CN108807243A - 一种可旋转角度的固晶头机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种可旋转角度的固晶头机构，包括主轴、吸嘴和传动系统，所述主轴设有与其轴向平行的中空结构，所述中空结构的底端连通所述吸嘴；所述传动系统包括步进电机，主动轮和从动轮；所述主动轮和所述从动轮等高设置，并通过同步带连接，所述从动轮与所述主轴套接；所述主动轮与所述步进电机的驱动轴套接；所述主轴上套接有位于所述从动轮上方的遮光片；该可旋转角度的固晶头机构还包括一个用于检测所述遮光片位置的传感器。其技术效果是：在一台固晶机上就可以实现对晶粒任意角度贴装，降低运营成本提高固晶效率，操作简便，稳定，可靠。

Description

一种可旋转角度的固晶头机构
技术领域
本发明涉及固晶机领域的一种可旋转角度的固晶头机构。
背景技术
固晶机在LED，通信，半导体行业内应用较为广泛。其现有的工艺为:先将扩好的晶圆蓝膜放置在WF平台上,对晶粒进行角度校正后按照统一角度进行贴装。要实现在同一片材料上进行多角度贴装,就要使用多台固晶机进行转机操作，这样就会增加生产成本，降低效率。
发明内容
本发明的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种可旋转角度的固晶头机构，其在一台固晶机上就可以实现对晶粒任意角度贴装，降低运营成本提高固晶效率，操作简便，稳定，可靠。
实现上述目的的一种技术方案是：一种可旋转角度的固晶头机构，包括主轴、吸嘴和传动系统，所述主轴设有与其轴向平行的中空结构，所述中空结构的底端连通所述吸嘴；
所述传动系统包括步进电机，主动轮和从动轮；
所述主动轮和所述从动轮等高设置，并通过同步带连接，所述从动轮与所述主轴套接；所述主动轮与所述步进电机的驱动轴套接；
所述主轴上套接有位于所述从动轮上方的遮光片；
该可旋转角度的固晶头机构还包括一个用于检测所述遮光片位置的传感器。
进一步的，所述从动轮的直径大于所述主动轮的直径。
进一步的，所述主轴通过一个可上下浮动的轴承座支撑，所述主轴与所述轴承座之间设有在所述遮光片上方与所述主轴套接的上轴承，以及在所述从动轮下方与所述主轴套接的下轴承。
再进一步的，所述轴承座包括竖直设置的轴承座面板，以及水平设置在所述轴承座面板正面的上轴承支座和下轴承支座；
所述主轴与所述上轴承以及所述下轴承均过盈配合，所述上轴承通过上轴承支座夹持固定，所述下轴承通过所述下轴承支座夹持固定。
更进一步的；所述轴承座通过交叉滚珠导轨实现上下浮动；
所述交叉滚珠导轨与所述轴承座面板的背面配合；
所述交叉滚珠导轨面向所述轴承座面板的一侧设有使所述交叉滚珠导轨与所述轴承座面板压接的拉簧。
还要进一步的，所述轴承座面板的背面设有限位机构；所述交叉滚珠导轨的顶面对应设有限位螺钉。
再进一步的，所述轴承座设有一根连接所述传感器的水平连杆。
进一步的，所述步进电机是固定设置的。
进一步的，所述找中空结构的顶端连通旋转接头。
进一步的，所述同步带的宽度小于等于4mm。
采用了本发明的一种可旋转角度的固晶头机构的技术方案，包括主轴、吸嘴和传动系统，所述主轴设有与其轴向平行的中空结构，所述中空结构的底端连通所述吸嘴；所述传动系统包括步进电机，主动轮和从动轮；所述主动轮和所述从动轮等高设置，并通过同步带连接，所述从动轮与所述主轴套接；所述主动轮与所述步进电机的驱动轴套接；所述主轴上套接有位于所述从动轮上方的遮光片；该可旋转角度的固晶头机构还包括一个用于检测所述遮光片位置的传感器。其技术效果是：在一台固晶机上就可以实现对晶粒任意角度贴装，降低运营成本提高固晶效率，操作简便，稳定，可靠。
附图说明
图1本发明的一种可旋转角度的固晶头机构的爆炸图。
图2本发明的一种可旋转角度的固晶头机构的立体图。
具体实施方式
请参阅图1和图2，本发明的发明人为了能更好地对本发明的技术方案进行理解，下面通过具体地实施例，并结合附图进行详细地说明：
请参阅图1和图2，本发明的一种可旋转角度的固晶头机构，包括吸嘴1、主轴2、遮光片5、旋转接头6、交叉滚珠导轨8、传感器10、轴承座12。
其中轴承座12包括竖直设置的轴承座面板121，以及水平设置在轴承座面板121正面的上轴承支座122和下轴承支座123，水平设置在轴承座面板121背面的轴承座限位机构124。
交叉滚珠导轨8竖直设置，通过侧面的紧定螺丝81调整成预紧配合，消除配合间隙提高精度。交叉滚珠导轨8的面向轴承座12的轴承座面板121的一侧设有使交叉滚珠导轨8与轴承座12的轴承座面板121的背面压接的拉簧9。交叉滚珠导轨8顶面设有与轴承座12的轴承座面板121背面的限位机构124对应的限位螺钉82。交叉滚珠导轨8用于实现轴承座12的上下浮动，其优点是刚性好，可调整到轴承座12的轴承座面板121与交叉滚珠导轨8无间隙，实现定位高精度一致性。
交叉滚珠导轨8上还设有一根水平连杆101，水平连杆101的自由端连接传感器10。
主轴2竖直贯穿上轴承座122和下轴承座123。主轴2与上轴承座122之间设有上轴承131，主轴2与下轴承座123之间设有下轴承132。主轴2与上轴承131以及下轴承132均过盈配合，上轴承131通过上轴承支座122夹持固定，下轴承132通过下轴承支座123夹持固定，这样的设计可以消除主轴2和上轴承131和下轴承132的配合间隙，实现较高的重复定位精度。
本发明一种可旋转角度的固晶头机构还包括一套传动系统，该传动系统包括主动轮7、从动轮4、同步带3和步进电机11。主动轮7和从动轮4等高设置，其中从动轮4在下轴承支座123和上轴承支座122之间与主轴2套接，主动轮7在步进电机11的下方与步进电机11的驱动轴套接，主动轮7和从动轮4之间通过同步带3连接，主动轮7的直径小于从动轮4的直径，提高传感器10根据遮光片5进行角度分辨的分辨率，同步带3的宽度小于等于4mm，以减少本发明的一种可旋转角度的固晶头机构在轴承座12带动下进行上下浮动时的阻力。步进电机11固定设置不随主轴2上下浮动，其优点是减少浮动部分负载重量，提高寿命和可靠性。
主轴2上还套接有位于从动轮7上方的与传感器10位置对应的遮光片5。本实施例中，遮光片5与传感器10等高，传感器10上设有在主轴2旋转过程中，供遮光片5穿过的检测槽102。
主轴2具有与其轴向平行的中空结构，所述中空结构的底端连通吸嘴1，所述中空结构的顶端连通旋转接头6，旋转接头6连通抽气管，所述抽气管接通真空气路。这样的设计在主轴2旋转时，保证吸嘴1内的真空。实现对晶粒的取放。同时主轴2旋转时所述抽气管相对静止不会发生缠绕现象。
本发明的一种可旋转角度的固晶头机构启动前先完成复位，步进电机11旋转带动主轴2和遮光片5恢复至原点，使传感器10感应到遮光片5位置。
吸嘴取晶完成上升时，步进电机11开始驱动主轴2转动到设定的角度，然后吸嘴移动到固晶位置，固晶完成后，步进电机11旋转带动主轴2和遮光片5恢复至原点后去取晶，重复以上动作实现一个固晶周期。
本发明的本发明的一种可旋转角度的固晶头机构在一台固晶机上就可以实现对晶粒任意角度贴装，降低运营成本提高固晶效率，操作简便，稳定，可靠。
本技术领域中的普通技术人员应当认识到，以上的实施例仅是用来说明本发明，而并非用作为对本发明的限定，只要在本发明的实质精神范围内，对以上所述实施例的变化、变型都将落在本发明的权利要求书范围内。

Claims (10)

1.一种可旋转角度的固晶头机构，包括主轴、吸嘴和传动系统，所述主轴设有与其轴向平行的中空结构，所述中空结构的底端连通所述吸嘴，其特征在于：
所述传动系统包括步进电机，主动轮和从动轮；
所述主动轮和所述从动轮等高设置，并通过同步带连接，所述从动轮与所述主轴套接；所述主动轮与所述步进电机的驱动轴套接；
所述主轴上套接有位于所述从动轮上方的遮光片；
该可旋转角度的固晶头机构还包括一个用于检测所述遮光片位置的传感器。
2.根据权利要求1所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述从动轮的直径大于所述主动轮的直径。
3.根据权利要求1所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述主轴通过一个可上下浮动的轴承座支撑，所述主轴与所述轴承座之间设有在所述遮光片上方与所述主轴套接的上轴承，以及在所述从动轮下方与所述主轴套接的下轴承。
4.根据权利要求3所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述轴承座包括竖直设置的轴承座面板，以及水平设置在所述轴承座面板正面的上轴承支座和下轴承支座；
所述主轴与所述上轴承以及所述下轴承均过盈配合，所述上轴承通过上轴承支座夹持固定，所述下轴承通过所述下轴承支座夹持固定。
5.根据权利要求4所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述轴承座通过交叉滚珠导轨实现上下浮动；
所述交叉滚珠导轨与所述轴承座面板的背面配合；
所述交叉滚珠导轨面向所述轴承座面板的一侧设有使所述交叉滚珠导轨与所述轴承座面板压接的拉簧。
6.根据权利要求5所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述轴承座面板的背面设有限位机构；所述交叉滚珠导轨的顶面对应设有限位螺钉。
7.根据权利要求3所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述轴承座设有一根连接所述传感器的水平连杆。
8.根据权利要求1所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述步进电机是固定设置的。
9.根据权利要求1所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述找中空结构的顶端连通旋转接头。
10.根据权利要求1所述的一种可旋转角度的固晶头机构，其特征在于：所述同步带的宽度小于等于4mm。
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