CN109023268A - 玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构 - Google Patents

Abstract

本发明涉及玻璃镀膜清理技术领域，公开了玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，包括往复运动机构，往复运动机构包括丝杠，丝杠的一端伸入连接槽内并转动设有滚轮，滚轮上固定设有凸轮，丝杠上铰接有相互平行的第一摆杆和第二摆杆，第一摆杆和第二摆杆之间铰接有连杆，连杆上固定有接料板；连接槽内设有气袋，连接槽的槽口部位设有充气网，充气网远离丝杠的一端与气袋连通。通过本发明能够解决现有的使用胶带将连接槽的槽口封闭而导致操作繁琐的问题。

Description

玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构

技术领域

本发明涉及玻璃镀膜清理技术领域，具体涉及一种玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构。

背景技术

阴极溅射法是在真空室内安装正、负两个电极,其中用镀膜材料制成阴极靶,衬底支架为阳极,在其上置放待镀膜玻璃，并用情性气体的正离子表击阴极固体材料，所溅出的中性原子或分子在玻璃衬底上而形成薄膜的加工方法。

在玻璃溅射加工的过程中，部分溅射出的材料受到空气的氧化变硬而形成废屑废渣，这些废屑废渣容易落至阴极底板与箱体之间连接而形成的连接槽中，导致连接槽内堆积较多的废屑和废渣，不便于清理，影响了加工环境的整洁和卫生，目前，暂时的处理方式是每次加工前采用胶带将连接槽的槽口封闭，使得废屑废渣落至胶带上而不会进入连接槽内，当完成加工后，再将胶带撕下而对废屑和废渣进行处理，如此，每次进行加工均需要在连接槽的槽口粘贴上胶带，操作繁琐。

发明内容

本发明意在提供玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，以解决现有的使用胶带将连接槽的槽口封闭而导致操作繁琐的问题。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，包括往复运动机构，往复运动机构包括丝杠，丝杠的一端伸入连接槽内并转动设有滚轮，滚轮上固定设有凸轮，丝杠上铰接有相互平行的第一摆杆和第二摆杆，第一摆杆和第二摆杆之间铰接有连杆，连杆上固定有接料板；连接槽内设有气袋，连接槽的槽口部位设有充气网，充气网远离丝杠的一端与气袋连通。

本方案的原理及优点是：实际应用时，往复运动机构用于控制丝杠的往复运动，当丝杠向连接槽内运动时，丝杠上的滚轮将对气袋造成挤压，使得气袋内的气体进入充气网中而令充气网充气膨胀，由此使得充气网的网孔闭合而令充气网整体呈板状结构，如此，玻璃进行溅射加工时的废屑和废渣将落至充气网上而不会落至连接槽内，利用充气网实现对废屑和废渣的收集，保持连接槽的洁净。当丝杆反向移动时，滚轮将气袋释放，充气网内的气流在气压作用下又回流至气袋中而进行排气，此时充气网恢复形变而将网孔打开，体积较小的废屑和废渣由网孔下落，而体积较大的废屑和废渣则被阻挡滞留在充气网上方，以便于对不同体积的废屑和废渣进行分别处理。

第一摆杆和第二摆杆用于对接料板进行支撑固定，当体积较小的废屑和废渣落下时，将落至接料板上而被收集。由于充气网在排气时，与气袋连接的一端排气较快而另一端排气较慢，因此充气网上靠近气袋的网孔张开较快，而另一侧的网孔则张开较慢，由此实现充气网跟随接料板的移动而对不同部位的废屑和废渣进行分离处理，保证接料板对落下的废屑和废渣的有效承接，避免废屑和废渣落至连接槽内。

滚轮在跟随丝杠运动的过程中，受到连接槽槽壁的摩擦力作用在连接槽内转动，从而带动凸轮旋转，凸轮的长径端间歇抵在充气网上而令充气网发生抖动，如此增强充气网对不同体积的废屑和废渣的分离效果，保证对废料的有效分离，便于对不同体积的废料的分别处理。

本发明的优点是：

1、采用具有网孔的充气网对连接槽的槽口进行阻挡，不充气时，网孔能够便于阴极底板与箱体之间的螺栓连接固定安装；当充气时，充气网能够对连接槽进行遮挡保护，将落下的废屑和废渣收集，避免杂质落入连接槽内；且当充气网充气后再次放气时，能够对不同体积大小的废料进行分离，以便于分别进行处理，由此提高了对废屑和废渣的处理效果，有效保证了连接槽的洁净。

2、采用丝杠的运动促使充气网工作而对连接槽进行遮挡，相比使用胶带进行遮挡保护，既解决了每次加工均需粘贴胶带和撕下胶带的繁琐操作，又避免了大量使用胶带而导致的成本增大的问题，利于长期加工。

3、采用丝杠运动促使滚轮滚动而带动凸轮旋转，进而使凸轮的长径端间歇抵在充气网上而拨动充气网不断抖动，由此能够增强对杂质的分离效果，促进对杂质的全部有效处理。

4、当连接槽内意外落入杂质时，滚轮在滚动的过程中，在连接槽内不停旋转而对连接槽内粘附的杂质进行抛除，避免杂质粘附在连接槽的槽壁上，进而在丝杠的往复运动过程中，通过滚轮将连接槽内的废料挤压排出，对连接槽内落入的杂质进行了有效清理，增强对连接槽的清理效果。

优选的，作为一种改进，连杆的两端分别连接在第一摆杆的中部和第二摆杆的中部。如此，当第一摆杆和第二摆杆跟随丝杠的移动进入连接槽时，第一摆杆和第二摆杆受到充气网的阻挡而被挤压成倾斜状态，此时，第一摆杆和第二摆杆远离丝杠的一端与充气网相抵，如将连杆连接在第一摆杆和第二摆杆的顶部，且连接杆上的接料板将受到充气网的摩擦而无法保持对废料的承接，废料易落入连接槽内而造成废料的无效排出。而将连杆连接在第一摆杆和第二摆杆的中部，则在第一摆杆和第二摆杆倾斜时，连杆与充气网之间具有间隙而保持接料板与充气网之间的间距，从而能够避免废料受到充气网的阻挡而落入连接槽内，保证废料的有效排出。

优选的，作为一种改进，还包括卸料机构，卸料机构包括套设于丝杠上的套筒，套筒外侧设有座体，且套筒滑动并转动设于座体上；套筒的外部设有多个啮齿，且套筒通过啮齿啮合有齿条，齿条固定连接有抵臂，抵臂位于接料板的上方并可沿接料板的上表面移动。当丝杠移动时，将推动配合的套筒在座体上旋转，进而推动与套筒啮合的齿条移动，使得齿条带动抵臂移动而通过抵臂将堆积在接料板上的废料推走，实现对废料的自动排出处理，便于实际使用。将套筒滑动并转动设于座体上，既保证了丝杠移动时，套筒在座体上能够发生转动；又使得凸轮的长径端抵在连接槽的槽底上而令丝杠发生抬升时，套筒能够跟随丝杠移动，给凸轮的运动提供充足的空间，避免凸轮卡死的情况。

优选的，作为一种改进，充气网上滑动设有金属辊，滚轮上设有磁块。当滚轮靠近金属辊时，金属辊受到滚轮的吸引而跟随辊轮的运动在充气网上发生移动，从而将充气网上堆积的体积较大的废料挤压推走，实现对体积较大的废料的自动处理，增强装置的实用效果。

优选的，作为一种改进，金属辊上设有多个凸点。如此，当金属辊受到辊轮的吸引而在充气网上发生移动时，凸点卡入充气网的网孔中而对网孔进行疏通，避免充气网的网孔被废料堵塞而造成对排料效果的影响和造成不便于阴极底板与箱体之间的固定连接的问题。

优选的，作为一种改进，第一摆杆和第二摆杆远离丝杠的一端为圆弧端。如此，能够避免第一摆杆和第二摆杆抵在充气网上时将充气网扎坏，保证充气网的使用寿命。

附图说明

图1为本发明实施例的纵向剖视图。

图2为金属辊和充气网的俯视图。

图3为图1中A-A向剖视图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式进一步详细说明：

说明书附图中的附图标记包括：连接槽1、气袋2、充气网3、金属辊4、丝杠5、套筒6、座体7、齿条8、抵臂9、滚轮10、凸轮11、第一摆杆12、第二摆杆13、接料板14、长条形孔15、卡槽16、凸缘17。

实施例如图1所示：玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，包括往复运动机构、清理机构和卸料机构。

往复运动机构包括丝杠5，丝杠5的一端连接有气缸，另一端伸入连接槽1内并通过轴承转动设有滚轮10，滚轮10上设有磁块，滚轮10上键连接固定有凸轮11，丝杠5靠近连接槽1的部位上通过铰链铰接有相互平行的第一摆杆12和第二摆杆13，第一摆杆12和第二摆杆13远离丝杠5的一端均为圆弧端，且第一摆杆12中部和第二摆杆13中部之间铰接有连杆，连杆上固定有接料板14。

清理机构用于溅射时产生的废料进行收集清理，清理机构包括位于连接槽1内的气袋2和位于连接槽1的槽口部位的充气网3，充气网3远离丝杠5的一端与气袋2连通，结合图2所示，充气网3上滑动设有金属辊4，金属辊4与充气网3的具体滑动连接方式为：在充气网3的两侧均设有平行的凸条，凸条的长度小于充气网3的长度，金属辊4的两端均设有圆轮，圆轮上均设有环形的凹槽，凸条卡设于凹槽中并与凹槽配合。金属辊4上还设有多个凸点，充气网3与气袋2连通的一端与金属辊4之间连接有复位弹簧。

卸料机构用于对收集的废料进行排料，卸料机构包括套设于丝杠5上的套筒6，套筒6外侧设有座体7，且套筒6滑动并转动设于座体7上，套筒6与座体7之间的滑动和转动连接方式如图3所示，具体为：在座体7上设有竖向延伸的长条形孔15，长条形孔15的孔壁上设有环形的卡槽16，套筒6的一端设有凸缘17，凸缘17卡设于卡槽16内，如此，套筒6即可在卡槽16内转动，又可在长条形孔15中滑动。套筒6的外部设有多个啮齿，且套筒6通过啮齿啮合有齿条8，齿条8固定连接有抵臂9，抵臂9位于接料板14的上方并可沿接料板14的上表面移动。

具体实施过程如下：当需要进行溅射加工时，启动气缸，气缸带动丝杠5移动，丝杠5伸入连接槽1内，滚轮10跟随移动而挤压气袋2，气袋2向充气网3上充气。充气网3充气膨胀而令网孔闭合，此时充气网3呈板体状而对连接槽1进行遮挡保护，溅射时的废料落至充气网3上进行堆积而被收集。同时第一摆杆12和第二摆杆13跟随进入连接槽1内，并受到充气网3的挤压而向同一方向倾斜，此时连杆上的接料板14由于连接在第一摆杆12和第二摆杆13的中部，得以与充气网3之间保持有适当的间隙，以便于对废料进行承接并将废料排出。滚轮10上的磁块对金属辊4进行吸附，对金属辊4的后续运动进行控制。

完成玻璃的溅射加工后，气缸工作而带动丝杠5反向移动。滚轮10在丝杠5的带动下移动，气袋2逐渐失去滚轮10的挤压而被释放，此时充气网3内的气压较大，而气袋2内的气压较小，充气网3内的气流在气压作用下回流至气袋2内而使充气网3进行排气。由于充气网3上与气袋2连接的一端排气较快，另一端排气较慢，因而充气网3上排气较快的一端网孔张开较快，而另一端张开速度较慢，因此充气网3两端的网孔排料具有先后顺序，以保证网孔排料与接料板14在连接槽1内的运动同步，从而保证废料能够落至接料板14上。网孔张开后，充气网3上堆积的体积较小的废料由网孔下落至接料板14上，而体积较大的废料则滞留在充气网3上，由此实现废料的分离和分别处理，以保证对废料的处理效果。滚轮10跟随丝杠5移动并在气袋2表面的摩擦作用下发生转动，而带动凸轮11发生旋转，凸轮11的长径端间歇抵在充气网3上而令充气网3抖动，以保证充气网3对废料的分离效果，和防止废料将充气网3的网孔堵塞。丝杠5带动接料板14移动而依次对充气网3的不同部位处下漏的废料进行收集。

滚轮10移动的同时，通过磁力带动吸附的金属辊4移动，金属辊4将堆积滞留在充气网3上的体积较大的废料挤压推动排出，以实现对废料的全面清理。金属辊4上的凸点在金属辊4移动的过程中卡入充气网3的网孔中，对网孔进行进一步的疏通，保证网孔的正常打开，以便于螺栓等零件的安装和对废料的正常收集和排出。

在丝杠5滑出连接槽1时，丝杠5推动套筒6旋转，套筒6推动啮合的齿条8移动，齿条8带动抵臂9移动而推动接料板14上堆积的废料排走，由此实现对体积较小的废料的处理，而体积较大的废料则被金属辊4推动排走，如此实现对不同体积的废料的单独处理。套筒6通过凸缘卡设于长条形孔15上的卡槽16内，使得套筒6可在座体7上转动和滑动，为凸轮11的转动提供移动的空间，从而避免了凸轮11的长径端抵在连接槽1的槽底上时被卡死的情况。

金属辊4在滚轮10的吸附下移动时，复位弹簧发生形变。当金属辊4移动至凸条的末端后，无法跟随滚轮10继续运动，滚轮10与金属辊4之间逐渐分离，金属辊4又在复位弹簧的作用下移动复位。

滚轮10在连接槽1内的往复运动时，将意外落入连接槽1的废料推动排走，保证连接槽1的洁净，如此实现对连接槽1的遮挡保护，保证了对连接槽1的处理效果，相比现有的每次加工都使用胶带进行遮挡连接槽1的方式，解决了操作繁琐和成本高的问题，利于长期使用。

以上所述的仅是本发明的实施例，方案中公知的具体技术方案和/或特性等常识在此未作过多描述。应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本发明技术方案的前提下，还可以作出若干变形和改进，这些也应该视为本发明的保护范围，这些都不会影响本发明实施的效果和专利的实用性。本申请要求的保护范围应当以其权利要求的内容为准，说明书中的具体实施方式等记载可以用于解释权利要求的内容。

Claims (6)

1.玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，其特征在于：包括往复运动机构，往复运动机构包括丝杠，丝杠的一端伸入连接槽内并转动设有滚轮，滚轮上固定设有凸轮，丝杠上铰接有相互平行的第一摆杆和第二摆杆，第一摆杆和第二摆杆之间铰接有连杆，连杆上固定有接料板；连接槽内设有气袋，连接槽的槽口部位设有充气网，充气网远离丝杠的一端与气袋连通。

2.根据权利要求1所述的玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，其特征在于：所述连杆的两端分别连接在第一摆杆的中部和第二摆杆的中部。

3.根据权利要求1所述的玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，其特征在于：还包括卸料机构，卸料机构包括套设于丝杠上的套筒，套筒外侧设有座体，且套筒滑动并转动设于座体上；套筒的外部设有多个啮齿，且套筒通过啮齿啮合有齿条，齿条固定连接有抵臂，抵臂位于接料板的上方并可沿接料板的上表面移动。

4.根据权利要求1所述的玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，其特征在于：所述充气网上滑动设有金属辊，所述滚轮上设有磁块。

5.根据权利要求4所述的玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，其特征在于：所述金属辊上设有多个凸点。

6.根据权利要求2所述的玻璃镀膜加工用阴极底板清理机构，其特征在于：所述第一摆杆和第二摆杆远离丝杠的一端为圆弧端。