CN109076286B - 麦克风以及用于校准麦克风的方法 - Google Patents

麦克风以及用于校准麦克风的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN109076286B
CN109076286B CN201780016403.7A CN201780016403A CN109076286B CN 109076286 B CN109076286 B CN 109076286B CN 201780016403 A CN201780016403 A CN 201780016403A CN 109076286 B CN109076286 B CN 109076286B
Authority
CN
China
Prior art keywords
frequency
microphone
asic
llf
cut
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201780016403.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN109076286A (zh
Inventor
吉诺·罗卡
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
TDK Corp
Original Assignee
TDK Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TDK Corp filed Critical TDK Corp
Publication of CN109076286A publication Critical patent/CN109076286A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN109076286B publication Critical patent/CN109076286B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R3/00—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones
    • H04R3/04—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones for correcting frequency response
    • H04R3/06—Circuits for transducers, loudspeakers or microphones for correcting frequency response of electrostatic transducers
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/005—Electrostatic transducers using semiconductor materials
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R19/00—Electrostatic transducers
    • H04R19/04—Microphones
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R29/00—Monitoring arrangements; Testing arrangements
    • H04R29/004—Monitoring arrangements; Testing arrangements for microphones
    • H—ELECTRICITY
    • H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R2201/00—Details of transducers, loudspeakers or microphones covered by H04R1/00 but not provided for in any of its subgroups
    • H04R2201/003—Mems transducers or their use

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Otolaryngology (AREA)
  • Circuit For Audible Band Transducer (AREA)

Abstract

本发明涉及用于校准包括换能器元件(2)和ASIC(3)的麦克风(1)的方法，其中，该方法包括以下步骤：校准ASIC(3)的频率特性，使得麦克风(1)在预定截止频率(fLLF)处的灵敏度(Smic(fLLF))显示出与麦克风(1)在标准频率(f标准)处的灵敏度(Smic(f标准))相比的预定义的减小量(Δ)。本发明的另一方面涉及麦克风(1)。

Description

麦克风以及用于校准麦克风的方法
技术领域
本发明涉及麦克风以及用于校准麦克风的方法。
背景技术
具体地，本发明涉及使得能够校准麦克风的灵敏度的方法，使得可以实现预定的截止频率。截止频率也称为下限频率(LLF)。对于低于截止频率的频率，麦克风的灵敏度显著下降。具体地，与标准频率处的灵敏度相比，可以将使麦克风的灵敏度降低3dB或另一预定义的减小量的频率限定为麦克风的截止频率。
可以将麦克风的灵敏度限定为由麦克风响应于给定输入压力而提供的模拟输出电压或数字输出值的比率。灵敏度和截止频率是任何麦克风的关键规格。
由于MEMS换能器元件的制造中几乎不可避免的工艺变化，控制麦克风的截止频率是非常具有挑战性的。具体地，换能器元件的截止频率主要由通风孔的直径确定。原则上，可以通过使用具有较大直径的通风孔来减小换能器元件的截止频率的变化。然而，作为折衷，具有较大直径的通风孔导致降低的信噪比。
发明内容
本发明的一个目的是提供使得能够改进麦克风的校准的方法。此外，本发明的另一个目的是提供改进的麦克风。
这些目的通过根据未决的权利要求1所述的方法和根据第二个独立权利要求所述的麦克风来解决。
提供了用于校准包括换能器元件和ASIC的麦克风的方法。该方法包括下述步骤：校准ASIC的频率特性，使得麦克风在预定截止频率处的灵敏度显示出与麦克风在标准频率处的灵敏度相比预定义的减小量。
本发明的基本理念是：可以通过校准ASIC的频率特性来补偿导致换能器元件的截止频率变化的几乎不可避免的工艺变化。该方法使得能够校准麦克风，使得麦克风具有明确限定的预定截止频率。总的来说，麦克风的截止频率可以由换能器元件的频率响应和ASIC的频率响应的级联来确定。因此，换能器元件和ASIC二者都可以用作高通滤波器。
预定义的减小量可以是3dB加/减0.2dB的公差的减小量。标准频率可以是位于麦克风的响应频带中间的频率，例如1KHz。
换能器元件可以是MEMS器件。
术语“ASIC的频率特性”可以指ASIC的频率响应或灵敏度。频率特性可以描述由ASIC响应于给定输入信号而提供的输出电压的频率依赖性。对于低于截止频率的频率，频率特性显示出灵敏度的显著下降。
以相同的方式，可以限定换能器元件的频率特性和麦克风的频率特性。由换能器元件的频率特性和ASIC的频率特性确定麦克风的频率特性。因此，通过校准ASIC的频率特性，可以补偿换能器元件的频率特性的变化。因此，因为ASIC的校准使得能够补偿这些差，所以即使每个麦克风包括具有不同频率特性的换能器元件，该方法仍能够制造出具有相同频率特性的麦克风。
ASIC的频率特性可以通过逐次逼近算法来校准，该算法逐步调节ASIC的频率特性，直到麦克风在标准频率处的灵敏度与麦克风在预定截止频率处的灵敏度之间的差等于预定义的减小量。具体地，所述差可以等于在0.2dB的可接受公差限制范围内的预定义减小量。
已经证明逐次逼近算法的使用是用于微调ASIC的非常有效的方法。具体地，这使得能够校准和微调ASIC，直到截止频率收敛到期望的目标值。
在逐次逼近算法中，计算麦克风在标准频率处的灵敏度与麦克风在预定截止频率处的灵敏度之间的差，其中，基于所计算的差和存储在查找表中的信息来调节ASIC的频率特性。查找表的使用可以有助于显著加速校准处理。具体地，在大多数情况下，一个校准步骤可能足以调节ASIC的频率特性，因为存储在查找表中的值可以给出关于所需调节的精确信息。
ASIC可以包括可调高通滤波器，其中，通过调节可调高通滤波器的截止频率来校准ASIC的频率特性。高通滤波器可以是无源滤波器或者包括晶体管的有源滤波器。可调高通滤波器可以包括允许修改高通滤波器的截止频率的一个或更多个可调节部件。
如果所计算的差低于预定义的减小量，则可以减小可调高通滤波器的截止频率。如果所计算的差高于预定义的减小量，则可以增大可调高通滤波器的截止频率。可以在逐步逼近算法的每个步骤中重复可调高通滤波器的截止频率的相应减小量或增大量，直到麦克风的截止频率被设置成预定值。高通滤波器的截止频率的减小可以导致ASIC的截止频率的减小。高通滤波器的截止频率的增大可以导致ASIC的截止频率的增大。
在该方法的最后步骤中，可以将ASIC的频率特性的设置存储在非易失性存储器中。该非易失性存储器可以是可一次编程的设备。因此，校准方法可以仅在制造工艺的最后步骤中被执行一次，使得使用麦克风的客户不能修改ASIC的频率特性的设置。
根据本发明的另一方面，提供了包括换能器元件和ASIC的麦克风，其中，ASIC包括可调高通滤波器，其中，麦克风还包括存储用于可调高通滤波器的设置的信息的非易失性存储器。其中，所存储的信息使得能够设置可调高通滤波器，使得麦克风在预定截止频率处的灵敏度显示出与麦克风在标准频率处的灵敏度相比预定义的减小量。
因此，麦克风具有明确限定的频率特性。具有预定的截止频率对于例如由于风所产生的低频噪声可能使信号失真的应用是重要的。如果选择了麦克风的预定截止频率，则风噪声通常具有被截止或者至少显著衰减的低频率。此外，能够以高精度限定麦克风的截止频率对于具有多于一个麦克风的应用也很重要。对于这样的应用，通常需要每个麦克风具有相同的频率特性。
换能器元件可以限定截止频率。ASIC可以具有截止频率。ASIC和换能器元件的截止频率中的每个可以低于麦克风的预定截止频率。
高通滤波器可以被配置成允许将其截止频率调节为10Hz与50Hz之间的值。换能器元件可以限定40Hz至80Hz范围内的截止频率。
ASIC可以包括前置放大器。可调高通滤波器可以被集成到前置放大器中。ASIC的这种设计将可调高通滤波器放置在ASIC内的信号链的起点附近。这对于ASIC所消耗的面积可能是有利的。具体地，这种设计可以有助于节省尺寸和成本。
ASIC可以包括前置放大器和第二放大器，其中，可调高通滤波器被布置在前置放大器与第二放大器之间。这种设计可以将可调高通滤波器进一步朝向麦克风的信号链的末端放置。考虑到信噪比，该设计是有利的。具体地，可调高通滤波器可能引入噪声，在前置放大器放大之后布置可调高通滤波器可以确保噪声不会被前置放大器放大。
ASIC可以包括前置放大器和Σ-Δ转换器，其中，可调高通滤波器被布置在前置放大器与Σ-Δ转换器之间。同样，考虑到信噪比，这种设计是有利的。
附图说明
在下文中，参照附图更详细地描述本发明。
图1示出了麦克风的示意图。
图2示出了麦克风的频率特性。
图3示出了针对小频率的麦克风、换能器元件和ASIC的频率特性。
图4示出了用于校准麦克风的方法的流程图。
具体实施方式
图1示出了麦克风1的示意图。麦克风1包括MEMS换能器元件2和ASIC 3(ASIC＝专用集成电路)。换能器元件2被配置成将声学信号转换成电信号。电信号被馈送到ASIC 3。ASIC 3被配置成处理电信号。例如，ASIC 3包括前置放大器、第二放大器和模数转换器例如Σ-Δ转换器。前置放大器和第二放大器被配置成放大相应的输入信号。模数转换器被配置成将模拟输入信号转换成数字输出信号。
图2示出了图1中所示的麦克风的频率特性。具体地，声学输入信号的频率被表示在横坐标轴上。麦克风1在相应频率处的灵敏度被表示在纵坐标轴上。灵敏度表达了麦克风将声学输入信号转换成电压的能力。纵坐标轴以对数标度给出。图2中所示的曲线图Smic(f)也被称为麦克风的频率响应。
麦克风1的灵敏度Smic(f)对应于换能器元件2的灵敏度SMEMS(f)乘以ASIC 3的灵敏度SASIC(f)的乘积：
Smic(f)＝SMEMS(f)×SASIC(f)
如从图2中可以看出，麦克风1的灵敏度Smic(f)与频率有关。对于低于也被称为下限频率(LLF)的截止频率fLLF的频率，麦克风1的灵敏度Smic(f)显著下降。在图2中标出了截止频率fLLF。截止频率fLLF被限定为使以下等式成立的频率：
Smic(f标准)-Smin(fLLF)＝Δ
Smic(f标准)给出了麦克风在标准频率处的灵敏度。例如，标准频率f标准可以是1KHz。通常，标准频率f标准应该是位于麦克风1的响应频带中间的频率。标准频率f标准应该是麦克风1具有高灵敏度的频率。Δ给出了麦克风灵敏度的预定义的减小量。预定义的减小量Δ可以是3dB±可接受的公差。可接受的公差可以是0.2dB。
图3示出了针对低频的麦克风1、换能器元件2和ASIC 3的相应频率特性。同样，相应输入信号的频率被显示在横坐标轴上。各个元件在相应频率处的灵敏度被显示在具有对数标度的纵坐标轴上。
在图3中，曲线Smic(f)表示麦克风的灵敏度。曲线SMEMS(f)表示换能器元件2的灵敏度。曲线SASIC(f)表示ASIC 3的灵敏度。如上所述，麦克风1的灵敏度Smic(f)可以被计算为换能器元件2的灵敏度SMEMS(f)乘以ASIC 3的灵敏度SASIC(f)的乘积。对于换能器元件2，截止频率fLLF,MEMS可以被限定为灵敏度SMEMS(fLLF,MEMS)与可以是1KHz的标准频率处的灵敏度SMEMS(f标准)相比减小了预定义的减小量Δ的频率。预定义的减小量Δ可以是3dB±0.2dB：
SMEMS(fstandard)-SMEMS(fLLF，MEMS)＝Δ
对于ASIC 3，截止频率fLLF,ASIC可以以相同的方式限定：
SASIC(fstandard)-SASCI(fLLF，ASIC)＝Δ
在图3中标出了麦克风1的截止频率fLLF、换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS以及ASIC3的截止频率fLLF,ASIC。如图3所示，麦克风1的截止频率fLLF高于换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS和ASIC 3的截止频率fLLF,ASIC。
换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS主要由换能器元件2的通风孔的直径限定。由于换能器元件2的制造工艺中的变化造成的几乎不可避免的公差，换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS的正/负30％范围内的变化并非不常见。换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS被设计成在40Hz与80Hz之间。在完成换能器元件2的制造之后，很难修改换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS。
ASIC 3被设计成允许其截止频率fLLF,ASIC变化。ASIC 3可以包括可调高通滤波器，其中，可以调节高通滤波器，使得可以修改ASIC 3的截止频率fLLF,ASIC。例如，ASIC 3的截止频率可以以限定的步数例如8步在10Hz至50Hz的范围内调节。
本发明的基本理念是调节ASIC 3的截止频率fLLF,ASIC，使得可以补偿换能器元件2的截止频率fLLF,MEMS的不可避免的公差。因此，可以校准麦克风1的频率特性，使得可以实现麦克风1的明确限定的截止频率fLLF。
图4示出了表示用于校准麦克风1的方法的流程图，该方法使得能够校准麦克风1的频率特性，使得截止频率fLLF被设置成预定值。A表示该方法开始时的初始状态，在A中，不执行对ASIC 3的频率特性的调节。在方法的第一步骤B中，测量麦克风1在标准频率f标准处的灵敏度Smic(f标准)。标准频率f标准可以是1KHz。
在步骤B之后，执行步骤C，在步骤C中，测量麦克风1在预定截止频率处的灵敏度。预定频率可以是例如80Hz。
在步骤C之后，执行步骤D，在步骤D中，计算标准频率处的灵敏度与预定截止频率处的灵敏度之间的差。
在步骤D之后，执行步骤E，在步骤E中，将所计算的差与预定义的减小量Δ进行比较。预定义的减小量可以被选择为3dB±0.2dB。如果所计算的差等于预定义的减小量，即如果所计算的差在2.8dB与3.2dB之间，则终止校准处理并且在步骤F中将ASIC 3设置的当前值存储在非易失性存储器中。
然而，如果在步骤E中所计算的差与预定义的减小量Δ相差大于允许的公差间隔，则在步骤G中调节ASIC 3的频率特性。为此，将所计算的差用作用于查找表H的输入参数，查找表H存储关于ASIC 3的频率特性的新设置的信息。
之后，重复步骤C、D和E。因此，步骤C、D、E和G形成逐次逼近算法，执行该算法，直到麦克风1的频率特性被设置成预定的截止频率。
如图4所示的用于校准麦克风1的方法可以在麦克风1的制造工艺的最后步骤中执行。在方法的步骤F中，针对ASIC的频率特性的优化设置可以被存储在非易失性存储器中例如可一次编程的设备中。因此，此设置无法被客户修改。
附图标记
1 麦克风
2 换能器元件
3 ASIC
Smic(f) 麦克风的灵敏度
fLLF 麦克风的截止频率
SMEMS(f) 换能器元件的灵敏度fLLF,MEMS 换能器元件的截止频率SASIC(f) ASIC的灵敏度
fLLF,ASIC ASIC的截止频率

Claims (14)

1.一种用于校准包括换能器元件(2)和ASIC(3)的麦克风(1)的方法，
其中，所述方法包括以下步骤：
校准所述ASIC(3)的频率特性，使得所述麦克风(1)在预定截止频率fLLF处的灵敏度Smic(fLLF)显示出与所述麦克风(1)在标准频率f标准处的灵敏度Smic(f标准)相比的预定义的减小量Δ，其中，所述ASIC(3)的频率特性描述由所述ASIC(3)响应于给定输入信号而提供的输出电压的频率依赖性。
2.根据权利要求1所述的方法，
其中，通过逐次逼近算法来校准所述ASIC(3)的频率特性，所述逐次逼近算法逐步调节所述ASIC(3)的频率特性，直到所述麦克风(1)在所述标准频率f标准处的灵敏度Smic(f标准)与所述麦克风(1)在所述预定截止频率fLLF处的灵敏度Smic(fLLF)之间的差等于所述预定义的减小量Δ。
3.根据权利要求2所述的方法，
其中，在所述逐次逼近算法中，计算所述麦克风(1)在所述标准频率f标准处的灵敏度Smic(f标准)与所述麦克风(1)在所述预定截止频率fLLF处的灵敏度Smic(fLLF)之间的差，并且其中，基于所计算的差和存储在查找表中的信息来调节所述ASIC(3)的频率特性。
4.根据权利要求1-3中的一项所述的方法，
其中，所述ASIC(3)包括可调高通滤波器，并且其中，通过调节所述可调高通滤波器的截止频率来校准所述ASIC(3)的频率特性。
5.根据权利要求4所述的方法，
其中，如果所计算的差小于所述预定义的减小量Δ，则减小所述可调高通滤波器的截止频率。
6.根据权利要求4所述的方法，
其中，如果所计算的差大于所述预定义的减小量Δ，则增大所述可调高通滤波器的截止频率。
7.根据权利要求1-3中的一项所述的方法，
其中，在所述方法的最后步骤中，将所述ASIC(3)的频率特性的设置存储在非易失性存储器中。
8.一种麦克风(1)，
包括换能器元件(2)和ASIC(3)，
其中，所述ASIC(3)包括可调高通滤波器，
其中，所述麦克风(1)还包括非易失性存储器，所述非易失性存储器存储用于所述可调高通滤波器的设置的信息，并且其中，所存储的信息允许设置所述可调高通滤波器，使得所述麦克风(1)在预定截止频率fLLF处的灵敏度Smic(fLLF)显示出与所述麦克风(1)在标准频率f标准处的灵敏度Smic(f标准)相比的预定义的减小量Δ。
9.根据权利要求8所述的麦克风(1)，
其中，所述换能器元件(2)限定截止频率fLLF,MEMS，
其中，所述ASIC(3)具有截止频率fLLF,ASIC，并且
其中，所述ASIC(3)的截止频率fLLF,ASIC和所述换能器元件(2)的截止频率fLLF,MEMS中的每个均低于所述麦克风(1)的所述预定截止频率fLLF。
10.根据权利要求8或9所述的麦克风(1)，
其中，所述ASIC(3)被配置成允许将所述ASIC(3)的截止频率fLLF,ASIC调节为10Hz与50Hz之间的值。
11.根据权利要求8或9所述的麦克风(1)，
其中，所述换能器元件(2)限定在40Hz至80Hz范围内的截止频率fLLF,MEMS。
12.根据权利要求8或9所述的麦克风(1)，
其中，所述ASIC(3)包括前置放大器，
其中，所述可调高通滤波器被集成在所述前置放大器中。
13.根据权利要求8或9所述的麦克风(1)，
其中，所述ASIC(3)包括前置放大器和第二放大器，
其中，所述可调高通滤波器被布置在所述前置放大器与所述第二放大器之间。
14.根据权利要求8或9所述的麦克风(1)，
其中，所述ASIC(3)包括前置放大器和Σ-Δ转换器，
其中，所述可调高通滤波器被布置在所述前置放大器与所述Σ-Δ转换器之间。
CN201780016403.7A 2016-03-15 2017-03-13 麦克风以及用于校准麦克风的方法 Active CN109076286B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE102016104742.2 2016-03-15
DE102016104742.2A DE102016104742A1 (de) 2016-03-15 2016-03-15 Verfahren zum Kalibrieren eines Mikrofons und Mikrofon
PCT/EP2017/055834 WO2017157847A1 (en) 2016-03-15 2017-03-13 Method for calibrating a microphone and microphone

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN109076286A CN109076286A (zh) 2018-12-21
CN109076286B true CN109076286B (zh) 2020-09-29

Family

ID=58314183

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201780016403.7A Active CN109076286B (zh) 2016-03-15 2017-03-13 麦克风以及用于校准麦克风的方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10356525B2 (zh)
EP (1) EP3430820B1 (zh)
JP (1) JP6631821B2 (zh)
CN (1) CN109076286B (zh)
DE (1) DE102016104742A1 (zh)
WO (1) WO2017157847A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11062687B2 (en) 2019-01-04 2021-07-13 Bose Corporation Compensation for microphone roll-off variation in acoustic devices
CN111602415A (zh) * 2019-04-24 2020-08-28 深圳市大疆创新科技有限公司 拾音设备的信号处理方法、装置及计算机存储介质
CN110595612B (zh) * 2019-09-19 2021-11-19 三峡大学 电力设备噪声采集装置传声器灵敏度自动校准方法及系统
CN110784815B (zh) * 2019-11-05 2021-02-12 苏州市精创测控技术有限公司 一种用于测试产品声学性能的装置及方法

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6249237B1 (en) * 1998-10-09 2001-06-19 Lsi Logic Corporation System and method for bandpass shaping in an oversampling converter
US7428309B2 (en) * 2004-02-04 2008-09-23 Microsoft Corporation Analog preamplifier measurement for a microphone array
US8315379B2 (en) * 2004-11-10 2012-11-20 Matech, Inc. Single transducer full duplex talking circuit
EP1906704B1 (en) * 2006-09-26 2012-03-21 Epcos Pte Ltd A calibrated microelectromechanical microphone
JP5564743B2 (ja) * 2006-11-13 2014-08-06 ソニー株式会社 ノイズキャンセル用のフィルタ回路、ノイズ低減信号生成方法、およびノイズキャンセリングシステム
WO2008109826A1 (en) * 2007-03-07 2008-09-12 Personics Holdings Inc. Acoustic dampening compensation system
US8731211B2 (en) * 2008-06-13 2014-05-20 Aliphcom Calibrated dual omnidirectional microphone array (DOMA)
CN101621728B (zh) * 2009-06-25 2013-03-06 北京卓锐微技术有限公司 一种麦克风灵敏度的校准方法和装置
US8718127B2 (en) * 2011-08-02 2014-05-06 Analog Devices, Inc. Apparatus and method for digitally-controlled adaptive equalizer
WO2013025914A2 (en) * 2011-08-18 2013-02-21 Knowles Electronics, Llc Sensitivity adjustment apparatus and method for mems devices
US8995690B2 (en) * 2011-11-28 2015-03-31 Infineon Technologies Ag Microphone and method for calibrating a microphone
CN202524557U (zh) * 2012-01-16 2012-11-07 上海耐普微电子有限公司 一种单线可编程的mems麦克风及其编程系统
US9148729B2 (en) * 2012-09-25 2015-09-29 Invensence, Inc. Microphone with programmable frequency response
KR20150094730A (ko) * 2012-12-19 2015-08-19 노우레스 일렉트로닉스, 엘엘시 주파수 부스터를 구비한 디지털 마이크로폰
US9414175B2 (en) * 2013-07-03 2016-08-09 Robert Bosch Gmbh Microphone test procedure
US9232332B2 (en) * 2013-07-26 2016-01-05 Analog Devices, Inc. Microphone calibration
US9332369B2 (en) * 2013-10-22 2016-05-03 Infineon Technologies Ag System and method for automatic calibration of a transducer
CN203984683U (zh) * 2014-06-09 2014-12-03 钰太芯微电子科技（上海）有限公司 声学校准系统
US20160133271A1 (en) * 2014-11-11 2016-05-12 Knowles Electronic, Llc Microphone With Electronic Noise Filter

Also Published As

Publication number Publication date
DE102016104742A1 (de) 2017-09-21
US20190090058A1 (en) 2019-03-21
JP6631821B2 (ja) 2020-01-15
US10356525B2 (en) 2019-07-16
CN109076286A (zh) 2018-12-21
EP3430820B1 (en) 2020-08-05
JP2019508985A (ja) 2019-03-28
EP3430820A1 (en) 2019-01-23
WO2017157847A1 (en) 2017-09-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109076286B (zh) 麦克风以及用于校准麦克风的方法
EP2653845A1 (en) Sensor circuit and calibration method
EP2885872B1 (en) Hearing aid having level and frequency-dependent gain
EP2723103B1 (en) Array microphone device and gain control method
US20140153745A1 (en) Equalizer
CN110583026A (zh) 在反馈回路中具有麦克风换能器的具有可调节频率-3dB点和改进的建立速度的麦克风系统
US10250978B1 (en) Voice coil temperature control based on an estimated voice coil temperature and a threshold
US20090195308A1 (en) Automatic gain control circuit
JP6085678B2 (ja) Ｍｅｍｓマイクロフォンおよびｍｅｍｓマイクロフォンの駆動方法
AU2013251250B2 (en) Variable scale sensor
US20190182589A1 (en) Excursion control based on an audio signal bandwidth estimate obtained from back-emf analysis
JP6540975B2 (ja) マイクロフォン用の集積回路構成体、マイクロフォンシステム、およびマイクロフォンシステムの１つ以上の回路パラメータを調整するための方法
US9071216B2 (en) Signal processing device and signal processing method
JP2009284016A (ja) 回路装置の出力値自動調整回路
WO2015083404A1 (ja) 音響調整装置、および音響調整方法
CN108024185B (zh) 电子装置及特定频段补偿增益方法
JP2010252004A (ja) 周波数特性調整装置、プログラム、及び周波数特性調整方法
JP7495092B2 (ja) 高周波出力装置および高周波出力安定化方法
KR102341773B1 (ko) 전체 증폭률과 저역/고역 개별 증폭률 제어가 가능한 차량용 마이크로폰
JP2019179970A (ja) スピーカ装置及び電子機器
KR20230085705A (ko) 생산성 향상을 위한 마이크로폰소자 제조방법
LU100989B1 (en) Method for improving sound reproduction of low frequencies and apparatus therefore
JP2009207083A (ja) 増幅回路
JP2020170941A (ja) 高周波出力装置および高周波出力安定化方法
TWI609366B (zh) 電子裝置及其分頻濾波增益優化方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant