CN109094955A - 液体容器和液体供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供液体容器和液体供给装置，能够抑制在收纳的液体中混入气体。液体供给装置具有液体容器、送出路、流体供给路以及流体控制部。液体容器具有：内袋，其由薄膜状部件构成，将液体蓄留在内部；以及外侧容器，其将内袋收纳在内部，具有与内袋的口连通的第一开口部和向内袋与内壁之间的空间供给流体的第二开口部。送出路经由第一开口部将液体从内袋向供给目的地送出。流体供给路经由第二开口部向外侧容器的空间供给流体。流体控制部设置于流体供给路，控制来自流体供给源的流体的供给。

Description

液体容器和液体供给装置

技术领域

本发明涉及液体容器和液体供给装置。

背景技术

在收纳各种液体或气体的容器中存在收纳除气后的液体或不希望与空气接触而氧化的液体的容器。除气后的液体和不希望与空气接触而氧化的液体例如是涂覆在半导体晶片上的作为液状保护膜的液状树脂(例如，参照专利文献1)、在磨削板状物时涂覆在与被磨削面相反的一侧的面上并硬化来作为保护部件的液状树脂(例如，参照专利文献2)等各种除气后的液体。

专利文献1：日本特开2013-254817号公报

专利文献2：日本特开2014-192473号公报

专利文献1和专利文献2所记载的液体被保管/搬送至罐等容器并设置于供给装置，但如果在罐内存在气体则有可能发生氧化，在搬送过程中发生晃动等的情况下，有可能混入气体。因此，专利文献1和专利文献2等所记载的液体有时在被除气并且满罐地充满容器内的状态下被收纳。

然而，专利文献1和专利文献2等所记载的液体如果在被除气并且满罐地充满容器内的状态下被收纳，则在从容器排出时需要从外部吸引气体，仍然需要从外部向容器内供给气体。因此，专利文献1和专利文献2等所记载的液体在截止容器内的液体使用完而需要花费长时间的情况下，与气体同时收纳在容器内的时间变长，因而依然存在因某种原因而混入气体的可能。

发明内容

本发明是鉴于上述问题点而完成的，其目的在于提供能够抑制在收纳的液体中混入气体的液体容器和液体供给装置。

为了解决上述课题并达成目的，本发明的液体容器的特征在于，该液体容器具有：内袋，其由薄膜状部件构成，将液体蓄留在内部；以及外侧容器，其将内袋收纳在内部，具有与该内袋的口连通的第一开口部和向该内袋与内壁之间的空间供给流体的第二开口部，通过该流体的供给来压迫蓄留该液体的该内袋而使该内袋变形，从而将该液体从该内袋向外部送出。

在所述液体容器中，也可以是，收纳于该外侧容器的该内袋与该液体紧贴，在该内袋的口处具有防止所排出的该液体回流的止回阀。

在所述液体容器中，该外侧容器也可以具有第三开口部，该第三开口部供该流体从该空间排出。

本发明的液体供给装置使用所述液体容器向供给目的地供给该液体，其特征在于，该液体供给装置具有：送出路，其经由该第一开口部将该液体从该内袋向供给目的地送出；流体供给路，其经由该第二开口部向该外侧容器的空间供给该流体；以及流体控制部，其设置于该流体供给路，控制来自流体供给源的该流体的供给，在送出该液体时，将该流体供给至该外侧容器的空间，压迫蓄留该液体的该内袋而使该内袋变形。

在所述液体供给装置中，也可以是，该液体供给装置还具有：气体供给路，其向该内袋供给气体；以及气体控制部，其控制来自气体供给源的该气体的供给，在将排出了该液体的该液体容器从该液体供给装置脱离之前，供给该气体而使该内袋膨胀，将积存在该外侧容器的空间的该流体排出，从而使该液体容器的重量减少。

在所述液体供给装置中，该流体也可以是液体。

本申请发明实现了如下的效果：能够抑制在收纳的液体中混入气体。

附图说明

图1是示出实施方式1的液体供给装置的结构例的立体图。

图2是图1所示的液体供给装置的主要部分的剖视图。

图3是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。

图4是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出完成时的主要部分的剖视图。

图5是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。

图6是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出完成时的主要部分的剖视图。

图7是示出实施方式2的液体供给装置的结构例的立体图。

图8是图7所示的液体供给装置的主要部分的剖视图。

图9是实施方式3的液体供给装置的主要部分的剖视图。

图10是示出实施方式3的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。

图11是示出实施方式3的液体供给装置和液体容器的液体送出完成时的主要部分的剖视图。

图12是示出实施方式3的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。

标号说明

1、1-2、1-3：液体供给装置；2、2-2、2-3：液体容器；3：送出路；4：流体供给路；5：流体控制部；6：气体供给路；7：气体控制部；9：气体供给源；21：内袋；22：外侧容器；23：口；24：第一开口部；25：第二开口部；31、31-2：排出管(第三开口部)；33：止回阀；34：空间；35：贯通孔；100：液体；200：供给目的地；300：流体；400：气体。

具体实施方式

一边参照附图一边对用于实施本发明的方式(实施方式)进行详细地说明。本发明不受以下实施方式所记载的内容限定。另外，在以下所记载的构成要素中，包含本领域技术人员能够容易设想的实质上相同的构成要素。并且，以下所记载的结构可以适当组合。另外，可以在不脱离本发明的主旨的范围内进行结构的各种省略、置换或者变更。

〔实施方式1〕

根据附图对本发明的实施方式1的液体容器和液体供给装置进行说明。图1是示出实施方式1的液体供给装置的结构例的立体图。图2是图1所示的液体供给装置的主要部分的剖视图。

如图1和图2所示，实施方式1的液体供给装置1具有在内部蓄留液体100(仅图2所示)的液体容器2、送出路3、流体供给路4、流体控制部5、气体供给路6以及气体控制部7。液体供给装置1是使用液体容器2向供给目的地200供给液体100的装置。另外，液体100例如是构成在对晶片实施激光烧蚀加工时抑制碎屑附着于晶片的器件上的保护膜的水溶性的液状树脂或构成在磨削加工时保护被加工物的正面的保护部件的紫外线硬化型的液状树脂，但不限定于此。水溶性的液状树脂由PVA(聚乙烯醇)、或者PVP(聚乙烯吡咯烷酮)等构成。另外，关于供给目的地200，在液体100是水溶性的液状树脂的情况下，是对晶片进行激光烧蚀加工的激光加工装置，在液体100是紫外线硬化型的液状树脂的情况下，是将液状树脂粘贴于被加工物的粘贴装置，但不限定于此。

如图2所示，液体容器2是具有内袋21和外侧容器22的双重构造的容器。内袋21将液体100蓄留在内部。内袋21由具有挠性的薄膜状部件构成，除了排出液体100的口23以外，内部是密闭的。内袋21所收纳的液体100被除气，内袋21的内表面与液体100紧贴。内袋21在满罐地蓄留液体100的状态下，与外侧容器22的内表面紧贴。

外侧容器22是由硬质的材料构成的容器，例如是塑料罐(聚乙烯制的罐)或者一斗罐(金属制的罐)，但不限定于此。外侧容器22将内袋21收纳在内部，具有：第一开口部24，其与内袋21的口23连通；以及第二开口部25，其向内袋21与外侧容器22的内壁之间的空间34供给流体300(图3所示)。第一开口部24和第二开口部25被设置在盖29、30上，盖29、30分别安装在贯穿壁26的孔27、28上，壁26位于外侧容器22的上方。另外，在实施方式1中，流体300是作为液体的纯水，但不限定于纯水，也可以是气体。

另外，外侧容器22具有供流体300从空间34排出的作为第三开口部的排出管31。排出管31是将空间34与外侧容器22的外部连通的管，设置于外侧容器22的下端部。在排出管31上安装有对内侧的流路进行开闭的开闭阀32。

液体容器2具有止回阀33。止回阀33安装于内袋21的口23并且配置在第一开口部24内，从而该止回阀33配备在内袋21的口23处。即，在内袋21的口23处具有止回阀33。止回阀33允许从内袋21通过口23将液体排出至供给目的地200，而防止(即限制)排出至供给目的地200的液体100向内袋21侧回流。

送出路3是经由配置在第一开口部24内的止回阀33而将液体100从内袋21向供给目的地200送出的液体100的流路。送出路3连结止回阀33和供给目的地200。

流体供给路4是经由第二开口部25向外侧容器22内的空间34供给流体300的流体300的流路。流体供给路4连结第二开口部25和流体供给源8。

流体控制部5设置于流体供给路4，控制来自流体供给源8的流体300的供给。在实施方式1中，流体控制部5是设置于流体供给路4并对流体供给路4内的流路进行开闭的开闭阀，但在本发明中，不限定于开闭阀，例如也可以是从流体供给源8将流体300向外侧容器22内的空间34送出的泵。

气体供给路6是贯穿盖29且一端在内袋21内开口而将气体400(图5所示)向内袋21内供给的气体的流路。气体供给路6连结内袋21内和气体供给源9。

气体控制部7设置于气体供给路6，控制来自气体供给源9的气体400的供给。在实施方式1中，气体控制部7是设置于气体供给路6并对气体供给路6内的流路进行开闭的开闭阀，但在本发明中，不限定于开闭阀，例如也可以是从气体供给源9将气体400向内袋21内送出的泵。

上述结构的液体供给装置1和液体容器2在送出液体100时，将来自流体供给路4的流体300供给到外侧容器22内的空间34，通过流体300的供给即流体300来压迫蓄留液体100的内袋21而使该内袋21变形，由此从内袋21的口23经由止回阀33和送出路3向外侧容器22的外部即供给目的地200供给液体100。

接下来，根据附图对实施方式1的液体供给装置1和液体容器2将液体100向供给目的地200供给的动作进行说明。图3是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。图4是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出完成时的主要部分的剖视图。

实施方式1的液体供给装置1和液体容器2在将液体100向供给目的地200供给时，首先，关闭开闭阀32，气体控制部7将气体供给路6内的流路关闭。然后，液体供给装置1和液体容器2的流体控制部5将流体供给路4内的流路打开，将流体供给源8的流体300供给到空间34内。随着供给到空间34内的流体300增加，如图3所示，流体300压迫内袋21而使该内袋21以缩小的方式变形。液体供给装置1和液体容器2通过空间34内的流体300对内袋21进行压迫而使内袋21缩小，从而使内袋21内的液体100经由口23、止回阀33以及送出路3向供给目的地200供给。在液体供给装置1和液体容器2中，由于在内袋21内的液体100的送出完成时，如图4所示，外侧容器22内的空间34被流体300大致充满，另外在内袋21的口23处安装有止回阀33，因此内袋21与气体供给路6紧贴。

接下来，根据附图对在将排完液体100的液体容器2从液体供给装置1脱离之前将积存在外侧容器22的空间34内的流体300排出的动作进行说明。图5是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。图6是示出实施方式1的液体供给装置和液体容器的液体送出完成时的主要部分的剖视图。

实施方式1的液体供给装置1和液体容器2在将外侧容器22内的空间34内的流体300向外侧容器22外排出时，首先，流体控制部5将流体供给路4内的流路关闭，并打开开闭阀32。然后，液体供给装置1和液体容器2的气体控制部7打开气体供给路6的流路，将气体供给源9的气体400经由气体供给路6供给到内袋21内。随着供给到内袋21内的气体400增加，如图5所示，使内袋21膨胀，膨胀的内袋21压迫积存在空间34内的流体300，通过排出管31将流体300向外侧容器22外排出，从而使液体容器2的重量减少。在液体供给装置1和液体容器2中，在外侧容器22的空间34内的流体300的排出完成时，如图6所示，内袋21与外侧容器22的内表面紧贴，成为在外侧容器22内的空间34中几乎不残留流体300的状态。当排出外侧容器22内的空间34内的流体300时，将液体容器2从液体供给装置1取下。另外，从空间34排出的流体300被直接废弃或者进行净化而再利用。

像以上说明的那样，实施方式1的液体供给装置1和液体容器2是由内袋21和外侧容器22构成的双重构造的容器，通过向内袋21与外侧容器22之间的空间34供给流体300，压迫内袋21而使该内袋21变形从而将液体100送出。因此，即使暂时停止液体100的送出，液体容器2也能够通过维持空间34内的流体300来抑制内袋21再次膨胀，因此能够抑制气体从外部侵入至内袋21。其结果是，液体容器2能够抑制在收纳的液体100中混入气体。

由于供给到空间34的流体300是纯水等液体，因此液体容器2能够从内袋排出期望的量的液体100。

在液体容器2中，在将液体100蓄留在内袋21的状态下，内袋21与液体100紧贴，另外在内袋21的口23处设置有止回阀33，因此能够抑制在保管中或搬送中外部的气体侵入至内袋21，从而液体100与气体不接触，因此能够防止液体100氧化。

液体容器2由于具有供流体300从空间34排出的排出管31，因此当送完内袋21内的流体300时，能够从排出管31排出流体300，因此能够减轻从液体供给装置1取下时的重量。

另外，液体供给装置1在送完内袋21的液体100之后，在使液体容器2从液体供给装置1脱离时，向内袋21供给气体而使内袋21膨胀，使积存在外侧容器22的空间34内的流体300排出，因此能够实现取下时的液体容器2的轻量化，从而能够容易将送完液体100后的液体容器2搬出。

〔实施方式2〕

根据附图对本发明的实施方式2的液体容器和液体供给装置进行说明。图7是示出实施方式2的液体供给装置的结构例的立体图。图8是图7所示的液体供给装置的主要部分的剖视图。在图7和图8中，对与实施方式1相同的部分标注相同的标号而省略说明。

如图7和图8所示，在实施方式2的液体供给装置1-2和液体容器2-2中，除了以下几点之外，结构与实施方式1相同：流体供给源8是蓄留流体300的第二流体罐10、排出管31-2不设置于外侧容器22而是贯穿盖30而将空间34与第二流体罐10连结、以及流体控制部5是将第二流体罐10内的流体300向空间34内送出的泵11。实施方式2的液体供给装置1-2和液体容器2-2在将外侧容器22内的空间34内的流体300排出时，通过排出管31-2使排出的流体300返回到第二流体罐10。另外，在实施方式2中设置有流体供给路4和排出管31-2，但在本发明中，也可以不设置排出管31-2，而在将外侧容器22内的空间34内的流体300排出时，通过流体供给路4使排出的流体300返回到第二流体罐10。

实施方式2的液体供给装置1-2和液体容器2-2是由内袋21和外侧容器22构成的双重构造的容器，能够通过向内袋21与外侧容器22之间的空间34供给流体300来压迫内袋21而使该内袋21变形从而送出液体100，因此能够抑制在收纳的液体100中混入气体。

另外，实施方式2的液体供给装置1-2和液体容器2-2在将外侧容器22内的空间34内的流体300排出时，使排出的流体300返回到第二流体罐10，因此能够抑制流体300的使用量。

〔实施方式3〕

根据附图对本发明的实施方式3的液体容器和液体供给装置进行说明。图9是实施方式3的液体供给装置的主要部分的剖视图。图10是示出实施方式3的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。图11是示出实施方式3的液体供给装置和液体容器的液体送出完成时的主要部分的剖视图。图12是示出实施方式3的液体供给装置和液体容器的液体送出中的主要部分的剖视图。在图9至图12中，对与实施方式1相同的部分标注相同的标号而省略说明。

如图9所示，在实施方式3的液体供给装置1-3和液体容器2-3中，除了以下几点之外，结构与实施方式1相同：采用不具有气体供给路6和气体控制部7而不向内袋21内供给气体(限制供给)的结构、以及具有贯穿壁26的贯通孔35。实施方式3的液体供给装置1-3和液体容器2-3在将液体100向供给目的地200供给时，首先，关闭开闭阀32，流体控制部5打开流体供给路4内的流路，将流体供给源8的流体300供给到空间34内。随着供给到空间34内的流体300增加，如图10所示，流体300压迫内袋21而使该内袋21以缩小的方式变形。液体供给装置1-3和液体容器2-3通过空间34内的流体300来压迫内袋21而使内袋21缩小，从而使内袋21内的液体100经由口23、止回阀33以及送出路3供给到供给目的地200。在液体供给装置1-3和液体容器2-3中，在内袋21内的液体100的送出完成时，如图11所示，外侧容器22内的空间34被流体300大致充满，内袋21的内表面彼此紧贴。另外，在实施方式3中，贯通孔35设置于壁26，但在本发明中，设置贯通孔35的位置不限定于壁26，只要配置在外侧容器22中的在液体送出完成时比空间34内的流体300的液面靠上方的位置即可。

实施方式3的液体供给装置1-3和液体容器2-3在将外侧容器22内的空间34内的流体300向外侧容器22外排出时，首先，流体控制部5关闭流体供给路4内的流路，打开开闭阀32。于是，外部气体通过贯通孔35而侵入到空间34内，从而像图12所示那样，液体供给装置1-3和液体容器2-3通过排出管31使流体300向外侧容器22外排出。液体供给装置1-3和液体容器2-3在外侧容器22的空间34内的流体300的排出完成时，成为在外侧容器22内的空间34中几乎不残留流体300的状态。

实施方式3的液体供给装置1-3和液体容器2-3是由内袋21和外侧容器22构成的双重构造的容器，能够通过向内袋21与外侧容器22之间的空间34供给流体300来压迫内袋21而使该内袋21变形从而送出液体100，因此能够抑制在收纳的液体100中混入气体。

另外，实施方式3的液体供给装置1-3和液体容器2-3将贯通孔35设置于在外侧容器22的液体送出完成时比空间34内的流体300的液面靠上方的位置，因此当打开开闭阀32时，外部气体通过贯通孔35而侵入到外侧容器22的空间34内，因此能够容易将外侧容器22内的空间34内的流体300排出。

另外，本发明不限定于上述实施方式。即，在不脱离本发明的主旨的范围内可以进行各种变形来实施。

Claims (8)

1.一种液体容器，其特征在于，该液体容器具有：

内袋，其由薄膜状部件构成，将液体蓄留在内部；以及

外侧容器，其将内袋收纳在内部，具有与该内袋的口连通的第一开口部和向该内袋与内壁之间的空间供给流体的第二开口部，

通过该流体的供给来压迫蓄留该液体的该内袋而使该内袋变形，从而将该液体从该内袋向外部送出。

2.根据权利要求1所述的液体容器，其特征在于，

收纳于该外侧容器的该内袋与该液体紧贴，在该内袋的口处具有防止所排出的该液体回流的止回阀。

3.根据权利要求1或2所述的液体容器，其特征在于，

该外侧容器具有第三开口部，该第三开口部供该流体从该空间排出。

4.一种液体供给装置，其使用权利要求1所述的液体容器向供给目的地供给该液体，其特征在于，该液体供给装置具有：

送出路，其经由该第一开口部将该液体从该内袋向供给目的地送出；

流体供给路，其经由该第二开口部向该外侧容器的空间供给该流体；以及

流体控制部，其设置于该流体供给路，控制来自流体供给源的该流体的供给，

在送出该液体时，将该流体供给至该外侧容器的空间，压迫蓄留该液体的该内袋而使该内袋变形。

5.根据权利要求4所述的液体供给装置，其特征在于，

该液体供给装置还具有：

气体供给路，其向该内袋供给气体；以及

气体控制部，其控制来自气体供给源的该气体的供给，

在将排出了该液体的该液体容器从该液体供给装置脱离之前，供给该气体而使该内袋膨胀，将积存在该外侧容器的空间的该流体排出，从而使该液体容器的重量减少。

6.根据权利要求4或5所述的液体供给装置，其特征在于，

收纳于该外侧容器的该内袋与该液体紧贴，在该内袋的口处具有防止所排出的该液体回流的止回阀。

7.根据权利要求4或5所述的液体供给装置，其特征在于，

该外侧容器具有第三开口部，该第三开口部供该流体从该空间排出。

8.根据权利要求4或5所述的液体供给装置，其特征在于，

该流体是液体。