CN108847398A - 用于干燥基板的风刀装置 - Google Patents

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Abstract

本揭示提供了一种用于干燥基板的风刀装置。风刀装置包括风刀组件、移动伸缩式挡片以及移动传感器。风刀组件包括风刀风嘴组件、与风刀风嘴组件相连的管道、与管道相连的供气装置、以及控制风刀风嘴组件的风力强度的调节装置。风刀风嘴组件包括分别对基板的两个表面进行吹风的第一风刀风嘴和第二风刀风嘴。移动伸缩式挡片可移动及伸缩地设置于风刀风嘴组件的出风口。移动传感器可移动地设置于移动伸缩式挡片上，以检测所述风刀风嘴组件在特定位置上的出风量。本揭示能通过移动伸缩式挡片及移动传感器，精准检测风刀风嘴组件的各个位置的风量变化，及时发现风刀风嘴组件的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件的堵塞造成基板产品品质异常。

Description

用于干燥基板的风刀装置
【技术领域】
本揭示涉及一种风刀装置，特别涉及一种用于干燥基板的湿式清洗机台的风刀装置。
【背景技术】
在薄膜晶体管基板制作过程中，需要使用各种湿式清洗机台进行清洗、刻蚀、显影等制程。这些湿式清洗机台的工艺流程往往会根据制程的不同而有不同的清洗过程，一般的清洗的过程例如包括极紫外线(extreme ultraviolet,EUV)干洗、药液湿洗、刷洗、二流体类水洗、风刀干燥等。基板在经过药液和水清洗后，在基板的表面通常残留大量的水，在进入下一制程前，需要通过风刀装置进行干燥，将基板表面的水除去，以免水残留在基板表面，影响产品品质。在现有技术中，风刀装置的缝隙很小，约0.06mm至0.12mm，容易堵塞，造成基板部分区域有水残留，影响产品的品质，且通常发生问题后无法及时发现，造成大量产品异常。
故，有需要提供一种用于干燥基板的风刀装置，以解决现有技术存在的问题。
【发明内容】
为解决上述技术问题，本揭示的一种目的在于提供一种用于干燥基板的风刀装置，其能通过移动伸缩式挡片及移动传感器，精准检测风刀风嘴组件的各个位置的风量变化，及时发现风刀风嘴组件的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件的堵塞造成基板产品品质异常。
为达成上述目的，本揭示提供一用于干燥基板的风刀装置。风刀装置包括风刀组件、移动伸缩式挡片以及移动传感器。风刀组件包括风刀风嘴组件、与风刀风嘴组件相连的管道、与管道相连的供气装置、以及控制风刀风嘴组件的风力强度的调节装置。风刀风嘴组件包括分别对基板的两个表面进行吹风的第一风刀风嘴和第二风刀风嘴。移动伸缩式挡片可移动及伸缩地设置于风刀风嘴组件的出风口。移动传感器可移动地设置于移动伸缩式挡片上，以检测所述风刀风嘴组件在特定位置上的出风量。
于本揭示其中的一实施例中，所述移动伸缩式挡片具有开口，所述移动传感器对齐所述移动伸缩式挡片的所述开口。
于本揭示其中的一实施例中，所述移动伸缩式挡片的所述开口可移动地设置于所述风刀风嘴组件的所述出风口，所述移动传感器随着所述移动伸缩式挡片的所述开口移动方向而移动。
于本揭示其中的一实施例中，所述移动伸缩式挡片及所述移动传感器可移动地设置于所述风刀风嘴组件的一端上。
于本揭示其中的一实施例中，所述移动伸缩式挡片的所述开口及所述移动传感器可移动地设置于所述风刀风嘴组件的特定位置上，且所述移动伸缩式挡片的所述开口与所述风刀风嘴组件的所述特定位置上的所述出风口连通。
于本揭示其中的一实施例中，所述移动伸缩式挡片封闭所述风刀风嘴组件的所述特定位置之外的所述出风口。
于本揭示其中的一实施例中，所述风刀装置还包括与所述移动传感器电性相连的检测仪。
于本揭示其中的一实施例中，所述风刀装置还包括与所述检测仪电性相连的中央控制器，用于在所述移动传感器检测到所述风刀风嘴组件工作不正常时，发出警报及控制所述风刀装置停止运转。
由于本揭示的实施例中的风刀装置，通过移动伸缩式挡片可移动及伸缩地设置于风刀风嘴组件的出风口以及移动传感器可移动地设置于移动伸缩式挡片上，因此，能精准检测风刀风嘴组件的各个位置的风量变化，及时发现风刀风嘴组件的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件的堵塞造成基板产品品质异常。
为让本揭示的上述内容能更明显易懂，下文特举优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下：
【附图说明】
图1显示根据本揭示的一实施例的风刀装置的结构示意图；
图2显示根据本揭示的一实施例的风刀装置吹干基板的局部侧视图；
图3显示根据本揭示的一实施例的风刀装置吹干基板的局部顶视图；
图4显示根据本揭示的一实施例的风刀装置的一剖面示意图；以及
图5显示根据本揭示的一实施例的风刀装置的另一剖面示意图。
【具体实施方式】
为了让本揭示的上述及其他目的、特征、优点能更明显易懂，下文将特举本揭示优选实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。再者，本揭示所提到的方向用语，例如上、下、顶、底、前、后、左、右、内、外、侧层、周围、中央、水平、横向、垂直、纵向、轴向、径向、最上层或最下层等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本揭示，而非用以限制本揭示。
在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。
参照图1及图2，图1显示根据本揭示的一实施例的风刀装置的结构示意图，图2显示根据本揭示的一实施例的风刀装置吹干基板的局部侧视图。
如图1及图2所示，本揭示的实施例的风刀装置10例如适用于湿式清洗机台及适用于干燥显示器的基板。风刀装置10包括风刀组件100、移动伸缩式挡片110以及移动传感器120。风刀组件100包括风刀风嘴组件102、与风刀风嘴组件102相连的管道104、与管道104相连的供气装置106、以及控制风刀风嘴组件102的风力强度的调节装置108。风刀风嘴组件102包括分别对基板20的两个表面202、204进行吹风的第一风刀风嘴1022和第二风刀风嘴1024。移动伸缩式挡片110可移动及伸缩地设置于风刀风嘴组件102的出风口1026。移动传感器120可移动地设置于移动伸缩式挡片110上，以检测风刀风嘴组件102在特定位置上的出风量。由于移动伸缩式挡片110可移动及伸缩地设置于风刀风嘴组件102的出风口1026以及移动传感器120可移动地设置于移动伸缩式挡片110上，因此，本揭示的实施例的风刀装置10能通过移动伸缩式挡片110及移动传感器120，精准检测风刀风嘴组件102的各个位置的风量变化，及时发现风刀风嘴组件102的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件102的堵塞造成基板产品品质异常。
具体地，第一风刀风嘴1022和第二风刀风嘴1024对基板20的两个表面202、204进行吹风的气流方向D 1与基板20的传送方向D2相反。
具体地，移动伸缩式挡片110具有开口112，移动传感器120对齐移动伸缩式挡片110的开口112。因此，移动传感器120能通过移动伸缩式挡片110的开口112而精准检测风刀风嘴组件102的出风口1026的风量变化。
移动伸缩式挡片110的开口112可移动地设置于风刀风嘴组件102的出风口1026，移动传感器120随着移动伸缩式挡片110的开口112移动方向而移动。因此，移动传感器120能精准检测风刀风嘴组件102的各个位置的风量变化。
具体地，如图3所示，移动伸缩式挡片110及移动传感器120可移动地设置于风刀风嘴组件102的一端上，因此，基板20可正常吹干，例如通过第一风刀风嘴1022和第二风刀风嘴1024将基板20的两个表面202、204的水吹干，达到干燥基板20的效果。由于移动伸缩式挡片110及移动传感器120可移动地设置于风刀风嘴组件102的一端上，因此，不影响风刀风嘴组件102的正常工作。
如图4及图5所示，于本揭示的一实施例中，移动伸缩式挡片110的开口112及移动传感器120可移动地设置于风刀风嘴组件102的特定位置上，且移动伸缩式挡片110的开口112与风刀风嘴组件102的特定位置上的出风口1026连通。进一步地，移动伸缩式挡片110封闭风刀风嘴组件102的特定位置之外的出风口1026。因此，移动传感器120能精准检测风刀风嘴组件102的特定位置上的出风口1026的风量变化，不受特定位置之外的出风口1026的干扰，及时发现风刀风嘴组件102的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件102的堵塞造成基板产品品质异常。
具体地，风刀装置10还包括与移动传感器120电性相连的检测仪130以及与检测仪130电性相连的中央控制器140。中央控制器140用于在移动传感器120检测到风刀风嘴组件102的工作不正常时，发出警报及控制风刀装置10停止运转。
具体地，检测仪将移动传感器120的检测值发送给中央控制器140，中央控制器140将检测值和正常值比对，提前判断风刀风嘴组件102是否异常。若发生异常，中央控制器140发出警报，机台停止生产，避免更多产品发生异常。发生异常时，中央处理器140还可将异常位置进行显示，工程师根据数据异常位置，可快速判断风刀风嘴组件1022的异常位置，及时解决异常，提高异常处理效率，以及提高复机效率。
具体地，风刀风嘴组件102工作一定时间或一定片数后(时间或片数可根据需要，于机台控制端自行设定)，需要检测风刀风嘴组件102的出风口1026是否堵塞时，移动传感器120移动到工作位置(例如上述风刀风嘴组件102的特定位置)，沿风刀风嘴组件102匀速移动，检测风刀风嘴组件102的各个位置出风的压力和流量。
具体地，检测时，移动伸缩式挡片110工作，只有移动传感器120位置的风可以流出，风刀风嘴组件102的其他出风位置为封闭状态，意即移动伸缩式挡片110的开口112与风刀风嘴组件102的特定位置上的出风口1026连通，且移动伸缩式挡片110封闭风刀风嘴组件102的特定位置之外的出风口1026。因此，移动传感器120能精准检测风刀风嘴组件102的特定位置上的出风口1026的风量变化，不受特定位置之外的出风口1026的干扰，及时发现风刀风嘴组件102的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件102的堵塞造成基板产品品质异常。
综上所述，由于本揭示的实施例中的风刀装置，通过移动伸缩式挡片可移动及伸缩地设置于风刀风嘴组件的出风口以及移动传感器可移动地设置于移动伸缩式挡片上，因此，能精准检测风刀风嘴组件的各个位置的风量变化，及时发现风刀风嘴组件的堵塞问题，防止因风刀风嘴组件的堵塞造成基板产品品质异常。
尽管已经相对于一个或多个实现方式示出并描述了本揭示，但是本领域技术人员基于对本说明书和附图的阅读和理解将会想到等价变型和修改。本揭示包括所有这样的修改和变型，并且仅由所附权利要求的范围限制。特别地关于由上述组件执行的各种功能，用于描述这样的组件的术语旨在对应于执行所述组件的指定功能(例如其在功能上是等价的)的任意组件(除非另外指示)，即使在结构上与执行本文所示的本说明书的示范性实现方式中的功能的公开结构不等同。此外，尽管本说明书的特定特征已经相对于若干实现方式中的仅一个被公开，但是这种特征可以与如可以对给定或特定应用而言是期望和有利的其他实现方式的一个或多个其他特征组合。而且，就术语“包括”、“具有”、“含有”或其变形被用在具体实施方式或权利要求中而言，这样的术语旨在以与术语“包含”相似的方式包括。
以上仅是本揭示的优选实施方式，应当指出，对于本领域普通技术人员，在不脱离本揭示原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本揭示的保护范围。

Claims (8)

1.一种用于干燥基板的风刀装置，其特征在于，所述风刀装置包括：
风刀组件，包括风刀风嘴组件、与所述风刀风嘴组件相连的管道、与所述管道相连的供气装置、以及控制所述风刀风嘴组件的风力强度的调节装置，所述风刀风嘴组件包括分别对所述基板的两个表面进行吹风的第一风刀风嘴和第二风刀风嘴；
移动伸缩式挡片，可移动及伸缩地设置于所述风刀风嘴组件的出风口；以及
移动传感器，可移动地设置于所述移动伸缩式挡片上，以检测所述风刀风嘴组件在特定位置上的出风量。
2.根据权利要求1所述的风刀装置，其特征在于，所述移动伸缩式挡片具有开口，所述移动传感器对齐所述移动伸缩式挡片的所述开口。
3.根据权利要求2所述的风刀装置，其特征在于，所述移动伸缩式挡片的所述开口可移动地设置于所述风刀风嘴组件的所述出风口，所述移动传感器随着所述移动伸缩式挡片的所述开口移动方向而移动。
4.根据权利要求3所述的风刀装置，其特征在于，所述移动伸缩式挡片及所述移动传感器可移动地设置于所述风刀风嘴组件的一端上。
5.根据权利要求3所述的风刀装置，其特征在于，所述移动伸缩式挡片的所述开口及所述移动传感器可移动地设置于所述风刀风嘴组件的特定位置上，且所述移动伸缩式挡片的所述开口与所述风刀风嘴组件的所述特定位置上的所述出风口连通。
6.根据权利要求5所述的风刀装置，其特征在于，所述移动伸缩式挡片封闭所述风刀风嘴组件的所述特定位置之外的所述出风口。
7.根据权利要求1-6中任一项所述的风刀装置，其特征在于，还包括与所述移动传感器电性相连的检测仪。
8.根据权利要求7所述的风刀装置，其特征在于，还包括与所述检测仪电性相连的中央控制器，用于在所述移动传感器检测到所述风刀风嘴组件工作不正常时，发出警报及控制所述风刀装置停止运转。
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