CN108890535A - 一种研磨机 - Google Patents

Abstract

本发明涉及半导体微电子器件制备技术领域，提供了一种研磨机，包括：机体、研磨装置、用于启动研磨机的启动装置、固定装置、用于使固定装置移动的移动装置、用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置；研磨装置、启动装置和移动装置设于机体的顶部，固定装置设于移动装置上，固定装置和研磨装置相对设置，吹灰装置设于固定装置的正上方。本发明能够解决由于人工研磨而产生的工作效率低且无法保证研磨质量的问题，能够提高工作效率，减少人力浪费，保证研磨质量，减少研磨产生的粉尘对工作人员的身体健康造成的危害。

Description

一种研磨机

技术领域

本发明属于半导体微电子器件制备技术领域，尤其涉及一种研磨机。

背景技术

半导体微电子器件的封装外壳大部分都需要进行镀金处理，而光发射次模块(Transmitter Optical Subassembly，TOSA)类封装外壳的端头处需要保证处于无金层状态，如图1所示，因此，TOSA类封装外壳镀金后需要进行研磨处理。

目前，由于TOSA类封装外壳表面镀金且具有较小的尺寸，对TOSA类封装外壳进行研磨处理的过程均由人工完成，但是这种人工研磨的方法效率低，且研磨质量难以保证。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种研磨机，以解决现有技术中人工研磨的方法效率低且无法保证研磨质量的问题。

本发明实施例提供了一种研磨机，包括：机体、研磨装置、用于启动研磨机的启动装置、固定装置、用于使固定装置移动的移动装置和用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置；

研磨装置、启动装置和移动装置设于机体的顶部，固定装置设于移动装置上，固定装置和研磨装置相对设置，吹灰装置设于固定装置的正上方。

可选地，固定装置包括设于移动装置上的固定底座、设于固定底座的前端且用于放置产品的平台、设于平台上且用于防止产品滚动的高台、设于平台底部的气缸和设于气缸的活塞杆末端的侧压机构。

可选地，吹灰装置包括气嘴和用于支撑气嘴的支架；

支架设于固定底座上，气嘴设于平台的正上方。

可选地，侧压机构的构造为L型。

可选地，研磨装置包括研磨电机、砂轮和用于连接研磨电机和砂轮的转轴。

可选地，移动装置包括用于带动固定装置沿第一方向移动的第一移动机构和用于带动第一移动机构沿第二方向移动的第二移动机构；

固定装置设于第一移动机构上，第一移动机构设于第二移动机构上。

可选地，第一移动机构包括第一底座、设于第一底座上的第一导轨和设于第一导轨后端的第一电机；

固定装置设于第一导轨上，第一底座设于第二移动机构上。

可选地，第二移动机构包括第二底座、设于第二底座上的第二导轨和设于第二导轨左端的第二电机；

第一移动机构设于第二导轨上，第二底座设于机体的顶部。

可选地，启动装置包括启动按钮和触摸屏。

可选地，研磨机还包括用于支撑机体的支脚。

本发明实施例与现有技术相比存在的有益效果是：本发明实施例提供了一种研磨机，包括：机体、研磨装置、用于启动研磨机的启动装置、固定装置、用于使固定装置移动的移动装置和用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置；研磨装置、启动装置和移动装置设于机体的顶部，固定装置设于移动装置上，固定装置和研磨装置相对设置，吹灰装置设于固定装置的正上方。本发明实施例提供的研磨机的固定装置可以在研磨过程中固定住产品，方便研磨装置进行研磨；本发明实施例通过移动装置可以方便产品靠近或远离研磨装置，通过吹灰装置可以在研磨完成后去除研磨产生的粉尘，减少研磨产生的粉尘对工作人员的身体健康造成的危害；本发明实施例通过研磨机能够解决由于人工研磨而产生的工作效率低且无法保证研磨质量的问题，能够提高工作效率，减少人力浪费，保证研磨质量。

附图说明

图1是本发明一实施例提供的TOSA类封装外壳的结构示意图；

图2是本发明一实施例提供的研磨机的左视图；

图3是本发明一实施例提供的研磨机的俯视图；

图4是本发明一实施例提供的固定装置的俯视图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

请一并参阅图2和图3，图2示出了本发明一实施例提供的研磨机的左视图，图3示出了本发明一实施例提供的研磨机的俯视图。现对本发明实施例提供的研磨机进行说明。

所述研磨机，包括：机体11、研磨装置12、用于启动研磨机的启动装置13、固定装置14、用于使固定装置14移动的移动装置15和用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置16。

研磨装置12、启动装置13和移动装置15设于机体11的顶部，固定装置14设于移动装置15上，固定装置14和研磨装置12相对设置，吹灰装置16设于固定装置14的正上方。

在本发明实施例中，研磨机用于研磨TOSA类封装外壳，TOSA类封装外壳的结构如图1所示，其端头处要保证处于无金层状态。

工作人员通过启动装置13启动研磨机；研磨装置12开始转动；固定装置14固定住产品，方便研磨装置12进行研磨；移动装置15带动固定装置14向前移动到达研磨装置12处，然后带动固定装置14左右摆动，开始进行研磨，当到达预先设定的研磨时间后，移动装置15后移，并回到初始位；同时，吹灰装置16开始对研磨后的产品进行吹灰处理，当到达预先设定的吹灰时间后，停止吹灰；然后，固定装置14松开产品。其中，产品可以是TOSA类封装外壳；向前移动是指向靠近研磨装置12的方向移动。

启动装置13用于启动、关闭研磨机，同时还可以设定研磨时间和吹灰时间等信息。移动装置15可以使固定装置14前后左右的移动。吹灰装置16设于固定装置14的正上方，具体地，吹灰装置16设于产品放置位置的正上方。

本发明实施例通过固定装置，可以在研磨过程中固定住产品，方便研磨装置进行研磨；通过移动装置可以方便产品靠近或远离研磨装置；通过吹灰装置可以在研磨完成后去除研磨产生的粉尘，减少研磨产生的粉尘对工作人员的身体健康造成的危害；本发明实施例通过研磨机能够解决由于人工研磨而产生的工作效率低且无法保证研磨质量的问题，能够提高工作效率，减少人力浪费，保证产品加工的一致性，提高产品研磨的质量，保证产品打磨的平面度及垂直度的要求。

作为本发明又一实施例，请一并参阅图2、图3和图4，图4示出了本发明一实施例提供的固定装置14的俯视图。固定装置14包括设于移动装置15上的固定底座145、设于固定底座145的前端且用于放置产品的平台141、设于平台141上且用于防止产品滚动的高台142、设于平台141底部的气缸143和设于气缸143的活塞杆末端的侧压机构144。

在本发明实施例中，首先将产品放置在平台141上，如图4所示，图中141所指向的位置为产品放置的位置，当研磨机启动后，气缸143带动侧压机构144移动，从而使侧压机构144可以和高台142一起夹紧产品，使产品固定不动；当研磨结束后，气缸143带动侧压机构144远离高台142，从而使产品松开。

本发明实施例通过平台、高台、气缸、侧压机构以及它们之间的位置关系，可以在研磨过程中，夹紧产品，防止产品脱落。

作为本发明又一实施例，请参阅图2，吹灰装置16包括气嘴161和用于支撑气嘴161的支架162；支架162设于固定底座145上，气嘴161设于平台141的正上方。

在本发明实施例中，气嘴161可以通过气管连接电磁阀，电磁阀的另一端连接装有压缩空气的装置，当需要进行吹灰时，电磁阀自动打开，当到达吹灰时间时，电磁阀自动关闭。示例性地，支架162顶部可以设有用于使气嘴161与气管连接的孔，气嘴161可以通过该孔连接气管。

本发明实施例通过支架可以使气嘴设于产品放置位置的正上方，支架设于固定底座上，可以使吹灰装置和固定装置保持同步移动，通过气嘴，可以吹除研磨产生的金属粉尘，减少金属粉尘对工作人员的身体健康造成的危害。

作为本发明又一实施例，请参阅图3和图4，侧压机构144的构造为L型。

作为本发明又一实施例，请参阅图2，研磨装置12包括研磨电机121、砂轮122和用于连接研磨电机121和砂轮122的转轴123。

在本发明实施例中，研磨电机121通过转轴123带动砂轮122旋转，从而实现研磨的作用。

作为本发明又一实施例，请参阅图3，移动装置15包括用于带动固定装置14沿第一方向移动的第一移动机构151和用于带动第一移动机构151沿第二方向移动的第二移动机构152；固定装置14设于第一移动机构151上，第一移动机构151设于第二移动机构152上。

在本发明实施例中，第一方向是指靠近和远离研磨装置12的方向，第二方向是指在水平面与第一方向垂直的方向。第一移动机构151带动固定装置14沿第一方向移动，即前后移动，将固定装置14向研磨装置12靠近的移动称为向前移动，将固定装置14远离研磨装置12的移动称为向后移动。第二移动机构152带动第一移动机构151沿第二方向移动，即左右移动。

作为本发明又一实施例，请参阅图2和图3，第一移动机构151包括第一底座1511、设于第一底座1511上的第一导轨1512和设于第一导轨1512后端的第一电机1513；固定装置14设于第一导轨1512上，第一底座1511设于第二移动机构152上。

在本发明实施例中，通过第一电机1513的正反转实现固定装置14的前后移动。当研磨机启动后，固定装置14固定住产品后，第一移动机构151带动固定装置14前移，当第一电机1513达到预先设定的扭矩时，停止前移。当研磨时间到达后，第一移动机构151带动固定装置14后移，回到初始位。

可选地，第一移动机构151还包括设于第一底座1511上且用于支撑固定装置14的第一支撑导轨。第一支撑导轨的数量可以根据实际需要设置，例如，第一支撑导轨的数量可以是两个，分别设于第一导轨1512的左右两侧。

作为本发明又一实施例，请参阅图2和图3，第二移动机构152包括第二底座1521、设于第二底座1521上的第二导轨1522和设于第二导轨1522左端的第二电机1523；第一移动机构151设于第二导轨1522上，第二底座1521设于机体11的顶部。

在本发明实施例中，当研磨机启动后，第一移动机构151停止前移后，第二移动机构152带动第一移动机构151左右摆动，由于固定装置14设于第一移动机构151上，所以，相当于第二移动机构152带动固定装置14左右摆动，从而达到研磨的作用，当研磨时间到达后，第二移动机构152停止左右摆动，并回到初始位。

可选地，第二移动机构152还包括设于第二底座1521上且用于支撑第一移动机构151的第二支撑导轨。第二支撑导轨的数量可以根据实际需要设置，例如，第二支撑导轨的数量可以是两个，分别设于第二导轨1522的左右两侧。

作为本发明又一实施例，请参阅图2，启动装置13包括启动按钮131和触摸屏132。

在本发明实施例中，启动按钮131可以启动、关闭研磨机；工作人员可以通过触摸屏132设置研磨时间、吹灰时间、第一电机的扭矩等研磨过程中需要的信息。

作为本发明又一实施例，请参阅图2，研磨机还包括用于支撑机体11的支脚17。

在本发明实施例中，支脚17的数量可以是4个。

以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种研磨机，其特征在于，包括：机体、研磨装置、用于启动所述研磨机的启动装置、固定装置、用于使所述固定装置移动的移动装置和用于吹除研磨产生的粉尘的吹灰装置；

所述研磨装置、所述启动装置和所述移动装置设于所述机体的顶部，所述固定装置设于所述移动装置上，所述固定装置和所述研磨装置相对设置，所述吹灰装置设于所述固定装置的正上方。

2.如权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述固定装置包括设于所述移动装置上的固定底座、设于所述固定底座的前端且用于放置产品的平台、设于所述平台上且用于防止产品滚动的高台、设于所述平台底部的气缸和设于所述气缸的活塞杆末端的侧压机构。

3.如权利要求2所述的研磨机，其特征在于，所述吹灰装置包括气嘴和用于支撑所述气嘴的支架；

所述支架设于所述固定底座上，所述气嘴设于所述平台的正上方。

4.如权利要求2所述的研磨机，其特征在于，所述侧压机构的构造为L型。

5.如权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述研磨装置包括研磨电机、砂轮和用于连接所述研磨电机和所述砂轮的转轴。

6.如权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述移动装置包括用于带动所述固定装置沿第一方向移动的第一移动机构和用于带动所述第一移动机构沿第二方向移动的第二移动机构；

所述固定装置设于所述第一移动机构上，所述第一移动机构设于所述第二移动机构上。

7.如权利要求6所述的研磨机，其特征在于，所述第一移动机构包括第一底座、设于所述第一底座上的第一导轨和设于所述第一导轨后端的第一电机；

所述固定装置设于所述第一导轨上，所述第一底座设于所述第二移动机构上。

8.如权利要求6所述的研磨机，其特征在于，所述第二移动机构包括第二底座、设于所述第二底座上的第二导轨和设于所述第二导轨左端的第二电机；

所述第一移动机构设于所述第二导轨上，所述第二底座设于所述机体的顶部。

9.如权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述启动装置包括启动按钮和触摸屏。

10.如权利要求1至9任一项所述的研磨机，其特征在于，还包括用于支撑所述机体的支脚。