CN108981976A - 一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法 - Google Patents
一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN108981976A CN108981976A CN201810923475.6A CN201810923475A CN108981976A CN 108981976 A CN108981976 A CN 108981976A CN 201810923475 A CN201810923475 A CN 201810923475A CN 108981976 A CN108981976 A CN 108981976A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- flexible
- capacitance type
- sensor chip
- type stress
- stress sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L1/00—Measuring force or stress, in general
- G01L1/14—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators
- G01L1/142—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors
- G01L1/148—Measuring force or stress, in general by measuring variations in capacitance or inductance of electrical elements, e.g. by measuring variations of frequency of electrical oscillators using capacitors using semiconductive material, e.g. silicon
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
Abstract
本发明公开了一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法，其包括柔性、可拉伸的凝胶薄膜，在所述凝胶薄膜内部由下到上依次设置柔性衬底、电极以及纳米材料。本发明所述柔性电容式应力传感器芯片可拉伸性高、生物兼容性好、灵敏度高且可以无缝贴附于人体皮肤表皮。另外本发明所述柔性电容式应力传感器芯片的制备方法简单易实现，具有极高的实用性和应用前景。
Description
技术领域
本发明涉及传感器制备领域，尤其涉及一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法。
背景技术
随着经济、技术的不断发展，新型柔性电子材料不断涌现，柔性可穿戴设备应运而生，被广泛应用于各个领域，尤其电子纹身芯片可以如创口贴一样灵活、简便地粘在皮肤上，并且以无痛、无创及低成本的方式成为身体的一部分，从而减少运动、工作带来的干扰因素，“电子纹身”因此也被认为是未来可穿戴式医疗设备中最具影响力的产品之一。柔性应力传感器以其柔韧性好、可拉伸、生物兼容性好且能够无缝贴合于人体皮肤表皮等特点，成为该领域的研究热点之一。
传统的应力传感器通常是基于坚硬的无机材料，佩戴不舒适，且生物兼容性不好。而部分柔性传感器的灵敏度不高，对测量数据的精确度和稳定性会造成一定影响。因而，现有技术还有待于改进和提高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法，旨在解决现有技术中应力传感器生物兼容性差且灵敏度低的问题。
本发明的技术方案包括：
一种柔性电容式应力传感器芯片，其包括柔性、可拉伸的凝胶薄膜，在所述凝胶薄膜内部由下到上依次设置柔性衬底、电极以及纳米材料。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述柔性衬底为柔性薄膜。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述柔性薄膜为聚酰亚胺薄膜或者氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述电极为金属电极。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述纳米材料为导体纳米材料或半导体纳米材料。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述导体纳米材料为线状或片状结构的金属纳米材料。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述线状金属纳米材料为金属纳米线，其为银纳米线或铜纳米线。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述半导体纳米材料为柱状或片状结构。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述柱状结构的半导体纳米材料为碳纳米管。
所述柔性电容式应力传感器芯片，其中，所述具有片状结构的半导体纳米材料为二维材料；其中，所述二维材料为二硫化钼、石墨烯或黑磷中的任一种。
一种如上所述柔性电容式应力传感器芯片的制备方法，其包括以下步骤：
A、制备柔性电极/纳米材料：在硅片上旋涂一层厚度为10um的柔性衬底，并在柔性衬底上蒸镀出电极，再在电极上滴加纳米材料溶液，直至纳米材料中的溶剂完全蒸发，制得所述柔性电极/金属材料；
B、制备柔性电容式应力传感器芯片：将海藻酸钠、丙烯酰胺、过硫酸铵以及N,N′-亚甲基双丙烯酰胺溶解在去离子水中，至完全溶解后抽取真空，并将其加入放置有放柔性电极/金属材料的玻璃皿中，再向玻璃皿中加入硫酸钙和1,2-双(二甲基氨基)乙烷，于45℃-55℃恒温水浴中，用波长为250-260纳米的紫外线照射0.5-1.5小时，制得所述柔性电容式应力传感器芯片。
有益效果：本发明所述柔性电容式应力传感器芯片可拉伸性高、生物兼容性好，且可以无缝贴附于人体皮肤表皮。与现有的柔性电容式应力传感器芯片相比，本发明的关键点在于柔性电容式应力传感器芯片的结构中，电极与凝胶薄膜接触面形成双电层，而加入纳米材料可增加双电层的表面积，从而提高整个柔性电容式应力传感器芯片的灵敏度。另外本发明所述柔性电容式应力传感器芯片的制备方法简单易实现，具有极高的实用性和经济价值。
附图说明
图1为本发明所述柔性电容式应力传感器芯片的正视图。
图2为本发明所述柔性电容式应力传感器芯片的俯视图。
图3为本发明所述柔性电容式应力传感器芯片中的电极结构示意图。
图4为本发明实施例中柔性电容式应力传感器芯片有无添加纳米材料时的电容—应力曲线图。
具体实施方式
以下对本发明所述柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法的具体过程进行说明。为使本发明的目的、技术方案和效果更加清楚，下面结合附图对本申请作进一步详细描述。应当理解，此处所描述的具体实施仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1-2所示，本发明所述的柔性电容式应力传感器芯片包括柔性、可拉伸的凝胶薄膜1，在所述凝胶薄膜1内部由下到上依次设置柔性衬底2、电极3以及纳米材料4。换言之，所述柔性衬底2、电极3以及纳米材料4三者是紧密结合的，而所述凝胶薄膜1包裹在其外部（其中电极3的一端被包裹其中，另一端外接测试端）。其中，所述凝胶薄膜1可以为水凝胶薄膜或离子凝胶薄膜，优选地，本发明采用水凝胶薄膜来制备柔性电容式应力传感器。所述柔性衬底2具体为柔性薄膜，其主要是为电极提供支撑作用，进一步地，所述柔性薄膜为聚酰亚胺薄膜或者氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物。
。而所述纳米材料4可以为导体纳米材料或半导体纳米材料，其应用在电极上，可以使得电极/纳米材料与凝胶薄膜接触面的双电层面积增大，极大的增加了传感器电容值，当传感器的应力发生变化时，纳米材料4从电极3上脱离，导致双电层的面积减少，传感器电容值减小，从而提高了传感器的灵敏度。（需要说明的是，双电层面积增加，电容增大；双电层面积减小，电容减小，从而影响灵敏度。）
具体而言，本发明所述柔性衬底2（柔性薄膜）为聚酰亚胺薄膜。而所述电极具有正负极结构，如图3所示，所述电极3为工字型结构，其可以有效提高电极的灵敏度。进一步地，所述电极为金属电极，优选为金电极，其具有良好的导电性能和形变性能。
较佳实施例中，所述纳米材料4包括两种，一种是导体纳米材料，另一种是半导体纳米材料。其具有导电性良好的特点，有利于提高传感器芯片的灵敏度。
其中，所述导体纳米材料为线状或片状结构的金属纳米材料，例如所述线状的金属纳米材料为金属纳米线，其可以为银纳米线或铜纳米线。采用银纳米线其导电性能良好，而结合经济效益而言，采用铜纳米线作为导体材料具有性能好、性价比高的特点。
而所述半导体纳米材料为柱状或片状结构，所述具有柱状结构的半导体纳米材料可以为碳纳米管，其具有良好的柔性，形变性能好，并且电子可以更快转移，实现更快速的数据传输。所述具有片状结构的半导体纳米材料为二维材料，即其电子只能在两个维度的非纳米尺度上自由运动，更有利于电子传输，并且柔性和透明度高，有利于提高柔性电容式传感器的性能，具体地，所述二维材料可以为二硫化钼、石墨烯或黑磷中的任一种。
在本实施例中，凝胶薄膜的组分和配比不同，则具有的性能也不相同。本实施例中所述凝胶薄膜为水凝胶薄膜所制成，其具体由海藻酸钠、丙烯酰胺、过硫酸铵、N,N′-亚甲基双丙烯酰胺、硫酸钙、 1,2-双(二甲基氨基)乙烷所组成。本发明所述凝胶薄膜具备柔韧性好、高度可拉伸性及生物兼容性好等优点，其拉伸性能达到500%，有利于提高整个传感器的拉伸性能；同时，所述凝胶薄膜能与人体皮肤表皮紧密贴合，有利于提高检测芯片长期工作的稳定性及抗干扰能力。
本发明所述柔性电容式应力传感器芯片的工作原理为：在所述凝胶薄膜内部含有阴阳离子，当电极与凝胶薄膜接触时，阴阳离子在接触面会形成双电层；而在电极表面加入纳米材料，与凝胶薄膜接触时增大了双电层的面积，从而使电容值增大，在对柔性电容式应力传感器进行拉伸时，由于纳米材料与电极脱离，减少双电层面积而导致电容值下降，这一变化可大大提高传感器的灵敏度。
另外，本发明还提供如上所述的柔性电容式应力传感器芯片的制备方法，其包括以下步骤：
A、制备柔性电极/纳米材料：在硅片上旋涂一层厚度为8-12um（优选为10μm，涂层太厚会使得电极形变不好，太薄的话容易破损。）的柔性衬底，并在柔性衬底上蒸镀出电极，再在电极上滴加纳米材料溶液，直至纳米材料中的溶剂完全蒸发，制得所述柔性电极/金属材料；
B、制备柔性电容式应力传感器芯片：将海藻酸钠、丙烯酰胺、过硫酸铵以及N,N′-亚甲基双丙烯酰胺溶解在去离子水中，至完全溶解后抽取真空，并将其加入放置有放柔性电极/金属材料的玻璃皿中，再向玻璃皿中加入硫酸钙和1,2-双(二甲基氨基)乙烷，于45℃-55℃恒温水浴中，用波长为250-260纳米的紫外线照射0.5-1.5小时，制得所述柔性电容式应力传感器芯片。
对于步骤A而言，其具体包括以下步骤：
A1、通过匀胶工艺制备柔性衬底2：在此步骤中，通过匀胶工艺在处理过（常规处理，即抛光清洁等）的硅片上涂甩聚酰胺酸或氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物溶液，然后静置加热。例如，实际操作时的参数可以设置为：前转转速为每分钟500转、时间为5秒，后转转速为每分钟1000转、时间为30秒；然后，将涂甩后的硅片静置于热台上，以150℃的温度加热5分钟，之后以280℃的温度继续加热1小时左右。
A2、通过真空热蒸镀工艺在柔性衬底2上制备电极3：电极通过真空热蒸镀工艺获得，该金属电极包含粘附层和导电层，其中粘附层为厚度小于5纳米的金属铬或者钛，导电层为厚度小于70纳米的金或其它金属。
A3、通过滴涂工艺在电极3上滴加纳米材料4：先将加有纳米材料的溶液滴加在电极上，然后至溶液中的溶剂完全蒸发，即制得所述柔性电极/纳米材料。
对于步骤B而言，具体包括以下步骤：
B1：制备凝胶薄膜前体溶液：先将海藻酸钠和丙烯酰胺粉末按1：8的质量比加入去离子水中（即海藻酸钠0.5g，丙烯酰胺粉末4g），静置至完全溶解；再在溶液中加入40mg的过硫酸铵和2.4mg的N,N′-亚甲基双丙烯酰胺，至完全溶解后，对溶液进行抽真空，除去气泡。
B2：将步骤A中所制备的柔性电极/纳米材料放置在玻璃皿中，取上述制备的凝胶薄膜前体溶液5mL至玻璃皿中，然后加入1.071ml的硫酸钙和1,2-双(二甲基氨基)乙烷的混合溶液。随后，将其放置在45℃-55℃（如50℃）恒温水浴中，用波长为250-260纳米（优选254纳米）的紫外线照射0.5-1.5（优选1小时，紫外灯功率为8瓦）小时，制得所述柔性电容式应力传感器芯片。需要说明的是，本实施例中所述凝胶薄膜采用的是水凝胶薄膜，其当然也可以采用离子凝胶薄膜等代替，在此不做限定。
如图4所示，本发明以上述制备方法所制备的柔性电容式应力传感器芯片为例，测试其电容—应力之间的关系。将其固定在测试平台上，并进行施加拉力，测试其电容性能。图4为柔性电容式应力传感器芯片在应力作用下的电容变化曲线，可以看到，随着应力的增大，电容值变小，且应变范围可达500%。同时对比了有无纳米材料情况下曲线的变化，可以看出添加纳米材料的柔性电容式应力传感器芯片，其灵敏度明显提高。
综上所述，本发明所述柔性电容式应力传感器芯片具有如下优点：
（1）其主要由凝胶薄膜及柔性电极/纳米材料组成，与其他可拉伸材料不同，凝胶薄膜具有高拉伸性。制备出的柔性电容式应力传感器最大拉伸量可高达500%，可用于大应变的拉伸测量，同时其生物兼容性好，可以用于人体皮肤直接贴附。
（2）其电极与凝胶薄膜接触，在接触面形成双电层，而将纳米材料灵活的运用在电极上，使得电极/纳米材料与凝胶薄膜接触面的双电层面积增大，极大的增加了传感器电容值。当传感器的应力发生变化时，纳米材料从电极上脱离，导致双电层的面积减少而使电容值减小，从而提高柔性电容式应力传感器的灵敏度。
应当理解的是，上述针对具体实施例的描述较为详细，并不能因此而认为是对本发明专利保护范围的限制，本发明的专利保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.种柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，包括柔性、可拉伸的凝胶薄膜，在所述凝胶薄膜内部由下到上依次设置柔性衬底、电极以及纳米材料。
2.据权利要求1所述柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述柔性衬底为柔性薄膜。
3.据权利要求2所述柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述柔性薄膜为聚酰亚胺薄膜或者氢化苯乙烯-丁二烯嵌段共聚物。
4.据权利要求1所述柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述电极为金电极或其他具有导电性能的金属电极。
5.据权利要求1所述柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述纳米材料为导体纳米材料或半导体纳米材料。
6.权利要求5所述柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述导体纳米材料为线状或片状结构的金属纳米材料。
7.权利要求5所述柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述半导体纳米材料为柱状或片状结构。
8.权利要求7所述的一种柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述柱状结构的半导体纳米材料为碳纳米管。
9.权利要求8所述的一种柔性电容式应力传感器芯片，其特征在于，所述具有片状结构的半导体纳米材料为二维材料；其中，所述二维材料为二硫化钼、石墨烯或黑磷中的任一种。
10.种如上所述柔性电容式应力传感器芯片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
制备柔性电极/纳米材料：在硅片上旋涂一层厚度为10um的柔性衬底，并在柔性衬底上蒸镀出电极，再在电极上滴加纳米材料溶液，直至纳米材料中的溶剂完全蒸发，制得所述柔性电极/金属材料；
制备柔性电容式应力传感器芯片：将海藻酸钠、丙烯酰胺、过硫酸铵以及N,N′-亚甲基双丙烯酰胺溶解在去离子水中，至完全溶解后抽取真空，并将其加入放置有放柔性电极/金属材料的玻璃皿中，再向玻璃皿中加入硫酸钙和1,2-双(二甲基氨基)乙烷，于45℃-55℃恒温水浴中，用波长为250-260纳米的紫外线照射0.5-1.5小时，制得所述柔性电容式应力传感器芯片。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810923475.6A CN108981976B (zh) | 2018-08-14 | 2018-08-14 | 一种柔性电容式应力传感器芯片的制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201810923475.6A CN108981976B (zh) | 2018-08-14 | 2018-08-14 | 一种柔性电容式应力传感器芯片的制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN108981976A true CN108981976A (zh) | 2018-12-11 |
| CN108981976B CN108981976B (zh) | 2020-11-13 |
Family
ID=64553006
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201810923475.6A Active CN108981976B (zh) | 2018-08-14 | 2018-08-14 | 一种柔性电容式应力传感器芯片的制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN108981976B (zh) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109387307A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-02-26 | 深圳大学 | 一种柔性应力传感器及其制备方法 |
| CN111551290A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-08-18 | 西安理工大学 | 一种可穿戴柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
| CN111664974A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-09-15 | 太原理工大学 | 一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法 |
| CN112451839A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-03-09 | 四川大学华西医院 | 一种可感应和定位尿道内壁张力的新型尿管 |
| CN112535484A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-23 | 深圳大学 | 一种电容式心电信号采集复合薄膜及制备方法与装置 |
| WO2021243647A1 (zh) * | 2020-06-04 | 2021-12-09 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种基于导电水凝胶注射的柔性传感器及其制备方法 |
| CN114111560A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-03-01 | 山东省科学院新材料研究所 | 一种可重复使用的水凝胶基封装式传感器件的制备方法 |
| CN114323359A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 南京大学 | 一种柔性可穿戴触觉传感器及其制备方法 |
| CN115901883A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-04-04 | 上海力矽微电子技术有限公司 | 一种4d打印柔性传感器及其制备方法与应用 |
Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010096609A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Gifu Univ | 圧力センサ素子 |
| CN103616097A (zh) * | 2013-10-22 | 2014-03-05 | 中国石油大学(华东) | 一种柔性薄膜触觉传感器件及其制作方法 |
| WO2017111004A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 変形センサー |
| CN107044891A (zh) * | 2016-08-28 | 2017-08-15 | 美国钛晟科技股份有限公司 | 基于离子膜的电容式压力传感器 |
| CN107753018A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-03-06 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种柔性电极、其制备方法以及一种肌电传感器 |
| CN108011539A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-05-08 | 苏州大学 | 柔性电极及其制备方法、摩擦纳米发电机及其制备方法 |
| KR20180069990A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-26 | 연세대학교 산학협력단 | 고민감도 유연 압력 센서 및 이의 제조방법 |
| CN108318162A (zh) * | 2018-01-10 | 2018-07-24 | 中山大学 | 一种柔性传感器及其制备方法 |
| CN108389930A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-08-10 | 国家纳米科学中心 | 一种柔性石墨烯等离激元器件及其制备方法 |
-
2018
- 2018-08-14 CN CN201810923475.6A patent/CN108981976B/zh active Active
Patent Citations (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010096609A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Gifu Univ | 圧力センサ素子 |
| CN103616097A (zh) * | 2013-10-22 | 2014-03-05 | 中国石油大学(华东) | 一种柔性薄膜触觉传感器件及其制作方法 |
| WO2017111004A1 (ja) * | 2015-12-25 | 2017-06-29 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 変形センサー |
| CN107044891A (zh) * | 2016-08-28 | 2017-08-15 | 美国钛晟科技股份有限公司 | 基于离子膜的电容式压力传感器 |
| KR20180069990A (ko) * | 2016-12-15 | 2018-06-26 | 연세대학교 산학협력단 | 고민감도 유연 압력 센서 및 이의 제조방법 |
| CN107753018A (zh) * | 2017-09-29 | 2018-03-06 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种柔性电极、其制备方法以及一种肌电传感器 |
| CN108011539A (zh) * | 2017-12-07 | 2018-05-08 | 苏州大学 | 柔性电极及其制备方法、摩擦纳米发电机及其制备方法 |
| CN108318162A (zh) * | 2018-01-10 | 2018-07-24 | 中山大学 | 一种柔性传感器及其制备方法 |
| CN108389930A (zh) * | 2018-02-05 | 2018-08-10 | 国家纳米科学中心 | 一种柔性石墨烯等离激元器件及其制备方法 |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109387307A (zh) * | 2018-12-12 | 2019-02-26 | 深圳大学 | 一种柔性应力传感器及其制备方法 |
| CN109387307B (zh) * | 2018-12-12 | 2020-08-11 | 深圳大学 | 一种柔性应力传感器及其制备方法 |
| CN111664974A (zh) * | 2020-04-26 | 2020-09-15 | 太原理工大学 | 一种黑磷柔性应力传感器及其制备方法 |
| CN111551290A (zh) * | 2020-05-18 | 2020-08-18 | 西安理工大学 | 一种可穿戴柔性电容式压力传感器及其制备方法 |
| WO2021243647A1 (zh) * | 2020-06-04 | 2021-12-09 | 中国科学院深圳先进技术研究院 | 一种基于导电水凝胶注射的柔性传感器及其制备方法 |
| CN112451839A (zh) * | 2020-11-18 | 2021-03-09 | 四川大学华西医院 | 一种可感应和定位尿道内壁张力的新型尿管 |
| CN112535484A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-23 | 深圳大学 | 一种电容式心电信号采集复合薄膜及制备方法与装置 |
| CN112535484B (zh) * | 2020-12-01 | 2023-01-31 | 深圳大学 | 一种电容式心电信号采集复合薄膜及制备方法与装置 |
| CN114111560A (zh) * | 2021-11-19 | 2022-03-01 | 山东省科学院新材料研究所 | 一种可重复使用的水凝胶基封装式传感器件的制备方法 |
| CN114111560B (zh) * | 2021-11-19 | 2024-01-05 | 山东省科学院新材料研究所 | 一种可重复使用的水凝胶基封装式传感器件的制备方法 |
| CN114323359A (zh) * | 2021-12-28 | 2022-04-12 | 南京大学 | 一种柔性可穿戴触觉传感器及其制备方法 |
| CN115901883A (zh) * | 2022-11-14 | 2023-04-04 | 上海力矽微电子技术有限公司 | 一种4d打印柔性传感器及其制备方法与应用 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN108981976B (zh) | 2020-11-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108981976A (zh) | 一种柔性电容式应力传感器芯片及其制备方法 | |
| CN106950000B (zh) | 一种脉搏压力传感器、芯片、装置、系统及其制备方法 | |
| CN109115107A (zh) | 一种高灵敏度柔性应变传感器的制备方法 | |
| Guo et al. | Matrix-independent highly conductive composites for electrodes and interconnects in stretchable electronics | |
| CN108267078B (zh) | 一种柔性可穿戴电阻式应变传感器及其制备方法 | |
| Kireev et al. | Fabrication, characterization and applications of graphene electronic tattoos | |
| CN105092118B (zh) | 一种具有高灵敏度的柔性压阻式压力传感器及其制备方法 | |
| Chen et al. | Recent technological advances in fabrication and application of organic electrochemical transistors | |
| Kim et al. | Stretchable multichannel electromyography sensor array covering large area for controlling home electronics with distinguishable signals from multiple muscles | |
| CN109099832B (zh) | 应变传感器及其制造方法 | |
| CN106430160B (zh) | 双层还原氧化石墨烯薄膜柔性应变传感器的制备方法 | |
| Liu et al. | Biocompatible Material‐Based Flexible Biosensors: From Materials Design to Wearable/Implantable Devices and Integrated Sensing Systems | |
| CN105758909A (zh) | 一种基于金纳米管的柔性可拉伸电极及其制备方法与应用 | |
| CN108917582A (zh) | 应变传感器及其制造方法 | |
| AU2018102177A4 (en) | Flexible pressure sensor based on hemispheric microstructure and fabrication method therefor | |
| CN110500943A (zh) | 一种图形化柔性应变传感器及制备方法 | |
| CN108324274A (zh) | 一种基于网状结构设计的类皮肤多通道表面肌电极及其制备方法 | |
| CN103199020A (zh) | 基于pi的液栅型石墨烯场效应管的制备方法和检测方法 | |
| CN110455176A (zh) | 柔性应变传感器的制备方法 | |
| US12059560B2 (en) | Method of forming a device comprising graphene | |
| CN108020157A (zh) | 一种低成本、高性能人体运动传感器及其制备方法 | |
| CN113208582A (zh) | 无线可穿戴石墨烯角度传感器 | |
| JP5799184B1 (ja) | 透明導電積層体およびその製造方法 | |
| CN110526198A (zh) | 一种基于半球形微结构的柔性压力传感器及其制造方法 | |
| Xie et al. | Flexible interfacial capacitive pressure sensor based on randomly distributed micro-pits electrode |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |