CN108789069A - 一种新型的半导体材料生产技术设备 - Google Patents

一种新型的半导体材料生产技术设备 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种新型的半导体材料生产技术设备，包括生产主体，所述生产主体内部设有第一滑行腔，所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽，所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔，所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔，所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔，左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮，所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮，所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架，所述安装架内设有抛光装置。

Description

一种新型的半导体材料生产技术设备
技术领域
本发明涉及半导体材料生产技术领域，具体为一种新型的半导体材料生产技术设备。
背景技术
半导体材料在生产加工过程中，外表面容易出现部平整，一般需要进行抛光工作，传统的抛光方式速度慢效率低，同时在抛光过程中碎屑飞溅、磨屑飘扬，损害对操作人员的健康，且抛光操作步骤繁琐，因此亟需研发一种抛光效果好、省时省力、工作效率高的新型的半导体材料生产技术设备。
发明内容
本发明的目的在于提供一种，用于克服现有技术中的上述缺陷。
根据本发明的一种新型的半导体材料生产技术设备，包括生产主体，所述生产主体内部设有第一滑行腔，所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽，所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔，所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔，所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔，左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮，所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮，所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架，所述安装架内设有抛光装置，所述第二滑行腔内滑动配合连接有安装台，所述导引槽与所述第二滑行腔之间的部分内间隙配合连接有上下延伸设置的转向杆，所述转向杆顶部延伸末端伸进所述导引槽内且与所述第一锥形轮底部末端动力配合连接，所述转向杆底部延伸末端伸进所述第二滑行腔内且与所述第二滑行腔内底壁转动配合连接，所述导引槽内的所述转向杆上设有第一螺形部，所述第二滑行腔内的所述转向杆上设有第二螺形部，所述第一螺形部上螺纹配合连接有与所述安装架固定配合连接的导引块，所述第二螺形部与所述安装台螺纹配合连接，所述安装台顶部端面内设有与所述通腔相对设置的放置槽，所述放置槽前侧端贯穿所述安装台前侧端面，所述放置槽内底壁内设有沉槽，所述沉槽左侧内壁内相通设有向上延伸设置的推行槽，所述推行槽右侧顶部延伸末端与放置槽左侧端相通设置，所述推行槽内滑动配合连接有推行块，所述推行块内设有穿槽，所述穿槽内滑动配合连接有上下延伸设置的导引杆，所述导引杆上下延伸末端分别与所述推行槽上下内壁固定连接，所述导引杆左侧的所述穿槽内顶压配合连接有弹力片，所述推行块左侧末端固设有斜形部，位于所述通腔左侧的所述第二滑行腔内顶部上固设有斜形块，所述斜形块相对的所述安装台的顶部端面内开设有与所述推行槽左侧末端相通设置的口腔，所述放置槽后侧内壁内固设有推出装置，所述生产主体前侧端面内设有与所述第二滑行腔相通的半导体放入口，所述生产主体左右两侧端面还设置有手抬装置。
进一步的技术方案，所述第一锥形轮上侧的所述传递腔内设有左右延伸设置的转向轴，所述转向轴左侧延伸末端与第一电动机动力配合连接，所述第一电动机外表面固嵌于所述传递腔左侧内壁内，所述转向轴右侧延伸末端与所述传递腔右侧内壁转动配合连接。
进一步的技术方案，所述抛光装置设置在所述安装架底部端面内的转向槽以及转动配合连接设置在所述转向槽内的转向盘，所述转向槽内顶壁内固设有底部末端与所述转向盘顶部端面动力配合连接的第二电动机，所述转向盘底部端面内设有调节槽，所述调节槽内滑动配合连接有调节块，所述调节块内螺纹配合连接有左右延伸设置的螺形杆，所述螺形杆左侧延伸末端与第三电动机动力配合连接，所述第三电动机外表面固嵌于所述调节槽左侧内壁内，所述螺形杆右侧延伸末端与所述调节槽右侧内壁转动配合连接，所述调节块底部端面内固设有第四电动机，所述第四电动机底部末端动力连接有伸出所述调节块底部端面外的抛光轮。
进一步的技术方案，所述第一螺形部和所述第二螺形部螺纹方向反向设置。
进一步的技术方案，所述沉槽内滑动配合连接有与所述推行块右侧端固定配合连接的导引板。
进一步的技术方案，所述推出装置包括推出板以及动力配合连接设置在所述推出板后侧末端的液压缸。
进一步的技术方案，所述手抬装置包括对称固设在所述生产主体左右两侧的手抬架，所述手抬架中嵌贯穿设有手抬孔。
本发明的有益效果是：本发明结构简单，操作方便，通过将需要抛光的半导体材料安放在放置槽内，此时，通过第一电动机控制转向轴转动，由转向轴上的第二锥形轮带动第一锥形轮转动，并由第一锥形轮带动转向杆转动，由转向杆上的第一螺形部带动导引块滑动至导引槽内的最底部位置，同时，由导引块带动安装架滑动至第一滑行腔内的最底部位置，此时，由转向杆上的第二螺形部带动安装台移动至第二滑行腔内最顶部位置，同时，使斜形块经口腔最大程度伸进推行槽 内，此时，由斜形块与斜形部最大程度顶压滑动配合连接，同时，由斜形部带动推行块最大程度克服弹力片顶压力，使推行块右侧末端与需要加工的半导体材料顶压配合连接，同时，由于安装架滑动至第一滑行腔内的最底部位置，此时，使安装架带动调节块底部的抛光轮与需要加工的半导体材料顶部端面相抵接，然后通过控制第四电动机转动，进而实现高效抛光工作，通过第二电动机以及第三电动机的工作，从而实现抛光轮的不同方位的调节工作，同时，能实现自动控制锁定以及解锁工作，大大提高抛光效率，减少了操作步骤，提高了抛光运行的稳定性，进而提高了抛光质量。
附图说明
图1是本发明中一种新型的半导体材料生产技术设备整体内部结构示意图；
图2是本发明中安装架的内部结构示意图；
图3是本发明一种新型的半导体材料生产技术设备外部整体结构示意图；
图4是本发明中推出装置的整体结构示意图。
具体实施方式
下面结合图1-4对本发明进行详细说明。
参照图1-4，根据本发明的实施例的一种新型的半导体材料生产技术设备，包括生产主体6，所述生产主体6内部设有第一滑行腔61，所述第一滑行腔61左右两侧内壁内相对称设有导引槽64，所述第一滑行腔61下侧的所述生产主体6内设有第二滑行腔62，所述第一滑行腔61与所述第二滑行腔62之间的部分内贯通设有通腔66，所述第一滑行腔61上侧的所述生产主体6内设有传递腔63，左右两侧所述导引槽64与所述传递腔63之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔63内的第一锥形轮631，所述转向轴632上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮631动力配合连接的第二锥形轮633，所述第一滑行腔61内滑动配合连接有安装架8，所述安装架8内设有抛光装置，所述第二滑行腔62内滑动配合连接有安装台621，所述导引槽64与所述第二滑行腔62之间的部分内间隙配合连接有上下延伸设置的转向杆65，所述转向杆65顶部延伸末端伸进所述导引槽64内且与所述第一锥形轮631底部末端动力配合连接，所述转向杆65底部延伸末端伸进所述第二滑行腔62内且与所述第二滑行腔62内底壁转动配合连接，所述导引槽64内的所述转向杆65上设有第一螺形部，所述第二滑行腔62内的所述转向杆65上设有第二螺形部，所述第一螺形部上螺纹配合连接有与所述安装架8固定配合连接的导引块641，所述第二螺形部与所述安装台621螺纹配合连接，所述安装台621顶部端面内设有与所述通腔66相对设置的放置槽622，所述放置槽622前侧端贯穿所述安装台621前侧端面，所述放置槽622内底壁内设有沉槽623，所述沉槽623左侧内壁内相通设有向上延伸设置的推行槽625，所述推行槽625右侧顶部延伸末端与放置槽622左侧端相通设置，所述推行槽625内滑动配合连接有推行块627，所述推行块627内设有穿槽6272，所述穿槽6272内滑动配合连接有上下延伸设置的导引杆6274，所述导引杆6274上下延伸末端分别与所述推行槽625上下内壁固定连接，所述导引杆6274左侧的所述穿槽6272内顶压配合连接有弹力片6273，所述推行块627左侧末端固设有斜形部6271，位于所述通腔66左侧的所述第二滑行腔62内顶部上固设有斜形块628，所述斜形块628相对的所述安装台621的顶部端面内开设有与所述推行槽625左侧末端相通设置的口腔626，所述放置槽622后侧内壁内固设有推出装置7，所述生产主体6前侧端面内设有与所述第二滑行腔62相通的半导体放入口67，所述生产主体6左右两侧端面还设置有手抬装置。
有益地或示例性地，所述第一锥形轮631上侧的所述传递腔63内设有左右延伸设置的转向轴632，所述转向轴632左侧延伸末端与第一电动机634动力配合连接，所述第一电动机634外表面固嵌于所述传递腔63左侧内壁内，所述转向轴632右侧延伸末端与所述传递腔63右侧内壁转动配合连接，从而实现自动控制所述第一锥形轮631带动所述转向杆65的转动工作，进而实现由转向杆65带动安装架8以及安装台621的移动工作。
有益地或示例性地，所述抛光装置设置在所述安装架8底部端面内的转向槽81以及转动配合连接设置在所述转向槽81内的转向盘82，所述转向槽81内顶壁内固设有底部末端与所述转向盘82顶部端面动力配合连接的第二电动机811，所述转向盘82底部端面内设有调节槽821，所述调节槽821内滑动配合连接有调节块824，所述调节块824内螺纹配合连接有左右延伸设置的螺形杆822，所述螺形杆822左侧延伸末端与第三电动机823动力配合连接，所述第三电动机823外表面固嵌于所述调节槽821左侧内壁内，所述螺形杆822右侧延伸末端与所述调节槽821右侧内壁转动配合连接，所述调节块824底部端面内固设有第四电动机825，所述第四电动机825底部末端动力连接有伸出所述调节块824底部端面外的抛光轮826，从而实现自动控制多方位的抛光工作，提高了工作效率以及质量。
有益地或示例性地，所述第一螺形部和所述第二螺形部螺纹方向反向设置，从而实现安装架8与安装台621相对以及相背的移动工作。
有益地或示例性地，所述沉槽623内滑动配合连接有与所述推行块627右侧端固定配合连接的导引板624。
有益地或示例性地，所述推出装置7包括推出板71以及动力配合连接设置在所述推出板71后侧末端的液压缸72。
有益地或示例性地，所述手抬装置包括对称固设在所述生产主体6左右两侧的手抬架601，所述手抬架601中嵌贯穿设有手抬孔602，从而方便对本装置进行搬运。
初始状态时，导引块641位于导引槽64内的最顶部位置，此时，由导引块641带动安装架8内的最顶部位置，同时，安装台621位于第二滑行腔62内的最底部位置，此时，使得安装台621前侧端与半导体放入口67处于相对位置，同时，推行块627受到弹力片6273顶压力，使推行块627带动斜形部6271最大程度位于推行槽625内的最左侧位置，同时，使推行块627完全位于推行槽625内。
当需要抛光加工时，首先将需要抛光的半导体材料安放在放置槽622内，此时，通过第一电动机634控制转向轴632转动，由转向轴632上的第二锥形轮633带动第一锥形轮631转动，并由第一锥形轮631带动转向杆65转动，由转向杆65上的第一螺形部带动导引块641滑动至导引槽64内的最底部位置，同时，由导引块641带动安装架8滑动至第一滑行腔61内的最底部位置，此时，由转向杆65上的第二螺形部带动安装台621移动至第二滑行腔62内最顶部位置，同时，使斜形块628经口腔626最大程度伸进推行槽625 内，此时，由斜形块628与斜形部6271最大程度顶压滑动配合连接，同时，由斜形部6271带动推行块627最大程度克服弹力片6273顶压力，使推行块627右侧末端与需要加工的半导体材料顶压配合连接，同时，由于安装架8滑动至第一滑行腔61内的最底部位置，此时，使安装架8带动调节块824底部的抛光轮826与需要加工的半导体材料顶部端面相抵接，然后通过控制第四电动机825转动，进而实现高效抛光工作，通过第二电动机811以及第三电动机823的工作，当抛光完成后，使安装台621移动至初始位置，然后通过推出装置7将抛光完成的半导体材料推出。
本发明的有益效果是：本发明结构简单，操作方便，通过将需要抛光的半导体材料安放在放置槽内，此时，通过第一电动机控制转向轴转动，由转向轴上的第二锥形轮带动第一锥形轮转动，并由第一锥形轮带动转向杆转动，由转向杆上的第一螺形部带动导引块滑动至导引槽内的最底部位置，同时，由导引块带动安装架滑动至第一滑行腔内的最底部位置，此时，由转向杆上的第二螺形部带动安装台移动至第二滑行腔内最顶部位置，同时，使斜形块经口腔最大程度伸进推行槽 内，此时，由斜形块与斜形部最大程度顶压滑动配合连接，同时，由斜形部带动推行块最大程度克服弹力片顶压力，使推行块右侧末端与需要加工的半导体材料顶压配合连接，同时，由于安装架滑动至第一滑行腔内的最底部位置，此时，使安装架带动调节块底部的抛光轮与需要加工的半导体材料顶部端面相抵接，然后通过控制第四电动机转动，进而实现高效抛光工作，通过第二电动机以及第三电动机的工作，从而实现抛光轮的不同方位的调节工作，同时，能实现自动控制锁定以及解锁工作，大大提高抛光效率，减少了操作步骤，提高了抛光运行的稳定性，进而提高了抛光质量。
本领域的技术人员可以明确，在不脱离本发明的总体精神以及构思的情形下，可以做出对于以上实施例的各种变型。其均落入本发明的保护范围之内。本发明的保护方案以本发明所附的权利要求书为准。

Claims (7)

1.一种新型的半导体材料生产技术设备，包括生产主体，其特征在于：所述生产主体内部设有第一滑行腔，所述第一滑行腔左右两侧内壁内相对称设有导引槽，所述第一滑行腔下侧的所述生产主体内设有第二滑行腔，所述第一滑行腔与所述第二滑行腔之间的部分内贯通设有通腔，所述第一滑行腔上侧的所述生产主体内设有传递腔，左右两侧所述导引槽与所述传递腔之间的部分内转动配合连接有伸进所述传递腔内的第一锥形轮，所述转向轴上固设有左右对称设置且分别与左右两侧所述第一锥形轮动力配合连接的第二锥形轮，所述第一滑行腔内滑动配合连接有安装架，所述安装架内设有抛光装置，所述第二滑行腔内滑动配合连接有安装台，所述导引槽与所述第二滑行腔之间的部分内间隙配合连接有上下延伸设置的转向杆，所述转向杆顶部延伸末端伸进所述导引槽内且与所述第一锥形轮底部末端动力配合连接，所述转向杆底部延伸末端伸进所述第二滑行腔内且与所述第二滑行腔内底壁转动配合连接，所述导引槽内的所述转向杆上设有第一螺形部，所述第二滑行腔内的所述转向杆上设有第二螺形部，所述第一螺形部上螺纹配合连接有与所述安装架固定配合连接的导引块，所述第二螺形部与所述安装台螺纹配合连接，所述安装台顶部端面内设有与所述通腔相对设置的放置槽，所述放置槽前侧端贯穿所述安装台前侧端面，所述放置槽内底壁内设有沉槽，所述沉槽左侧内壁内相通设有向上延伸设置的推行槽，所述推行槽右侧顶部延伸末端与放置槽左侧端相通设置，所述推行槽内滑动配合连接有推行块，所述推行块内设有穿槽，所述穿槽内滑动配合连接有上下延伸设置的导引杆，所述导引杆上下延伸末端分别与所述推行槽上下内壁固定连接，所述导引杆左侧的所述穿槽内顶压配合连接有弹力片，所述推行块左侧末端固设有斜形部，位于所述通腔左侧的所述第二滑行腔内顶部上固设有斜形块，所述斜形块相对的所述安装台的顶部端面内开设有与所述述推行槽左侧末端相通设置的口腔，所述放置槽后侧内壁内固设有推出装置，所述生产主体前侧端面内设有与所述第二滑行腔相通的半导体放入口，所述生产主体左右两侧端面还设置有手抬装置。
2.根据权利要求1所述的一种新型的半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述第一锥形轮上侧的所述传递腔内设有左右延伸设置的转向轴，所述转向轴左侧延伸末端与第一电动机动力配合连接，所述第一电动机外表面固嵌于所述传递腔左侧内壁内，所述转向轴右侧延伸末端与所述传递腔右侧内壁转动配合连接。
3.根据权利要求1所述的一种新型的半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述抛光装置设置在所述安装架底部端面内的转向槽以及转动配合连接设置在所述转向槽内的转向盘，所述转向槽内顶壁内固设有底部末端与所述转向盘顶部端面动力配合连接的第二电动机，所述转向盘底部端面内设有调节槽，所述调节槽内滑动配合连接有调节块，所述调节块内螺纹配合连接有左右延伸设置的螺形杆，所述螺形杆左侧延伸末端与第三电动机动力配合连接，所述第三电动机外表面固嵌于所述调节槽左侧内壁内，所述螺形杆右侧延伸末端与所述调节槽右侧内壁转动配合连接，所述调节块底部端面内固设有第四电动机，所述第四电动机底部末端动力连接有伸出所述调节块底部端面外的抛光轮。
4.根据权利要求1所述的一种新型的半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述第一螺形部和所述第二螺形部螺纹方向反向设置。
5.根据权利要求1所述的一种新型的半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述沉槽内滑动配合连接有与所述推行块右侧端固定配合连接的导引板。
6.根据权利要求1所述的一种新型的半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述推出装置包括推出板以及动力配合连接设置在所述推出板后侧末端的液压缸。
7.根据权利要求1所述的一种新型的半导体材料生产技术设备，其特征在于：所述手抬装置包括对称固设在所述生产主体左右两侧的手抬架，所述手抬架中嵌贯穿设有手抬孔。
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