JP2008306016A - 温調装置 - Google Patents
温調装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008306016A JP2008306016A JP2007152389A JP2007152389A JP2008306016A JP 2008306016 A JP2008306016 A JP 2008306016A JP 2007152389 A JP2007152389 A JP 2007152389A JP 2007152389 A JP2007152389 A JP 2007152389A JP 2008306016 A JP2008306016 A JP 2008306016A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature control
- substrate
- control gas
- recess
- center
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】基板を短時間で均一に冷却することができる温調装置を提供する。
【解決手段】開口14から凹部12の内方に向かって噴出する温調ガス(冷却空気)は、凹部12の中央付近で衝突し下方に流れる。そして、下方に向かう温調ガスは基板Wの中央付近において基板Wに接触し、進路を外側に変え排出される。ここで、温調ガスは一旦中央に集まって下方に向かって基板表面に供給される際に、外側に供給される温調ガスの量が少なくなるので中央部で温調ガスが停滞することがない。
【選択図】図2
【解決手段】開口14から凹部12の内方に向かって噴出する温調ガス(冷却空気)は、凹部12の中央付近で衝突し下方に流れる。そして、下方に向かう温調ガスは基板Wの中央付近において基板Wに接触し、進路を外側に変え排出される。ここで、温調ガスは一旦中央に集まって下方に向かって基板表面に供給される際に、外側に供給される温調ガスの量が少なくなるので中央部で温調ガスが停滞することがない。
【選択図】図2
Description
本発明は、半導体ウェーハやガラス基板などの基板の冷却や温度調整を行う温調装置に関する。
半導体ウェーハやガラス基板などの基板表面に回路を形成する工程として、基板表面に形成したレジスト膜に露光を施して所定のパターンとする工程がある。レジスト膜を形成するにはレジスト液を塗布し加熱して膜を形成するため、この加熱により基板は膨張する。そして基板が膨張したままで露光すると、焦点距離が狂ってくるので、露光前に室温まで冷却するようにしている。
基板を冷却する装置として特許文献1及び特許文献2に開示されるものがある。特許文献1に開示される温調装置は、クールプレートの上方に中空ボックス状の冷却ユニットを配置し、この中空ボックス状の冷却ユニットの下面に形成した開口からクールプレート上の基板表面に温調された空気を噴出するようにしている。
特許文献2に開示される温調装置は、クールプレートを配置した処理室を開閉するシャッタを中空とし、このシャッタを介して処理室内に側方から温調された空気を噴出するようにしている。
特許文献1に開示される温調装置は、中空状冷却ユニットの下面に形成した開口から真下に向かって温調ガスが噴出する構造になっている。この構造では中空状冷却ユニットの下面の中央部から下方に噴出した温調ガスの逃げ場がなくなり、中心部近傍で停滞し、その結果、基板中央部の温度を周囲と同じ冷却速度で冷却できず、基板中央部の温度が高くなってしまう。
特許文献2に開示される温調装置は、基板の表面上を一方の端部から他方の端部へ向かって温調ガスが流れる。このため温調ガスを噴出するシャッタ寄りの端部が他の箇所に比べて冷却され、全体として均一な冷却ができない。
上記の課題を解決するため、本発明に係る温調装置は、下方に向かって開放される凹部を有するケースを備え、このケースは内部を空洞として外部から空洞内に温調ガスが供給され、更に前記凹部を画成する内側壁には凹部の内方(凹部中心若しくはその近傍)に向かって温調ガスを噴出する開口が多数形成された構成とした。
また、温調装置としては、前記ケースの下方には水冷式のクールプレートが配置されているものなどが考えられるが、クールプレートを省いたものでもよい。
本発明によれば、温調装置ケースの凹部を画成する内側壁に多数の開口を形成し、この開口から凹部の内方に向かって温調ガスが噴出するので、温調ガスは凹部中心若しくはその近傍において衝突して下方に向かう。そして下方に向かった温調ガスは基板表面の中央部にあたり、その後基板の周囲に向かって拡散するので、従来のように基板の中央部で温調ガスが停滞することがなくなり、有効に均一冷却が行われる。
以下に本発明の最適な実施例を添付図面に基づいて説明する。図1は本発明に係る温調装置を組み込んだ基板処理ラインの平面図、図2は同温調装置の縦断面図、図3は図2のA−A方向断面図である。
基板処理ラインには基板の投入・払い出しステーション1、基板表面の水分を除去するためのベーク装置2、温調装置3、スピンレス塗布装置4、プリベーク装置5、温調装置3、露光装置6、現像装置7、ポストベーク装置8及び温調装置3が基板の搬送ラインに沿って配置されている。
上記したように基板処理ラインには複数箇所に温調装置3が配置されている。温調装置3は、処理室10の上方を内部を空洞としたケース11で閉塞し、このケース11には下方に向かって開放される凹部12が形成され、またケース11の上面には冷却用空気などの温調ガスを導入する配管13が接続されている。この配管13はケース11の四隅に側方から接続してもよい。また配管13の途中には高機能フィルタを設け、空気中のゴミ、塵埃を除去された空気がケース11内に供給される。
前記ケース11の凹部12を画成する内側壁には凹部12の内方に向かって温調ガスを噴出する開口14が多数形成されている。開口14は周方向に沿って1段状に形成しているが2段或いは3段など多段状に形成してもよい。
また前記ケース11下方の処理室10内には水冷式のクールプレート15が配置され、このクールプレート15をピン16が貫通し、このピン16を処理室10の下方に配置したシリンダユニット17で昇降せしめるようにし、更に処理室10の側面にはシリンダユニット18によって開閉せしめられるシャッタ19を設けている。
以上において、シャッタ19を開状態にし、処理室10外に配置したロボット20によって基板Wを処理室10内に搬入しピン16上に受け渡し、ピン16を下げて基板Wをクールプレート15上に載置し、次いで、シャッタ19を閉じ、ケース11内に温調ガス(冷却空気)を供給する。
すると、温調ガス(冷却空気)は開口14から凹部12の内方に向かって噴出する。そして噴出したガスは凹部12の中央付近で衝突し下方に流れる。下方に向かう温調ガスは基板Wの中央付近において基板Wに接触し、進路を基板外側に変え、クールプレート下部に設けられている排気口23より排出される。
温調装置を密閉式にすることで、外部からのパーティクルの侵入を防止することができ、また、排気口から温調ガスを排出するようにしたことで温調ガスの停滞を更に抑制することができ、基板全面を均一に冷却する効果が高まる。
なお、排気口は処理室内のどの場所に設けても良いが、処理室内下部の基板Wの下方に設置することにより、温調ガスを効率的に基板全面に行き渡らせることができて好ましい。なお、排気は吸引ポンプなどにより強制的に吸引しても良いし、特別な吸引手段を講じなくても良い。
また、図2では排気口を1つ設けた例が記載されているが、処理室内下部の外周近傍付近に均等間隔に複数設置することにより、温調ガスの停滞が防止されると共に、冷却効果の均一性が更に高まるので好ましい。
本願にあっては、温調ガスは一旦中央に集まって下方に向かって基板表面に供給される際に、外側に供給される温調ガスの量が少なくなるので中央部で温調ガスが停滞することがない。その結果、基板を均一に冷却することができる。
図4は別実施例を示す図2と同様の図であり、この実施例にあっては理室10の側面を開放して基板の搬入口21及び搬出口22を形成している。このような構成とすることで、中央部での温調ガスの停滞を更に効果的に防止することができる。
1…投入・払い出しステーション、2…ベーク装置、3…温調装置、4…スピンレス塗布装置、5…プリベーク装置、6…露光装置、7…現像装置、8…ポストベーク装置、10…処理室、11…ケース、12…凹部、13…配管、14…開口、15…クールプレート、16…ピン、17,18…シリンダユニット、19…シャッタ、20…ロボット、21…搬入口、22…搬出口、23…排気口、W…基板。
Claims (2)
- 基板の表面に温調ガスを供給する温調装置において、この温調装置は下方に向かって開放される凹部を有するケースを備え、このケースは内部を空洞として外部から空洞内に温調ガスが供給され、更に前記凹部を画成する内側壁には凹部の内方に向かって温調ガスを噴出する開口が多数形成されていることを特徴とする温調装置。
- 請求項1に記載の温調装置において、前記ケースの下方には水冷式のクールプレートが配置されていることを特徴とする温調装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007152389A JP2008306016A (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 温調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007152389A JP2008306016A (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 温調装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008306016A true JP2008306016A (ja) | 2008-12-18 |
Family
ID=40234452
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007152389A Pending JP2008306016A (ja) | 2007-06-08 | 2007-06-08 | 温調装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008306016A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021093479A (ja) * | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 株式会社Screenホールディングス | 冷却装置、冷却方法および半導体パッケージの製造方法 |
-
2007
- 2007-06-08 JP JP2007152389A patent/JP2008306016A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021093479A (ja) * | 2019-12-12 | 2021-06-17 | 株式会社Screenホールディングス | 冷却装置、冷却方法および半導体パッケージの製造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6781031B2 (ja) | 基板処理方法及び熱処理装置 | |
JP4410119B2 (ja) | 洗浄装置、塗布、現像装置及び洗浄方法 | |
KR102541370B1 (ko) | 가열 처리 장치 및 가열 처리 방법 | |
CN109768001B (zh) | 基板处理装置、基板处理方法以及存储介质 | |
KR20080080925A (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP5508709B2 (ja) | 塗布処理装置および基板処理装置 | |
TWI540615B (zh) | 基板處理方法、電腦記憶媒體及基板處理系統 | |
TW201533782A (zh) | 排放流展開之阻板-豎管以使遠程電漿窗清洗最佳化 | |
US20090001071A1 (en) | Method and System for Cooling a Bake Plate in a Track Lithography Tool | |
JP2006191032A (ja) | 半導体ウェーハのベーキング装置 | |
KR101237126B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP2008306016A (ja) | 温調装置 | |
WO2007094229A1 (ja) | 基板の処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 | |
JP4662479B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR102039429B1 (ko) | 단열 기능을 갖는 웨이퍼 센서 및 그 제조 방법 | |
KR101985754B1 (ko) | 공조 장치 및 그것을 갖는 기판 처리 장치 | |
US8517035B2 (en) | Processing apparatus and method | |
JP6161365B2 (ja) | 被加工物のエッチング方法 | |
TW586139B (en) | Dynamic flow pattern controller for uniformity control and the method thereof | |
KR20100089317A (ko) | 베이크 장치 | |
JP2021005737A (ja) | 熱処理方法及び熱処理装置 | |
KR100596848B1 (ko) | 플레이트 냉각 장치 | |
KR20070079769A (ko) | 웨이퍼 냉각 장치 및 이를 포함하는 반도체 소자 제조 설비 | |
JP2020107712A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JPH10135125A (ja) | ガス処理方法および装置 |