提出具有这种转子的旋转机器。

满足这个问题的本发明的目标由相应类别的独立权利要求的特征所表征。

根据本发明，提出用于具有磁悬浮转子的旋转机器的能够磁悬浮的转子，该转子具有磁性有效芯部和由热塑性可加工含氟聚合物制成的护套，该护套完全封罩磁性有效芯部，其中所述磁性有效芯部包括至少一个永磁体，并且其中每个永磁体具有用于保护以抵抗酸性或化学侵蚀性物质的金属涂层，并且其中塑料涂层被设置在金属涂层和护套之间，该塑料涂层由属于聚对二甲苯类的聚合物构成。

优选地，金属涂层直接粘附到永磁体。

非常复杂且广泛的研究已经表明，准确地，永磁体的被直接粘附到永磁体的金属涂层与含氟聚合物的外护套的该组合和被置于其间的聚对二甲苯涂层确保了特别良好且长期地保护转子的磁性有效芯部以抵抗酸、酸性流体和其它化学侵蚀性物质，诸如例如臭氧或者氢。转子的磁性有效芯部通过这种特殊组合被保护以既抵抗例如液体酸的侵蚀性液体成分并且又抵抗气体成分。尤其，也阻止了或至少显著减少了具有非常小的分子的物质（例如氢（H₂）、臭氧（O₃）、氢氟酸（HF）或者盐酸（HCl））向转子的磁性有效芯部或者向永磁体的扩散。相比于外护套的含氟聚合物，聚对二甲苯的聚合物链明显更长，从而它们形成与含氟聚合物相比好更多的扩散屏障。

派瑞林也被用作通过化学蒸汽沉积产生的聚对二甲苯（poly-p-xylylene）聚合物类的商标名称。起始材料是对二甲苯（二甲苯也被称为二甲苯（xylene）或者二甲苯（dimethylbenzene））或者其卤化衍生物。根据哪些取代基被附接到苯环，区别不同的聚对二甲苯。在基本产物聚对二甲苯（也被称为派瑞林N）中，苯环仅具有芳香烃氢原子，即苯环上的四个自由基中的每个均是氢原子。此外，其它的商业上可获得的产物尤其是派瑞林C、派瑞林D和派瑞林HT。在派瑞林C中，芳香烃氢原子中的一个被氯原子取代，在派瑞林D中芳香烃氢原子中的两个各自由一个氯原子取代，并且派瑞林HT是卤化衍生物，其中二聚体的α氢原子各自均被氟原子取代。

转子的磁性有效芯部的一个或多个永磁体优选地由钕-铁-硼（NdFeB）或者钐-钴（SmCo）合金制成。

已经证明有利的是，如果直接粘附到转子的金属涂层包括由镍、金或铑制成的至少一层。

如果金属涂层包括彼此上下设置的多个涂层，尤其至少三个，且其中最内层被直接设置在永磁体的表面上且优选地由镍构成，则能够实现特别良好的保护。镍是特别优选的，因为镍很好地粘附到NdFeB基合金以及SmCo基合金。镍也优选地作为最外金属层，因为聚对二甲苯也很好地粘附到镍，尤其比粘附到诸如金或铑的贵金属更好。

在优选实施例中，金属涂层恰好包括彼此上下设置的三层，其中最内层和最外层各自均由镍构成并且其中中部的中间层优选地由铜或金或铑构成。

在多层金属涂层中，最内层被首先施加到永磁体的表面。随后，施加中间层，其能够被用于例如填充在最内涂层中的气孔、毛细裂纹或者其它微结构缺陷。然后，中间层为最外层形成特别平坦且平滑的基部。优选地，金属涂层借助于电流技术（电镀）或者借助于无电流金属沉积（没有外部电流的化学沉积）被沉积在永磁体的表面上。

在金属涂层包括三层的情况下，下列层组合是特别优选的，其中顺序指示为从内部-即从永磁体的表面-到外部：镍（Ni）、铜（Cu）、镍（Ni）；或者镍、金、镍；或者镍、铑（Rh）、镍。在金属层涂层仅由一层构成的情况下，其优选地是镍、金或者铑。

金属涂层的总厚度优选的是30至100微米且特别优选的是50至60微米。

关于护套，优选的是如果护套由全氟烷氧基聚合物（perfluoroalkoxy polymer ，PFA）或者乙烯三氟氯乙烯（ethylene chlorotrifluoroethylene，ECTFE）或者聚偏二氟乙烯（polyvinylidene fluoride，PVDF）构成。除了其对于酸的抵抗性之外，这些热塑性可加工含氟聚合物还具有特别的优点，即其能够被注射模制且例如借助于红外焊接被焊接。这对于转子的生产是有利的。

含氟聚合物的护套优选地包括被焊接在一起的至少两部分，其中为此目的优选的是红外焊接。为了保护由聚对二甲苯制成的塑料涂层以免过量热输入（特别是在焊接过程期间），有利措施是如果在塑料涂层和护套之间提供热防护膜，优选地聚酰亚胺膜。为此目的，例如在商标名称Kapton下可获得的材料是合适的。

根据优选实施例，塑料涂层由氟化聚对二甲苯构成，优选地由脂肪类氟化聚对二甲苯构成。尤其，氟化聚对二甲苯的两种变型如今是商业上可获得的，即被指定为派瑞林AF4的脂肪类氟化变型和被指定为派瑞林VT4的芳香类氟化变型。脂肪类氟化聚对二甲苯是在苯环之间的脂肪类碳键中的两个氢原子被两个氟原子取代的变型。为此目的，二聚体的α氢原子被氟原子取代以产生聚对二甲苯。在芳香类氟化变型中，芳香烃氢原子各自均被氟原子取代，即在苯环上的四个自由基中的每个是氟原子。

氟化聚对二甲苯且尤其脂肪类氟化聚对二甲苯具有如下优势，即其具有高的热稳定性，即其非常耐高温，且其能够至少在短时间内暴露于高达450°的温度而没有劣化征兆。当然，当使用氟化聚对二甲苯时也能够在聚对二甲苯的塑料涂层和护套之间提供聚酰亚胺热防护膜。

优选地，金属涂层完全封罩磁性有效芯部，即整个磁性有效芯部被完全封罩在金属涂层中。根据第一实施例，转子的磁性有效芯部仅由一个永磁体构成，例如由永磁环构成。在这种情况下，永磁体的每个表面完全地设置有金属涂层，以致整个永磁体完全涂覆有金属涂层，即完全被金属涂层封罩或封装。

还优选的是如果塑料护套完全封罩磁性有效芯部。通常，由聚对二甲苯制成的塑料涂层通过蒸汽沉积作为聚合物层被生成在待涂覆的基底上。因此，例如，转子的磁性有效芯部或者永磁体能够首先设置有金属涂层且之后在该金属涂层上沉积聚对二甲苯塑料涂层。

优选实施例是金属涂层被直接设置在每个永磁体上且每个永磁体被直接设置在其上的金属涂层完全封罩。

此外，优选的是，塑料涂层被直接设置在金属涂层上且每个金属涂层被直接设置在其上的塑料涂层完全封罩。

如已经提到的，在第一实施例中磁性有效芯部由永磁体构成，其中永磁体优选地被设计成一件且尤其优选的是环的形式。

根据优选实施例，护套具有接收磁性有效芯部的杯状壳体部分和被焊接到壳体部分的盖，其中杯状壳体部分优选地被设计成使得在磁性有效芯部和壳体部分之间存在空气间隙。如果磁性有效芯部设置有金属涂层并设置有塑料涂层，则该空气间隙具有在径向方向上在壳体部分的壁和被涂覆的磁性有效芯部之间的例如大约0.1mm的宽度。空气间隙也被设置在轴向方向上，即在杯状壳体部分的底部处或者在盖处，其在轴向方向上具有大约0.5-1mm的宽度。

此外，根据本发明提出了一种用于影响流体的旋转机器，尤其是离心泵或者混合装置，其具有能够磁悬浮的转子且具有定子，借助于该定子所述转子在操作状态中能够以磁性无接触的方式被驱动成绕轴向方向旋转，其中转子是磁悬浮的并且根据本发明来设计。

旋转机器优选地被设计成无轴承马达，其中定子被设计成轴承定子和驱动器定子，通过其所述转子能够在操作状态中以磁性无接触的方式被驱动并且能够相对于定子至少径向地以磁性无接触的方式悬浮。

由从属权利要求得出本发明的另外的有利措施和实施例。

附图说明

在下文中将借助于实施例并参考附图来更详细地解释本发明。在附图中（部分以截面）示出：

图1：具有根据本发明的转子的第一实施例的根据本发明的旋转机器的第一实施例的截面视图；

图2：图1的能够磁悬浮的转子的截面视图；

图3：图2的细节I的放大视图；

图4：具有根据本发明的转子的第二实施例的根据本发明的旋转机器的第二实施例的截面视图；

图5：图2的能够磁悬浮的转子的截面视图；

图6：沿图5中的截面线VI-VI的通过图5的转子的截面；

图7：图5的转子的第一变型的示意性截面视图；

图8：图5的转子的第二变型的示意性截面视图；以及

图9：图5的转子的第三变型的示意性截面视图。

具体实施方式

图1以第一截面视图示出了具有根据本发明的转子的第一实施例的根据本发明的旋转机器的第一实施例。在此，旋转机器被设计为离心泵，其整体由附图标记100指代。这样的离心泵100能够尤其被用于半导体产业中，用来运输酸性流体或者化学侵蚀性（aggressive）流体。这样的流体可以包含硫酸（H₂SO₄）、磷酸（H₃PO₄）、盐酸（HCl）、氢氟酸（HF）、硝酸（HNO₃）、臭氧（O₃）或者混合物，例如硫酸（H₂SO₄）和过氧化氢（H₂O₂）的混合物或者硫酸（H₂SO₄）和硝酸（HNO₃）的混合物。

离心泵100包括具有用于待运输的流体的入口102和出口103的泵壳体101。根据本发明的能够磁悬浮的转子的第一实施例被设置在泵壳体101内，该转子整体由附图标记1指代。为了更好地理解，图2示出了图1的能够磁悬浮的转子1的截面视图。转子1具有包括至少一个永磁体21的磁性有效芯部2，以便驱动转子1绕设定旋转轴线旋转，该设定旋转轴线限定轴向方向A。垂直于轴向方向A的方向被描述为径向方向。

在第一实施例中，磁性有效芯部2仅由永磁体21构成，在此其被设计为环形永磁体21。优选地环形永磁体21是一件。然而，还可能的是，永磁体21包括彼此互补以形成环的多个节段。在操作状态中，环形永磁体21被布置成使得其围绕设定旋转轴线延伸。

转子1进一步包括由热塑性可加工含氟聚合物制成的护套3，其完全封罩磁性有效芯部2以致磁性有效芯部2被完全嵌入在护套3内并且被护套3封装。护套3由全氟烷氧基聚合物（PFA）构成。替代性地，护套3也能够由乙烯三氟氯乙烯（ECTFE）或者聚偏二氟乙烯（PVDF）构成。多个叶片4被设置在护套3上，通过其能够将流体从入口102运输到出口103。此外，提供覆盖叶片4的盖板5，该盖板5在叶片4背离护套3的侧面上覆盖叶片4。泵壳体101优选地由塑料制成。这能够是与制造护套3所用的塑料相同的塑料或者另一种塑料。泵壳体101优选地至少基本由含氟聚合物构成。不是热塑性可加工（即不能够被焊接或注射模制）的塑料或聚合物（尤其是含氟聚合物）也适用于泵壳体101。

泵壳体101被设计成使得其能够被插入到定子104内，通过其能够驱动转子1以磁性无接触的方式绕轴向方向A旋转并且转子1能够至少在径向方向上以磁性无接触的方式悬浮。因此，转子1被设计成集成转子1，其既形成泵转子1并且又形成电磁旋转驱动器的转子1。

定子104以其本身公知的方式具有多个线圈芯部105，所述线圈芯部105具有线圈或绕组106，通过其在操作状态中能够以磁性无接触的方式驱动转子1。线圈芯部105被优选地由铁构成的末端（conclusion）107连接。在第一实施例中，定子104被设计为轴承定子和驱动器定子104，通过其能够在操作状态中以磁性无接触的方式驱动转子1，并且转子1能够相对于定子104没有接触地以磁性无接触的方式悬浮。因此，定子104和转子1形成电磁旋转驱动器，其优选地根据无轴承马达来设计。

在无轴承马达中，转子1能够以磁性无接触的方式被驱动并且能够相对于定子104以磁性无接触的方式悬浮。为此目的，定子104被设计为轴承定子和驱动器定子104，通过其能够以磁性无接触的方式绕设定旋转轴线驱动转子1，即转子1能够旋转，并且转子1能够相对于定子104以磁性无接触的方式悬浮。

无轴承马达是本领域技术人员熟知的，因此没有必要详细描述其功能。术语无轴承马达指的是如下事实：转子1完全磁悬浮，其中不提供单独的磁体轴承。为此目的，定子104被设计为轴承定子和驱动器定子104，其既是电驱动器的定子并且也是磁性轴承的定子。定子104包括绕组106，通过其能够产生磁旋转场，其一方面在转子1上施加转矩从而导致其旋转，并且其另一方面在转子1上施加可自由调整的横向力，以致其径向位置（即其在与轴向方向A垂直的径向平面内的位置）能够被主动控制或调制。因此，能够主动控制转子1的至少三个自由度。转子1在轴向方向A上关于其径向偏转被磁阻力至少被动地磁性稳定，即其是不可控的。取决于设计，转子1也能够关于剩余两个自由度被被动地磁性稳定，即相对于与设定旋转轴线垂直的径向平面倾斜。

不同于常规磁性轴承，无轴承马达的磁性轴承和马达的驱动器经由电磁旋转场来实现，其总和一方面在转子1上产生驱动转矩并且也产生可自由调整的横向力，借助于该横向力能够控制转子1的径向位置。这些旋转场可以被单独生成（即使用不同线圈），或者旋转场能够通过数学上叠加所需的电流或电压且然后使用单个线圈系统来生成。无轴承马达的特性特征在于驱动功能不能与轴承功能分离。这与具有单独的磁性轴承的设计显著不同，在所述具有单独的磁性轴承的设计中，驱动功能与轴承功能分离。

为了将具有转子1的泵壳体101放置在定子104内，定子104具有基本圆柱凹部，泵壳体101能够被插入到该凹部内，以致具有绕组106的线圈芯部105包围转子1。转子1被居中地布置在由线圈芯部105形成的定子极之间。因此，转子1和定子104表现为电磁旋转驱动器，其根据内部转子的原理来设计。

在这里描述的实施例中，离心泵100，更精确地由定子104和转子1形成的旋转驱动器，被设计成所谓的庙宇马达（temple motor）。庙宇马达设计的特性特征在于定子104包括多个单独的线圈芯部105，每个线圈芯部105均是具有纵向腿部和横向腿部的L形。每个纵向腿部在轴向方向A上从第一端延伸到第二端，横向腿部在径向方向上从该第二端向内延伸并且形成定子极。纵向腿部的所有第一端（根据图1中的图示它们是下端）均通过末端107彼此连接。末端107包括多个节段，每个节段将线圈芯部105的第一端连接到相邻线圈芯部105的第一端。各个线圈芯部105优选地被布置成使得它们在一个圆上包围转子1并且被布置成在这个圆上等距。在操作期间，转子1以磁性无接触的方式悬浮在径向指向内的定子极之间。转子的磁性有效芯部2相对于轴向方向A与定子极处于同样的高度。线圈芯部105的平行纵向腿部（其全部平行于轴向方向A延伸并且其包围转子1）是导致其得名庙宇马达的腿部，因为这些平行纵向腿部类似庙宇的支柱。

庙宇马达的另一特征是定子104的绕组106各自均围绕线圈芯部105的纵向腿部布置并且因此被布置在磁性转子平面之外，根据图示在磁性转子平面下方。磁性转子平面是转子1的磁性有效芯部2的磁性中心平面。这是与轴向方向A垂直的平面，如果转子1不倾斜，则在操作状态中，转子1或转子1的磁性有效芯部2悬浮在该平面中。大体而言，磁性转子平面是转子1的磁性有效芯部2的几何中心平面，其垂直于轴向方向A。

优选地，绕组106被完全布置在磁性有效芯部2下方。因此，绕组106没有被布置在转子1在操作状态中被驱动且悬浮所处的平面中。不同于其它电磁旋转驱动器（其中定子的绕组被布置成使得线圈轴线各自均位于磁性转子平面内、即在转子悬浮所处的平面内），定子104的绕组106被布置在庙宇马达中使得绕组106的轴线垂直于磁性转子平面且因此与轴向方向A平行对齐。

显而易见，本发明不限于作为庙宇马达的所述实施例。定子104的许多其它实施例也是可能的。唯一重要的事情是，转子1能够在操作状态中以磁性无接触的方式被驱动以绕轴向方向旋转。

在下文中，将参考图2和图3更加详细地解释转子1，其中图3是图2的细节I的放大视图。

如已经在第一实施例中提到的，磁性有效芯部2由环形永磁体21构成，即磁性有效芯部2等同于永磁体21。永磁体21优选地由钕-铁-硼（NdFeB）合金构成，不过其也可以由通常用于永磁体的另一材料构成，例如钐-钴（SmCo）合金。

永磁体21具有金属涂层6，其尤其用于保护以抵抗酸性气体成分或化学侵蚀性物质，并且其应该尽可能阻止或者至少显著减少这样的成分扩散到永磁体。下文将更详细解释的金属涂层6以如下的方式被直接设置在永磁体21的表面上，其中永磁体21的所有表面均设置有金属涂层6，使得永磁体21完全被金属涂层6封罩。金属涂层6是永磁体21的密封封装，从而阻止任何物质直接接触永磁体21。

优选地，金属涂层借助于电流技术（电镀）或者借助于无电流的金属沉积（没有外部电流的化学沉积）被直接沉积在永磁体21的每个表面上。

塑料涂层7直接设置在金属涂层6上，该塑料涂层由属于聚对二甲苯（parylenes）类的聚合物构成。在商业上可在商标名称派瑞林N、派瑞林C和派瑞林D名下获得的那些聚对二甲苯特别适用于塑料涂层。派瑞林N是这个聚合物类的基本产物。派瑞林N是聚对二甲苯，一种完全线性的聚合物。派瑞林C和派瑞林D是变型，其由与派瑞林N相同的原始材料制成，其中在派瑞林C中，芳香烃氢原子中的一个被氯原子取代，并且在派瑞林D中，芳香烃氢原子中的两个各自被氯原子取代。尤其，塑料涂层7也可以由氟化聚对二甲苯构成且优选地由脂肪类氟化聚对二甲苯构成。在这种衍生物中，被描述为派瑞林AF4且商业上可在商标名称派瑞林HT下获得的，例如，两个氢原子在苯环之间的脂肪类碳键中被两个氟原子所取代。

生产由聚对二甲苯构成的塑料涂层7是本领域本身的现有技术并且因此不需要任何进一步的说明。通常，聚对二甲苯涂层通过化学蒸汽沉积来产生。首先，合适的二聚体，例如二对二甲苯（或者卤化、例如氟化衍生物）被蒸发并且通过高温区域（热解），从而形成单体（例如，对二甲苯）。单体之后在待涂覆的表面上聚合，在这种情况下是在封罩永磁体21的金属涂层6上聚合，借此聚对二甲苯涂层作为塑料涂层7被形成。

在这种情况下，还优选的是，塑料涂层7完全封罩金属涂层6且因此完全封罩永磁体21。这意味着塑料涂层7形成围绕永磁体21的第二护套，其完全包围金属涂层6。塑料涂层7被直接设置在金属涂层6上。为此目的，金属涂层6被用作基底，在生产塑料涂层7期间聚对二甲苯聚合物被沉积在该基底上。

优选的是以多个连续涂覆过程来生成塑料涂层7，所述多个连续涂覆过程中的每个中均有一层聚对二甲苯层被沉积在基底上。为此目的，在涂覆过程之间，设置有金属涂层6的永磁体21至少翻转一次，以致在涂覆过程期间，永磁体21所处的接触点在随后的涂覆过程期间也被覆盖。此外，更均质且致密的涂层能够由多次涂覆来产生并且在永磁体21内或在金属涂层6内的凹部也能够被均质地涂覆。尤其，至少三个涂覆过程被执行，在每个过程中产生一个聚对二甲苯层，以致完成的塑料涂层7包括至少三个叠覆的聚对二甲苯层。塑料涂层7的总厚度优选地是至少40微米、更优选地至少60微米且最优选地大约80微米或更大。

转子1进一步包括护套3，其完全地封罩永磁体21和金属涂层6，从而完全地封罩永磁体21和塑料涂层7。因此，护套3形成完全闭合的壳体，用于永磁体21和被设置在其上的涂层6和7。护套3包括用于接收具有金属涂层6和塑料涂层7的永磁体21的杯状壳体部分31以及盖32，该盖32密封杯状壳体部分31并且沿着焊缝33被焊接到杯状壳体部分31。红外焊接过程优选地用于将盖32焊接到壳体部分31。

如已经提到的，护套3由特别可焊接的热塑性可加工含氟聚合物构成。特别优选，护套3由PFA构成。护套3也能够优选地由ECTFE或者PVDF构成。

因此，非可焊接塑料或非可焊接含氟聚合物（例如在商标名称特氟龙（Teflon）名下已知的聚四氟乙烯（polytetrafluoroethylene，PTFE））特别不适用于护套3。仅可焊接或者PFA可软焊PTFE化合物（其通常包含少量PFA）可以被使用。

当然，泵壳体101可以由非可焊接塑料、尤其非可焊接含氟聚合物（例如PTFE）构成。

接收永磁体21的杯状壳体部分31包括基本环状腔体，设置有金属涂层6和塑料涂层7的永磁体21被插入该基本环状腔体内。腔体34的深度T（这意味着其在轴向方向A上的范围）稍稍大于包括金属涂层6和塑料涂层7的永磁体21在轴向方向A上的范围，以致壳体部分31相对于轴向方向A突出超过永磁体21并超过塑料涂层7，如图2和图3中所示向下。当盖32被置于壳体部分31上或者焊接到壳体部分31时，在每种情况下，在封罩金属涂层6和永磁体21的塑料涂层7和盖32及腔体34的底部之间均存在轴向空气间隙81。轴向空气间隙81在轴向方向A上的范围优选地在每种情况下均是大约0.5mm-1mm。

在径向方向上，腔体34具有宽度B，其尺寸被制成使得径向空气间隙82存在于封罩金属涂层6和永磁体21的塑料涂层7和护套3之间。径向空气间隙82通常具有比半毫米更小的宽度（在径向方向上）并且例如是大约0.1mm。

盖32具有在轴向方向A上从盖32突出的抬升部321，以致根据图示（图2），在每种情况下，在永磁体21或者塑料涂层7上方和下方两者处均存在轴向空气间隙81。具有金属涂层6和永磁体21的塑料涂层7能够支撑在该抬升部321上，以致挨着抬升部321侧向地形成轴向空气间隙81。例如，抬升部321能够被设计成环状抬升部321，其被布置成与设定旋转轴线同心并且其相对于永磁体21在径向方向上居中。

提供多个抗旋转装置35，转矩能够借助于该抗旋转装置35从永磁体21被传递到护套3，以致磁性有效芯部2（在这种情况下是永磁体21）不能相对于护套3旋转，但替代地在其旋转期间使得护套3以及叶片4和盖板5随其一起旋转。每个抗旋转装置35均包括作为护套3的杯状壳体部分31的集成部件的在轴向方向A上延伸的销351以及被设置在永磁体内的孔352，相应的销351接合到该孔352内。为此目的，每个销351和与销351相互作用的相应的孔352被设计成使得永磁体21不能相对于护套3旋转，但是永磁体21的旋转被传递到护套3。在每个孔352内也提供金属涂层6和塑料涂层7两者，以致永磁体21完全被金属涂层6和塑料涂层7封罩。这意味着在每个孔352和接合在其内的销351之间提供金属涂层6和塑料涂层7两者。

如图3中所示，金属涂层6包括彼此上下布置的多个金属层，即三个。最内层61被直接设置在永磁体21的表面上，中间层62被直接设置在最内层61上，并且最外层63被直接设置在中间层62上。这三层61、62、63被相继施加，优选地借助于电流技术（电镀）或者借助于无电流金属沉积（没有外部电流的化学沉积）。优选地，最内层61和最外层63各自均由镍（Ni）构成。中间层优选地由铜（Cu）构成，不过其也可以替代性地由金（Au）或铑（Rh）构成。金属涂层的总厚度优选地是30至100微米且特别优选地是50至60微米。在这种情况下，最内层61具有大约10至20微米的厚度；中间层62具有大约10至20微米的厚度；并且最外层63具有大约30微米的厚度。

与图3中的图示区别开，当然还可能的是，金属涂层6仅由一层构成，于是其优选地由Ni或Au或Rh构成。还可能的是，金属涂层6由两层构成，内层优选地由Ni构成且外层由Au或Rh构成。此外，可能的是，金属涂层6包括三个以上的层61、62、63。

为了在将盖32焊接到杯状壳体部分31期间保护塑料涂层7尤其以抵抗过量的热输入（这会导致塑料涂层7的劣化），优选地在护套3的盖32和塑料涂层7之间提供热防护膜9。热防护膜9优选地是聚酰亚胺膜，例如商业上可在商标名称Kapton下获得的一种。根据图示（图2、图3），热防护膜9优选地仅被设置在塑料涂层7的底侧和护套3之间，即在塑料涂层7的最靠近焊缝33的区域内。

替代性地或者除了热防护膜9之外，优选措施是，塑料涂层7由氟化聚对二甲苯且特别优选地由脂肪类氟化聚对二甲苯（其也被指定为派瑞林AF4）构成。尤其，脂肪类氟化聚对二甲苯尤其具有高的热稳定性。

为了避免塑料涂层7的与温度有关的劣化，特别是当将盖32焊接到护套的壳体部分31时，多种变型是优选的：塑料涂层7由非氟化聚对二甲苯（例如派瑞林N或者派瑞林C或者派瑞林D）构成并且提供热防护膜9。或者塑料涂层7由氟化聚对二甲苯、尤其由类型派瑞林（type parylene）AF4的脂肪类氟化聚对二甲苯构成，并且不提供热防护膜9。或者塑料涂层7由氟化聚对二甲苯、尤其由类型派瑞林AF4的脂肪类氟化聚对二甲苯构成，并且额外提供热防护膜9。

为了生产转子1，下列过程是优选的。首先，金属涂层6被施加到环状永磁体21，以致永磁体完全被金属涂层封罩。随后，塑料涂层7从聚对二甲苯被沉积到金属涂层6上，以致金属涂层6完全被塑料涂层7封罩。然后，提供杯状壳体部分31。设置有金属涂层6和塑料涂层7的永磁体21被插入到壳体部分31的环状腔体34内，使得销351接合在孔352内。可选地，热防护膜9被置于塑料涂层7的面向盖32的表面上或者被置于盖32的面向塑料涂层的表面上。通过放置盖32来覆盖或者闭合其内具有永磁体21的杯状壳体部分31。然后，盖子32借助于红外焊接被焊接到杯状壳体部分31。

空气间隙81、82对焊接也是有利的，因为沿着焊缝33，在焊接期间，液化的含氟聚合物（护套3由其构成）能够被移位到该空气间隙81、82内，以致不存在由被移位的材料破坏塑料涂层7的风险。在焊接期间被移位的聚合物材料在图3中通过珠缘（bead）36被示出。

图4示出了具有根据本发明的转子的第二实施例的根据本发明的旋转机器的第二实施例的截面视图。在旋转机器的实施例和转子的第二实施例的下文描述中，仅解释与旋转机器的第一实施例和转子的第一实施例的不同之处。其它方面，转子或旋转机器的第一实施例的解释对于转子或旋转机器的第二实施例而言也以相同方式或以相同类似方式有效。在转子或旋转机器的第二实施例中，相同部分或相同功能的部分被指示为与转子或旋转机器的第一实施例中相同的附图标记。

根据本发明的旋转机器的第二实施例也被设计成离心泵100，其包括具有用于待运输的流体的入口102和出口103的泵壳体101。能够磁悬浮的根据本发明的转子1的第二实施例被设置在泵壳体101内部。为了更好地理解，图5示出了图4的能够磁悬浮的转子1的另一截面视图，并且图6示出了沿着图5中的截面线VI-VI、即在与轴向方向A垂直的截面中的通过图5的转子1的截面。

转子1具有磁性有效芯部2，以便驱动转子1绕设定旋转轴线旋转，该设定旋转轴线确定轴向方向A，在此该磁性有效芯部2包括多个永磁体21，即两个永磁体21。除了所述两个永磁体21之外，磁性有效芯部2还包括基部主体22，永磁体21被嵌入在该基部主体22内。基部主体22由例如铁、镍-铁或硅-铁的软磁性材料构成。基部主体22与永磁体21一起形成转子1的磁性有效芯部2。基部主体22和永磁体21被设计成使得磁性有效芯部2具有整体圆柱形形状，其中圆柱形磁性有效芯部2的纵向轴线在轴向方向A上延伸。

基部主体22具有基本圆柱形形状且在圆柱的壳表面中具有环形凹部221从而接收这两个永磁体21。关于轴向方向A，凹部221被设置在基部主体22的中心中。这两个永磁体21中的每个均被设计成弯曲节段，其具有中空半圆柱的形状，使得这两个永磁体21彼此基本互补成中空圆柱。在这种情况下，在基部主体22内的凹部221和这两个永磁体21被设计成使得基部主体22和这两个永磁体21彼此互补成基本圆柱形磁性有效芯部2。

不同于被设计成无轴承马达的原理的第一实施例，在根据本发明的旋转机器100的第二实施例中，转子1的驱动功能和磁悬浮转子1的磁性轴承功能彼此分离。为此目的，离心泵100具有驱动器定子110（图4）和至少一个轴承定子111（在这种情况下是两个轴承定子111），使用该驱动器定子110驱动转子1绕轴向方向A旋转，转子1能够借助于所述轴承定子111磁悬浮并且优选地以磁性无接触的方式相对于轴承定子111悬浮。所有定子110、111均被设置成相对于泵壳体101且因此相对于转子1处于径向外侧。

驱动器定子110相对于轴向方向A围绕泵壳体101，其中两个永磁体21被设置在转子1的磁性有效芯部2中并且与磁性有效芯部2相互作用，以作为电磁旋转驱动器。为此目的，驱动器定子110包括一个或更多个绕组110a，通过其能够产生电磁场，例如以本身公知方式驱动转子1绕轴向方向A旋转的旋转场。关于驱动器定子110的设计，所有已知设计均是可能的。唯一重要的是，能够使用驱动器定子110驱动转子1围绕轴向方向A旋转。

用于转子1的磁悬浮的这两个轴承定子111被设置成相对于轴向方向A挨着驱动器定子110，其中轴承定子111被设置在驱动器定子110的每侧上，以致驱动器定子110相对于轴向方向A被设置在两个轴承定子111之间。优选地这两个轴承定子111距驱动器定子110具有相同距离。每个轴承定子111包括一个或更多个绕组111a，通过其能够生成电磁场，转子1能够借助于该电磁场磁悬浮并且优选地以磁性无接触的方式相对于轴承定子111悬浮。在这种情况下，每个轴承定子111根据磁性轴承的原理与转子1的磁性有效芯部2相互作用。因为在根据现有技术的许多设计中，这样的磁性轴承本身是已知的，所以它们在此不需要任何进一步的解释。轴承定子111的具体设计对于本发明来说不是关键。唯一重要的是，具有轴承定子111或具有多个轴承定子111的转子1能够磁悬浮且优选地以磁性无接触的方式悬浮。

根据本发明，同样在根据本发明的转子1的第二实施例中，护套3由热塑性可加工、尤其可焊接的含氟聚合物构成，其完全封罩磁性有效芯部2。此外，每个永磁体21具有金属涂层6，并且塑料涂层7被设置在金属涂层6和护套3之间，该塑料涂层进而由属于聚对二甲苯类的聚合物构成。

同样在转子1的第二实施例中，护套3优选地由可焊接的PFA构成。替代性地，优选的是如果护套3由ECTFE或者PVDF构成。

在第二实施例中，泵壳体101优选地也由含氟聚合物构成，不过其不必须是可焊接的或者热塑性可加工的。当前，还可能的是，泵壳体101由与涂层相同的塑料或者聚合物构成。

关于金属涂层6和塑料涂层7的设计以及这些涂层6、7的优选材料，关于第一实施例的解释和定义以相同方式或以相同类似方式对第二实施例也是有效的。

如图5和图6中尤其示出的，金属涂层6被直接设置在每个永磁体21上。如此，每个永磁体21被直接设置在其上的金属涂层6完全封罩。

塑料涂层7完全封罩磁性有效芯部2。为此目的，塑料涂层7被直接设置在基部主体22的表面上且被直接设置在金属涂层6的形成磁性有效芯部的边界表面的一部分的区域上。

因此在生产转子1时，永磁体21首先设置有金属涂层6。在这种情况下，金属涂层6被沉积在每个永磁体21的所有表面上，以致每个永磁体21被金属涂层6完全涂覆和封装。在永磁体21设置有金属涂层6之后，它们被插入到在基部主体22内的凹部221内。然后，通过沉积完全封罩磁性有效芯部2的至少一个和优选地几个聚对二甲苯层，在整个磁性有效芯部2上，即在基部主体22和插入其内的具有金属涂层6的永磁体21上，生成塑料涂层7。

以与第一实施例中相同类似的方式，护套3优选地同样包括几个部分，例如两个部分，其中设置有塑料涂层7的磁性有效芯部2被插入到所述部分中的一个内且这两部分之后被焊接在一起。

图7示出了能够磁悬浮的转子1的第二实施例的第一变型的示意性视图。在图7中未示出转子1的叶片4和盖板5。

在该第一变型中，塑料涂层7没有封罩转子1的整个磁性有效芯部2，而是仅封罩其上设置有金属涂层6的所述两个永磁体21中的每个。

对于该第一变型，永磁体21首先设置有金属涂层6。为此目的，金属涂层6被沉积在每个永磁体21的所有表面上，以致每个永磁体21被金属涂层6完全涂覆和封装。在永磁体21设置有金属涂层6之后，通过沉积完全封罩金属涂层6和被该金属涂层6封罩的永磁体21的至少一个且优选地几个聚对二甲苯层，在每个金属涂层6上生成塑料涂层7。

随后，设置有金属涂层6和塑料涂层7的永磁体21被插入到在基部主体22内的凹部221内。然后，提供完全封罩转子2的磁性有效芯部2的护套3。

图8示出了能够磁悬浮的转子1的第二实施例的第二变型的示意性视图。在图8中未示出转子1的叶片4和盖板5。

在第二变型中，整个磁性有效芯部2完全被金属涂层6和塑料涂层7两者封罩。在该变型中，金属涂层6没有直接且完全地封罩各个单独的永磁体21，而是仅向永磁体21的形成磁性有效芯部2的径向外表面的一部分的那些表面直接提供金属涂层6。

对于该第二变型，还没有被涂覆的永磁体21首先被插入到在基部主体22内的凹部221内。然后，向整个磁性有效芯部2-即具有被插入其中的永磁体21的基部主体22-提供金属涂层6。如此，金属涂层6被沉积在磁性有效芯部2的所有表面上，以致其被完全涂覆并且其被金属涂层6完全封罩。在磁性有效芯部2已经设置有金属涂层6之后，通过沉积完全封罩金属涂层6和被该金属涂层6封罩的磁性有效芯部2的至少一个且优选地几个聚对二甲苯层，在该金属涂层6上直接生成塑料涂层7。然后提供完全封罩转子1的磁性有效芯部2的护套3。

图9示出了能够磁悬浮的转子1的第二实施例的第三变型的示意性视图。在图9中未示出转子1的叶片4和盖板5。

在第三变型中，同样地，金属涂层6被直接设置在每个永磁体21上。在这种情况下，每个永磁体21被直接设置在其上的金属涂层6完全封罩。塑料涂层7没有封罩转子1的整个磁性有效芯部2，而是仅覆盖每个永磁体21的金属涂层6的形成磁性有效芯部2的径向外表面的一部分的区域。这意味着在每种情况下，塑料涂层7仅覆盖金属涂层6的径向外表面。优选的是，塑料涂层7相对于轴向方向A延伸得稍远于金属涂层6，以致在金属涂层6和基部主体22中的凹部221之间的边界区域被覆盖并且被保护以抵抗酸性或化学侵蚀性物质的渗入。因此，塑料涂层7优选地被设计成使得其相对于轴向方向A在两侧上与基部主体22稍稍重叠。因为聚对二甲苯会很好地渗入划痕、裂纹或间隙，所以确保了尤其永磁体21被保护以尤其抵抗物质渗入到在永磁体上的金属涂层6和基部主体22内的凹部221之间的边界中。

对于该第三变型，首先永磁体21各自设置有金属涂层6。在这种情况下，金属涂层6被沉积在每个永磁体21的所有表面上，以致每个永磁体21被金属涂层6完全涂覆和封装。在永磁体21设置有金属涂层6之后，它们被插入到在基部主体22内的凹部221内。随后，每个金属涂层6的径向外表面被涂覆有聚对二甲苯。为此目的，通过沉积至少一个且优选地几个聚对二甲苯层，塑料涂层7被直接生成在金属涂层6的这些表面上，该塑料涂层7被生成为使得其相对于轴向方向A在两侧上与基部主体22稍稍重叠。这能够例如通过覆盖或遮蔽基部主体22的在沉积聚对二甲苯层期间将不被涂覆的区域来实现。

在完成塑料涂层7之后，提供护套3，其完全封罩转子1的磁性有效芯部2。

根据本发明能够磁悬浮的转子1和根据本发明的旋转机器100（特别是被设计成离心泵或混合装置的旋转机器）特别适用于半导体产业中的应用，特别是用于半导体或者半导体芯片的生产过程。

Claims (15)

1.一种用于具有磁悬浮转子的旋转机器的转子，所述转子能够磁悬浮，所述转子具有磁性有效芯部（2）和由热塑性可加工含氟聚合物制成的护套（3），所述护套（3）完全封罩所述磁性有效芯部（2），其中，所述磁性有效芯部（2）包括至少一个永磁体（21），并且其中，每个永磁体（21）具有用于保护以抵抗酸性或化学侵蚀性物质的金属涂层（6），其特征在于：塑料涂层（7）被设置在所述金属涂层（6）和所述护套（3）之间，所述塑料涂层由属于聚对二甲苯类的聚合物构成。

2.根据权利要求1所述的转子，其中，所述金属涂层（6）包括由镍或金或铑构成的至少一层（61、62、63）。

3.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述金属涂层（6）包括彼此上下设置的多层、尤其至少三层（61、62、63），其中，最内层（61）被直接设置在所述永磁体（21）的表面上且优选地由镍构成。

4.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述金属涂层（6）恰好包括彼此上下设置的三层（61、62、63），其中，最内层（61）和最外层（63）各自均由镍构成，并且其中，中间的中间层（62）优选地由铜或金或铑构成。

5.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述护套（3）由全氟烷氧基聚合物或乙烯三氟氯乙烯或聚偏二氟乙烯构成。

6.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，热防护膜（9）被设置在所述塑料涂层（7）和所述护套（3）之间，所述热防护膜优选地是聚酰亚胺膜。

7.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述塑料涂层（7）由氟化聚对二甲苯构成，优选地由脂肪类氟化聚对二甲苯构成。

8.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述金属涂层（6）完全封罩所述磁性有效芯部（2）。

9.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述塑料涂层（7）完全封罩所述磁性有效芯部（2）。

10.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述金属涂层（6）被直接设置在每个永磁体（21）上，并且其中，每个永磁体（21）被直接设置在其上的所述金属涂层（6）完全封罩。

11.根据权利要求10所述的转子，其中，所述塑料涂层（7）被直接设置在所述金属涂层（6）上，并且其中，每个金属涂层（6）被直接设置在其上的所述塑料涂层（7）完全封罩。

12.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述磁性有效芯部（2）由永磁体（21）构成，其中，所述永磁体（21）优选地被设计成一件，且尤其优选的是环的形式。

13.根据前述权利要求中任一项所述的转子，其中，所述护套（3）具有接收所述磁性有效芯部（2）的杯状壳体部分（31）和被焊接到所述壳体部分（31）的盖（32），其中，所述杯状壳体部分（31）优选地被设计成使得在所述磁性有效芯部（2）和所述壳体部分（31）之间存在空气间隙（81、82）。

14.一种用于影响流体的旋转机器，尤其是离心泵或者混合装置，具有能够磁悬浮的转子（1）且具有定子（104、110），借助于所述定子（104、110），所述转子（1）能够在操作状态中以磁性无接触的方式被驱动成绕轴向方向（A）旋转，其特征在于：所述转子（1）是磁悬浮的并且根据前述权利要求中任一项来设计。

15.根据权利要求14所述的旋转机器，其被设计成无轴承马达，其中，所述定子被设计成轴承定子和驱动器定子（104），并且借助于所述定子（104），所述转子（1）能够在操作状态中以磁性无接触的方式被驱动，并且借助于所述定子（104），所述转子（1）能够相对于所述定子（104）至少径向地以磁性无接触的方式悬浮。