CN108884847A - 监视装置 - Google Patents

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Abstract

一种监视装置，气缸(50)具备筒状的缸(52)以及利用供给至设置在缸(52)的内侧的室(56、57)的流体的压力来移动的活塞(51)。监视装置(1)具备热通量传感器(10)以及检测部(13)。热通量传感器(10)设置于缸(52)，并检测利用与活塞(51)的动作对应的室(56、57)的流体的压缩或者膨胀而在缸(52)中流动的热通量。检测部(13)基于热通量传感器(10)的输出信号，检测活塞(51)的动作状态。

Description

监视装置
技术领域
本公开涉及监视对象装置具备的移动体的动作的技术。
背景技术
以往，作为检测通过气缸装置等移动的移动体的移动的单元，已知有自动开关。专利文献1所公开的技术使用自动开关检测作为移动体的下部推杆的位置。一般而言，自动开关通过安装有磁铁等磁场产生部件的移动体进入自动开关的检测范围，或者脱离(离开)该检测范围，来输出接通断开信号。
专利文献1：日本特开2015－223592号公报
然而，自动开关除了移动体进入自动开关的检测范围时，或者脱离该检测范围时以外，不能够监视移动体进行何种移动。因此，为了监视移动体的动作状态，寻求具备新的构成的检测单元的监视装置。
发明内容
本公开的目的在于提供监视对象装置具备的移动体的动作状态的技术。
作为本公开的技术的一方式的监视装置监视对象装置(50)具备的移动体(51)的动作。对象装置具备筒状的缸(52)以及移动体。移动体通过供给到设置在缸的内侧的室(56、57)的流体的压力来进行移动。
监视装置具备热通量传感器(10)以及检测部(11、12、13)。热通量传感器设置于缸，并检测利用与移动体的动作对应的室的流体的压缩或者膨胀而在缸中流动的热通量。检测部基于热通量传感器的输出信号，检测移动体的动作状态。
在上述构成的监视装置中，若供给至对象装置所具有的室的流体的压力上升或者降低，则移动体利用该压力而进行移动。此时，与室的流体的压缩或者膨胀一起，流体的温度上升或者降低。因此，设置于缸的热通量传感器输出与移动体的动作对应的信号。其结果为，检测部能够基于热通量传感器的输出信号，检测移动体的动作状态。因此，监视装置能够监视对象装置具备的移动体的动作状态。
此外，上述各要素的括号内的附图标记表示后述的实施方式所记载的具体的要素与上述要素的对应关系的一个例子。
附图说明
图1是表示安装有第一实施方式所涉及的监视装置的对象装置的构成的示意图。
图2是图1的II－II线上的缸的剖视图。
图3是在缸安装图2中的热通量传感器之前的状态的俯视图。
图4是图3的IV－IV线处的剖视图。
图5是表示监视装置具备的热通量传感器、自动开关以及控制单元的各输出信号的波形的一个例子的图表。
图6是表示安装有第二实施方式所涉及的监视装置的缸的局部剖视图。
图7是图6的VII－VII线处的剖视图。
图8是表示安装有第三实施方式所涉及的监视装置的缸的剖视图。
图9是图8的IX部分的放大图。
图10是图9的X－X线处的剖视图。
图11是表示安装有第四实施方式所涉及的监视装置的缸的剖视图。
具体实施方式
以下，基于图对作为本公开的技术的一方式的监视装置的实施方式进行说明。此外，在以下的各实施方式的彼此中，对相互相同或同等的部分附加相同的附图标记进行说明。
(第一实施方式)
参照附图对本实施方式进行说明。如图1以及图2所例示，本实施方式的监视装置1安装于作为对象装置的气缸50。监视装置1监视气缸50具备的活塞51(移动体)的动作。
首先，对气缸50进行说明。
气缸50是将气压作为动力，使活塞51往复移动的动力缸装置。气缸50具备缸52、活塞51以及活塞杆53。
缸52形成为筒状。在缸52的内侧具有两个室56、57(内部空间)。另外，缸52具有从径向外侧的外壁朝向室56、57凹陷的凹部54。凹部54沿着缸52的轴向延伸。
如图1所例示的那样，在缸52的室56、57配置有活塞51。此外，在以下的说明中，将活塞51的与活塞杆53相反侧的室56称为第一室56。另外，将活塞杆53侧的室57称为第二室57。活塞51利用供给至第一室56或者第二室57的空气的压力，能够在缸52的轴向上进行往复移动。
活塞杆53是与活塞51联动的轴部件。活塞杆53的一端与活塞51连接，另一端从设置在缸52的轴向的端部的孔55突出。活塞杆53对对象物60进行输送或者保持等各种作业。
在缸52形成有与第一室56连通的第一开口部58。另外，在缸52形成有与第二室57连通的第二开口部59。
在缸52的第一开口部58连接有第一配管61。在第二开口部59连接有第二配管62。第一配管61与第二配管62均与流路切换阀63连接。流路切换阀63与供给管65和排气管66连接。供给管65是用于经由流路切换阀63向缸52供给压缩空气的配管，与空气压缩机64连接。排气管66是用于经由流路切换阀63从缸52对空气进行排气的配管，开放到大气中。流路切换阀63通过从控制单元12输出的动作信号进行驱动。由此，流路切换阀63切换上述的配管的连通以及切断。
具体而言，流路切换阀63如以下那样切换配管的连通以及切断。流路切换阀63若在图1所示的A的位置连接配管，则将第一配管61与供给管65连通，并将第二配管62与排气管66连通。此时，从空气压缩机64对第一室56供给压缩空气。第二室57开放到大气中。由此，活塞51从实线C的位置向虚线D的位置移动。
另外，流路切换阀63若在B的位置连接配管，则将第一配管61与排气管66连通，并将第二配管62与供给管65连通。此时，第一室56开放到大气中。从空气压缩机64对第二室57供给压缩空气。由此，活塞51从虚线D的位置向实线C的位置移动。
接下来，对监视上述的活塞51的动作的监视装置1进行说明。
监视装置1具备热通量传感器10、电压计11以及控制单元12等。此外，通过电压计11和控制单元12，构成检测部13。
热通量传感器10设置在缸52的轴向的第一室56侧的端部。热通量传感器10检测随着与活塞51的动作对应的、第一室56的空气的压缩或者膨胀而在缸52的内侧与外侧之间流动的热通量。
这里，对热通量传感器10的结构进行说明。
如图3以及图4所例示，热通量传感器10具有以下那样的结构。热通量传感器10使绝缘基材100、表面保护部件110以及背面保护部件120一体化。热通量传感器10在该一体化的部件的内部，交替地串联连接第一、第二层间连接部件130、140。此外，在图3中，省略表面保护部件110。绝缘基材100、表面保护部件110、背面保护部件120为薄片状，且由热塑性树脂等具有可挠性的树脂材料构成。绝缘基材100形成在厚度方向贯通的多个第一、第二通孔101、102。在第一、第二通孔101、102埋入有由相互不同的金属、半导体等热电材料构成的第一、第二层间连接部件130、140。第一、第二层间连接部件130、140的连接部如以下那样构成。第一、第二层间连接部件130、140的一方的连接部由配置在绝缘基材100的表面100a的表面导体图案111构成。第一、第二层间连接部件130、140的另一方的连接部由配置在绝缘基材100的背面100b的背面导体图案121构成。
若在热通量传感器10的厚度方向上，热流通过热通量传感器10，则在第一、第二层间连接部件130、140的一方的连接部与另一方的连接部产生温度差。由此，在第一、第二层间连接部件130、140产生有塞贝克效应所引起的热电动势。热通量传感器10输出产生的热电动势作为传感器信号(例如电压信号)。
如图2所例示，热通量传感器10设置于缸52的凹部54。缸52的凹部54的内壁形成为曲面状。如上述那样，热通量传感器10为薄片状。热通量传感器10具有沿着凹部54的内壁弯曲的可挠性。因此，热通量传感器10成为沿着凹部54的内壁的曲面形状。
对热通量传感器10，在与凹部54的内壁相反侧设置有推压部件14。推压部件14例如由聚氨酯管等形成。推压部件14在卷成筒状的情况下具有向径向外侧扩张的张力。因此，推压部件14向凹部54的内壁推压热通量传感器10，而热通量传感器10与凹部54的内壁紧贴。由此，热流能够良好地在凹部54的内壁、热通量传感器10以及推压部件14之间流动。因此，热通量传感器10输出与缸52的凹部54的内壁侧的面和推压部件14侧的面之间流动的热通量对应的信号。
如图1所例示，通过电压计11测量热通量传感器10输出的电压信号。连接热通量传感器10与电压计11的布线15、16通过管状的屏蔽线17的内部。屏蔽线17具有用于防止来自外部的电磁波的侵入的导体171。此外，在图1中为了说明，以虚线直线示出导体171。实际上，导体171在屏蔽线17的内部形成为筒状以包围布线15、16。
屏蔽线17具有的导体171经由布线18等与缸52电连接。此外，屏蔽线17具有的导体171也可以与缸52直接连接。优选屏蔽线17具有的导体171与地线19连接。由此，能够降低对热通量传感器10输出的电压信号的噪声。
此外，也可以52与地线19通过接地线(非图示)直接连接。
电压计11的测量值被传输到控制单元12。控制单元12具有微型计算机等作为运算装置构成。控制单元12基于由电压计11测量出的热通量传感器10的输出信号，检测活塞51的动作状态。后述检测活塞51的动作状态的方法。
如图1以及图2所例示，在缸52的凹部54设置有两个自动开关20、21。自动开关20、21如以下那样动作。例如，从设置在活塞51的磁铁等磁场产生部件产生的磁场进入自动开关20、21的检测范围。这样一来，自动开关20、21将设置在内部的开关的接点接通。另一方面，该磁场脱离(离开)自动开关20、21的检测范围。这样一来，自动开关20、21将设在内部的开关的接点断开。
在以下的说明中，将设置于缸52的轴向的第一室56侧的端部的自动开关20称为第一自动开关20。另外，将设置在第二室57侧的端部的自动开关21称为第二自动开关21。
若活塞51位于缸52的第一室56侧的端部(进入检测范围的情况下)，第一自动开关20则使开关接通。另外，若活塞51离开缸52的第一室56侧的端部(脱离检测范围的情况下)，第一自动开关20则使开关断开。若活塞51位于缸52的第二室57侧的端部(进入检测范围的情况下)，第二自动开关21则使开关接通。另外，若活塞51离开缸52的第二室57侧的端部(脱离检测范围的情况下)，第二自动开关21则使开关断开。
第一、第二自动开关20、21的信号被传输到控制单元12。
接着，对控制单元12检测活塞51的动作状态的方法进行说明。
如上述那样，控制单元12输出用于驱动流路切换阀63的动作信号。另外，在控制单元12输入有通过电压计11测量出的热通量传感器10的输出信号、以及第一、第二自动开关20、21的接通断开信号。
在图5(A)例示了活塞51进行一个周期动作时的热通量传感器10的输出信号的波形(波动)。这里，一个周期动作是指活塞51的以下那样的动作。具体而言，是指活塞51从图1的实线C所示的位置移动(前进)到虚线D所示的位置，保持活塞杆53的位置恒定时间，之后再次从虚线D所示的位置移动(后退)到实线C所示的位置的动作。
图5(A)的实线E所示的波形示意地示出通过多次的实验检测出的正常动作时的平均波形。此外，正常动作时的平均波形根据气缸50的形状或者大小、从空气压缩机64供给的压缩空气的气压变动、或者对象物60的形状或者大小等而变化。
在图5(B)例示了活塞51进行一个周期动作时的第一、第二自动开关20、21的接通断开信号的波形。
在图5(C)例示了在活塞51进行一个周期动作时，从控制单元12对流路切换阀63传输的动作信号的波形。
＜前进动作＞
如图5(C)所示，在时刻t1，从控制单元12对流路切换阀63传输前进信号作为用于使活塞51前进的动作信号。由此，流路切换阀63成为图1所示的A的位置。因此，压缩空气从空气压缩机64通过供给管65以及第一配管61供给至第一室56。另外，第二室57与第二配管62以及排气管66连通，而开放到大气中。因此，第一室56的空气被加压，第二室57的空气开放到大气中。由此，活塞51从实线C的位置朝向虚线D的位置移动。
在时刻t2，从设在活塞51的磁场产生部件产生的磁场脱离第一自动开关20的检测范围(活塞51离开第一室56侧的端部)。其结果为，如图5(B)所示，在时刻t2，第一自动开关20断开。其后，在时刻t3，从设在活塞51的磁场产生部件产生的磁场进入第二自动开关21的检测范围(活塞51位于第二室57侧的端部)。其结果为，如图5(B)所示，在时刻t3，第二自动开关21接通。然后在时刻t4，活塞51的前进动作结束，保持活塞杆53的位置。
如图5(A)的实线E所示，在从时刻t1的前进开始到时刻t3的前进结束为止的期间，正常动作时的平均波形上升。这是因为通过第一室56的空气被压缩，产生热量，从而从缸52的第一室56向外部流动热流。
＜保持动作＞
在时刻t4，保持活塞杆53的位置，之后如以下那样继续该保持动作。具体而言，持续到在时刻t5从控制单元12对流路切换阀63传输后退信号作为用于使活塞51后退的动作信号。如图5(A)的实线E所示，在从时刻t3到时刻t6的期间，正常动作时的平均波形降低。这是因为通过活塞51的停止而缸52的第一室56的空气的流动停止，而从缸52的第一室56向外部流过的热流减少。
＜后退动作＞
如图5(C)所示，在时刻t5，从控制单元12对流路切换阀63传输活塞51的后退信号。由此，流路切换阀63成为图1所示的B的位置。因此，压缩空气从空气压缩机64通过供给管65以及第二配管62并供给至第二室57。另外，第一室56与第一配管61以及排气管66连通，并开放到大气中。因此，第二室57的空气被压缩，第一室56的空气开放到大气中。由此，活塞51从虚线D的位置朝向实线C的位置移动。
在时刻t6，从设置在活塞51的磁场产生部件产生的磁场脱离第二自动开关21的检测范围(活塞51离开第二室57侧的端部)。其结果为，如图5(B)所示，在时刻t6，第二自动开关21断开。其后，在时刻t7，从设在活塞51的磁场产生部件产生的磁场进入第一自动开关20的检测范围(活塞51位于第一室56侧的端部)。其结果为，如图5(B)所示，在时刻t7，第一自动开关20接通。然后在时刻t8，活塞51的后退动作结束。
如图5(A)的实线E所示，在从时刻t5的后退开始到时刻t8的后退结束为止的期间，正常动作时的平均波形成为缓慢的变动。这是因为由于第一室56的空气开放到大气中，所以缸52的第一室56与外部之间的热流较少。
如上述那样，本实施方式的监视装置1能够测量活塞51的动作中的热通量传感器10的输出信号。而且，监视装置1能够以图表示出测量出的输出信号的波形(波动)与动作信号的协作状态，或者将其数值化。即，本实施方式的监视装置1能够基于输出信号的波形，视觉化地监视活塞51的波动。
＜正常动作区域的把握＞
在活塞51正常地动作时，热通量传感器10的输出信号示出恒定范围的波动。着眼于这一点，进行多次的实验，得到活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的统计。由此，能够预先在具有控制单元12的检测部13设定活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波动范围。
在图5(A)以点划线F示出活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的上限，并以点划线G示出下限。如图5(A)所例示的那样，动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波动范围是点划线F与点划线G之间的区域。在以下的说明中，将该区域称为正常判定区域H。正常判定区域H预先存储在检测部13具有的存储装置(例如控制单元12具有的存储器等非瞬态有形记录介质)的规定的存储区域。
＜异常动作区域的把握＞
若在活塞51进行前进动作时，例如异物进入到缸52的内壁与活塞51之间，则活塞51的移动与动作正常时相比变慢(移动变差)。其结果为，第一室56的空气与动作正常时相比被压缩。由此，热通量传感器10的输出信号的上升率变大。与此相对，若缸52的内壁或者活塞51的外壁磨损，而其缝隙变大，则活塞51的移动与动作正常时相比变快。其结果为，第一室56的空气与动作正常时相比膨胀。由此，热通量传感器10的输出信号与动作正常时相比下降，或者，与动作正常时相比上升率变小。着眼于这些点，进行多次实验，得到活塞51的动作异常时或者异常预兆时的热通量传感器10的输出信号的统计。由此，能够预先在具有控制单元12的检测部13设定活塞51的动作异常时以及异常预兆时的热通量传感器10的输出信号的波动范围。
在图5(A)，以虚线I示出活塞51的动作异常预兆时的热通量传感器10的输出信号的上限，并以虚线J示出下限。如图5(A)所例示的那样，异常预兆时的热通量传感器10的输出信号的波动范围是除了正常判定区域H之外的虚线I与虚线J之间的区域。在以下的说明中，将该区域称为异常预兆判定区域K1、K2。异常预兆判定区域K1、K2预先存储在检测部13具有的存储装置(例如控制单元12具有的存储器等非瞬态有形记录介质)的规定的存储区域。
＜正常波形·异常预兆波形·异常波形的检测＞
本实施方式的监视装置1检测活塞51的动作时的热通量传感器10的输出信号是否在正常判定区域H的范围内(正常波动范围内)。或者，监视装置1检测活塞51的动作时的热通量传感器10的输出信号是否在异常预兆判定区域K1、K2的范围内(异常预兆波动范围内)。
例如，如图5(A)的实线E所示，在热通量传感器10的输出信号在正常判定区域H的范围内的情况下，包含控制单元12的检测部13具有的判定电路判定为活塞51的动作正常。
如图5(A)的虚线L所示，在热通量传感器10的输出信号在正常判定区域H的范围外，并且，在异常预兆判定区域K1、K2的范围内的情况下，检测部13具有的判定电路判定为活塞51的动作为异常预兆的状态。
如图5(A)的双点划线M所示，在热通量传感器10的输出信号在正常判定区域H的范围外，并且，在异常预兆判定区域K1、K2的范围外的情况下，检测部13具有的判定电路判定为活塞51的动作异常。
另外，检测部13也能够通过与上述的方法不同的方法，检测活塞51的动作时的热通量传感器10的输出信号是否在正常判定区域H的范围内。或者，检测部13能够检测过活塞51的动作时的热通量传感器10的输出信号是否在异常预兆判定区域K1、K2的范围内。
即，在本实施方式中，检测部13具有的判定电路进行以下那样的波形判定。判定电路判定热通量传感器10的输出信号的波形是否与基于活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波形预先设定的允许失真波形相比较大地失真。这里，允许失真波形是指以下那样的波形。具体而言，是指检测信号的波形的倾斜相对于动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波形的倾斜在规定角度以内的波形。或者，是指检测信号的波形的倾斜在规定角度以上的状态持续的时间在规定时间内的波形。
例如，在图5(A)的箭头N例示了实线E所示的波形的恒定时间的倾斜。另外，箭头O例示了虚线L所示的波形的恒定时间的倾斜。此时，与箭头N的倾斜相比箭头O的倾斜在规定角度以上，且该状态持续了规定时间。由此，检测部13判定为虚线L所示的波形与预先设定的允许失真波形相比较大地失真。该情况下，检测部13基于虚线L所示的波形，判定为活塞51的动作为异常预兆的状态。
基于检测部13的判定结果，警告部22(参照图1)产生警告信号。警告部22例如是监视器、蜂鸣器或者灯等。警告部22例如产生基于图像、声音或者光等的警告信号。由此，在警告部22中，能够对监视装置1的使用者报告产品的优劣判定、对象装置的维修警告或者气缸50的紧急停止等。另外，警告部22也可以产生警告信号，并且停止气缸50的动作。
这样一来，具有控制单元12的检测部13检测出活塞51的动作状态。
如以上说明的那样，本实施方式的监视装置1起到以下那样的作用效果。
(1)在本实施方式中，设置于缸52的热通量传感器10输出与活塞51的动作对应的信号。其结果为，检测部13能够基于热通量传感器10的输出信号，检测活塞51的动作状态。因此，监视装置1能够监视气缸50具备的活塞51的动作状态。
(2)在本实施方式中，检测部13判定热通量传感器10的输出信号是否在规定的波动范围内(活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波动范围内)。
活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号示出恒定范围的波动。由此，在检测部13能够基于实验结果等预先设定动作正常时1热通量传感器10的输出信号的波动范围。因此，检测部13能够基于热通量传感器10的输出信号，判定活塞51的动作是否正常。
(3)在本实施方式中，检测部13在规定的存储区域存储活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波动范围亦即正常判定区域H。另外，检测部13在规定的存储区域存储异常预兆时的热通量传感器10的输出信号的波动范围亦即异常预兆判定区域K1、K2。然后，检测部13在热通量传感器10的输出信号在正常判定区域H的范围内的情况下，判定为活塞51的动作正常。另外，检测部13在热通量传感器10的输出信号在正常判定区域H的范围外，并且，在异常预兆判定区域K1、K2的范围内的情况下，判定为活塞51的动作为异常预兆的状态。另外，检测部13在热通量传感器10的输出信号在正常判定区域H的范围外，并且，在异常预兆判定区域K1、K2的范围外的情况下，判定为活塞51的动作异常。
检测部13能够基于热通量传感器10的输出信号，如以下那样判定活塞51的动作。具体而言，检测部13能够判定活塞51的动作是否正常。另外，检测部13能够判定活塞51的动作是否是异常预兆。另外，检测部13能够判定活塞51的动作是否异常。
(4)在本实施方式中，检测部13判定热通量传感器10的输出信号的波形是否与规定的允许失真波形(基于活塞51的动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波形预先设定的允许失真波形)相比较大地失真。
动作正常时的活塞51与供给到缸52的第一室56的空气的压力对应地进行恒定的动作。由此，能够预先根据多次实施的实验结果，在检测部13设定基于动作正常时的热通量传感器10的输出信号的波形的允许失真波形。因此，检测部13能够基于热通量传感器10的输出信号的波形，判定活塞51的动作是否正常。
(5)在本实施方式中，还具备基于检测部13的判定结果，产生警告信号的警告部22。
在警告部22中，能够对监视装置1的使用者报告产品的优劣判定、气缸50的维修警告或者气缸50的紧急停止等。
(6)在本实施方式中，热通量传感器10设置在从缸52的外壁朝向第一室56凹陷的凹部54。
热通量传感器10设置在接近作为热源的第一室56的位置。因此，监视装置1能够提高通过热通量传感器10的热通量的检测精度。
(7)在本实施方式中，热通量传感器10具有沿着形成为曲面状的凹部54的内壁弯曲的可挠性。
热通量传感器10与凹部54的内壁不经由空气而紧贴。因此，监视装置1能够提高热通量传感器10的检测精度。
(8)在本实施方式中，监视装置1具备将热通量传感器10推压至凹部54的内壁的推压部件14。
在热通量传感器10与凹部54的内壁之间不产生缝隙(能够防止缝隙的产生)。
(第二实施方式)
参照附图对本实施方式进行说明。本实施方式相对于第一实施方式，热通量传感器10的安装方法不同。除此之外与第一实施方式相同。因此，以下，仅对与第一实施方式不同的部分进行说明。
如图6以及图7所例示，本实施方式的热通量传感器10通过推压部件30，设置于缸52的凹部54。凹部54在缸52的轴向的端部开口。因此，热通量传感器10与推压部件30从缸52的轴向的端部的开口插入凹部54，并安装在规定的位置。此外，缸52的凹部54具有圆筒槽541以及开口槽542。圆筒槽541形成在第一室56侧。开口槽542从圆筒槽541向缸52的外壁侧延伸。开口槽542的宽度比圆筒槽541的内径小。因此，缸52在圆筒槽541与开口槽542的连接位置具有肩部543。
推压部件30由圆柱部件31、支承部件32以及螺丝部件33等构成。圆柱部件31由金属等导体形成。
圆柱部件31具有圆柱部311以及轴部312。轴部312设置在圆柱部311的轴向的两端。热通量传感器10为薄片状。热通量传感器10卷绕在圆柱部311的外周。
支承部件32具有支承主体部321、两个臂部322以及屏蔽线安装部323等。支承主体部321在远离上述的圆柱部件31的位置，设置为沿着圆柱部件31的轴向。两个臂部322分别从支承部件32的两端部向圆柱部件31侧延伸。臂部322具有环状部324以及连结部325。环状部324的宽度比开口槽542的宽度大。连结部325从环状部324的外周的一部分向径向延伸。连结部325的宽度比开口槽542的宽度小。在环状部324设置有圆孔326。圆孔326的内径比圆柱部件31的轴部312的外径大。圆柱部件31的轴部312插入圆孔326。
此外，在屏蔽线安装部323安装有管状的屏蔽线17。屏蔽线17具有的导体171与屏蔽线安装部323电连接。屏蔽线17具有的导体171与地线19连接。此外，在图6以及图7中为了说明，以虚线直线示出导体171。实际上，导体171在屏蔽线17的内部，形成为筒状以包围布线15、16。
对于螺丝部件33来说，头部331与支承主体部321抵接，且与螺孔313螺合。螺孔313的与头部331相反侧的端部设在圆柱部311。螺丝部件33例如将方形扳手等拧紧用的夹具经由设在支承主体部321的孔327插入到头部331的方孔332。由此，螺丝部件33能够绕轴旋转。若螺丝部件33绕其轴的一方旋转，则圆柱部件31与支承主体部321的距离变远。然后，圆柱部件31和卷绕于圆柱部件31的热通量传感器10并推压至圆筒槽541的内壁。臂部322的环状部324与缸52的肩部543抵接。因此，热通量传感器10与凹部54的内壁紧贴。由此，热流良好地在凹部54的内壁、热通量传感器10以及推压部件30之间流过。因此，热通量传感器10输出与在厚度方向通过的热流(热通量)对应的信号。
如上述那样，在本实施方式中，通过螺丝部件33的轴力，圆柱部件31和热通量传感器10被推压至圆筒槽541的内壁。由于其反作用力，臂部322的环状部324与缸52的肩部543抵接。由此，推压部件30与缸52电连接。因此，缸52经由推压部件30与地线19电连接。由此，在本实施方式中，能够降低从缸52产生的噪声对热通量传感器10的输出信号的影响。
(第三实施方式)
参照附图对本实施方式进行说明。本实施方式相对于第一实施方式，也是热通量传感器10的安装方法不同。除此之外与第一实施方式相同。因此，以下，仅对与第一实施方式不同的部分进行说明。
如图8～图10所例示，本实施方式的缸52的凹部54具有方筒槽544以及开口槽545。方筒槽544形成在缸52的室56、57侧(第一室56侧以及第二室57侧)。开口槽545从方筒槽544向缸52的外壁侧延伸。方筒槽544的剖面大致为矩形形状。开口槽545的宽度比方筒槽544的宽度小。因此，缸52在方筒槽544与开口槽545的连接位置具有肩部546。
热通量传感器10通过推压部件40，设置于缸52的凹部54。凹部54再缸52的轴向的端部开口。因此，热通量传感器10与推压部件40从缸52的轴向的端部的开口插入凹部54，并安装在规定的位置。
推压部件40由板状部件41、抵接部件42以及螺丝部件43等构成。板状部件41由金属等导体形成。板状部件41的宽度比方筒槽544的宽度小，且比开口槽545的宽度大。
抵接部件42固定于热通量传感器10。
螺丝部件43与设置在板状部件41的螺孔411螺合。螺丝部件43在轴向的一方的端部具有方孔431，另一方的端部与抵接部件42抵接。螺丝部件43例如将方型扳手等拧紧用的夹具插入方孔431。由此，螺丝部件43能够绕轴旋转。若螺丝部件43绕其轴的一方旋转，则板状部件41与抵接部件42的距离变远。然后，通过螺丝部件43的轴力，板状部件41与缸52的肩部546抵接。抵接部件42与热通量传感器10被推压至方筒槽544的内壁。因此，热通量传感器10与凹部54的内壁紧贴。由此，热流良好地在凹部54的内壁、热通量传感器10以及推压部件40之间流过。因此，热通量传感器10输出与在厚度方向通过的热流(热通量)对应的信号。
另外，通过螺丝部件43的轴力，板状部件41与缸52的肩部546抵接。由此，板状部件41与缸52电连接。因此，缸52经由板状部件41与地线19电连接。由此，在本实施方式中，能够降低从缸52产生的噪声对热通量传感器10的输出信号的影响。
(第四实施方式)
参照附图对本实施方式进行说明。本实施方式相对于第一实施方式，也是热通量传感器10的安装方法不同。除此之外，与第一实施方式相同。因此，以下，仅对与第一实施方式不同的部分进行说明。
如图11所例示，本实施方式的缸52是管式缸(圆筒状的缸)。
热通量传感器10通过弹性环部件45(例如软管带)，安装在缸52的外壁。热通量传感器10具有沿着缸52的外壁弯曲的可挠性。因此，热通量传感器10通过弹性环部件45的弹力，与缸52的外壁紧贴。因此，热流良好地在缸52的外壁、热通量传感器10以及弹性环部件45之间流过。因此，热通量传感器10输出与在厚度方向通过的热流(热通量)对应的信号。
(其它的实施方式)
本公开的技术并不限定于上述各实施方式的内容。本公开的技术也可以在权利要求书所记载的范围内适当地变更。具体而言，如以下那样。
(1)在上述各实施方式中，对气缸50(对象装置)是与活塞51(移动体)连接的活塞杆53进行直线移动的气缸进行了说明，但并不限定于此。在其它的实施方式中，也可以是活塞杆53例如构成用于经由连杆机构等，支承对象物60的臂机构的装置等。
(2)上述各实施方式中，将气缸50作为对象装置的例子进行了说明，但并不限定于此。在其它的实施方式中，对象装置例如也可以是液压缸等。对象装置只要是具有供给用于使移动体移动的流体的室56、57的装置即可。
(3)在上述各实施方式中，在缸52的凹部54安装了热通量传感器10，但并不限定于此。在其它的实施方式中，例如，也可以将热通量传感器10安装在缸52的外壁。
(4)在上述各实施方式中，将热通量传感器10安装在缸52的第一室56侧的端部，但并不限定于此。在其它的实施方式中，例如，也可以将热通量传感器10安装在缸52的第二室57侧的端部。
(5)上述各实施方式并不是相互无关的，除了组合明确不可能的情况下，能够适当地组合。另外，在上述各实施方式中，对于成实施方式的要素来说，除了特别明示了是必须的情况下、以及在原理上明确认为是必须的情况下等之外，并不一定必须。
(总结)
根据上述各实施方式的一部分或者全部所示的第一观点，作为本公开的技术的一方式的监视装置监视具备筒状的缸、以及通过供给到设在缸的内侧的室的流体的压力进行移动的移动体的对象装置的移动体的动作。监视装置具备热通量传感器以及检测部。热通量传感器设在缸，并检测由于与移动体的动作对应的室的流体的压缩或者膨胀而产生的热通量。检测部基于热通量传感器的输出信号，检测移动体的动作状态。
根据第二观点，检测部判定热通量传感器的输出信号是否在预先设定的动作正常时的热通量传感器的输出信号的波动范围内。
移动体的动作正常时的热通量传感器的输出信号示出恒定范围的波动。由此，能够基于实验结果等预先在检测部设定动作正常时的热通量传感器的输出信号的波动范围(能够预先存储)。因此，检测部能够基于热通量传感器的输出信号，判定移动体的动作是否正常。
根据第三观点，检测部在热通量传感器的输出信号与移动体的动作状态正常时的热通量传感器的输出信号的波动范围相比大到规定值以上的情况下，判定为移动体的动作状态异常。
检测部能够基于热通量传感器的输出信号，判定移动体的动作是否异常。
根据第四观点，检测部存储动作正常时的热通量传感器的输出信号的波动范围亦即正常判定区域、和正常判定区域外的区域且是表示异常预兆的热通量传感器的输出信号的波动范围亦即异常预兆判定区域。检测部在热通量传感器的输出信号在正常判定区域内时，判定为移动体的动作状态正常。检测部在热通量传感器的输出信号在正常判定区域外，并且，在异常预兆判定区域内时，判定为移动体的动作状态为异常预兆的状态。检测部在热通量传感器的输出信号在正常判定区域外，并且，在异常预兆判定区域外时，判定为移动体的动作状态异常。
能够基于实验结果等预先在检测部设定正常判定区域以及异常预兆判定区域(能够预先存储)。因此，检测部能够基于热通量传感器的输出信号，判定移动体的动作是否正常。另外，检测部能够判定移动体的动作是否是异常预兆。另外，检测部能够判定移动体的动作是否异常。
根据第五观点，检测部存储基于移动体的动作状态正常时的热通量传感器的输出信号的波形预先设定的允许失真波形。检测部在热通量传感器的输出信号的波形是比允许失真波形小的失真时，判定为移动体的动作状态正常。检测部在热通量传感器的输出信号的波形是比允许失真波形大的失真时，判定为移动体的动作状态是异常预兆的状态。
动作正常时的移动体与供给到缸的室的流体的压力对应地进行恒定的动作。由此，能够基于实验结果等预先在检测部设定基于动作正常时的热通量传感器的输出信号的波形的允许失真波形。因此，检测部能够基于热通量传感器的输出信号的波形，判定移动体的动作是否正常。
根据第六观点，还具备基于检测部的判定结果，产生警告信号的警告部。
在警告部中，能够对监视装置的使用者报告产品的优劣判定、对象装置的维修警告或者对象装置的紧急停止等。
根据第七观点，热通量传感器设在从缸的外壁朝向室凹陷的凹部。
热通量传感器设在接近作为热源的室的流体的位置。因此，监视装置能够提高热通量传感器的热通量的检测精度。
根据第八观点，凹部的内壁形成为曲面状，热通量传感器具有沿着凹部的内壁弯曲的可挠性。
对于监视装置来说，热通量传感器与凹部的内壁紧贴。因此，监视装置能够提高热通量传感器的检测精度。
根据第九观点，监视装置具备将热通量传感器推压至凹部的内壁的推压的部件。
在热通量传感器与凹部的内壁之间不产生缝隙(能够防止缝隙的产生)。
根据第十观点，对于监视装置来说，缸与推压部件抵接，缸经由推压部件与地线电连接。
监视装置能够降低从缸产生的噪声对热通量传感器的输出信号的影响。因此，即使对于室的容积较小的小型的缸，监视装置也能够根据热通量传感器的输出信号监视移动体的动作状态。
附图标记说明
1…监视装置，10…热通量传感器，11…电压计，12…控制单元，13…检测部，50…气缸(对象装置)，51…活塞(移动体)，52…缸，56、57…室。

Claims (11)

1.一种监视装置，对具备筒状的缸(52)以及利用供给至设置在上述缸的内侧的室(56、57)的流体的压力来移动的移动体(51)的对象装置(50)中的上述移动体的动作进行监视，其中，上述监视装置具备：
热通量传感器(10)，其设置于上述缸，检测利用与上述移动体的动作对应的上述室的流体的压缩或者膨胀而在上述缸中流动的热通量；以及
检测部(11、12、13)，其基于上述热通量传感器的输出信号，检测上述移动体的动作状态。
2.根据权利要求1所述的监视装置，其中，
上述检测部判定上述热通量传感器的输出信号是否在上述移动体的动作状态正常时的上述热通量传感器的输出信号的波动范围内。
3.根据权利要求1或者2所述的监视装置，其中，
上述检测部在上述热通量传感器的输出信号与上述移动体的动作状态正常时的上述热通量传感器的输出信号的波动范围相比大到规定值以上的情况下，判定为上述移动体的动作状态异常。
4.根据权利要求1～3中任意一项所述的监视装置，其中，
上述检测部存储正常判定区域(H)和异常预兆判定区域(K1、K2)，上述正常判定区域(H)表示上述移动体的动作状态正常时的上述热通量传感器的输出信号的波动范围，上述异常预兆判定区域(K1、K2)是上述正常判定区域外的区域且是表示上述移动体的动作状态为异常预兆时的上述热通量传感器的输出信号的波动范围，
在上述热通量传感器的输出信号在上述正常判定区域内时，判定为上述移动体的动作状态正常，
在上述热通量传感器的输出信号在上述正常判定区域外且在上述异常预兆判定区域内时，判定为上述移动体的动作状态是异常预兆的状态，
在上述热通量传感器的输出信号在上述正常判定区域外且在上述异常预兆判定区域外时，判定为上述移动体的动作状态异常。
5.根据权利要求1～4中任意一项所述的监视装置，其中，
上述检测部存储基于上述移动体的动作状态正常时的上述热通量传感器的输出信号的波形而预先设定的允许失真波形，
在上述热通量传感器的输出信号的波形是比上述允许失真波形小的失真时，判定为上述移动体的动作状态正常，
在上述热通量传感器的输出信号的波形是比上述允许失真波形大的失真时，判定为上述移动体的动作状态是异常预兆的状态。
6.根据权利要求1～5中任意一项所述的监视装置，其中，
还具备基于上述检测部的判定结果，产生警告信号的警告部(22)。
7.根据权利要求1～6中任意一项所述的监视装置，其中，
上述热通量传感器设置在从上述缸的外壁朝向上述室凹陷的凹部(54)。
8.根据权利要求7所述的监视装置，其中，
上述凹部的内壁形成为曲面状，
上述热通量传感器具有沿着上述凹部的内壁弯曲的可挠性。
9.根据权利要求7或者8所述的监视装置，其中，
还具备将上述热通量传感器推压至上述凹部的内壁的推压部件(14、30、40)。
10.根据权利要求9所述的监视装置，其中，
上述推压部件(30、40)将上述热通量传感器推压至上述凹部的内壁，并且上述推压部件的一部分与上述缸(543、546)抵接，
上述缸经由上述推压部件与地线(19)电连接。
11.根据权利要求1～6中任意一项所述的监视装置，其中，
具备将上述热通量传感器推压至上述缸的外壁的弹性环部件(45)。
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