CN109075099B - 用于照明光束未对准的补偿的系统及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种系统，其包含：光束操纵组合件，其经配置以调整入射光束以形成校正光束；光束监测组合件，其经配置以产生用于所述校正光束的监测数据，所述监测数据包含所述校正光束的一或多个偏移参数；及控制器，其经配置以：存储所述校正光束的一或多个零参数；计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的至少一个差异；基于所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述至少一个差异而确定所述入射光束的一或多个光束位置调整；及经由一或多个电动机驱动器引导所述光束操纵组合件以致动一或多个电动机以调整所述入射光束以形成所述校正光束。

Description

用于照明光束未对准的补偿的系统及方法
相关申请案的交叉参考
本发明根据35U.S.C.§119(e)规定主张2016年5月2日申请的以弗兰克·李(FrankLi)、史蒂夫·徐(Steve Xu)、蒂姆斯威舍(Tim Swisher)、关永荣(Kwan Auyeung)及尤里·尤迪特斯基(Yury Yuditsky)为发明人的标题为用于晶片检验系统的照明激光束抖动的有源补偿的方法及系统(METHOD AND SYSTEM FOR ACTIVE COMPENSATION OF ILLUMINATIONLASER BEAM JITTER FOR WAFER INSPECTION SYSTEM)的第62/330,756号美国临时专利申请案，所述申请案的全部内容以引用的方式并入本文中。
技术领域
本发明大体上涉及晶片检验及复检，且特定来说，涉及调整检验系统中的照明光束以补偿未对准。
背景技术
制造例如逻辑及存储器装置的半导体装置通常包含使用较大数目个半导体制造工艺处理衬底(例如半导体晶片)以形成半导体装置的各种特征及多个层级。可在单个半导体晶片上的布置中制造多个半导体装置且接着将其分离为个别半导体装置。
半导体装置可在制造过程期间产生缺陷。随着对于具有不断变小的装置特征的集成电路的需求持续增大，对于这些不断缩小的装置的改进检验系统的需求持续增长。补偿这些改进检验系统中的照明光束的未对准变得越来越关键，因为甚至微小系统抖动可直接影响不断变小的装置的捕获率。
系统抖动可源自多个源，从而导致在0.1Hz到100Hz的范围中的抖动频率分布。一个系统抖动源是由冲放空气产生压力改变区且改变空气折射率所引起的沿着照明光束路径的“空气摆动”或湍流气流，其影响照明光束的位置在5Hz到100Hz的频率范围中的指向分量及平移分量。另一系统抖动源是照明光源，其将具有在0.5Hz到10Hz的频率范围中的固有不稳定性。第三系统抖动源是潜在地由各种外力激发的检验系统组件(例如光学基座及机械接触件)的机械振动，其影响照明光束的位置在0.1Hz到100Hz的频率范围中的指向分量及平移分量。
这些系统抖动源通常难以有效地从检验系统移除，从而意味着照明光束在未在经改进检验系统中经补偿的情况下将保持未对准。
因而，可期望提供一种用于解决先前方法的缺点(例如上文识别的缺点)的系统及方法。
发明内容
根据本发明的一或多个实施例揭示一种系统。在一个说明性实施例中，所述系统包含光束操纵组合件，其经配置以调整入射光束以形成校正光束。在另一说明性实施例中，所述系统包含光学地耦合到所述光束操纵组合件的光束监测组合件。在另一说明性实施例中，所述光束监测组合件经配置以产生所述校正光束的监测数据。在另一说明性实施例中，所述监测数据包含所述校正光束的一或多个偏移参数。在另一说明性实施例中，所述系统包含通信地耦合到所述光束监测组合件及所述光束操纵组合件的控制器。在另一说明性实施例中，所述控制器包含一或多个处理器，其经配置以执行存储于存储器中的程序指令集。在另一说明性实施例中，所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器存储所述校正光束的一或多个零参数。在另一说明性实施例中，所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的至少一个差异。在另一说明性实施例中，所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器基于所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述至少一个差异而确定所述入射光束的一或多个光束位置调整。在另一说明性实施例中，所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器经由一或多个电动机驱动器引导所述光束操纵组合件以致动一或多个电动机以调整所述入射光束以形成所述校正光束。
根据本发明的一或多个实施例揭示一种方法。在一个实施例中，所述方法可包含(但不限于)接收入射光束。在另一实施例中，所述方法可包含(但不限于)经由光束操纵组合件调整所述入射光束以形成校正光束。在另一实施例中，所述方法可包含(但不限于)产生所述校正光束的监测数据。在另一说明性实施例中，所述监测数据包含经由光束监测组合件的所述校正光束的一或多个偏移参数。在另一实施例中，所述方法可包含(但不限于)存储所述校正光束的一或多个零参数。在另一实施例中，所述方法可包含(但不限于)计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的至少一个差异。在另一说明性实施例中，所述方法可包含(但不限于)基于所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述至少一个差异而确定所述入射光束的一或多个光束位置调整。在另一实施例中，所述方法可包含(但不限于)经由一或多个电动机驱动器引导所述光束操纵组合件以基于所述一或多个光束位置调整而致动一或多个电动机以调整所述入射光束以形成所述校正光束。
应理解，前述一般描述及下列详细描述仅为示范性及解释性的且不必限制本发明。并入且构成特性的部分的附图说明本发明的标的物。描述及图式共同用于解释本发明的原理。
附图说明
通过参考附图可使所属领域的技术人员更好地理解本发明的若干优势，其中：
图1A说明根据本发明的一或多个实施例的高斯照明光束轮廓的相对强度对光束位置的图表。
图1B说明根据本发明的一或多个实施例的由光束调制器从高斯照明光束产生的平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置的图表。
图1C说明根据本发明的一或多个实施例的由光束调制器从偏移高斯照明光束产生的建模平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置的图表。
图1D说明根据本发明的一或多个实施例的由光束调制器从偏移高斯照明光束产生的建模平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置的图表。
图1E说明根据本发明的一或多个实施例的由光束调制器从多个偏心高斯照明光束产生的多个平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置的图表。
图1F说明根据本发明的一或多个实施例的在检验系统内依据时间测量的抖动的图表。
图1G说明根据本发明的一或多个实施例的检验系统内的相对抖动振幅对抖动频率的图表。
图2说明根据本发明的一或多个实施例的补偿照明光束未对准的系统的框图。
图3A说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图3B说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图3C说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图3D说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图3E说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图4说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图5说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件的框图。
图6A说明根据本发明的一或多个实施例的光束监测组合件的框图。
图6B说明根据本发明的一或多个实施例的光束监测组合件的框图。
图6C说明根据本发明的一或多个实施例的光束监测组合件的框图。
图7说明根据本发明的一或多个实施例的描绘用以补偿照明光束未对准的方法的流程图。
具体实施方式
现在将详细参考附图中说明的所揭示标的物。
参考图1A到7，根据本发明的一或多个实施例揭示补偿照明光束未对准的系统及方法。
在一些例子中，检验系统实施聚焦于高斯光束焦平面的照明光束。在聚焦于焦平面的情况下，这些检验系统仅从检验系统中的平移抖动观察到照明光束位置的最小影响。图1A使用数据102及拟合曲线104说明高斯照明光束轮廓的相对强度对光束位置(以μm为单位)的图表100。
改进检验系统代替地实施通过使高斯照明光束穿过光束调制器而形成的平顶照明光束。图1B使用数据112说明平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置(以μm为单位)的图表110。
平顶照明光束轮廓的质量与高斯光束在光束调制器上的位置相互关联。如果高斯光束从中心偏移，那么平顶轮廓将在偏移方向上具有平顶轮廓的边缘上的非所要倾斜特征。图1C使用数据122、拟合曲线124及比较曲线126说明由光束调制器从偏移-0.1mm的高斯照明光束产生的建模平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置(以mm为单位)的图表120。图1D使用数据132、拟合曲线134及比较曲线136说明由光束调制器从偏移+0.1mm的高斯照明光束产生的建模平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置(以mm为单位)的图表130。
输入高斯照明光束中的任何指向抖动或平移抖动将实时展现在光束调制器上，其中平顶轮廓使用类似于输入高斯照明光束中的指向抖动或平移抖动的频率的频率摇摆其边缘。图1E说明由光束调制器从多个偏移高斯照明光束产生的多个建模平顶照明光束轮廓的相对强度对光束位置的图表140。例如，数据142a及拟合曲线142b说明-150μm的光束偏移。通过另一实例，数据144a及拟合曲线144b说明-300μm的光束偏移。通过另一实例，数据146a及拟合曲线146b说明-50μm的光束偏移。通过另一实例，数据148a及拟合曲线148b说明150μm的光束偏移。通过另一实例，数据150a及拟合曲线150b说明300μm的光束偏移。通过另一实例，数据152a及拟合曲线152b说明50μm的光束偏移。
改进检验系统中的约99％抖动在关键光学平面处是>100μm，此导致影响检验系统信号稳定性及捕获率的尺寸不稳定性。图1F使用数据162说明在检验系统内依据时间(以秒为单位)测量的抖动(以μm为单位)的图表160。图1G使用数据172说明检验系统内的相对抖动振幅对抖动频率(以Hz为单位)的图表170。
因而，可期望提供具有通过补偿照明光束的未对准而减少系统抖动的能力的改进检验系统。例如，可期望能够使系统抖动减少约10倍的改进检验系统。
本发明的实施例涉及补偿照明光束未对准的系统及方法。本发明的实施例也涉及测量下列中的一或多者：照明光束的位置的平移分量、照明光束的位置的指向分量、照明光束大小及/或照明光束呼吸数据(breathing data)。本发明的实施例也涉及基于所测量数据确定一或多个照明光束调整。本发明的实施例也涉及通过调整下列中的一或多者而形成校正照明光束：照明光束的位置的平移分量、照明光束的位置的指向分量、照明光束的大小漂移及/或照明光束呼吸数据的变化。本发明的实施例也涉及：测量照明光束；确定照明光束的调整；及在x方向及/或y方向中的一或多者上调整照明光束以形成校正光束。
图2说明根据本发明的一或多个实施例的补偿照明光束未对准的系统200的框图。在一个实施例中，系统200包含照明源202。在另一实施例中，系统200包含光束操纵组合件204。在另一实施例中，系统200包含光束监测组合件206。在另一实施例中，系统200包含控制器210。在一个实施例中，系统200包含一或多个电动机驱动器220。在另一实施例中，系统200包含光束调制器230。
照明源202可包含所属领域中已知的任何照明源，包含(但不限于)宽带光源或窄带光源。在一个实施例中，照明源202包含一或多个激光器。例如，照明源202可包含所属领域中已知的能够在电磁光谱的红外线部分、可见部分及/或紫外线部分中发射辐射的任何激光器或激光器系统。例如，照明源202可包含(但不限于)一或多个二极管激光器、一或多个连续波(CW)激光器、一或多个离子激光器及类似物。
在一个实施例中，照明源202产生入射光束203。在另一实施例中，光束操纵组合件204光学地耦合到照明源202。就此而言，照明源202产生入射光束203且将入射光束203引导到光束操纵组合件204。例如，照明源202可通过光学元件组合件240将入射光束203引导到光束操纵组合件204。例如，光学元件组合件240可包含所属领域中已知的一或多个光学元件，例如(但不限于)操纵光学器件、镜、光束分离器、透镜、集光孔径、滤光器及类似物。
在另一实施例中，光束操纵组合件204调整入射光束203以形成校正光束205。在另一实施例中，光束监测组合件206光学地耦合到光束操纵组合件204。在另一实施例中，光束操纵组合件204将校正光束205引导到光束监测组合件206。例如，光束操纵组合件204可通过光学元件组合件250将校正光束205引导到光束监测组合件206。例如，光学元件组合件250可包含所属领域中已知的一或多个光学元件，例如(但不限于)操纵光学器件、镜、光束分离器、透镜、集光孔径、滤光器及类似物。
在另一实施例中，光束操纵组合件204通信地耦合到控制器210及一或多个电动机驱动器220中的一或多者。
在另一实施例中，光束监测组合件206将校正光束205中的至少一部分引导到光束调制器230。例如，光束调制器230可包含(但不限于)光束整形光学元件。例如，所述光束整形光学元件可包含(但不限于)多曲面透镜或衍射光学元件。通过另一实例，光束监测组合件206可通过光学元件组合件260将校正光束205引导到光束调制器230。例如，光学元件组合件260可包含所属领域中已知的一或多个光学元件，例如(但不限于)操纵光学器件、镜、光束分离器、透镜、集光孔径、滤光器及类似物。
在另一实施例中，光束监测组合件206通信地耦合到控制器210。在另一实施例中，光束监测组合件206产生用于校正光束205的一或多组监测数据。例如，经由一或多个光束监测传感器产生一或多组监测数据。例如，所述一或多个光束监测传感器可包含(但不限于)在本文中进一步详细描述的一或多个相机或一或多个二元(bi-cell)检测器。
在另一实施例中，所述一或多组监测数据包含校正光束205的一或多个偏移参数。例如，所述一或多个偏移参数可包含(但不限于)校正光束205的偏移位置的偏移指向分量。通过另一实例，所述一或多个偏移参数可包含(但不限于)校正光束205的偏移位置的偏移平移分量。通过另一实例，所述一或多个偏移参数可包含(但不限于)偏移光束大小。通过另一实例，所述一或多个偏移参数可包含(但不限于)偏移光束呼吸数据。在另一实施例中，校正光束205的一或多个偏移参数包含x方向分量及/或y方向分量中的一或多者。在另一实施例中，光束监测组合件206将校正光束205的一或多组监测数据传输到控制器210。
在一个实施例中，一或多个电动机驱动器220通信地耦合到光束操纵组合件204及控制器210中的一或多者。在另一实施例中，一或多个电动机驱动器220基于从控制器210接收的一或多个光束位置调整而致动光束操纵组合件204中的一或多个电动机，如在本文中进一步详细描述。
在另一实施例中，光束操纵组合件204包含一或多个编码器。在另一实施例中，编码器在一或多个电动机致动之后产生数据。在另一实施例中，光束操纵组合件204在将所产生编码器数据传输到控制器210之前汇总所产生编码器数据，且控制器210在接收之后解汇总(de-aggregate)所汇总编码器数据。在另一实施例中，系统200以非汇总形式接收所产生编码器数据。
在一个实施例中，控制器210包含一或多个处理器212及存储器媒体214。在另一实施例中，一或多个程序指令集216存储于存储器媒体214中。在另一实施例中，一或多个处理器212经配置以执行程序指令集216以进行在本发明各处描述的各种步骤中的一或多者。
在另一实施例中，控制器210通信地耦合到光束操纵组合件204、光束监测组合件206及一或多个电动机驱动器220中的一或多者。在另一实施例中，控制器210经配置以由可包含有线部分及/或无线部分的传输媒体接收及/或获取来自其它系统或组合件的数据或信息(例如，来自光束监测组合件206的一或多组监测数据或来自光束操纵组合件204的一或多组编码器数据或经由用户接口接收的一或多个用户输入)。在另一实施例中，系统200的控制器210经配置以由可包含有线部分及/或无线部分的传输媒体将数据或信息(例如，在本文中揭示的一或多个工艺的输出)传输到一或多个系统或组合件(例如，将一或多个命令传输到一或多个电动机驱动器220、光束操纵组合件204、光束监测组合件206或用户接口)。就此而言，传输媒体可充当控制器210与系统200的其它组合件之间的数据链路。在另一实施例中，控制器210经配置以经由传输媒体(例如，网络连接)将数据发送到外部系统。
在一个实施例中，程序指令集216经编程以引起一或多个处理器212存储校正光束206的一或多个零参数。例如，一或多个零参数可包含(但不限于)校正光束205的零位置的零指向分量。通过另一实例，一或多个零参数可包含(但不限于)校正光束205的零位置的零平移分量。通过另一实例，一或多个零参数可包含(但不限于)零光束大小。通过另一实例，一或多个零参数可包含(但不限于)零光束呼吸数据。在另一实施例中，校正光束205的一或多个零参数包含x方向分量及/或y方向分量中的一或多者。
在另一实施例中，程序指令集216经编程以引起一或多个处理器212从光束监测组合件206接收一或多组监测数据。在另一实施例中，控制器210计算校正光束205的一或多个零参数与一或多个偏移参数之间的一或多个差异。例如，计算一或多个差异可包含计算校正光束205的零位置的零指向分量与校正光束205的偏移位置的偏移指向分量之间的指向差异。通过另一实例，计算一或多个差异可包含计算校正光束205的零位置的零平移分量与校正光束205的偏移位置的偏移平移分量之间的平移差异。通过另一实例，计算一或多个差异可包含计算零光束大小与偏移光束大小之间的光束大小差异。通过另一实例，计算一或多个差异可包含计算零光束呼吸数据与偏移光束呼吸数据之间的光束呼吸数据差异。
在另一实施例中，程序指令集216经编程以引起一或多个处理器212基于校正光束205的一或多个零参数与一或多个偏移参数之间的一或多个经计算差异而确定入射光束203的一或多个光束位置调整。在另一实施例中，控制器210将一或多个光束位置调整传输到一或多个电动机驱动器220。
在另一实施例中，程序指令集216经编程以引起一或多个处理器212经由一或多个电动机驱动器220引导光束操纵组合件204以致动一或多个电动机以调整入射光束203以形成校正光束205。例如，一或多个电动机驱动器220可基于一或多个光束位置调整来调整入射光束203。例如，一或多个光束位置调整可包含一或多个命令以致动耦合到光束操纵组合件204的一或多个光学组件、在本文中进一步详细描述的一或多个光学组件的一或多个电动机。
在另一实施例中，程序指令集216经编程以引起一或多个处理器212基于从光束操纵组合件204接收的所产生编码器数据来验证一或多个电动机的致动。
在一个实施例中，控制器210的一或多个处理器212包含所属领域中已知的任何一或多个处理元件。从此意义上来说，一或多个处理器212可包含经配置以执行算法及/或指令的任何微处理器装置。例如，一或多个处理器212可由台式计算机、大型计算机系统、工作站、图像计算机、并行处理器、车载计算机、手持式计算机(例如，平板计算机、智能手机或平板手机)或经配置以执行经配置以操作系统200的程序的其它计算机系统(例如，网络计算机)构成，如在本发明各处描述。应认知，可由单个计算机系统或(替代地)多个计算机系统进行在本发明各处描述的步骤。术语“处理器”可经广泛定义以涵盖具有执行来自非暂时性存储器媒体(例如，存储器214)的程序指令216的一或多个处理元件的任何装置。此外，系统200的不同组合件(例如，光束操纵组合件204、光束监测组合件206、一或多个电动机驱动器220或用户接口)可包含适合于进行在本发明各处描述的步骤中的至少一部分的处理器或逻辑元件。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
在一个实施例中，控制器210的存储器媒体214包含所属领域中已知的适合于存储可由相关联的一或多个处理器212执行的程序指令216的任何存储器媒体。例如，存储器媒体214可包含非暂时性存储器媒体。例如，存储器媒体214可包含(但不限于)只读存储器、随机存取存储器、磁性或光学存储器装置(例如，光盘)、磁带、固态驱动器及类似物。在另一实施例中，在本文中注意，存储器214经配置以将显示信息提供到显示装置及/或本文中描述的各种步骤的输出。进一步注意，存储器214可与一或多个处理器212一起容置于共同控制器外壳中。在替代实施例中，存储器214可相对于处理器212及控制器210的物理位置而远程地定位。例如，控制器210的一或多个处理器212可存取可通过网络(例如，因特网、内联网及类似物)存取的远程存储器(例如，服务器)。在另一实施例中，存储器媒体214存储程序指令216，其引起一或多个处理器212实行通过本发明描述的各种步骤。
在额外实施例中，系统200包含用户接口。在另一实施例中，用户接口通信地耦合到控制器210的一或多个处理器212。在另一实施例中，用户接口包含显示装置(例如，液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(OLED)显示器、阴极射线管(CRT)显示器及类似物)。在另一实施例中，用户接口包含用户输入装置(例如，键盘、鼠标、触摸屏及类似物)。
在另一实施例中，系统200可包含经配置以固定样本的载物台。在另一实施例中，由光束调制器230产生的照明光束照明固定在载物台上的样本。在另一实施例中，样本包含晶片。例如，样本可包含(但不限于)半导体晶片。如在本发明各处所使用，术语“晶片”是指由半导体及/或非半导体材料形成的衬底。例如，半导体或半导体材料可包含(但不限于)单晶硅、砷化镓及磷化铟。
在另一实施例中，样本载物台可包含所属领域中已知的任何适当机械及/或机器人组合件。在另一实施例中，控制器210(或系统200中的另一控制器)可致动样本载物台。例如，样本载物台可由控制器210(或系统200中的另一控制器)配置以将样本致动到选定位置或定向。例如，样本载物台可包含或可机械地耦合到一或多个致动器，包含(但不限于)电动机或伺服机构，其中一或多个致动器经配置以根据选定检验或计量算法平移或旋转样本以进行定位、聚焦及/或扫描，所属领域中已知若干致动器。
在额外实施例中，系统200可包含一或多个光学组件，其经配置以将从样本的表面反射及/或散射的照明引导到一或多个检测器。例如，检测器可包含所属领域中已知的任何适当检测器。例如，检测器可包含(但不限于)一或多个光电倍增管(PMT)、电荷耦合装置(CCD)、时延积分(TDI)相机及类似物。另外，检测器的输出可通信地耦合到控制器210。
在一个实例中，检测器可以任何合适方式(例如，由以在图1中展示的虚线指示的一或多个传输媒体)耦合到控制器210，使得控制器210可接收由检测器产生的输出。通过另一实例，如果存在多个检测器，那么控制器210可耦合到如上文描述的多个检测器。在本文中注意，控制器210可经配置以利用所属领域中已知的检测晶片上的缺陷的任何方法及/或算法使用由检测器收集及传输的检测数据来检测样本的一或多个缺陷。例如，检测器可经配置以接受来自系统200的另一组合件(包含(但不限于)控制器210)的指令。
在本文中注意，检测器可包含经配置以收集及分析从样本的表面反射、散射、衍射及/或辐射的照明以定位一或多个缺陷的任何检测器。出于本发明的目的，可将缺陷分类为空隙、短路、粒子、残留物、浮渣或所属领域中已知的任何其它缺陷。
在本文中注意，出于本发明的目的，包含使用光束监测组合件206产生监测数据及经由一或多个电动机驱动器220调整入射光束203以形成校正光束205的系统200的部分(其中对入射光束203的调整是基于由控制器210从监测数据确定的一或多个光束调整)是闭合补偿回路。但是，应预期，一或多个外部源可作用在系统200上，使得系统200之前述部分可代替地为开放补偿回路。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
可如本文中所描述般进一步配置在图2中说明的系统200的实施例。另外，系统200可经配置以实行本文中描述的系统及方法实施例中的任一者的任何其它步骤。
图3A到5说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件204a、204b及204c。在本文中注意，在本发明各处描述的实施例及实例应解释为扩展到图3A到5中的光束操纵组合件204a、204b及204c，除非另外提及。
图3A到3E说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件204a。在一个实施例中，光束操纵组合件204a包含耦合到一或多个电动机304的第一棱镜302。在另一实施例中，一或多个电动机304耦合到一或多个电动机驱动器220。在另一实施例中，光束操纵组合件204a包含耦合到一或多个电动机308的第二棱镜306。在另一实施例中，一或多个电动机308耦合到一或多个电动机驱动器220。
图3B到3E说明如何平移及/或倾斜棱镜302或棱镜306中的一或多者来调整入射光束203以形成校正光束205。在一个实施例中，改变棱镜302及棱镜306之间的距离调整入射光束203的位置的平移分量以形成校正光束205。在另一实施例中，倾斜棱镜302及棱镜306中的一或多者调整入射光束203的位置的指向分量以形成校正光束205。例如，图3E通过棱镜位置(a)、(b)及(c)说明棱镜302及棱镜306两者的倾斜。在另一实施例中，改变棱镜302与棱镜306之间的距离与倾斜棱镜302及棱镜306中的一或多者的组合调整入射光束203的大小以形成校正光束205。
在另一实施例中，分别经由一或多个直驱电动机304及/或308驱动棱镜302及/或棱镜306的线性运动。在另一实施例中，分别经由在无刷模式中操作的一或多个步进电动机304及/或308驱动棱镜302及/或棱镜306的旋转运动。应预期，用于线性运动的一或多个直驱电动机与用于旋转运动的在无刷模式中操作的一或多个步进电动机的组合足够快以经由棱镜302及306中的一或多者的平移或旋转中的一或多者主动地调整入射光束203以形成校正光束205。
尽管本发明的实施例涉及具有两个棱镜302及306的光束操纵组合件204a，但在本文中注意，光束操纵组合件204a不限于两个棱镜302及306。例如，光束操纵组合件204a可包含多达N数目个棱镜。例如，光束操纵组合件204a可在每一光束调整方向上包含一或多对棱镜(即，至少四个棱镜以在x方向及y方向两者上调整入射光束203以形成校正光束205，或至少两个棱镜以在x方向或y方向上调整入射光束203以形成校正光束205)。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
尽管在图3A到3E中将单个电动机驱动器220说明为控制一或多个电动机304及一或多个电动机308，但在本文中注意，可由特定电动机的电动机驱动器220控制一或多个电动机304及一或多个电动机308中的至少一些。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
图4说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件204b。在一个实施例中，光束操纵组合件204b包含耦合到一或多个电动机404的反射镜402。例如，一或多个电动机404可为压电电动机。在另一实施例中，一或多个电动机404耦合到电动机驱动器220。在本文中注意，在存在多个电动机404的情况下，可由特定电动机的电动机驱动器220控制多个电动机404中的至少一些。
在另一实施例中，在位置(a)处的反射镜402将在不调整入射光束203的情况下把入射光束203反射到光束监测组合件206。在另一实施例中，将反射镜402从位置(a)移动到位置(b)在x方向及/或y方向中的一或多者上调整入射光束203的位置的指向分量以形成校正光束205。但是，应注意，将反射镜402从位置(a)移动到位置(b)将不调整入射光束203的位置的平移分量以形成校正光束205。
图5说明根据本发明的一或多个实施例的光束操纵组合件204c。在一个实施例中，光束操纵组合件204c包含耦合到一或多个电动机504的直角棱镜502。例如，一或多个电动机404可为伺服电动机。在另一实施例中，一或多个电动机404耦合到电动机驱动器220。在本文中注意，在存在多个电动机504的情况下，可由特定电动机的电动机驱动器220控制多个电动机504中的至少一些。
在另一实施例中，在位置(a)处的棱镜502将在不调整入射光束203的情况下把入射光束203引导到光束监测组合件206。在另一实施例中，将棱镜502从位置(a)旋转到位置(b)在x方向及/或y方向中的一或多者上调整入射光束203的位置的平移分量以形成校正光束205。但是，应注意，将棱镜502从位置(a)旋转到位置(b)将不调整入射光束203的位置的指向分量以形成校正光束205。
在本文中注意，光束操纵组合件204a、204b及204c不限于先前揭示类型的电动机304、308、404或504。例如，电动机304、308、404或504可为下列中的任一者：直驱电动机、直接驱动电动机、步进电动机、在无刷模式中操作的步进电动机、压电电动机、伺服电动机或所属领域中已知的任何其它电动机。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
图6A到6C说明根据本发明的一或多个实施例的光束监测组合件206a、206b及206c。在本文中注意，在本发明各处描述的实施例及实例应解释为扩展到6A到6C中的光束监测组合件206a、206b及206c，除非另外提及。
在一个实施例中，光束监测组合件206a、206b及206c接收校正光束205。在另一实施例中，光束监测组合件206a、206b及206c包含漏光镜602。在另一实施例中，漏光镜602将校正光束205中的至少一部分反射到光束调制器230。在另一实施例中，漏光镜602将校正光束205中的至少一部分引导到光束分离器604。
在本文中注意，反射到光束调制器230的校正光束205对引导到光束分离器604的校正光束205的部分的比例可为>99％:<1％。但是，应预期，漏光镜602可以任何比例反射/引导校正光束205。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
在另一实施例中，光束分离器604通过至少一个光学元件606将由漏光镜602引导的校正光束205中的至少一部分引导到第一成像装置610。例如，至少一个光学元件606可包含(但不限于)望远镜光束扩张器。例如，望远镜光束扩张器606可增大校正光束205的分离器引导部分的大小，同时维持光束准直。通过另一实例，至少一个光学元件606可为所属领域中已知的任何光学组件。
在另一实施例中，光束分离器604通过至少一个光学组件608将由漏光镜602引导的校正光束205中的至少一部分反射到第二成像装置612。例如，至少一个光学元件608可包含(但不限于)聚焦透镜。例如，成像装置612将在聚焦透镜的焦平面上。通过另一实例，至少一个光学元件608可为所属领域中已知的任何光学元件。
在本文中应注意，引导到第一成像装置610的校正光束205对反射到第二成像装置612的校正光束205的部分的比例可为50/50。但是，可预期，光束分离器604可以任何比例反射/引导校正光束205。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
在一个实施例中，如在图6A中说明，成像装置610及612是能够在x方向及y方向两者上测量照明光束平移抖动、照明光束指向抖动、照明光束大小及照明光束呼吸数据中的一或多者的相机(即，是二维相机)。在另一实施例中，相机610及612依据时间监测校正光束205的平移抖动及指向抖动中的一或多者。例如，相机610可在x方向及y方向两者上测量平移抖动、指向抖动及光束大小。通过另一实例，相机612可在x方向及y方向两者上测量指向抖动。在另一实施例中，可经由数字信号处理器(DSP)码来处理由相机610及612进行的测量。例如，可经由DSP码确定由相机610及612测量的照明光束的形心(centroid)位置拟合。在另一实施例中，可经由DSP码实时完成由相机610及612进行的测量中的平移抖动及指向抖动的解耦合。
在一个实施例中，如在图6B中说明，成像装置620及622是能够在x方向或y方向上测量照明光束平移抖动、照明光束指向抖动、照明光束大小及照明光束呼吸数据中的一或多者的相机(即，是一维相机)。在另一实施例中，相机620及622依据时间监测校正光束205的平移抖动及指向抖动中的一或多者。例如，相机620可在x方向或y方向上测量平移抖动、指向抖动及光束大小。通过另一实例，相机622可在x方向或y方向上测量指向抖动。在另一实施例中，可经由DSP码处理由相机620及622进行的测量。例如，可经由DSP码确定由相机620及622测量的照明光束的形心位置拟合。通过另一实例，可经由DSP码实时完成由相机620及622进行的照明光束测量中的平移抖动或指向抖动的解耦合。
在本文中注意，利用一维相机620及622而非二维相机610及612可导致更低数据速率下的更快测量性能。在本文中进一步注意，在仅需指向抖动的情况下，可移除分别通向图6A及6B中的相机612或622的光学分支。
在一个实施例中，如在图6C中说明，成像装置630及632是能够在x方向或y方向上测量照明光束平移抖动及照明光束指向抖动中的一或多者的二元检测器。在另一实施例中，二元检测器630及632依据时间监测校正光束205的平移抖动或指向抖动。在另一实施例中，二元检测器630测量二元的第一半的二元信号A，且二元检测器632测量所述二元的第二半的二元信号B。在另一实施例中，使用方程式(1)确定由二元检测器630及632测量的照明光束的位置。
Figure GDA0004147618300000131
在另一实施例中，可经由DSP码处理相机630及632测量。例如，可经由DSP码实时完成由二元检测器630及632测量的照明光束中的平移抖动或指向抖动的解耦合。
尽管本发明的实施例涉及具有两个相机或两个二元检测器的光束监测组合件206a、206b及206c，但在本文中注意，光束监测组合件206a、206b及206c不限于两个相机或两个二元检测器。例如，光束监测组合件206a、206b及206c可仅包含一个相机或二元检测器。通过另一实例，光束监测组合件206a、206b及206c可包含多达N数目个相机或二元检测器。通过另一实例，光束监测组合件206a、206b及206c可包含混合数目个相机及二元检测器。因此，上文描述不应解释为对本发明的限制而仅为说明。
本发明的实施例的优势包含在x方向及/或y方向中的一或多者上补偿照明光束未对准。本发明的实施例的优势也包含测量下列中的一或多者：照明光束的位置的平移分量、照明光束的位置的指向分量、照明光束大小及照明光束呼吸数据。本发明的实施例的优势也包含通过调整下列中的一或多者而从照明光束形成校正光束：照明光束的位置的平移分量、照明光束的位置的指向分量及照明光束的大小漂移。
在本文中注意，系统200可经配置有在x方向及y方向两者上操作的第一组能力。在一个实施例中，第一组能力包含测量下列中的一或多者：照明光束的位置的平移分量、照明光束的位置的指向分量、照明光束大小及照明光束呼吸数据。在另一实施例中，第一组能力包含通过调整下列中的一或多者而从照明光束形成校正光束：照明光束的位置的平移分量、照明光束的位置的指向分量及照明光束的大小漂移。
在本文中进一步注意，系统200可经配置有在x方向或y方向上操作的第二组能力。在一个实施例中，第二组能力包含测量下列中的一或多者：照明光束的位置的平移分量及/或照明光束的位置的指向分量。在另一实施例中，第二组能力包含通过调整下列中的一或多者而从照明光束形成校正光束：照明光束的位置的平移分量及/或照明光束的位置的指向分量。
在本文中进一步注意，系统200可经配置有在x方向及/或y方向中的一或多者上操作的至少第三组能力。在一个实施例中，至少第三组能力包含第一组能力及/或第二组能力中的一或多者。
图7说明描绘补偿照明光束未对准的方法700的过程流程图。所述方法也可包含可由本文中描述的输出获取子系统及/或计算机子系统或系统实行的任何其它步骤。可由可根据本文中描述的实施例中的任一者配置的一或多个计算机系统实行步骤。在本文中注意，可由系统200完全实施或部分实施方法700的步骤。但是，应认知，方法700不限于系统200，额外或替代系统级实施例可实行方法700的步骤的全部或部分。
在步骤702中，调整入射光束203以形成校正光束205。在一个实施例中，由光束操纵组合件204从照明源202接收入射光束203。在另一实施例中，光束操纵组合件204调整入射光束203以形成校正光束205。例如，系统200可实施光束操纵组合件204a、204b或204c中的任一者以调整入射光束203以形成校正光束205。在另一实施例中，由光束操纵组合件204将校正光束205引导到光束监测组合件206。
在步骤704中，产生监测数据。在一个实施例中，由光束监测组合件206产生监测数据。例如，系统200可实施光束监测组合件206a、206b或206c中的任一者以产生监测数据。在另一实施例中，监测数据包含校正光束205的一或多个偏移参数。在另一实施例中，一或多组监测数据包含校正光束205的一或多个偏移参数。例如，一或多个偏移参数可包含(但不限于)校正光束205的偏移位置的偏移指向分量。通过另一实例，一或多个偏移参数可包含(但不限于)校正光束205的偏移位置的偏移平移分量。通过另一实例，一或多个偏移参数可包含(但不限于)偏移光束大小。通过另一实例，一或多个偏移参数可包含(但不限于)偏移光束呼吸数据。在另一实施例中，校正光束205的一或多个偏移参数包含x方向分量及/或y方向分量中的一或多者。在另一实施例中，光束监测组合件206将校正光束205的一或多组监测数据传输到控制器210。
在步骤706中，存储校正光束205的一或多个零参数。在一个实施例中，由控制器210存储一或多个零参数。例如，一或多个零参数可包含(但不限于)校正光束205的零位置的零指向分量。通过另一实例，零参数可包含校正光束205的零位置的零平移分量。通过另一实例，一或多个零参数可包含(但不限于)零光束大小。通过另一实例，一或多个零参数可包含(但不限于)零光束呼吸数据。在另一实施例中，校正光束205的一或多个零参数包含x方向分量及/或y方向分量中的一或多者。
在步骤708中，计算校正光束205的一或多个零参数与一或多个偏移参数之间的一或多个差异。在一个实施例中，由控制器210从光束监测组合件206接收一或多个偏移参数。在另一实施例中，控制器210计算校正光束205的一或多个零参数与一或多个偏移参数之间的一或多个差异。例如，计算一或多个差异可包含计算校正光束205的零位置的零指向分量与校正光束205的偏移位置的偏移指向分量之间的指向差异。通过另一实例，计算一或多个差异可包含计算校正光束205的零位置的零平移分量与校正光束205的偏移位置的偏移平移分量之间的平移差异。通过另一实例，计算一或多个差异可包含计算零光束大小与偏移光束大小之间的光束大小差异。通过另一实例，计算一或多个差异可包含计算零光束呼吸数据与偏移光束呼吸数据之间的光束呼吸数据差异。
在步骤710中，确定入射光束203的一或多个光束位置调整。在一个实施例中，由控制器210确定入射光束203的一或多个光束位置调整。在另一实施例中，一或多个光束调整是基于校正光束205的一或多个零参数与一或多个偏移参数之间的一或多个经计算差异。在另一实施例中，由控制器210将一或多个光束位置调整传输到一或多个电动机驱动器220。
在步骤712中，引导光束操纵组合件以调整入射光束203以形成校正光束205。在一个实施例中，光束操纵组合件204包含耦合到一或多个光学组件的一或多个电动机。例如，由一或多个电动机驱动器220致动一或多个电动机。在另一实施例中，由一或多个电动机驱动器220接收一或多个光束位置调整。例如，一或多个光束调整可包含一或多个命令以致动光束操纵组合件204的一或多个电动机。例如，致动一或多个电动机移动一或多个光学组件，这调整入射光束203以形成校正光束205。
在额外步骤中，在一或多个电动机的致动之后产生一或多个电动机的编码器数据。在一个实施例中，光束操纵组合件204包含一或多个编码器。在另一实施例中，经由一或多个电动机驱动器220基于一或多个光束位置调整来致动一或多个电动机被一或多个编码器记录为编码器数据。在另一实施例中，将编码器数据传输到控制器210。
在额外步骤中，基于编码器数据验证一或多个电动机的致动。在一个实施例中，控制器210接收编码器数据。在另一实施例中，控制器210比较记录在编码器数据中的一或多个电动机的致动与传输到一或多个电动机驱动器220的一或多个光束位置调整。
本文中描述的所有方法可包含将方法实施例的一或多个步骤的结果存储于存储器媒体中。结果可包含本文中描述的结果中的任一者且可以所属领域中已知的任何方式存储。存储器媒体可包含本文中描述的任何存储器媒体或所属领域中已知的任何其它合适存储器媒体。在已存储结果之后，结果可在存储器媒体中存取且由本文中描述的方法或系统实施例中的任一者使用，经格式化以显示给用户，由另一软件模块、方法或系统等等使用。此外，结果可“永久”、“半永久”、临时存储或存储一段时间。例如，存储器媒体可为随机存取存储器(RAM)，且结果可不必无限存留于存储器媒体中。
所属领域的技术人员将认知，在所属领域内通常以本文中所提出的方式描述装置及/或工艺，且此后使用工程实践将这些所描述装置及/或过程集成到数据处理系统中。即，本文中描述的装置及/或过程中的至少一部分可经由合理量的试验而集成到数据处理系统中。所属领域的技术人员将认知，典型数据处理系统大体上包含以下中的一或多者：系统单元外壳、显示装置、存储器(例如易失性及非易失性存储器)、处理器(例如微处理器及数字信号处理器)、计算物理(例如操作系统、驱动器、图形用户接口、及应用程序)、一或多个交互装置(例如触摸板或屏幕)及/或包含反馈回路及控制电动机(例如，用于感测位置及/或速率的反馈；用于移动及/或调整组件及/或数量的控制电动机)的控制系统。可利用任何合适市售组件(例如通常在数据计算/通信及/或网络计算/通信系统中发现的组件)来实施典型数据处理系统。
所属领域的技术人员将认知，在本文中描述的组件(例如，操作)、装置、对象及随附其的论述为概念清晰起见而被用作实例，且预期各种配置修改。因此，如在本文中使用，所阐述的特定范例及所附论述意在表示它们的更普通类别。一般来说，任何特定范例的使用意在表示其类别，且特定组件(例如，操作)、装置及对象的非包含性不应被视为限制性。
关于本文中的实质上任何复数及/或单数术语，所属领域的技术人员可适合于上下文及/或申请案而从复数转变为单数及/或从单数转变为复数。为清晰起见未在本文中明确阐述各种单数/复数排列。
在本文中描述的标的物有时说明包含于不同其它组件内或与不同其它组件连接的不同组件。应理解，这些所描绘架构仅为示范性，且事实上可实施达成相同功能性的许多其它架构。在概念意义上，实现相同功能性的组件的任何布置有效地“相关联”，使得达成所要功能性。因此，在不考虑架构或中间组件的情况下，经组合以达成特定功能性的本文中的任何两个组件可被视为彼此“相关联”，使得达成所要功能性。同样地，如此相关联的任何两个组件也可被视为经“可操作地连接”或“可操作地耦合”到彼此以达成所要功能性，且能够如此相关联的任何两个组件也可被视为“可操作地耦合”到彼此以达成所要功能性。可操作地耦合的特定实例包含(但不限于)可物理配接及/或物理交互的组件及/或可无线交互及/或无线交互的组件及/或逻辑交互及/或可逻辑交互的组件。
在一些例子中，一或多个组件可在本文中被称为“经配置以”、“可经配置以”、“可经操作/操作以”、“经适配/可经适配”、“能够”、“可变形/变形以”等等。所属领域的技术人员将认知，这些术语(例如，“经配置以”)可大体上涵盖作用状态组件及/或非作用状态组件及/或备用状态组件，除非上下文另外要求。
虽然已展示及描述本文中描述的本标的物的特定方面，但所属领域的技术人员将明白，基于本文中的教示，可在不脱离本文中描述的标的物及其更广泛方面的情况下作出改变及修改，且因此，所附权利要求书应在其范围内涵盖如在本文中描述的标的物的真实精神及范围内的所有这些改变及修改。所属领域的技术人员将理解，一般来说，在本文中及尤其在所附权利要求书(例如，所附权利要求书的主体)中使用的术语一般意在为“开放”术语(例如，术语“包含”应解释为“包含但不限于”，术语“具有”应解释为“至少具有”，术语“包含”应解释为“包含但不限于”等等)。所属领域的技术人员将进一步了解，如果预期特定数目个引入权利要求叙述，那么这个意图明确叙述于权利要求中，且在不存在此叙述的情况下，不存在此意图。例如，为帮助理解，所附权利要求书可包含介绍性词组“至少一个”及“一或多个”的使用以引入权利要求叙述。但是，这些词组的使用不应视为暗示由不定冠词“一”或“一个”引入权利要求叙述将包含此引入权利要求叙述的任意特定权利要求限于仅包含这个叙述的发明，即使相同权利要求包含介绍性词组“一或多个”或“至少一个”及不定冠词(例如“一”或“一个”)(例如，“一”及/或“一个”通常应解释成意指“至少一个”或“一或多个”)；对于使用用于引入权利要求叙述的定冠词也是这样。此外，即使明确叙述引入的权利要求叙述的特定数目，所属领域的技术人员也将认知，此叙述应通常解释为意指至少经叙述的数目(例如，不具有其它修饰语的“两个叙述”的裸叙述通常意指至少两个叙述或两个或两个以上叙述)。此外，在其中使用类似于“A、B及C等中的至少一者”的惯例的所述例子中，一般来说在所属领域的技术人员将理解所述惯例(例如，“具有A、B及C中的至少一者的系统”将包含(但不限于)仅具有A、仅具有B、仅具有C、具有A及B、具有A及C、具有B及C及/或具有A、B及C等的系统)的意义上期望这个构造。在其中使用类似于“A、B或C等中的至少一者”的惯例的所述例子中，一般来说在所属领域的技术人员将理解所述惯例(例如，“具有A、B或C中的至少一者的系统”将包含(但不限于)仅具有A、仅具有B、仅具有C、具有A及B、具有A及C、具有B及C及/或具有A、B及C等的系统)的意义上期望这个构造。所属领域的技术人员将进一步理解，事实上呈现两个或两个以上替代术语的转折性字词及/或词组(不管在描述、权利要求书或图式中)应理解为预期包含术语中的一者、术语中的任一者或两个术语的可能性。例如，词组“A或B”通常将理解为包含“A”或“B”或“A及B”的可能性。
关于所附权利要求书，所属领域的技术人员将了解，其中的所叙述操作可大体上按任何顺序实行。而且，尽管按序列提呈各种操作流程，但应理解，可按除说明以外的其它顺序实行或可同时实行各种操作。这些交替顺序的实例可包含重叠、交叉、中断、重新排序、增量、预备、补充、同时、反向或其它不同顺序，除非上下文另外规定。此外，如“响应于”、“相关于”或其它过去式形容词的术语大体上不意在排除这些变体，除非上下文另外规定。
据信，将通过前述描述理解本发明及其许多所附优点，且将明白，可在不脱离所揭示标的物或不牺牲其所有材料优点的情况下，对组件的形式、构造及布置作出各种改变。所描述形式仅为解释性，且所附权利要求书意在涵盖及包含这些改变。因此，本发明的范围应仅受限于所附权利要求书。

Claims (44)

1.一种系统，其包括：
光束操纵组合件，其经配置以调整入射光束以形成校正光束；
光束监测组合件，其光学地耦合到所述光束操纵组合件，所述光束监测组合件经配置以产生用于所述校正光束的监测数据，其中所述监测数据包含所述校正光束的一或多个偏移参数，其中所述光束监测组合件包括：
漏光镜，其经配置以：
从所述光束操纵组合件接收所述校正光束；
反射所述校正光束的第一部分；及
透射所述校正光束的第二部分；及
光束分离器，其经配置以：
接收由所述漏光镜透射的所述校正光束的所述第二部分；
通过至少第一光学元件使所述校正光束的第三部分透射到第一成像装置；及
通过至少第二光学元件使所述校正光束的第四部分反射到第二成像装置，
其中所述校正光束的所述第三部分和所述校正光束的所述第四部分从所述校正光束的所述第二部分形成；及
控制器，其通信地耦合到所述光束监测组合件及所述光束操纵组合件，其中所述控制器包含经配置以执行存储于存储器中的程序指令集的一或多个处理器，其中所述程序指令经配置以引起所述一或多个处理器：
存储所述校正光束的一或多个零参数；
计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的至少一个差异；
基于所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述至少一个差异而确定所述入射光束的一或多个光束位置调整；及
经由一或多个电动机驱动器引导所述光束操纵组合件以致动一或多个电动机以调整所述入射光束以形成所述校正光束。
2.根据权利要求1所述的系统，其中所述校正光束的所述一或多个偏移参数包含下列中的至少一者：
所述校正光束的偏移位置的偏移指向分量、所述校正光束的所述偏移位置的偏移平移分量、偏移光束大小或偏移光束呼吸数据。
3.根据权利要求2所述的系统，其中所述校正光束的所述偏移位置的所述偏移指向分量、所述校正光束的所述偏移位置的所述偏移平移分量、所述偏移光束大小或所述偏移光束呼吸数据中的至少一者包含x方向分量或y方向分量中的至少一者。
4.根据权利要求1所述的系统，其中所述校正光束的所述一或多个零参数包含下列中的至少一者：
所述校正光束的零位置的零指向分量、所述校正光束的所述零位置的零平移分量、零光束大小或零光束呼吸数据。
5.根据权利要求4所述的系统，其中所述校正光束的所述零位置的所述零指向分量、所述校正光束的所述零位置的所述零平移分量、所述零光束大小或所述零光束呼吸数据中的至少一者包含x方向分量或y方向分量中的至少一者。
6.根据权利要求1所述的系统，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算所述校正光束的零位置的零指向分量与所述校正光束的偏移位置的偏移指向分量之间的指向差异。
7.根据权利要求1所述的系统，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算所述校正光束的零位置的零平移分量与所述校正光束的偏移位置的偏移平移分量之间的平移差异。
8.根据权利要求1所述的系统，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算零光束大小与偏移光束大小之间的光束大小差异。
9.根据权利要求1所述的系统，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算零光束呼吸数据与偏移光束呼吸数据之间的光束呼吸数据差异。
10.根据权利要求1所述的系统，其中所述光束操纵组合件经进一步配置以：
在所述一或多个电动机的致动之后产生用于所述一或多个电动机的编码器数据。
11.根据权利要求10所述的系统，其中所述程序指令经进一步配置以：
经由所述编码器数据响应于所述一或多个光束位置调整而验证所述一或多个电动机的所述致动。
12.根据权利要求1所述的系统，其中所述光束操纵组合件包括：
至少两个棱镜，其耦合到所述一或多个电动机，
其中致动所述一或多个电动机以经由所述一或多个电动机更改所述两个棱镜之间的距离调整所述入射光束的位置的平移分量以形成所述校正光束，
其中致动所述一或多个电动机以经由所述一或多个电动机倾斜所述两个棱镜中的至少一者调整所述入射光束的所述位置的指向分量以形成所述校正光束，
其中致动所述一或多个电动机以经由所述一或多个电动机同时更改所述两个棱镜之间的所述距离且倾斜所述两个棱镜中的至少一者调整所述入射光束的光束大小以形成所述校正光束。
13.根据权利要求1所述的系统，其中所述光束操纵组合件包括：
反射镜，其耦合到所述一或多个电动机，
其中经由所述一或多个电动机位移所述反射镜调整所述入射光束的位置的指向分量以形成所述校正光束。
14.根据权利要求1所述的系统，其中所述光束操纵组合件包括：
至少一个棱镜，其耦合到所述一或多个电动机，
其中经由所述一或多个电动机旋转所述棱镜调整所述入射光束的位置的平移分量以形成所述校正光束。
15.根据权利要求1所述的系统，其中所述第一光学元件为望远镜光束扩张器，其中所述第二光学元件为聚焦透镜。
16.根据权利要求15所述的系统，其中所述第一成像装置及所述第二成像装置是相机，其中每一相机能够在x方向或y方向中的至少一者上测量所述校正光束。
17.根据权利要求16所述的系统，其中所述第一成像装置至少测量所述校正光束的位置的平移分量及所述校正光束的所述位置的指向分量，其中所述第二成像装置测量所述校正光束的所述位置的所述指向分量。
18.根据权利要求15所述的系统，其中所述第一成像装置及所述第二成像装置中的至少一者是二元检测器，其中每一二元检测器能够在x方向或y方向上测量所述校正光束。
19.根据权利要求18所述的系统，其中所述第一成像装置至少测量所述校正光束的位置的平移分量及所述校正光束的所述位置的指向分量，其中所述第二成像装置测量所述校正光束的所述位置的所述指向分量。
20.根据权利要求15所述的系统，其进一步包括：
光束调制器，其中所述光束调制器接收由所述漏光镜反射的所述校正光束的所述第一部分。
21.根据权利要求1所述的系统，其中所述一或多个电动机包含下列中的至少一者：
直接驱动电动机、步进电动机、无刷电动机、压电电动机或伺服电动机。
22.根据权利要求1所述的系统，其进一步包括：
至少一个照明源，其经配置以产生所述入射光束。
23.一种方法，其包括：
接收入射光束；
经由光束操纵组合件调整所述入射光束以形成校正光束；
经由光束监测组合件产生用于所述校正光束的监测数据，所述光束监测组合件光学地耦合到所述光束操纵组合件，其中所述监测数据包含所述校正光束的一或多个偏移参数，其中所述光束监测组合件包括：
漏光镜，其经配置以：
从所述光束操纵组合件接收所述校正光束；
反射所述校正光束的第一部分；及
透射所述校正光束的第二部分；及
光束分离器，其经配置以：
接收由所述漏光镜透射的所述校正光束的所述第二部分；
通过至少第一光学元件使所述校正光束的第三部分透射到第一成像装置；及
通过至少第二光学元件使所述校正光束的第四部分反射到第二成像装置，
其中所述校正光束的所述第三部分和所述校正光束的所述第四部分从所述校正光束的所述第二部分形成；
存储所述校正光束的一或多个零参数；
计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的至少一个差异；
基于所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述至少一个差异而确定所述入射光束的一或多个光束位置调整；及
经由一或多个电动机驱动器引导所述光束操纵组合件以基于所述一或多个光束位置调整而致动一或多个电动机以调整所述入射光束以形成所述校正光束。
24.根据权利要求23所述的方法，其中所述校正光束的所述一或多个偏移参数包含下列中的至少一者：
所述校正光束的偏移位置的偏移指向分量、所述校正光束的所述偏移位置的偏移平移分量、偏移光束大小或偏移光束呼吸数据。
25.根据权利要求24所述的方法，其中所述校正光束的所述偏移位置的所述偏移指向分量、所述校正光束的所述偏移位置的所述偏移平移分量、所述偏移光束大小或所述偏移光束呼吸数据中的至少一者包含x方向分量或y方向分量中的至少一者。
26.根据权利要求23所述的方法，其中所述校正光束的所述一或多个零参数包含下列中的至少一者：
所述校正光束的零位置的零指向分量、所述校正光束的所述零位置的零平移分量、零光束大小或零光束呼吸数据。
27.根据权利要求26所述的方法，其中所述校正光束的所述零位置的所述零指向分量、所述校正光束的所述零位置的所述零平移分量、所述零光束大小或所述零光束呼吸数据中的至少一者包含x方向分量或y方向分量中的至少一者。
28.根据权利要求23所述的方法，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算所述校正光束的零位置的零指向分量与所述校正光束的偏移位置的偏移指向分量之间的指向差异。
29.根据权利要求23所述的方法，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算所述校正光束的零位置的零平移分量与所述校正光束的偏移位置的偏移平移分量之间的平移差异。
30.根据权利要求23所述的方法，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算零光束大小与偏移光束大小之间的光束大小差异。
31.根据权利要求23所述的方法，其中计算所述校正光束的所述一或多个零参数与所述一或多个偏移参数之间的所述差异包含计算零光束呼吸数据与偏移光束呼吸数据之间的光束呼吸数据差异。
32.根据权利要求23所述的方法，其进一步包括：
在所述一或多个电动机的致动之后产生用于所述一或多个电动机的编码器数据。
33.根据权利要求32所述的方法，其进一步包括：
基于所述编码器数据验证所述一或多个电动机的所述致动。
34.根据权利要求23所述的方法，其中所述光束操纵组合件包括：
至少两个棱镜，其耦合到所述一或多个电动机，
其中致动所述一或多个电动机以经由所述一或多个电动机更改所述两个棱镜之间的距离调整所述入射光束的位置的平移分量以形成所述校正光束，
其中致动所述一或多个电动机以经由所述一或多个电动机倾斜所述两个棱镜中的至少一者调整所述入射光束的所述位置的指向分量以形成所述校正光束，
其中致动所述一或多个电动机以经由所述一或多个电动机同时更改所述两个棱镜之间的所述距离且倾斜所述两个棱镜中的至少一者调整所述入射光束的光束大小以形成所述校正光束。
35.根据权利要求23所述的方法，其中所述光束操纵组合件包括：
反射镜，其耦合到所述一或多个电动机，
其中经由所述一或多个电动机位移所述反射镜调整所述入射光束的位置的指向分量以形成所述校正光束。
36.根据权利要求23所述的方法，其中所述光束操纵组合件包括：
至少一个棱镜，其耦合到所述一或多个电动机，
其中经由所述一或多个电动机旋转所述棱镜调整所述入射光束的位置的平移分量以形成所述校正光束。
37.根据权利要求23所述的方法，其中所述第一光学元件为望远镜光束扩张器，其中所述第二光学元件为聚焦透镜。
38.根据权利要求37所述的方法，其中所述第一成像装置及所述第二成像装置是相机，其中每一相机能够在x方向或y方向中的至少一者上测量所述校正光束。
39.根据权利要求38所述的方法，其中所述第一成像装置至少测量所述校正光束的位置的平移分量及所述校正光束的所述位置的指向分量，其中所述第二成像装置测量所述校正光束的所述位置的所述指向分量。
40.根据权利要求37所述的方法，其中所述第一成像装置及所述第二成像装置中的至少一者是二元检测器，其中每一二元检测器能够在x方向或y方向上测量所述校正光束。
41.根据权利要求40所述的方法，其中所述第一成像装置至少测量所述校正光束的位置的平移分量及所述校正光束的所述位置的指向分量，其中所述第二成像装置测量所述校正光束的所述位置的所述指向分量。
42.根据权利要求37所述的方法，其中所述光束监测组合件进一步包括：
光束调制器，其中所述光束调制器经配置以接收由所述漏光镜反射的所述校正光束的所述第一部分。
43.根据权利要求23所述的方法，其中所述一或多个电动机包含下列中的至少一者：
直接驱动电动机、步进电动机、无刷电动机、压电电动机或伺服电动机。
44.根据权利要求23所述的方法，其中从经配置以产生所述入射光束的照明源接收所述入射光束。
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