CN109065494A - 封装设备及其晶圆蓝膜的张紧和调节装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种封装设备及其晶圆蓝膜的张紧和调节装置，基座上设有抵接件和导向件，至少两个导向件围设形成导向区域并配合形成第一导向部，且抵接件设置于导向区域内；转动体套设于抵接件上并与第一导向部导向配合；驱动机构用于使转动体能够绕抵接件的轴线转动；放料平台能够相对抵接件绕抵接件的轴线转动，放料平台还能够相对抵接件沿抵接件的长度方向往复运动。该晶圆蓝膜的张紧和调节装置，能够对放置于其上的晶圆蓝膜和晶圆进行位置偏差的调整与消除，保证了后续的生产工序能够准确的进行；从而使得采用该张紧和调节装置的封装设备，能够对晶圆蓝膜和晶圆进行位置偏差的调整与消除，各个生产工序能够准确的进行，保证了产品的生产质量。

Description

封装设备及其晶圆蓝膜的张紧和调节装置

技术领域

本发明涉及封装设置技术领域，具体涉及一种封装设备及其晶圆蓝膜的张紧和调节装置。

背景技术

随着科技的发展，半导体行业成为了支撑社会发展的重要基石之一，在半导体后端封装设备中，如固晶机、倒装机，晶圆蓝膜从料盒中取出后需放置于支撑装置上进行固定，从而进行后续的工序。

由于晶圆蓝膜在放置于支撑装置上时存在位置偏差，同时，晶圆在贴放于晶圆蓝膜上时也存在相应的位置偏差，从而导致在后续的工序中也相应存在位置偏差，影响了产品的生产质量。

发明内容

基于此，有必要提供一种封装设备及其晶圆蓝膜的张紧和调节装置，该晶圆蓝膜的张紧和调节装置能够对放置于其上的晶圆蓝膜和晶圆进行位置偏差的调整与消除，保证了后续的生产工序能够准确的进行；从而使得采用该张紧和调节装置的封装设备，能够对晶圆蓝膜和晶圆进行位置偏差的调整与消除，各个生产工序能够准确的进行，保证了产品的生产质量。

其技术方案如下：

一种封装设备的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，包括：基座，所述基座上设有用于抵接晶圆蓝膜的抵接件和至少两个相对间隔设置的导向件，至少两个所述导向件围设形成导向区域并配合形成第一导向部，且所述抵接件设置于所述导向区域内；转动体，所述转动体套设于所述抵接件上并与所述第一导向部导向配合；驱动机构，所述驱动机构与所述转动体传动连接、用于使所述转动体能够绕所述抵接件的轴线转动；及放料平台，所述放料平台与所述转动体相对间隔设置，且所述放料平台与所述转动体之间设有传动机构，所述转动体通过所述传动机构带动所述放料平台绕所述抵接件的轴线转动，所述放料平台上设有用于供抵接件穿过的通孔和用于固定晶圆蓝膜的固定组件，所述放料平台能够相对所述抵接件沿所述抵接件的长度方向往复运动；当所述放料平台处于第一位置时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜相对间隔设置；当所述放料平台处于第二位置时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜抵接。

上述封装设备的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，使用时，放料平台相对转动体上升至第一位置，利用固定组件将晶圆蓝膜固设于放料平台上，此时，抵接件靠近放料平台的一端与晶圆蓝膜之间留有间隙；若晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置发生偏差时，放料平台相对转动体下降直至到达第二位置，此时，抵接件靠近放料平台的一端与晶圆蓝膜发生抵接，从而使得晶圆蓝膜张开；在驱动机构的驱动以及第一导向部的导向作用下转动体在导向区域内绕抵接件的轴线转动，带动放料平台相应转动，从而使得晶圆蓝膜相对抵接件发生转动，进而能够对晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置进行调整，消除了位置偏差，保证了后续生产工序能够准确的进行。

下面进一步对技术方案进行说明：

在其中一个实施例中，所述传动机构包括伸缩件，所述伸缩件的一端设置于所述转动体上，所述伸缩件的另一端设置于所述放料平台上、用于使所述放料平台能够沿所述伸缩件的伸缩方向往复移动；所述伸缩件处于第一状态时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜相对间隔设置；所述伸缩件处于第二状态时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜抵接。利用伸缩件不仅能够实现放料平台相对抵接件的上、下运动，能够精确的控制放料平台上、下运动的位移，从而精确的控制抵接件对晶圆蓝膜的抵接程度，进而精确的控制晶圆蓝膜的张开程度；还可以将转动体的转动扭矩传递至放料平台上，使得转动平台能够绕抵接件的轴线转动，从而能够使得晶圆蓝膜相对抵接件转动，进而能够对位置偏差进行调整或消除。

在其中一个实施例中，所述放料平台上设有导向孔，该张紧和调节装置还包括导向柱，所述导向柱的一端设置于所述转动体上，所述导向柱的另一端伸入所述导向孔内并与所述导向孔的内壁导向配合。导向柱的设置，使得伸缩件在预设的方向上带动放料平台运动，从而使得对放料平台的位移能够实现更加精准的控制。

在其中一个实施例中，所述抵接件设置为伸缩环，所述传动机构包括传动轴，所述传动轴的一端设置于所述转动体上，所述传动轴的另一端设置于所述放料平台上；所述伸缩环处于第三状态时，所述伸缩环的一端与所述晶圆蓝膜相对间隔设置；所述伸缩环处于第四状态时，所述伸缩环的一端与所述晶圆蓝膜抵接。利用抵接件自身的伸缩作用即可实现与晶圆蓝膜的抵接，从而使得晶圆蓝膜张开；利用传动轴使得放料平台能够随转动体的转动而转动。

在其中一个实施例中，所述导向件设置为导向轮，所述转动体上相应设有能够与所述导向轮导向配合的导向块。利用导向轮与导向块的导向配合，从而使得转动体在预设的导向区域内转动，能够对转动体的转动弧度进行准确的控制。

在其中一个实施例中，所述导向轮上开设有导向槽，所述导向块包括第二导向部，所述第二导向部凸出所述转动体设置并与所述导向槽的内壁导向配合。第二导向部凸出转动体设置并与导向槽导向配合，减小了第二导向部与导向槽的内壁之间的摩擦，使得转动体的转动更加顺畅。

在其中一个实施例中，所述驱动机构包括旋转驱动件，该张紧和调节装置还包括传动带，所述传动带与所述旋转驱动件的旋转输出端及所述转动体均传动连接。利用传动带实现旋转驱动件与转动体之间的传动连接，传动稳定，具有缓冲吸振的作用。

在其中一个实施例中，该晶圆蓝膜的张紧和调节装置还包括张紧机构，所述张紧机构用于调整所述传动带与所述转动体之间的张紧力和/或与所述旋转输出端之间的张紧力。利用张紧机构以调整传动带与转动体或与旋转驱动机构的旋转输出端之间的张紧力，使得转动体在转动的过程中不会出现空转或打滑的问题，保证传动的准确性和稳定性。

在其中一个实施例中，该晶圆蓝膜的张紧和调节装置还包括限位开关组件，所述限位开关组件用于限制所述转动体的转动弧度。利用限位开关组件对转动体的转动弧度进行限制，防止晶圆蓝膜相对抵接件转动角度过大而进一步扩大位置误差或损害产品。

一种封装设备，包括：上述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置。

上述封装设备，使用时，张紧和调节装置的放料平台相对转动体上升至第一位置，利用固定组件将晶圆蓝膜固设于放料平台上，此时，抵接件靠近放料平台的一端与晶圆蓝膜之间留有间隙；若晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置发生偏差时，放料平台相对转动体下降直至到达第二位置，此时，抵接件靠近放料平台的一端与晶圆蓝膜发生抵接，从而使得晶圆蓝膜张开；在驱动机构的驱动以及第一导向部的导向作用下转动体在导向区域内绕抵接件的轴线转动，通过传动机构带动放料平台相应绕抵接件的轴线转动，从而使得晶圆蓝膜相对抵接件发生转动，进而使得封装设备能够对晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置进行调整，消除了位置偏差，使得各个生产工序能够准确的进行，保证了产品的生产质量。

附图说明

图1为一个实施例的晶圆蓝膜的张紧和调节装置的结构示意图；

图2为图1的晶圆蓝膜的张紧和调节装置的俯视图；

图3为图1的晶圆蓝膜的张紧和调节装置一状态下的结构示意图；

图4为图1的晶圆蓝膜的张紧和调节装置的导向件的结构示意图；

图5为图1的晶圆蓝膜的张紧和调节装置的导向块的结构示意图。

附图标记说明：

110、基座，111、抵接件，120、导向件，121、导向轮，122、安装座，123、插接件，130、转动体，131、导向块，140、旋转驱动件，150、放料平台，151、通孔，152、固定组件，160、伸缩件，170、导向柱，181、传动带，182、张紧机构，191、光电开关，192、传感器感应片，193、运动块，194、阻挡块，1211、导向槽，1212、安装通孔，1221、安装柱，1311、第二导向部，1521、箍盘，1522、盖板。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步的详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用以解释本发明，并不限定本发明的保护范围。

需要说明的是，当元件被称为“设置于”、“固设于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当元件被称为“固设于”另一个元件，或与另一个元件“固定连接”，它们之间可以是可拆卸固定方式也可以是不可拆卸的固定方式。当一个元件被认为是“连接”、“密封连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”、“上”、“下”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于约束本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

本发明中所述“第一”、“第二”、“第三”等类似用语不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分。

如图1所示，本发明的一个实施例公开了一种封装设备的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，包括：基座110，基座110上设有用于抵接晶圆蓝膜的抵接件111和至少两个相对间隔设置的导向件120，至少两个导向件120围设形成导向区域并配合形成第一导向部，且抵接件111设置于导向区域内；转动体130，转动体130套设于抵接件111上并与第一导向部导向配合；驱动机构，驱动机构与转动体130传动连接、用于使转动体130能够绕抵接件111的轴线转动；及放料平台150，放料平台150与转动体130相对间隔设置，且放料平台150与转动体130之间设有传动机构，转动体130通过传动机构带动放料平台150绕抵接件111的轴线转动，放料平台150上设有用于供抵接件111穿过的通孔151和用于固定晶圆蓝膜的固定组件152，放料平台150能够相对抵接件111沿抵接件111的长度方向往复运动；当放料平台150处于第一位置时，抵接件111的一端与晶圆蓝膜相对间隔设置；当放料平台150处于第二位置时，抵接件111的一端与晶圆蓝膜抵接。

上述实施例的封装设备的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，使用时，放料平台150相对转动体130上升至第一位置，利用固定组件152将晶圆蓝膜固设于放料平台150上，此时，抵接件111靠近放料平台150的一端与晶圆蓝膜之间留有间隙；若晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置发生偏差时，放料平台150相对转动体130下降直至到达第二位置，此时，抵接件111靠近放料平台150的一端与晶圆蓝膜发生抵接，从而使得晶圆蓝膜张开；在驱动机构的驱动以及第一导向部的导向作用下转动体130在导向区域内绕抵接件111的轴线转动，通过传动机构带动放料平台150相应绕抵接件111的轴线转动，从而使得晶圆蓝膜相对抵接件111发生转动，进而能够对晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置进行调整，消除了位置偏差，保证了后续生产工序能够准确的进行。

需要进行说的是，本发明实施例的抵接件111可以是抵接柱或抵接块，只需满足能够对晶圆蓝膜进行抵接使得晶圆蓝膜张开即可，优选为圆柱形的抵接柱，能够对晶圆蓝膜充分进行抵接。本发明实施例的导向件120可以是导向轮、导向块或其他具有导向功能的元件，只需满足能够对转动体130的转动进行导向即可。本发明实施例的转动体130可以是转盘，在转盘上开设安装孔，抵接件111穿过安装孔使得转盘套设于抵接件111上，在驱动机构的带动下能够绕抵接件111的中心轴线转动。本发明实施例的驱动机构与转动体130的传动连接，可以是直接驱动实现，例如电机的旋转输出端直接带动转动体130转动；也可以通过加设中间传动机构实现，例如，加设齿轮或丝杆螺母实现或加设齿轮与传动带，只需满足能够带动转动体130绕抵接件111的轴线转动即可。如图1至图2所示，本发明实施例的固定组件152对晶圆蓝膜的固定，可以在放料平台150上设置安装槽，晶圆蓝膜固设于环形的箍盘1521上，将箍盘1521放置于安装槽内，利用盖板1522将箍盘1521压设于安装槽内，从而完成晶圆蓝膜的固定；还可以通过卡接的方式实现，在放料平台150上设置第一卡扣，晶圆蓝膜固设于料盘上，在料盘上设有能够与第一卡扣卡接配合的第二卡扣，通过第一卡扣与第二卡扣的卡接配合实现晶圆蓝膜在放料平台150上的固定。本发明实施例的导向件120安装于基座110上，可以利用安装座固设于基座110上，通过调整安装座的位置从而调整导向区域的大小，可以对不同大小的转动体130进行导向，通用性强。本发明实施例的传动机构可以是传动轴、传动键或其他能够使得放料平台150能够随着转动体130转动的构件。本发明实施例的晶圆蓝膜还可以进行加热，尤其是在与抵接件111抵接的过程中进行加热，从而使得晶圆蓝膜张开的更加均匀，有利于位置偏差的消除。

如图1所示，在一个实施例中，传动机构包括伸缩件160，伸缩件160的一端设置于转动体130上，伸缩件160的另一端设置于放料平台150上、用于使放料平台150能够沿伸缩件160的伸缩方向往复移动；伸缩件160处于第一状态时，抵接件111的一端与晶圆蓝膜相对间隔设置；伸缩件160处于第二状态时，抵接件111的一端与晶圆蓝膜抵接。当晶圆蓝膜固设于放料平台150上后，伸缩件160处于第一状态，此时，放料台与转动体130之间的间距最大，抵接件111靠近晶圆蓝膜的一端与晶圆蓝膜之间留有间隙；当伸缩件160带动放料平台150向下运动，即带动放料平台150朝向靠近转动体130方向移动，直至伸缩件160处于第二状态，此时，抵接件111靠近晶圆蓝膜的一端与晶圆蓝膜抵接，从而使得晶圆蓝膜张开；当转动体130转动时，利用伸缩件160将转动力矩传递至放料平台150上，从而使得放料平台150能够绕抵接件111的轴线转动。利用伸缩件160实现放料平台150相对抵接件111的上、下运动，能够精确的控制放料平台150上、下运动的位移，从而精确的控制抵接件111对晶圆蓝膜的抵接程度，进而精确的控制晶圆蓝膜的张开程度。本发明实施例的伸缩件160可以是气缸、液压缸或其他具有伸缩功能的元件，优选为顶升气缸，其响应速度快、对环境适应能力强。在一个实施例中，伸缩件160设置为六个，六个伸缩件160呈正六边形分布于转动体130上，对放料平台150支撑性能稳定，使得放料平台150能够平稳的上升或下降。本实施例的抵接件111可以设置为凸缘结构，利用凸缘结构对晶圆蓝膜进行抵接之后使得晶圆蓝膜张开。

进一步地，放料平台150上设有导向孔，该晶圆蓝膜的张紧和调节装置还包括导向柱170，导向柱170的一端设置于转动体130上，导向柱170的另一端伸入导向孔内并与导向孔的内壁导向配合。导向柱170的设置，使得伸缩件160在预设的方向上带动放料平台150运动，从而使得对放料平台150的位移能够实现更加精准的控制。导向柱170还可以在导向时能够绕自身的轴线发生微小的转动，例如导向柱170设置于导向轴承上，从而降低了导向柱170与导向孔的内壁之间的摩擦，使得导向更加顺畅。

在另一个实施例中，抵接件111设置为伸缩环(未示出)，传动机构包括传动轴，传动轴的一端设置于转动体130上，传动轴的另一端设置于放料平台150上；伸缩环处于第三状态时，伸缩环的一端与晶圆蓝膜相对间隔设置；伸缩环处于第四状态时，伸缩环的一端与晶圆蓝膜抵接。当晶圆蓝膜固设于放料平台150上后，伸缩环处于第三状态，此时，伸缩环靠近晶圆蓝膜的一端与晶圆蓝膜之间的间隙最大；当伸缩环靠近晶圆蓝膜的一端朝向晶圆蓝膜运动，直至伸缩环处于第四状态，此时，伸缩环靠近晶圆蓝膜的一端与晶圆蓝膜抵接，从而使得晶圆蓝膜张开。当转动体130转动时，在传动轴的带动下使得放料平台150与转动体130同步转动，从而使得晶圆蓝膜相对抵接件111发生偏转，进而对晶圆蓝膜的位置偏差或晶圆蓝膜上晶圆的位置偏差进行调整。本发明实施例的伸缩环可以为液压缸或气压缸的伸缩轴，也可以是丝杆螺母组件中的丝杆，只需满足能够进行伸缩即可。本发明实施例的传动轴可以是连接块、连接条或连接筋，只需满足能够将转动体130的转动传递至放料平台150即可。

如图1至图3所示，在上述任一实施例的基础上，导向件120设置为导向轮121，转动体130上相应设有能够与导向轮121导向配合的导向块131。利用导向轮121与导向块131的导向配合，从而使得转动体130在预设的导向区域内转动，能够对转动体130的转动弧度进行准确的控制，从而可以准确的控制晶圆蓝膜相对抵接件111的转动弧度，进而更加准确的对位置偏差进行调整或消除。在一个实施例中，导向轮121设置为六个，六个导向轮121呈正六边形设置，导向块131相应设置为六个，转动体130设置为圆形转盘，六个导向轮121设置于转盘的外切圆位置，使得转盘的中心轴线与抵接件111的中心轴线重合，使得转盘的转动精度更高。

如图4至图5所示，进一步地，导向轮121上开设有导向槽1211，导向块131包括第二导向部1311，第二导向部1311凸出转动体130设置并与导向槽1211的内壁导向配合。导向轮121上开设导向槽1211，例如V型导向槽1211，导向槽1211不仅可以对转动体130实现水平方向上的导向限位，还能实现竖直方向上的导向限位，使得转动体130的转动更加平稳；第二导向部1311凸出转动体130设置并与导向槽1211导向配合，可以将第二导向部1311的形状设置为圆弧形，减小了第二导向部1311与导向槽1211的内壁之间的摩擦，使得转动体130的转动更加顺畅，便于控制转动弧度的精度。在一个实施例中，转动体130为圆形的转盘，导向块131设置于转盘的边缘处，第二导向部1311为圆弧形并凸出转盘设置。转盘转动时，第二导向部1311上预设弧度的导向面能够与导向槽1211的内壁接触，两侧的导向面与导向槽1211的内壁之间留有间隙，不仅能够使得转盘在预设导向区域内发生转动，而且导向时的接触摩擦减少，转动更加顺畅。如图4所示，在一个实施例中，导向轮121上还开设有安装通孔1212，用于将导向轮121设置于基座110上的安装座122上设有安装柱1221，安装柱1221上设有插接孔，安装柱1221插入安装通孔1212内，再利用插接件123插入插接孔内，从而实现导向轮121的安装。调整安装座122在基座110上的安装位置，从而可以调节导向区域的大小以适应不同大小的转动体130。

如图1至图3所示，在一个实施例中，驱动机构包括旋转驱动件140，该张紧和调节装置还包括传动带181，传动带181与旋转驱动件140的旋转输出端及转动体130均传动连接。该旋转驱动件140可以是电机、旋转液压缸或其他具有旋转运动的机构，利用传动带181实现旋转驱动件140与转动体130之间的传动连接，传动稳定，具有缓冲吸振的作用。进一步地，传动带181上设置第一传动齿，转动体130上相应设置第二传动齿，利用第一传动齿与第二传动齿之间的啮合实现传动配合，传动精度高。在其他实施例中，还可以通过齿轮传动或链传动的方式实现，齿轮传动的传动精度高，传动效率高。

如图1至图3所示，进一步地，该晶圆蓝膜的张紧和调节装置还包括张紧机构182，张紧机构182用于调整传动带181与转动体130之间的张紧力和/或与旋转输出端之间的张紧力。利用张紧机构182以调整传动带181与转动体130或与旋转驱动机构的旋转输出端之间的张紧力，使得转动体130在转动的过程中不会出现空转或打滑的问题，保证传动的准确性和稳定性。在一个实施例中，张紧机构182包括张紧轮和安装座，张紧轮设置于安装座上，且张紧轮能够绕自身的轴线转动，安装座设置于基座110上，且安装座的安装位置可调，通过调节安装座相对传动带181的位置，使得传动带181张紧或松弛。

在上述任一实施例的基础上，该晶圆蓝膜的张紧和调节装置还包括限位开关组件，限位开关组件用于限制转动体130的转动弧度。利用限位开关组件对转动体130的转动弧度进行限制，防止晶圆蓝膜相对抵接件111转动角度过大而进一步扩大位置误差或损害产品。

如图1至图3所示，在一个实施例中，限位开关组件包括光电开关191和传感器感应片192，光电开关191设置于基座110上，传感器感应片192设置于转动体130上，光电开关191上设有感应槽，传感器感应片192设置于感应槽内。当传感器感应片192处于感应槽内时，驱动机构能够带动转动体130转动，当转动体130转动弧度过大时，传感器感应片192从感应槽内脱落，驱动机构断电，从而使得转动体130停止转动。

如图1至图3所示，在另一个实施例中，限位开关组件包括运动块193和阻挡块194，运动块193设置于转动体130上，阻挡块194设置于基座110上。当转动体130转动一定的弧度后，运动块193转动至与阻挡块194抵接，从而可以限制转动体130继续转动。阻挡块194可以设置为两个，两个阻挡块194关于运动块193对称设置。

需要进行说明的是，光电开关191、传感器感应片192、运动块193以及阻挡块194可以同时使用，从而可以形成双重限位保护，防止转动体130的转动超出工作位置。

本发明的一个实施例还公开了一种封装设备，包括上述任一实施例的晶圆蓝膜的张紧和调节装置。

上述实施例的封装设备，使用时，张紧和调节装置的放料平台150相对转动体130上升至第一位置，利用固定组件152将晶圆蓝膜固设于放料平台150上，此时，抵接件111靠近放料平台150的一端与晶圆蓝膜之间留有间隙；若晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置发生偏差时，放料平台150相对转动体130下降直至到达第二位置，此时，抵接件111靠近放料平台150的一端与晶圆蓝膜发生抵接，从而使得晶圆蓝膜张开；在驱动机构的驱动以及第一导向部的导向作用下转动体130在导向区域内绕抵接件111的轴线转动，通过传动机构带动放料平台150相应绕抵接件111的轴线转动，从而使得晶圆蓝膜相对抵接件111发生转动，进而使得封装设备能够对晶圆蓝膜的位置或晶圆蓝膜上的晶圆位置进行调整，消除了位置偏差，使得各个生产工序能够准确的进行，保证了产品的生产质量。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的约束。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种封装设备的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，包括：

基座，所述基座上设有用于抵接晶圆蓝膜的抵接件和至少两个相对间隔设置的导向件，至少两个所述导向件围设形成导向区域并配合形成第一导向部，且所述抵接件设置于所述导向区域内；

转动体，所述转动体套设于所述抵接件上并与所述第一导向部导向配合；

驱动机构，所述驱动机构与所述转动体传动连接、用于使所述转动体能够绕所述抵接件的轴线转动；及

放料平台，所述放料平台与所述转动体相对间隔设置，且所述放料平台与所述转动体之间设有传动机构，所述转动体通过所述传动机构带动所述放料平台绕所述抵接件的轴线转动，所述放料平台上设有用于供抵接件穿过的通孔和用于固定晶圆蓝膜的固定组件，所述放料平台能够相对所述抵接件沿所述抵接件的长度方向往复运动；

当所述放料平台处于第一位置时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜相对间隔设置；

当所述放料平台处于第二位置时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜抵接。

2.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述传动机构包括伸缩件，所述伸缩件的一端设置于所述转动体上，所述伸缩件的另一端设置于所述放料平台上、用于使所述放料平台能够沿所述伸缩件的伸缩方向往复移动；

所述伸缩件处于第一状态时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜相对间隔设置；

所述伸缩件处于第二状态时，所述抵接件的一端与所述晶圆蓝膜抵接。

3.根据权利要求2所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述放料平台上设有导向孔，还包括导向柱，所述导向柱的一端设置于所述转动体上，所述导向柱的另一端伸入所述导向孔内并与所述导向孔的内壁导向配合。

4.根据权利要求1所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述抵接件设置为伸缩环，所述传动机构包括传动轴，所述传动轴的一端设置于所述转动体上，所述传动轴的另一端设置于所述放料平台上；

所述伸缩环处于第三状态时，所述伸缩环的一端与所述晶圆蓝膜相对间隔设置；

所述伸缩环处于第四状态时，所述伸缩环的一端与所述晶圆蓝膜抵接。

5.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述导向件设置为导向轮，所述转动体上相应设有能够与所述导向轮导向配合的导向块。

6.根据权利要求5所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述导向轮上开设有导向槽，所述导向块包括第二导向部，所述第二导向部凸出所述转动体设置并与所述导向槽的内壁导向配合。

7.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，所述驱动机构包括旋转驱动件，还包括传动带，所述传动带与所述旋转驱动件的旋转输出端及所述转动体均传动连接。

8.根据权利要求7所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，还包括张紧机构，所述张紧机构用于调整所述传动带与所述转动体之间的张紧力和/或与所述旋转输出端之间的张紧力。

9.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置，其特征在于，还包括限位开关组件，所述限位开关组件用于限制所述转动体的转动弧度。

10.一种封装设备，其特征在于，包括：如权利要求1至9任一项所述的晶圆蓝膜的张紧和调节装置。