CN109016195A - 一种晶圆流片生产用加工装置 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 44
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 46
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims abstract description 21
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 claims description 39
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 12
- 241000208340 Araliaceae Species 0.000 claims description 2
- 235000005035 Panax pseudoginseng ssp. pseudoginseng Nutrition 0.000 claims description 2
- 235000003140 Panax quinquefolius Nutrition 0.000 claims description 2
- 235000008434 ginseng Nutrition 0.000 claims description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 abstract description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 8
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 abstract description 4
- 230000002633 protecting effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000005111 flow chemistry technique Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 239000013618 particulate matter Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 238000006748 scratching Methods 0.000 description 1
- 230000002393 scratching effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/02—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by rotary tools, e.g. drills
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0082—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment
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- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置，其可对两组切割器输出端间的距离进行调整，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力；同时可对切割器输出端与放置架间的距离进行调整，以便能切割多种厚度的晶圆流片，降低使用局限性；且增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性；同时增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果，提高使用可靠性；包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架；还包括后支板、左测量件、左测量尺、右测量件和右量尺寸；放置架包括下伸缩电机和放置板；还包括固定件；还包括支撑件和透明防护板。
Description
技术领域
本发明涉及晶圆流片生产附属装置的技术领域，特别是涉及一种晶圆流片生产用加工装置。
背景技术
众所周知，晶圆流片生产用加工装置是一种用于晶圆流片生产过程中，将晶圆流片的四个尖角切成四个圆角，以便使晶圆流片的四个角变得圆滑，防止安装人员划伤的辅助装置，其在晶圆流片生产领域中得到广泛的使用；现有的晶圆流片生产用加工装置包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴，并在转动轴上设置有连接架，两组安装座分别设置在连接架左右两侧上，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；现有的晶圆流片生产用加工装置使用时只需将晶圆流片放置在放置架上并使两组切割器输出端均与晶圆流片顶端接触，之后控制伺服电机带动转动轴上的连接件进行转动，使两组切割器均在晶圆流片进行画圆操作，然后控制切割器进行工作，使切割器对晶圆流片进行切割，将晶圆流片的四个尖角切成四个圆角即可；现有的晶圆流片生产用加工装置使用中发现，两组切割器输出端间的距离固定，从而导致其能切割出来的晶圆流片的直径固定，适应能力较差；并且切割器输出端与放置架间的距离固定，从而导致其只能切割固定厚度的晶圆流片，使用局限性较高；且晶圆流片在放置架上的稳固性有限，易在切割过程中发生移位，从而影响其切割效果，使用性有限；并且切割过程中飞溅颗粒物易迸溅到位于工作台前侧的工作人员身上，从而易对工作人员造成损伤，使用可靠性有限。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明提供一种可对两组切割器输出端间的距离进行调整，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力；同时可对切割器输出端与放置架间的距离进行调整，以便能切割多种厚度的晶圆流片，降低使用局限性；且增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性；同时增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果，提高使用可靠性的晶圆流片生产用加工装置。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台、支架、伺服电机、两组安装座、两组切割器和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴，并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；还包括后支板、左测量件、左测量尺、右测量件和右量尺寸，所述连接架包括连接块、左电动伸缩杆和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上，所述支板设置在支架内顶壁后侧，左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上，所述左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上，且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触；所述放置架包括下伸缩电机和放置板，工作台顶端设置有安装槽，下伸缩电机设置在安装槽内，所述下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆，放置板设置在下驱动杆顶端；还包括固定件，所述固定件设置在连接块底端，且固定件位于放置板正上方；还包括支撑件和透明防护板，所述工作台顶端前侧设置有放置槽，支撑件设置在放置槽内，所述透明防护板设置在支撑件顶端，且透明防护板位于放置架前侧。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，所述左测量件包括左支板、左伸缩电机和左测量板，右测量件包括右支板、右伸缩电机和右测量板，所述左支板设置在支架内底壁左侧，左伸缩电机设置在左支板上，所述左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆，左测量板位于左支板右侧，且左驱动杆右端穿过左支板并与左测量板左端连接，所述右支板设置在支架内底壁右侧，右伸缩电机设置在右支板上，所述右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆，右测量板位于右支板左侧，且右驱动杆左端穿过右支板并与右测量板右端连接。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，所述固定件包括调节件、滚珠轴承和固定板，所述连接块底端设置有固定槽，滚珠轴承设置在固定槽内，所述调节件顶端插入至滚珠轴承内部，固定板设置在调节件底端。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，所述调节件包括螺纹管和螺纹杆，所述螺纹管顶端插入至滚珠轴承内部，螺纹杆顶端插入并螺装在螺纹管顶端内部，且所述螺纹杆底端与固定板顶端连接。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，所述支撑件包括两组下电动伸缩杆，所述两组下电动伸缩杆分别设置在放置槽内底壁左半区域和右半区域上，透明防护板底端插入至放置槽内，且透明防护板底端左半区域和右半区域分别与两组下电动伸缩杆输出端连接。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括左参照板和右参照板，所述左参照板和右参照板分别设置在两组固定座顶端，且左参照板和右参照板分别位于左测量尺和右测量尺前侧，左参照板左端和右参照板右端分别与两组切割器输出端位于同一水平线上。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括限位环，所述螺纹管上半区域外侧壁上设置有环形凹槽，限位环套装在环形凹槽上，且所述限位环顶端外侧与连接块底端外侧连接。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括两组上支撑架和两组下支撑架，所述两组上支撑架分别设置在连接块左端下侧和右端下侧上，且两组上支撑架顶端分别与左电动伸缩杆和右电动伸缩杆底端连接，所述两组下支撑架分别设置在左支板左端下侧和右支板右端下侧上，且两组下支撑架顶端分别与左伸缩电机和右伸缩电机底端连接。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括防滑板，所述防滑板设置在固定板底端。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括两组把手，所述两组把手分别设置在固定板顶端左右两侧上。
与现有技术相比本发明的有益效果为：其可通过控制左电动伸缩杆和右电动伸缩杆同时进行伸缩，从而可带动两组安装座同时进行移动，以便对两组切割器输出端间的距离进行调整，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力；同时可通过下伸缩电机控制下驱动杆带动放置板进行上下移动，以便对切割器输出端与放置架间的距离进行调整，从而能切割多种厚度的晶圆流片，降低使用局限性；且可通过固定件对位于放置板上的晶圆流片进行按压固定，以便增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性；同时可通过透明防护板进行遮挡防护，以便增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果，提高使用可靠性。
附图说明
图1是本发明的结构示意图；
图2是图1的外部示意图；
图3是图1的A部局部放大图；
图4是图1的B部局部放大图；
附图中标记：1、工作台；2、支架；3、伺服电机；4、安装座；5、切割器；6、转动轴；7、后支板；8、左测量件；9、左测量尺；10、右量尺寸；11、连接块；12、左电动伸缩杆；13、下伸缩电机；14、放置板；15、固定件；16、透明防护板；17、左伸缩电机；18、左测量板；19、右支板；20、右驱动杆；21、滚珠轴承；22、固定板；23、螺纹管；24、螺纹杆；25、下电动伸缩杆；26、右参照板；27、限位环；28、上支撑架；29、下支撑架；30、防滑板；31、把手。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
如图1至图4所示，本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台1、支架2、伺服电机3、两组安装座4、两组切割器5和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴6，并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；还包括后支板7、左测量件8、左测量尺9、右测量件和右量尺寸10，连接架包括连接块11、左电动伸缩杆12和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上，支板设置在支架内顶壁后侧，左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上，左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上，且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触；放置架包括下伸缩电机13和放置板14，工作台顶端设置有安装槽，下伸缩电机设置在安装槽内，下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆，放置板设置在下驱动杆顶端；还包括固定件15，固定件设置在连接块底端，且固定件位于放置板正上方；还包括支撑件和透明防护板16，工作台顶端前侧设置有放置槽，支撑件设置在放置槽内，透明防护板设置在支撑件顶端，且透明防护板位于放置架前侧；其可通过控制左电动伸缩杆和右电动伸缩杆同时进行伸缩，从而可带动两组安装座同时进行移动，以便对两组切割器输出端间的距离进行调整，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力；同时可通过下伸缩电机控制下驱动杆带动放置板进行上下移动，以便对切割器输出端与放置架间的距离进行调整，从而能切割多种厚度的晶圆流片，降低使用局限性；且可通过固定件对位于放置板上的晶圆流片进行按压固定，以便增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性；同时可通过透明防护板进行遮挡防护，以便增强切割过程中位于工作台前侧的工作人员的保护效果，提高使用可靠性。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，左测量件包括左支板、左伸缩电机17和左测量板18，右测量件包括右支板19、右伸缩电机和右测量板，左支板设置在支架内底壁左侧，左伸缩电机设置在左支板上，左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆，左测量板位于左支板右侧，且左驱动杆右端穿过左支板并与左测量板左端连接，右支板设置在支架内底壁右侧，右伸缩电机设置在右支板上，右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆20，右测量板位于右支板左侧，且右驱动杆左端穿过右支板并与右测量板右端连接；其可通过左伸缩电机带动左驱动杆上的左测量板进行左右移动，以便对左测量板的位置进行调整，从而方便对位于左侧的安装座上的切割器位置进行测量，同时通过右伸缩电机带动右驱动杆上的右测量板进行左右移动，以便对右测量板的位置进行调整，从而方便对位于右侧的安装座上的切割器位置进行测量。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，固定件包括调节件、滚珠轴承21和固定板22，连接块底端设置有固定槽，滚珠轴承设置在固定槽内，调节件顶端插入至滚珠轴承内部，固定板设置在调节件底端；其可通过调节件带动固定板进行上下移动，以便对位于放置板上的晶圆流片进行按压固定，增强晶圆流片在放置架上的稳固性，提高切割效果，增强使用性。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，调节件包括螺纹管23和螺纹杆24，螺纹管顶端插入至滚珠轴承内部，螺纹杆顶端插入并螺装在螺纹管顶端内部，且螺纹杆底端与固定板顶端连接；其可通过螺纹结构，通过旋转螺纹管带动螺纹杆上的固定板进行上下移动，以便对位于放置板上的晶圆流片进行按压固定。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，支撑件包括两组下电动伸缩杆25，两组下电动伸缩杆分别设置在放置槽内底壁左半区域和右半区域上，透明防护板底端插入至放置槽内，且透明防护板底端左半区域和右半区域分别与两组下电动伸缩杆输出端连接；其可对透明防护板进行支撑，并通过控制两组电动伸缩杆同时进行伸缩，从而可根据需求对透明防护板的位置进行调整，提高使用可靠性。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括左参照板和右参照板26，左参照板和右参照板分别设置在两组固定座顶端，且左参照板和右参照板分别位于左测量尺和右测量尺前侧，左参照板左端和右参照板右端分别与两组切割器输出端位于同一水平线上；其可辅助左测量板和右测量板对两组切割器输出端间的距离进行测量，以便对能切割出来的晶圆流片的直径进行调整，提高适应能力。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括限位环27，螺纹管上半区域外侧壁上设置有环形凹槽，限位环套装在环形凹槽上，且限位环顶端外侧与连接块底端外侧连接；其可增强螺纹管与连接块间的连接效果和稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括两组上支撑架28和两组下支撑架29，两组上支撑架分别设置在连接块左端下侧和右端下侧上，且两组上支撑架顶端分别与左电动伸缩杆和右电动伸缩杆底端连接，两组下支撑架分别设置在左支板左端下侧和右支板右端下侧上，且两组下支撑架顶端分别与左伸缩电机和右伸缩电机底端连接；其可对左电动伸缩杆和右电动伸缩杆以及左伸缩电机和右伸缩电机进行支撑，以便增强其安装后的稳固性。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括防滑板30，防滑板设置在固定板底端；其可增加摩擦力，提高对位于放置板上的晶圆流片的固定效果。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，还包括两组把手31，两组把手分别设置在固定板顶端左右两侧上；其可通过手握把手并旋转螺纹管进行转动，以便对固定板位置进行调整，提高使用性。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，其在使用时先根据晶圆流片需要切割的直径在左测量尺和右测量尺上进行标记，然后分别控制左伸缩电机和右伸缩电机带动左驱动杆上的左测量板和右驱动杆上的右测量板进行移动，使左测量板和右测量板分别移动到左测量尺和右测量尺标记处，之后控制左电动伸缩杆和右电动伸缩杆同时进行伸缩，直至使左参照板和右参照板分别与左测量板和右测量板接触为止，之后将晶圆流片放置在放置板上并控制下伸缩电机带动下驱动杆上的放置板向上移动，使两组切割器输出端均与晶圆流片顶端接触，然后手握把手并旋转螺纹管带动螺纹杆上的固定板向下移动，通过固定板对位于放置板上的晶圆流片进行按压固定，然后再根据晶圆流片的位置控制两组电动伸缩杆同时进行伸缩，使透明防护板位于晶圆流片正前侧，之后分别控制左伸缩电机和右伸缩电机带动左驱动杆上的左测量板和右驱动杆上的右测量板进行移动，使左测量板和右测量板分别离开左参照板和右参照板，然后控制伺服电机带动转动轴上的连接件进行转动，使两组切割器均在晶圆流片进行画圆操作，之后控制切割器进行工作，使切割器对晶圆流片进行切割，将晶圆流片的四个尖角切成四个圆角即可。
本发明的一种晶圆流片生产用加工装置，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；并且上述各部件的型号不限，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，且切割器和伺服电机是现有设计和技术，本案对其没有任何的技术改进，电动伸缩杆和伸缩电机均为市面常见设备，自带控制模块和电线，插电即可使用，未改变其内部结构。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种晶圆流片生产用加工装置，包括工作台（1）、支架（2）、伺服电机（3）、两组安装座（4）、两组切割器（5）和放置架，支架设置在工作台顶端，伺服电机设置在支架顶端，伺服电机的底部输出端上设置有转动轴（6），并在转动轴上设置有连接架，两组切割器分别设置在两组安装座底端，且两组切割器输出端均冲下，放置架设置在工作台顶端；其特征在于，还包括后支板（7）、左测量件（8）、左测量尺（9）、右测量件和右量尺寸（10），所述连接架包括连接块（11）、左电动伸缩杆（12）和右电动伸缩杆，连接块设置在转动轴底端，所述左电动伸缩杆和右电动伸缩杆分别设置在连接块左右两端上，两组安装座分别设置在左电动伸缩杆和右电动伸缩杆输出端上，所述支板设置在支架内顶壁后侧，左测量尺和右量尺寸分别设置在支板前端左上区域和右上区域上，所述左测量件和右测量件分别设置在支架左右两侧上，且左测量件和右测量件输出端分别与左测量尺和右量尺寸接触；所述放置架包括下伸缩电机（13）和放置板（14），工作台顶端设置有安装槽，下伸缩电机设置在安装槽内，所述下伸缩电机的顶部输出端上设置有下驱动杆，放置板设置在下驱动杆顶端；还包括固定件（15），所述固定件设置在连接块底端，且固定件位于放置板正上方；还包括支撑件和透明防护板（16），所述工作台顶端前侧设置有放置槽，支撑件设置在放置槽内，所述透明防护板设置在支撑件顶端，且透明防护板位于放置架前侧。
2.如权利要求1所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述左测量件包括左支板、左伸缩电机（17）和左测量板（18），右测量件包括右支板（19）、右伸缩电机和右测量板，所述左支板设置在支架内底壁左侧，左伸缩电机设置在左支板上，所述左伸缩电机的右部输出端上设置有左驱动杆，左测量板位于左支板右侧，且左驱动杆右端穿过左支板并与左测量板左端连接，所述右支板设置在支架内底壁右侧，右伸缩电机设置在右支板上，所述右伸缩电机的左部输出端上设置有右驱动杆（20），右测量板位于右支板左侧，且右驱动杆左端穿过右支板并与右测量板右端连接。
3.如权利要求2所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述固定件包括调节件、滚珠轴承（21）和固定板（22），所述连接块底端设置有固定槽，滚珠轴承设置在固定槽内，所述调节件顶端插入至滚珠轴承内部，固定板设置在调节件底端。
4.如权利要求3所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述调节件包括螺纹管（23）和螺纹杆（24），所述螺纹管顶端插入至滚珠轴承内部，螺纹杆顶端插入并螺装在螺纹管顶端内部，且所述螺纹杆底端与固定板顶端连接。
5.如权利要求4所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，所述支撑件包括两组下电动伸缩杆（25），所述两组下电动伸缩杆分别设置在放置槽内底壁左半区域和右半区域上，透明防护板底端插入至放置槽内，且透明防护板底端左半区域和右半区域分别与两组下电动伸缩杆输出端连接。
6.如权利要求5所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括左参照板和右参照板（26），所述左参照板和右参照板分别设置在两组固定座顶端，且左参照板和右参照板分别位于左测量尺和右测量尺前侧，左参照板左端和右参照板右端分别与两组切割器输出端位于同一水平线上。
7.如权利要求6所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括限位环（27），所述螺纹管上半区域外侧壁上设置有环形凹槽，限位环套装在环形凹槽上，且所述限位环顶端外侧与连接块底端外侧连接。
8.如权利要求7所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括两组上支撑架（28）和两组下支撑架（29），所述两组上支撑架分别设置在连接块左端下侧和右端下侧上，且两组上支撑架顶端分别与左电动伸缩杆和右电动伸缩杆底端连接，所述两组下支撑架分别设置在左支板左端下侧和右支板右端下侧上，且两组下支撑架顶端分别与左伸缩电机和右伸缩电机底端连接。
9.如权利要求8所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括防滑板（30），所述防滑板设置在固定板底端。
10.如权利要求9所述的一种晶圆流片生产用加工装置，其特征在于，还包括两组把手（31），所述两组把手分别设置在固定板顶端左右两侧上。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201811060257.0A CN109016195A (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种晶圆流片生产用加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| CN201811060257.0A CN109016195A (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种晶圆流片生产用加工装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN109016195A true CN109016195A (zh) | 2018-12-18 |
Family
ID=64621838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201811060257.0A Pending CN109016195A (zh) | 2018-09-12 | 2018-09-12 | 一种晶圆流片生产用加工装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN109016195A (zh) |
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- 2018-09-12 CN CN201811060257.0A patent/CN109016195A/zh active Pending
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