CN109037135A - 一种硅片翻转机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种硅片翻转机构,包括安装座、中空轴马达、旋转臂、转轴、两对片叉、一对吸盘、一对气管以及第二螺柱,所述安装座上开设有圆孔,所述中空轴马达通过第二螺柱固定于安装座上,所述转轴插装于中空轴马达内,所述旋转臂固定套装于转轴上,所述一对吸盘分别安置于旋转臂两端,所述一对气管分别与一对吸盘进行连通,且穿过旋转臂与转轴相连通,所述转轴与中空轴马达的转子轴相连通,本发明涉及硅片生产制造设备技术技术领域,减少对硅片表面的刮伤,让硅片在使用时减少其损耗,提高硅片使用寿命。

Description

一种硅片翻转机构
技术领域
[0001] 本发明涉及硅片生产制造设备技术技术领域,具体为一种硅片翻转机构。
背景技术
[0002] 如今,硅片使用广泛,在工业生产中起到重要作用,目前市场的硅片翻转机构使用 时,导致硅片会与机构接触产生相对运动,硅片背面产生划痕,导致硅片无法正常使用,减 少娃片使用寿命,以上所述,鉴于此,针对上述问题进行研宄,设计本机构。
发明内容
[0003] 针对现有技术的不足,本发明提供了一种硅片翻转机构,解决了现有的市场的硅 片翻转机构使用时,经常导致硅片会与机构接触产生相对运动,导致硅片背面产生划痕,导 致硅片的正常使用。
[0004] 为实现以上目的,本发明通过以下技术方案予以实现:包括安装座、中空轴马达、 旋转臂、转轴、两对片叉、一对吸盘、一对气管以及第二螺柱,所述安装座上开设有圆孔,所 述中空轴马达通过第二螺柱固定于安装座上,所述转轴插装于中空轴马达内,所述旋转臂 固定套装于转轴上,所述一对吸盘分别安置于旋转臂两端,所述一对气管分别与一对吸盘 进行连通,且穿过旋转臂与转轴相连通,所述转轴与中空轴马达的转子轴相连通,所述两对 片叉分别固定于一对吸盘上;
[0005] 其还包括:进气法兰、密封圈以及四个第一螺柱;
[0006] 所述密封圈嵌装于安装座上的圆孔内,且与中空轴马达转轴相贴合,所述进气法 兰通过四个第一螺柱固定于安装座上,且进气法兰与密封圈贴合。
[0007] 优选的,所述两对片叉分别与一对吸盘之间插装有第三螺柱,上述第三螺柱用于 对两对片叉进行固定。
[0008] 优选的,所述吸盘与旋转臂之间通过第四螺柱以及一对第五螺柱进行固定。
[0009] 优选的,所述安装座的纵截面呈“L”型。
[0010] 优选的,所述中空轴马达的转子轴以及转轴内部均呈为空腔结构,相互连通,形成 进气通道。
[0011]优选的,所述转轴与旋转臂配合端呈六棱形,且旋转臂壁面开设有用于转轴插入 的六棱形口。
[0012]有益效果
[0013]本发明提供了一种硅片翻转机构。具备以下有益效果:减少对硅片表面的刮伤,让 娃片在使用时减少其损耗,提高娃片使用寿命。
附图说明
[0014]图1为本发明所述一种娃片翻转机构的爆炸图。
[0015]图2为本发明所述一种硅片翻转机构的组装图。
[0016]图中:1、安装座;2、中空轴马达;3、旋转臂;4、转轴;5、片叉;6、吸盘;7、气管;8、进 气法兰;9、密封圈。
具体实施方式
[0017]下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完 整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于 本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他 实施例,都属于本发明保护的范围。
[0018]请参阅图1-2,本发明提供一种技术方案:一种硅片翻转机构,包括安装座1、中空 轴马达2、旋转臂3、转轴4、两对片叉5、一对吸盘6、一对气管7以及第二螺柱,所述安装座1上 开设有圆孔,所述中空轴马达2通过第二螺柱固定于安装座1上,所述转轴4插装于中空轴马 达2内,所述旋转臂3固定套装于转轴4上,所述一对吸盘6分别安置于旋转臂3两端,所述一 对气管7分别与一对吸盘6进行连通,且穿过旋转臂3与转轴4相连通,所述转轴4与中空轴马 达2的转子轴相连通,所述两对片叉5分别固定于一对吸盘6上;其还包括:进气法兰8、密封 圈9以及四个第一螺柱;所述密封圈9嵌装于安装座1上的圆孔内,且与中空轴马达2转轴相 贴合,所述进气法兰8通过四个第一螺柱固定于安装座1上,且进气法兰8与密封圈9贴合;所 述两对片叉5分别与一对吸盘6之间插装有第三螺柱,上述第三螺柱用于对两对片叉5进行 固定;所述吸盘6与旋转臂3之间通过第四螺柱以及一对第五螺柱进行固定;所述安装座1的 纵截面呈“L”型;所述中空轴马达2的转子轴以及转轴4内部均呈为空腔结构,相互连通,形 成进气通道;所述转轴4与旋转臂3配合端呈六棱形,且旋转臂3壁面开设有用于转轴4插入 的六棱形口。
[0019] 整体运行原理如下:在使用时,中空轴马达2为动力单元,中空轴马达2带动转轴4 旋转,中空轴马达2的转子轴与转轴4都是中空的,用于气体流通,进气法兰8设置在中空轴 马达2的转子轴的一端,成为进气口,进气法兰8与中空轴马达2的转子轴之间设置密封圈9, 防止漏气,旋转臂3设置在转轴4上,转轴4带动旋转臂3翻转,旋转臂3的两端各设置一个吸 盘6,吸盘连接气管7,气管7连接中空轴内的进气通道。
[0020] 需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实 体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存 在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖 非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要 素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备 所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素,并不排除 在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。
[0021] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以 理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换 和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1. 一种硅片翻转机构,其特征在于,包括安装座(1)、中空轴马达(2)、旋转臂(3)、转轴 (4)、两对片叉(5)、一对吸盘(6)、一对气管(7)以及第二螺柱,所述安装座⑴上开设有圆 孔,所述中空轴马达(2)通过第二螺柱固定于安装座(1)上,所述转轴插装于中空轴马达 (2)内,所述旋转臂(3)固定套装于转轴⑷上,所述一对吸盘(6)分别安置于旋转臂(3)两 端,所述一对气管⑺分别与一对吸盘(6)进行连通,且穿过旋转臂(3)与转轴(4)相连通,所 述转轴(4)与中空轴马达(2)的转子轴相连通,所述两对片叉(5)分别固定于一对吸盘(6) 上; 其还包括:进气法兰⑻、密封圈⑼以及四个第一螺柱; 所述密封圈⑼嵌装于安装座(1)上的圆孔内,且与中空轴马达(2)转轴相贴合,所述进 气法兰⑻通过四个第一螺柱固定于安装座(1)上,且进气法兰⑻与密封圈贴合。
2. 根据权利要求1所述的一种硅片翻转机构,其特征在于,所述两对片叉(5)分别与一 对吸盘⑹之间插装有第三螺柱,上述第三螺柱用于对两对片叉(5)进行固定。
3. 根据权利要求1所述的一种硅片翻转机构,其特征在于,所述吸盘(6)与旋转臂(3)之 间通过第四螺柱以及一对第五螺柱进行固定。
4. 根据权利要求1所述的一种硅片翻转机构,其特征在于,所述安装座(1)的纵截面呈 “L” 型。
5.根据权利要求1所述的一种硅片翻转机构,其特征在于,所述中空轴马达(2)的转子 轴以及转轴⑷内部均呈为空腔结构,相互连通,形成进气通道。
6.根据权利要求1所述的一种娃片翻转机构,其特征在于,所述转轴(4)与旋转臂(3)配 合端呈六棱形,且旋转臂⑶壁面开设有用于转轴⑷插入的六棱形口。
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