CN108998768A - 一种基于pvd技术的表面镀膜装置 - Google Patents

一种基于pvd技术的表面镀膜装置 Download PDF

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Abstract

本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体、靶材、电机、连接轴、下支撑盘、顶针、摩擦轮、摩擦带、挤压环、从动支撑模块,所述连接轴的上端固定连接摩擦轮;所述下支撑盘上的圆柱形槽内固定连接挤压环的外侧表面;所述挤压环的内侧均匀设置一组半球凸起;本发明通过设置顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带,在壳体上端设置从动支撑模块,实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀。

Description

一种基于PVD技术的表面镀膜装置
技术领域
本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种基于PVD技术的表面镀膜装置。
背景技术
溅镀是一种物理气相沉积技术,溅镀原理是在真空环境下,利用辉光放电或离子束产生的高能等离子体撞击耙材,以动量转移方式将耙材内的原子从耙材上轰击出来而沉积在基板上形成薄膜。由于溅镀可以达成较佳的沉积效率、精确的成份控制,以及较低的制造成本,因此已广泛应用于工业中各种金属和非金属膜层的制作。
现有技术中也出现了一些溅镀装置的技术方案,如申请号为2010106052656的一项中国专利公开了一种溅镀装置,包括一个本体、一个承载装置及至少一个驱动齿轮装置。该本体包括一个顶板、一个底板及一个侧壁。该承载装置包括一个与底板的上轴承座转动连接的外圈承载架、一个与底板的下轴承座转动连接的内圈承载架。该外圈承载架包括多个第一料杆,多个第一料杆均匀间隔设置且排布成一个外圈,相邻两个第一料杆间具有第一间距。该内圈承载架包括多个第二料杆,每个第二料杆的直径小于该第一间距。该多个第二料杆均匀间隔设置且排布成一个位于该外圈内且与外圈同轴的内圈。该驱动齿轮装置设置于该内圈承载架与外圈承载架之间并用于驱动该多个第一料杆与该多个第二料杆同时反向转动。
该技术方案能够实现放置更多的被镀工件,提高镀膜效率,但是该装置中的料杆只能实现围绕中心轴线转动,导致待镀工件的一侧不能接受到离子的附着,进而导致待镀工件表面镀层不均匀,最终影响待镀工件的溅镀质量;该装置不能完成不同类型的零件的装夹。
发明内容
为了弥补现有技术的不足,本发明提出的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,通过设置顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带,在壳体上端设置从动支撑模块,实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀;通过在滑动支撑盘上的矩形滑槽内滑动安装卡爪,通过移动卡爪实现不同尺寸的孔类零件的装夹,且保证待镀工件表面的镀层均匀。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:本发明所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体、靶材、电机,所述壳体为中空圆柱状,壳体的内壁上设有靶材,壳体的下方设有电机;还包括连接轴、下支撑盘、顶针、摩擦轮、摩擦带、挤压环、从动支撑模块,所述电机的转轴端部与连接轴的下端固定连接;所述连接轴的上端固定连接摩擦轮;所述摩擦轮的上方设有下支撑盘;所述下支撑盘的底面上设置圆柱形槽,下支撑盘的顶面上沿圆周方向均匀设置一组圆柱形通孔,下支撑盘上的圆柱形通孔内转动连接顶针的中部;所述顶针的下端设置圆盘,顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触;所述下支撑盘上的圆柱形槽内固定连接挤压环的外侧表面;所述挤压环的内侧均匀设置一组半球凸起,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带;所述摩擦带内侧表面与顶针下端的圆盘接触,摩擦带外侧表面与挤压环上的半球凸起接触;所述壳体上端设有从动支撑模块;所述从动支撑模块用于配合壳体下端的顶针对待镀工件进行装夹;工作时,待镀工件通过壳体下端的顶针与上端的从动支撑模块的配合实现了装夹,电机带动连接轴转动,连接轴带动摩擦轮转动,摩擦轮通过与顶针下端的圆盘摩擦实现带动顶针转动,进而顶针带动上方的待镀工件进行自转,同时,顶针下端的圆盘通过与摩擦带之间的摩擦力带动摩擦带转动,进而摩擦带通过与挤压环之间的摩擦力带动挤压环转动,实现连接轴带动下支撑盘的转动,最终实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀。
优选的,所述挤压环设置成高导磁材料,挤压环的半球凸起上设置圆柱形孔,挤压环上的圆柱形孔内镶嵌永磁铁;所述下支撑盘的下端设有固定盘;所述固定盘固定连接在连接轴的中部圆柱面上,固定盘上沿圆周方向设置一组圆柱形孔,固定盘上的圆柱形孔内镶嵌电磁铁;工作时,连接轴带动下支撑盘转动,同时,带动下方的固定盘转动,固定盘带动通电后的电磁铁转动,电磁铁通过电磁力吸引挤压环上的永磁铁,进而通过改变电磁铁的电流实现改变电磁铁对永磁铁的吸引力,进而改变固定盘与下支撑盘之间的转速差,最终改变顶针转动的速度与下支撑盘转动的速度差,实现不同溅镀的镀层要求,以及满足不同尺寸的待镀工件的镀层要求。
优选的,所述顶针中部设有滑动支撑盘;所述滑动支撑盘滑动安装在顶针中部,滑动支撑盘与顶针之间通过花键连接,滑动支撑盘与下支撑盘之间设有弹簧,滑动支撑盘的上端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,滑动支撑盘上的矩形滑槽内滑动安装卡爪;所述卡爪一端与矩形滑槽一端之间通过弹簧连接;工作时,当待镀工件为孔类零件时,将滑动支撑盘上的卡爪伸进待镀工件上的孔内,卡爪对待镀工件进行定位和夹紧,再由壳体上端的从动支撑模块配合实现将待镀工件完全夹紧,通过移动卡爪实现不同尺寸的工件的装夹,且保证待镀工件表面的镀层均匀。
优选的,所述卡爪外侧表面设置梯形凹槽,卡爪上的梯形凹槽内设有弧形卡扣;所述弧形卡扣中部通过转轴铰接在卡爪的梯形凹槽内壁上;工作时,当滑动支撑盘上的卡爪伸进待镀工件的孔内时,待镀工件的下端面挤压弧形卡扣的下端,弧形卡扣绕铰接点摆动,进而弧形卡扣的上端挤压待镀工件的内壁,待镀工件对弧形卡扣下端的压力越大,弧形卡扣对待镀工件的夹紧力越大,进而保证了待镀工件装夹的可靠性,且装夹过程简单,效率高。
优选的,所述弧形卡扣的上端固定连接半球形气囊;工作时,待镀工件的下端面挤压弧形卡扣的下端,弧形卡扣绕铰接点摆动,进而弧形卡扣上端的半球形气囊挤压待镀工件的内壁,半球形气囊被挤压变形,一方面增大了弧形卡扣与待镀工件内壁的摩擦力,进而增加了装夹的可靠性,另一方面避免弧形卡扣的上端与待镀工件发生刚性碰撞,进而避免了待镀工件的报废。
优选的,所述从动支撑模块包括上支撑盘、光杠、螺杆、固定针、减震盘、滑动座、弹簧、摆动杆、滚轮,所述壳体的上端设有上支撑盘;所述上支撑盘的上方对称设置一组光杠;所述光杠下端与上支撑盘的上端面固定连接,光杠中部滑动连接在壳体的顶板上;所述上支撑盘的正上方设有螺杆;所述螺杆下端与上支撑盘上端面转动连接,螺杆中部通过丝杠螺母副与壳体的顶板连接;所述上支撑盘下端沿圆周方向设置一组固定针;所述固定针的上端与上支撑盘的下端面固定连接,固定针的中部设有减震盘;所述减震盘滑动连接在固定针的中部,减震盘与上支撑盘之间设有弹簧,减震盘的下端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,减震盘上的矩形滑槽内滑动安装滑动座;所述滑动座上端与矩形滑槽一端侧壁之间通过弹簧连接,滑动座下端铰接摆动杆的一端,滑动座下端的铰接处设有扭簧;所述摆动杆的另一端通过转轴转动连接滚轮;工作时,通过旋转螺杆能够实现将上支撑盘的高度进行调整进而实现夹紧待镀工件,固定针用于配合下方的顶针实现对轴类零件的装夹;当装夹孔类零件时,将摆动杆伸进待镀工件的孔内,摆动杆被待镀工件的上端内孔边沿挤压,摆动杆一端的滚轮沿减震盘的下端面滚动,同时摆动杆推动滑动座挤压矩形滑槽内的弹簧,通过倾斜的摆动杆对待镀工件进行夹紧,使得夹紧的可靠性高。
优选的,所述滚轮为圆筒状气囊;工作时,将摆动杆伸进待镀工件的孔内,摆动杆被待镀工件的上端内孔边沿挤压,摆动杆一端的滚轮被挤压,与待镀工件接触的摆动杆不同,摆动杆一端的滚轮的压缩量也不同,通过滚轮的变形对摆动杆的受力进行平衡后,使得摆动杆与待镀工件的内孔边沿接触的更加紧密,进而保证了待镀工件装夹的可靠性。
本发明的有益效果如下:
1.本发明通过设置顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带,在壳体上端设置从动支撑模块,实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀。
2.本发明通过在挤压环上的圆柱形孔内镶嵌永磁铁,固定盘上的圆柱形孔内镶嵌电磁铁,通过改变电磁铁的电流实现改变电磁铁对永磁铁的吸引力,进而改变固定盘与下支撑盘之间的转速差,最终改变顶针转动的速度与下支撑盘转动的速度差,实现不同溅镀的镀层要求,以及满足不同尺寸的待镀工件的镀层要求。
3.本发明通过在卡爪上的梯形凹槽内设置弧形卡扣,待镀工件对弧形卡扣下端的压力越大,弧形卡扣对待镀工件的夹紧力越大,进而保证了待镀工件装夹的可靠性,且装夹过程简单,效率高。
4.本发明通过设置滚轮为圆筒状气囊,实现与待镀工件接触的摆动杆不同,摆动杆一端的滚轮的压缩量也不同,通过滚轮的变形对摆动杆的受力进行平衡后,使得摆动杆与待镀工件的内孔边沿接触的更加紧密,进而保证了待镀工件装夹的可靠性。
附图说明
下面结合附图对本发明作进一步说明。
图1是本发明的主视图;
图2是图1中A-A处的剖视图;
图3是图1中B处的放大图;
图4是图1中C处的放大图;
图中:壳体1、靶材2、连接轴3、下支撑盘4、固定盘41、电磁铁42、顶针5、圆盘51、滑动支撑盘52、卡爪53、弧形卡扣54、半球形气囊55、摩擦轮6、摩擦带7、挤压环8、半球凸起81、永磁铁82、从动支撑模块9、上支撑盘91、光杠92、螺杆93、固定针94、减震盘95、滑动座96、摆动杆97、滚轮98。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体实施方式,进一步阐述本发明。
如图1至图4所示,本发明所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体1、靶材2、电机,所述壳体1为中空圆柱状,壳体1的内壁上设有靶材2,壳体1的下方设有电机;还包括连接轴3、下支撑盘4、顶针5、摩擦轮6、摩擦带7、挤压环8、从动支撑模块9,所述电机的转轴端部与连接轴3的下端固定连接;所述连接轴3的上端固定连接摩擦轮6;所述摩擦轮6的上方设有下支撑盘4;所述下支撑盘4的底面上设置圆柱形槽,下支撑盘4的顶面上沿圆周方向均匀设置一组圆柱形通孔,下支撑盘4上的圆柱形通孔内转动连接顶针5的中部;所述顶针5的下端设置圆盘51,顶针5下端的圆盘51的表面与摩擦轮6的圆柱表面接触;所述下支撑盘4上的圆柱形槽内固定连接挤压环8的外侧表面;所述挤压环8的内侧均匀设置一组半球凸起81,挤压环8上的半球凸起81与顶针5下端的圆盘51交错设置,挤压环8与顶针5下端的圆盘51之间设有摩擦带7;所述摩擦带7内侧表面与顶针5下端的圆盘51接触,摩擦带7外侧表面与挤压环8上的半球凸起81接触;所述壳体1上端设有从动支撑模块9;所述从动支撑模块9用于配合壳体1下端的顶针5对待镀工件进行装夹;工作时,待镀工件通过壳体1下端的顶针5与上端的从动支撑模块9的配合实现了装夹,电机带动连接轴3转动,连接轴3带动摩擦轮6转动,摩擦轮6通过与顶针5下端的圆盘51摩擦实现带动顶针5转动,进而顶针5带动上方的待镀工件进行自转,同时,顶针5下端的圆盘51通过与摩擦带7之间的摩擦力带动摩擦带7转动,进而摩擦带7通过与挤压环8之间的摩擦力带动挤压环8转动,实现连接轴3带动下支撑盘4的转动,最终实现下支撑盘4上方的待镀工件既绕着连接轴3转动又绕着顶针5自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材2上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀。
作为本发明的一种实施方案,所述挤压环8设置成高导磁材料,挤压环8的半球凸起81上设置圆柱形孔,挤压环8上的圆柱形孔内镶嵌永磁铁82;所述下支撑盘4的下端设有固定盘41;所述固定盘41固定连接在连接轴3的中部圆柱面上,固定盘41上沿圆周方向设置一组圆柱形孔,固定盘41上的圆柱形孔内镶嵌电磁铁42;工作时,连接轴3带动下支撑盘4转动,同时,带动下方的固定盘41转动,固定盘41带动通电后的电磁铁42转动,电磁铁42通过电磁力吸引挤压环8上的永磁铁82,进而通过改变电磁铁42的电流实现改变电磁铁42对永磁铁82的吸引力,进而改变固定盘41与下支撑盘4之间的转速差,最终改变顶针5转动的速度与下支撑盘4转动的速度差,实现不同溅镀的镀层要求,以及满足不同尺寸的待镀工件的镀层要求。
作为本发明的一种实施方案,所述顶针5中部设有滑动支撑盘52;所述滑动支撑盘52滑动安装在顶针5中部,滑动支撑盘52与顶针5之间通过花键连接,滑动支撑盘52与下支撑盘4之间设有弹簧,滑动支撑盘52的上端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,滑动支撑盘52上的矩形滑槽内滑动安装卡爪53;所述卡爪53一端与矩形滑槽一端之间通过弹簧连接;工作时,当待镀工件为孔类零件时,将滑动支撑盘52上的卡爪53伸进待镀工件上的孔内,卡爪53对待镀工件进行定位和夹紧,再由壳体1上端的从动支撑模块9配合实现将待镀工件完全夹紧,通过移动卡爪53实现不同尺寸的工件的装夹,且保证待镀工件表面的镀层均匀。
作为本发明的一种实施方案,所述卡爪53外侧表面设置梯形凹槽,卡爪53上的梯形凹槽内设有弧形卡扣54;所述弧形卡扣54中部通过转轴铰接在卡爪53的梯形凹槽内壁上;工作时,当滑动支撑盘52上的卡爪53伸进待镀工件的孔内时,待镀工件的下端面挤压弧形卡扣54的下端,弧形卡扣54绕铰接点摆动,进而弧形卡扣54的上端挤压待镀工件的内壁,待镀工件对弧形卡扣54下端的压力越大,弧形卡扣54对待镀工件的夹紧力越大,进而保证了待镀工件装夹的可靠性,且装夹过程简单,效率高。
作为本发明的一种实施方案,所述弧形卡扣54的上端固定连接半球形气囊55;工作时,待镀工件的下端面挤压弧形卡扣54的下端,弧形卡扣54绕铰接点摆动,进而弧形卡扣54上端的半球形气囊55挤压待镀工件的内壁,半球形气囊55被挤压变形,一方面增大了弧形卡扣54与待镀工件内壁的摩擦力,进而增加了装夹的可靠性,另一方面避免弧形卡扣54的上端与待镀工件发生刚性碰撞,进而避免了待镀工件的报废。
作为本发明的一种实施方案,所述从动支撑模块9包括上支撑盘91、光杠92、螺杆93、固定针94、减震盘95、滑动座96、弹簧、摆动杆97、滚轮98,所述壳体1的上端设有上支撑盘91;所述上支撑盘91的上方对称设置一组光杠92;所述光杠92下端与上支撑盘91的上端面固定连接,光杠92中部滑动连接在壳体1的顶板上;所述上支撑盘91的正上方设有螺杆93;所述螺杆93下端与上支撑盘91上端面转动连接,螺杆93中部通过丝杠螺母副与壳体1的顶板连接;所述上支撑盘91下端沿圆周方向设置一组固定针94;所述固定针94的上端与上支撑盘91的下端面固定连接,固定针94的中部设有减震盘95;所述减震盘95滑动连接在固定针94的中部,减震盘95与上支撑盘91之间设有弹簧,减震盘95的下端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,减震盘95上的矩形滑槽内滑动安装滑动座96;所述滑动座96上端与矩形滑槽一端侧壁之间通过弹簧连接,滑动座96下端铰接摆动杆97的一端,滑动座96下端的铰接处设有扭簧;所述摆动杆97的另一端通过转轴转动连接滚轮98;工作时,通过旋转螺杆93能够实现将上支撑盘91的高度进行调整进而实现夹紧待镀工件,固定针94用于配合下方的顶针5实现对轴类零件的装夹;当装夹孔类零件时,将摆动杆97伸进待镀工件的孔内,摆动杆97被待镀工件的上端内孔边沿挤压,摆动杆97一端的滚轮98沿减震盘95的下端面滚动,同时摆动杆97推动滑动座96挤压矩形滑槽内的弹簧,通过倾斜的摆动杆97对待镀工件进行夹紧,使得夹紧的可靠性高。
作为本发明的一种实施方案,所述滚轮98为圆筒状气囊;工作时,将摆动杆97伸进待镀工件的孔内,摆动杆97被待镀工件的上端内孔边沿挤压,摆动杆97一端的滚轮98被挤压,与待镀工件接触的摆动杆97不同,摆动杆97一端的滚轮98的压缩量也不同,通过滚轮98的变形对摆动杆97的受力进行平衡后,使得摆动杆97与待镀工件的内孔边沿接触的更加紧密,进而保证了待镀工件装夹的可靠性。
工作时,待镀工件通过壳体1下端的顶针5与上端的从动支撑模块9的配合实现了装夹,电机带动连接轴3转动,连接轴3带动摩擦轮6转动,摩擦轮6通过与顶针5下端的圆盘51摩擦实现带动顶针5转动,进而顶针5带动上方的待镀工件进行自转,同时,顶针5下端的圆盘51通过与摩擦带7之间的摩擦力带动摩擦带7转动,进而摩擦带7通过与挤压环8之间的摩擦力带动挤压环8转动,实现连接轴3带动下支撑盘4的转动,最终实现下支撑盘4上方的待镀工件既绕着连接轴3转动又绕着顶针5自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材2上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀;连接轴3带动下支撑盘4转动的同时,连接轴3带动下方的固定盘41转动,固定盘41带动通电后的电磁铁42转动,电磁铁42通过电磁力吸引挤压环8上的永磁铁82,进而通过改变电磁铁42的电流实现改变电磁铁42对永磁铁82的吸引力,进而改变固定盘41与下支撑盘4之间的转速差,最终改变顶针5转动的速度与下支撑盘4转动的速度差,实现不同溅镀的镀层要求,以及满足不同尺寸的待镀工件的镀层要求;当待镀工件为孔类零件时,将滑动支撑盘52上的卡爪53伸进待镀工件上的孔内,待镀工件的下端面挤压弧形卡扣54的下端,弧形卡扣54绕铰接点摆动,进而弧形卡扣54上端的半球形气囊55挤压待镀工件的内壁,半球形气囊55被挤压变形,一方面增大了弧形卡扣54与待镀工件内壁的摩擦力,进而增加了装夹的可靠性,另一方面避免弧形卡扣54的上端与待镀工件发生刚性碰撞,进而避免了待镀工件的报废;待镀工件对弧形卡扣54下端的压力越大,弧形卡扣54对待镀工件的夹紧力越大,进而保证了待镀工件装夹的可靠性,且装夹过程简单,效率高;最终实现卡爪53对待镀工件进行定位和夹紧,再由壳体1上端的从动支撑模块9配合实现将待镀工件完全夹紧,通过移动卡爪53实现不同尺寸的工件的装夹,且保证待镀工件表面的镀层均匀;同时,摆动杆97伸进待镀工件上端的孔内,摆动杆97被待镀工件的上端内孔边沿挤压,摆动杆97一端的滚轮98被挤压,与待镀工件接触的摆动杆97不同,摆动杆97一端的滚轮98的压缩量也不同,通过滚轮98的变形对摆动杆97的受力进行平衡后,使得摆动杆97与待镀工件的内孔边沿接触的更加紧密,进而保证了待镀工件装夹的可靠性。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (7)

1.一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体(1)、靶材(2)、电机,所述壳体(1)为中空圆柱状,壳体(1)的内壁上设有靶材(2),壳体(1)的下方设有电机;其特征在于:还包括连接轴(3)、下支撑盘(4)、顶针(5)、摩擦轮(6)、摩擦带(7)、挤压环(8)、从动支撑模块(9),所述电机的转轴端部与连接轴(3)的下端固定连接;所述连接轴(3)的上端固定连接摩擦轮(6);所述摩擦轮(6)的上方设有下支撑盘(4);所述下支撑盘(4)的底面上设置圆柱形槽,下支撑盘(4)的顶面上沿圆周方向均匀设置一组圆柱形通孔,下支撑盘(4)上的圆柱形通孔内转动连接顶针(5)的中部;所述顶针(5)的下端设置圆盘(51),顶针(5)下端的圆盘(51)的表面与摩擦轮(6)的圆柱表面接触;所述下支撑盘(4)上的圆柱形槽内固定连接挤压环(8)的外侧表面;所述挤压环(8)的内侧均匀设置一组半球凸起(81),挤压环(8)上的半球凸起(81)与顶针(5)下端的圆盘(51)交错设置,挤压环(8)与顶针(5)下端的圆盘(51)之间设有摩擦带(7);所述摩擦带(7)内侧表面与顶针(5)下端的圆盘(51)接触,摩擦带(7)外侧表面与挤压环(8)上的半球凸起(81)接触;所述壳体(1)上端设有从动支撑模块(9);所述从动支撑模块(9)用于配合壳体(1)下端的顶针(5)对待镀工件进行装夹。
2.根据权利要求1所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述挤压环(8)设置成高导磁材料,挤压环(8)的半球凸起(81)上设置圆柱形孔,挤压环(8)上的圆柱形孔内镶嵌永磁铁(82);所述下支撑盘(4)的下端设有固定盘(41);所述固定盘(41)固定连接在连接轴(3)的中部圆柱面上,固定盘(41)上沿圆周方向设置一组圆柱形孔,固定盘(41)上的圆柱形孔内镶嵌电磁铁(42)。
3.根据权利要求2所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述顶针(5)中部设有滑动支撑盘(52);所述滑动支撑盘(52)滑动安装在顶针(5)中部,滑动支撑盘(52)与顶针(5)之间通过花键连接,滑动支撑盘(52)与下支撑盘(4)之间设有弹簧,滑动支撑盘(52)的上端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,滑动支撑盘(52)上的矩形滑槽内滑动安装卡爪(53);所述卡爪(53)一端与矩形滑槽一端之间通过弹簧连接。
4.根据权利要求3所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述卡爪(53)外侧表面设置梯形凹槽,卡爪(53)上的梯形凹槽内设有弧形卡扣(54);所述弧形卡扣(54)中部通过转轴铰接在卡爪(53)的梯形凹槽内壁上。
5.根据权利要求4所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述弧形卡扣(54)的上端固定连接半球形气囊(55)。
6.根据权利要求5所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述从动支撑模块(9)包括上支撑盘(91)、光杠(92)、螺杆(93)、固定针(94)、减震盘(95)、滑动座(96)、弹簧、摆动杆(97)、滚轮(98),所述壳体(1)的上端设有上支撑盘(91);所述上支撑盘(91)的上方对称设置一组光杠(92);所述光杠(92)下端与上支撑盘(91)的上端面固定连接,光杠(92)中部滑动连接在壳体(1)的顶板上;所述上支撑盘(91)的正上方设有螺杆(93);所述螺杆(93)下端与上支撑盘(91)上端面转动连接,螺杆(93)中部通过丝杠螺母副与壳体(1)的顶板连接;所述上支撑盘(91)下端沿圆周方向设置一组固定针(94);所述固定针(94)的上端与上支撑盘(91)的下端面固定连接,固定针(94)的中部设有减震盘(95);所述减震盘(95)滑动连接在固定针(94)的中部,减震盘(95)与上支撑盘(91)之间设有弹簧,减震盘(95)的下端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,减震盘(95)上的矩形滑槽内滑动安装滑动座(96);所述滑动座(96)上端与矩形滑槽一端侧壁之间通过弹簧连接,滑动座(96)下端铰接摆动杆(97)的一端,滑动座(96)下端的铰接处设有扭簧;所述摆动杆(97)的另一端通过转轴转动连接滚轮(98)。
7.根据权利要求6所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述滚轮(98)为圆筒状气囊。
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