CN108778480B - 液体供给系统及其驱动方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供安全地供给液体(例如刺激性药液)的系统。液体供给系统具有：a)驱动第一减压机构对处理室进行减压而使处理室形成负压的机构；b)将处理室的负压导入计量室中的机构；c)保持被导入计量室中的负压的机构；d)利用计量室的负压，将液体从容器吸引到计量室的机构；e)利用处理室的真空，将计量室的液体吸引到处理室的机构。

Description

液体供给系统及其驱动方法
技术领域
本发明涉及供给液体的系统及其驱动方法。本发明特别涉及安全且可靠地供给容器中收容的液体(例如药液)的系统及其驱动方法。
背景技术
在专利文献1(WO2011/038487)中公开了使用过乙酸等液体的灭菌装置。这种装置中使用的液体的刺激作用较强，当与皮肤接触时，可能引起炎症。因此，在设计液体供给装置时，优选药剂不与皮肤接触。另外，期望准确计量液体。
在先技术文献
专利文献1：WO2011/038487
发明内容
发明要解决的技术问题
本发明的目的在于，提供能够准确地计量要供给的液体的量的新颖的液体供给系统及其驱动方法。
用于解决技术问题的手段
本发明的液体供给系统的优选方式的特征在于，所述液体供给系统具有：处理室121，其具有规定容积的空间122；第一减压机构123，其对所述处理室121的空间122进行减压；容器20，其收容液体；计量室151，其计量所述液体；第一通路111，其经由所述计量室151而将所述容器20和所述处理室121连接；第一阀131，其在所述第一通路111上被设置于所述容器20与所述计量室151之间；第二阀132，其在所述第一通路111上被设置于所述计量室151与所述处理室121之间；以及控制部90，其对所述减压机构121、所述第一阀131、以及所述第二阀132进行控制，所述控制部90具有：a)第一机构，其执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；b)第二机构，其执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；c)第三机构，其执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；d)第四机构，其执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及e)第五机构，其执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室。
本发明的液体供给系统的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统具有：分支部141，其位于所述第一通路111上，被设置于所述容器20与所述第一阀131之间；第二通路112，其一端与所述分支部141连接；第二减压机构153，其与所述第二通路112的另一端连接；以及暂时贮藏室154和第三阀133，它们从所述一端朝向所述另一端依次设置在所述第二通路112上，所述液体供给系统具有f)第六机构，该第六机构执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述暂时贮藏室为止的所述第二通路部分。
本发明的液体供给系统的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统具有第七机构，该第七机构执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器20到所述第三阀133为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器20。
本发明的液体供给系统的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统具有：分支部241，其位于所述第一通路211上，被设置于所述容器20与所述第一阀231之间；第二通路212，其一端与所述分支部241连接；第二减压机构253，其与所述第二通路212的另一端连接；以及第三阀233，其被设置在所述第二通路212上，所述液体供给系统具有f)第六机构，该第六机构执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述第三阀为止的所述第二通路部分。
本发明的液体供给系统的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统具有第七机构，该第七机构执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器20到所述第三阀233为止的所述第二通路部分的所述液体返回到所述容器20。
本发明的液体供给系统的另一个方式中，所述液体供给系统具有将所述第二处理到所述第五处理重复两次以上的单元。
本发明的液体供给系统的驱动方法的优选方式中，所述液体供给系统具有：处理室121，其具有规定容积的空间122；第一减压机构123，其对所述处理室121的空间122进行减压；容器20，其收容液体；计量室151，其计量所述液体；第一通路111，其经由所述计量室151而将所述容器20和所述处理室121连接；第一阀131，其在所述第一通路111上被设置于所述容器20与所述计量室151之间；第二阀132，其在所述第一通路111上被设置于所述计量室151与所述处理室121之间；以及控制部90，其对所述第一减压机构123、所述第一阀131、以及所述第二阀131进行控制，所述液体供给系统的驱动方法的特征在于，具有以下工序：a)第一工序，执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；b)第二工序，执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；c)第三工序，执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；d)第四工序，执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及e)第五工序，执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室。
本发明的液体供给系统的驱动方法的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统具有：分支部141，其在所述第一通路111上被设置于所述容器20与所述第一阀131之间；第二通路112，其一端与所述分支部141连接；第二减压机构153，其与所述第二通路112的另一端连接；以及暂时贮藏室154和第三阀133，它们从所述一端朝向所述另一端依次设置在所述第二通路112上，所述液体供给系统的驱动方法具有f)第六工序，执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述暂时贮藏室为止的所述第二通路部分。
本发明的液体供给系统的驱动方法的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统的驱动方法具有第七工序，执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器20到所述第三阀133为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器20。
本发明的液体供给系统的驱动方法的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统具有：分支部241，其位于所述第一通路211上，被设置于所述容器20与所述第一阀231之间；第二通路212，其一端与所述分支部241连接；第二减压机构253，其与所述第二通路212的另一端连接；以及第三阀233，其被设置在所述第二通路212上，所述液体供给系统的驱动方法具有f)第六工序，执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述第三阀为止的所述第二通路部分。
本发明的液体供给系统的驱动方法的另一个方式的特征在于，所述液体供给系统的驱动方法具有第七工序，执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器20到所述第三阀233为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器20。
本发明的液体供给系统的驱动方法的另一个方式的特征在于，将所述第二处理到所述第五处理重复两次以上。
发明效果
根据这样构成的液体供给系统及其驱动方法，能够准确地计量灭菌剂等液体。
附图说明
图1是本发明的液体供给系统和该液体供给系统中组入的供给单元的局部立体图。
图2是本发明的液体供给系统和该液体供给系统中组入的供给单元的局部立体图。
图3是本发明的液体供给系统和该液体供给系统中组入的供给单元的局部立体图。
图4是本发明的液体供给系统和该液体供给系统中组入的供给单元的局部立体图。
图5是图1～图4所示的供给单元的容器和容器承受部的立体图。
图6是图1～图4所示的供给单元的容器和容器承受部的分解立体图。
图7是图1～图4所示的供给单元的第一移动机构的立体图。
图8是图1～图4所示的供给单元的第二移动机构的立体图。
图9是示出本发明的液体供给系统中组入的实施方式1的计量单元的结构的框图。
图10是示出图9所示的计量单元的动作的流程图。
图11是示出本发明的液体供给系统中组入的实施方式2的计量单元的结构的框图。
图12是示出图11所示的计量单元的动作的流程图。
图13是示出本发明的液体供给系统中组入的实施方式3的计量单元的结构的框图。
图14是示出图13所示的计量单元的动作的流程图。
图15是示出本发明的液体供给系统中组入的实施方式4的计量单元的结构的框图。
图16是示出图15所示的计量单元的动作的流程图。
具体实施方式
下面，对将本发明的液体供给系统应用于气体灭菌装置的实施例进行说明。如公知的那样，气体灭菌装置使用过乙酸等灭菌剂对医疗器具等进行灭菌，但是，本发明的液体供给系统的应用不限于该气体灭菌装置。
1.整体结构
以下说明的实施方式的液体供给系统(整体用标号1表示。)大致具有图1～图3所示的供给单元(整体用标号2表示。)和图9、11、13或15所示的计量单元(10、201、301、或401)。
2.供给单元
对供给单元2的结构进行说明。
2.1：壳体
供给单元2具有收容后述各种结构部件的筐体(壳体)10。为了简化，在附图中仅记载了壳体10的一部分、例如操作时与操作员相面对的前壁11的一部分。
参照图1，在壳体前壁11上形成有用于在壳体10内的规定场所装入后述液体容器(以下简称为“容器”。)20的开口12。优选开口12构成为通过与其适合的形状和大小的门13进行关闭。门的形式没有限定，可以是任意形式(例如单开式、双开式或滑动式)。
实施方式的门13为单开门，具有与开口12的形状对应的形状(例如大致四边形)，从前方观察，左端以能够旋转的方式铰接在壳体10的对应部位(未图示)。优选设置将门13保持在关闭位置(未图示)的闩锁机构。闩锁机构例如也可以具有安装在门13的内表面上的磁性金属片14和安装在壳体10上的磁铁15，在关闭了门13的状态下，磁铁15保持金属片14。
2.2：容器
如图5、6所示，容器20具有收容药液(例如灭菌用的过乙酸)的主体21。在实施方式中，主体21是以在上下方向上延伸的中心轴22为中心的圆筒体，且在上部具有口部。在实施方式中，主体21在口部的周围一体地形成有外螺纹(未图示)，在该外螺纹中装配有盖23。盖顶壁24的中央区域25比其他部分薄，如后所述，优选设计成利用更小的力使中空穿孔针(后述)刺破该中央区域25。
在本发明中，容器20的主体21由塑料、玻璃或金属形成。盖23由塑料或金属形成。
容器20不需要由主体和盖这两个部件构成，也可以由单一部件构成。具体而言，也可以是利用一个材料一体地成形主体、通过主体的一部分上形成的可密封的口部来密封液体的容器。
2.3：容器承受部
如图5、6所示，在开口12的背后配置有形成壳体10的底部的一部分的基台16。在基台16上，与开口12对置地固定有大致L形的容器承受部30。如图6所示，容器承受部30具有支承容器主体21的底部27的下部支承部31以及支承容器主体21的肩部26的上部支承部32。如图所示，下部支承部31具有由与主体底部27的形状对应的大小和形状的圆形隆起部构成的工作台33以及下部半圆筒壁34，该下部半圆筒壁34具有与主体下部的形状对应的大致半圆筒形的凹陷。上部支承部32具有上部半圆筒壁35，该上部半圆筒壁35具有与主体肩部26的形状对应的大致半圆筒形的凹陷。在实施方式中，在连结下部支承部31和上部支承部32的垂直部36上形成有具有容器主体21的圆筒形的凹陷的圆筒壁37。在实施方式中，另外，在下部支承部31上，在工作台33的开口侧形成有突起38。
根据这种实施方式的构造，从开口12装入的容器20从使主体底部27与突起38的内侧(工作台侧)卡合的倾斜状态起，一边抬起容器20一边将主体肩部26推入上部半圆筒壁35中，并且，将主体底部27推入下部半圆筒壁34中进行固定。如图5所示，该状态下，主体底部27由工作台33、下部半圆筒壁34以及突起38限制，另外主体肩部26由上部半圆筒壁35限制，在使容器20的中心轴22与穿过工作台33的中心的垂直轴39一致的直立状态下，容器20的朝向前后、左右、上下的全部方向的移动(水平移动、垂直移动)被限制。
2.4：容器收容室
如图2～图4所示，在实施方式中，在开口12的内侧形成有包围容器承受部30和装配在该容器承受部30上的容器20的腔室、即容器收容室40。容器收容室40由左右的侧壁41、背后的后壁42、顶壁43构成，能够经由开口12相对于外部开放。在顶壁43上形成有以垂直轴39为中心的圆形的窗44，后述中空穿孔针能够穿过该窗44接触到容器20。
左右的侧壁41的与壳体前壁11相邻的部位向上方延伸而形成延长侧壁45。另外，在从壳体前壁11分开的左右的延长侧壁45的后方垂直边缘之间形成有在左右方向上延伸的延长后壁46，顶壁43的前端与该延长后壁46的下端一致，在延长侧壁45、延长后壁46、以及壳体前壁11之间形成有间隙47。
如图1所示，延长后壁46的一部分(下部)在开口12中露出。另外，在与延长后壁46的开口露出面对置的门13的内表面上部设置有后述门锁定机构60的一部分(被卡合部65)。
2.5：针、第一移动机构、锁定机构
如图2～图4所示，在壳体前壁11的背后配置有固定托架(第一固定部)51。固定托架51借助适当部件而间接固定在壳体10上，或者不借助这种部件而直接固定在壳体10上。固定托架51支承驱动部(第一驱动部)52。驱动部52具有电动马达。马达的旋转轴连结着朝向垂直方向的滚珠丝杠53，伴随马达的正反旋转，滚珠丝杠53旋转。滚珠丝杠53借助螺母54而与可动托架(第一可动部)55连结，通过滚珠丝杠53的旋转，可动托架55上下移动。
优选可动托架55设置适当的旋转防止机构，以使得可动托架55不会伴随滚珠丝杠53的旋转而旋转(随动旋转)，而是在上下方向上移动。例如，将与滚珠丝杠53平行延伸的垂直引导件56(参照图7)固定在壳体10或基台16上，并且，限制可动托架55或与其连结的锁定板61(后述)仅沿着垂直引导件56在上下方向上移动。
可动托架55还在容器收容室40的垂直轴39上形成有在上下方向上贯穿可动托架55的孔57(参照图7)。另外，在可动托架55的下表面上，与孔57相邻地固定有中空穿孔针58，中空穿孔针58的内腔的中心轴和孔57的中心轴在垂直轴39(参照图6)上成为一条直线。
中空穿孔针58如其名称那样，通过倾斜切掉中空的圆筒体的下部而形成尖塔部59。中空穿孔针58的材料没有限定，但是，在液体为强酸性或强碱性的情况下，由与液体接触而不会腐蚀的材料形成，或者表面由这种材料包覆。作为代表性的耐腐蚀性材料，举出聚四氟乙烯。
如图7所示，可动托架55具有作为对门13进行锁定的机构的一部分发挥功能的锁定板61。在实施方式中，锁定板61是将细长的板折弯成托架状而形成的，具有从可动托架55向垂直上方延伸的第一部分62、从第一部分62的上端朝向前壁11向水平前方延伸的第二部分63、从第二部分63的末端朝向垂直下方延伸的第三部分64。第三部分(以下称为“卡合部”。)64从其上方进入在前壁11与延长后壁46之间形成的间隙47中。对应于卡合部64，在门内表面的与延长后壁46对置的区域中设置有能够与卡合部64卡合的被卡合部65，通过这些卡合部64和被卡合部65形成锁定机构60。在实施方式中，卡合部64由在垂直方向上延伸的细长的板形成，被卡合部65由能够供该板进入的框形成。
这样，固定托架51、驱动部52、滚珠丝杠53、螺母54、可动托架55构成第一移动机构50，该第一移动机构50使中空穿孔针58在该中空穿孔针58充分退避到容器20的上方的上升位置(第一针位置)与该中空穿孔针58刺破容器20的盖23并贯穿该盖13的下降位置(第二针位置)之间移动。
第一移动机构50和锁定机构60还被设计成，在中空穿孔针58位于第一针位置时，卡合部64不与被卡合部65卡合，门13能够开放(开锁)，而在中空穿孔针58从第一针位置稍微下降的位置(其中，中空穿孔针58从容器20的盖23隔开充分距离。以下将该位置称为“第三针位置”。)，卡合部64与被卡合部65卡合，在中空穿孔针58从第三针位置进一步下降而向第二针位置移动的期间内，卡合部64始终与被卡合部65卡合，门13维持不能开放(锁定)。
为了判断中空穿孔针58位于第一针位置、第二针位置或第三针位置中的哪个位置，优选设置检测器81、82、83，该检测器81、82、83检测用于支承中空穿孔针58的可动托架55的位置。
2.6：第二移动机构
如图2～图4所示，在基台16上固定有固定托架71。固定托架71支承驱动部(第二驱动部)72。驱动部72具有电动马达。马达的旋转轴连结着朝向垂直方向的滚珠丝杠73，伴随马达的正反旋转，滚珠丝杠73旋转。滚珠丝杠73借助螺母74而与可动托架(第二可动部)75连结。
可动托架75具有贯通孔76。另外，基台16支承与滚珠丝杠73平行延伸的引导杆77，该引导杆77贯穿可动托架75的贯通孔76。因此，当滚珠丝杠73旋转时，可动托架75被引导杆77引导并上下移动。
可动托架75在垂直轴39的延长线上具有贯通孔78。由刚性材料构成的中空的抽吸管(管)79沿着垂直轴39以能够在上下方向上移动的方式穿过贯通孔78。为了相对于可动托架75对抽吸管79进行定位，在可动托架75上固定有保持架80。保持架80例如由橡胶等弹性材料形成，形成有直径比抽吸管79的外径小的小垂直孔，抽吸管79嵌入在该垂直孔中。因此，抽吸管79能够相对于可动托架75上下移动，并且，能够在将抽吸管79的下端设定为期望高度的状态下固定在抽吸管79上。
在实施方式中，从可动托架75朝向下方延伸的抽吸管79的长度被调整为，在中空穿孔针58位于第一针位置(上升位置)时，至少一部分的抽吸管79位于中空穿孔针58的内腔，将中空穿孔针58保持在垂直轴39上，在中空穿孔针58位于第二针位置(下降位置)时，抽吸管79进入容器20的内部，其下端与容器20的内侧底面轻轻相接或者几乎不与其相接。
这样，固定托架71、驱动部72、滚珠丝杠73、螺母74、可动托架75构成第二移动机构70，该第二移动机构70使抽吸管79在该抽吸管79充分退避到容器20的上方的上升位置(第一管位置)与该抽吸管79贯穿容器20的盖23且其下端位于容器底面附近的下降位置(第二管位置)之间移动。
为了判断抽吸管79位于第一管位置或第二管位置的哪个位置，优选设置检测可动托架75的位置的检测器84、85。
2.7：动作
对供给单元2的动作进行说明。
2.7.1：容器的装配
在容器收容室40中未装配容器20的状态下，中空穿孔针58取第一针位置，抽吸管79取第一管位置，这些中空穿孔针58和抽吸管79均退避到容器收容室40的上方。因此，锁定机构60的卡合部64与被卡合部65分开，门13成为能够开放的状态(解锁状态)。
在将容器20装配于容器收容室40的情况下，打开门13，经由开口12将容器20插入到容器收容室40中。此时，容器20在保持倾斜的状态下从其主体底部27装入容器收容室40中，使主体底部27位于容器承受部30的突起38的内侧。接着，一边使容器20的姿势从倾斜状态改变为直立状态，一边将容器底部27推入到下部半圆筒壁34中，并且将主体肩部26推入到上部半圆筒壁35中。由此，容器20稳定地保持在容器承受部30上。然后，关闭门13。
2.7.2：开盖处理
在从固定在容器收容室40上的容器20供给液体的情况下，例如，当操作员按压设置在壳体10上的开盖处理开始开关(未图示)时，系统1的控制部中组入的计算机90起动存储于其中的程序，执行以下说明的开盖处理。
当进入开盖处理后，计算机90对驱动部52进行驱动，使中空穿孔针58从第一针位置朝向第二针位置下降。在下降中，当中空穿孔针58到达第三针位置时，锁定机构60的卡合部64与被卡合部65卡合，使门13成为不能开闭的状态(锁定状态)。
中空穿孔针58通过第三针位置后，穿过容器收容室40的顶壁43的窗44，刺破盖23的中央区域25并贯穿该中央区域25。计算机90在中空穿孔针58贯穿盖23的状态下停止驱动部52，维持该状态(第二针位置)。计算机90还结合中空穿孔针58的下降而一并对驱动部72进行驱动，在中空穿孔针58下降的期间内，优选始终维持抽吸管79的至少一部分位于中空穿孔针58的内腔中的状态。但是，在中空穿孔针58贯穿盖23之前，确保抽吸管79与盖23的距离，以使得抽吸管79的下端不与盖23接触。
在开盖后，中空穿孔针58也可以维持贯穿盖23的位置(第二针位置)。取而代之，在开盖后，计算机90也可以使中空穿孔针58从盖23上升并与该盖23分开。然后，在液体的抽吸时，计算机90对驱动部72进行驱动，将抽吸管79的下端插入到液体中。抽吸管79可以与液体的抽吸或非抽吸时无关而始终浸入液体中，也可以在非抽吸时维持在液面上方。
2.7.3：容器更换
在容器更换时，操作员按压壳体10上设置的开关(未图示)。由此，系统1的计算机90对驱动部52、72进行驱动，使中空穿孔针58返回第一针位置，使抽吸管79返回第一管位置。由此，锁定机构60被解除。然后，操作员打开门13，能够从容器收容室40中取出容器20。取出容器20的顺序与装配时的顺序相反。可以在检测到容器20的液体余量成为规定量以下时进行容器的更换，另外，也可以在检测到到达容器20或液体的有效期限时进行容器的更换。需要说明的是，在按压了容器更换开关的情况下，另外在检测到液体余量成为规定量以下的情况下，容器20中残留的液体被抽吸到废液贮藏室(例如图9中用标号153表示。)进行回收(将该处理称为“容器更换准备处理”。)。
3.计量单元
对计量单元的实施方式进行说明。
3.1：实施方式1
对实施方式1的计量单元101进行说明。
3.1.1：结构
如图9所示，计量单元101具有输送液体的第一输送路111、第二输送路112、第三输送路113和第四输送路114。第一输送路111的一端与上述抽吸管79的上端连接，另一端与处理室(第一腔室)121连接。处理室121例如在气体灭菌装置的灭菌室内连接有真空泵(第一减压机构)123，能够将处理室121内的空间122减压为真空。虽然没有图示，但是，在处理室121中设置有适当管理灭菌处理所需要的各种器具(例如压力检测器、温度检测器)。
在第一输送路111上，从抽吸管79朝向处理室121依次设置有第一阀131、计量室(第二腔室)151、第二阀132以及气化室152。计量室151的容积(第二容积)比处理室121的容积(第一容积)小，例如在处理室121的容积为100～150升的情况下，计量室151的容积设定为2～7毫升。另外，第一输送路111在第一阀与抽吸管79之间具有第一分支部141，在第二阀132与气化室152之间具有第二分支部142。第二输送路112的一端与第一分支部141连接，另一端与废液贮藏室153连接，从第一分支部141朝向废液贮藏室153依次设置有暂时贮藏室154和第三阀133。第三输送路113的一端与第二分支部142连接，另一端与废液贮藏室153连接，从第二分支部142朝向废液贮藏室153依次设置有第四阀134和第三分支部143。第四输送路114具有第五阀135，其一端与第三分支部143连接，另一端在大气中开放。
上述第一阀131～第五阀135均优选利用电磁阀。真空泵123和第一～第五阀135与计算机90连接，构成为基于计算机90的输出进行动作。
3.1.2：动作
参照图10对计量单元101的动作进行说明。
(步骤1)
计算机90在检测到抽吸管79被插入到容器20内且其前端到达了容器底面或其附近时，关闭第一、二、三、五阀131、132、133、135，打开第四阀134。计算机90还对真空泵123进行驱动。由此，处理室121、气化室152以及废液贮藏室153被设定为规定的真空压。废液贮藏室153的真空压用于上述容器更换准备处理。后述其他实施方式也同样。
不限于上述情况，例如，有时在真空泵123被驱动、处理室121的压力达到例如80，000Pa时，打开阀134。以下说明的其他实施方式也同样。
能够基于来自检测器81、82、83的信号来检测抽吸管79的前端到达了容器底面或其附近。或者，能够基于驱动部72的驱动时间来检测抽吸管79的位置。
(步骤2)
计算机90在经过规定时间后，关闭第四阀134，打开第三阀133。由此，经由抽吸管79抽吸容器20内的液体，将其供给到暂时贮藏室154。这样，在本实施方式中，第三阀133、第四阀134、第五阀135以及废液贮藏室153作为对暂时贮藏室154进行减压而使其成为真空的减压机构(第二减压机构)发挥功能。
(步骤3)
计算机90在经过规定时间后，关闭第三阀133。从打开第三阀133到关闭第三阀133为止的时间被设定为在暂时贮藏室154中填充规定量的液体。由此，从抽吸管79到暂时贮藏室154的第一输送路部分被液体充满。
(步骤4)
计算机90打开第二阀132，使计量室151与气化室152和处理室121连通，抽吸计量室151的空气。
(步骤5)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀132。由此，计量室151被设定为规定的真空压。
(步骤6)
计算机90打开第一阀131。由此，容器20的液体被抽吸到计量室151中。如上所述，由于抽吸管79和到与抽吸管79连接的暂时贮藏室154为止的第一输送路部分被液体充满，所以，空气不会进入计量室151中，能够可靠地在计量室151中填充规定量的液体。
(步骤7)
计算机90在规定时间后关闭第一阀131。该时间被设定为计量室151完全或几乎完全被液体充满所需要的时间。
(步骤8)
计算机90开放第二阀132。其结果是，计量室151的液体被处理室121和气化室152的真空吸引，在气化室152中气化而成为气体，该气体被供给到处理室121。通过以上步骤，规定量(相当于计量室的容量。)的液体被气化而供给到处理室121，从而用于灭菌处理。
在步骤8之后，能够通过反复进行上述步骤5～步骤7来调整供给到处理室121的液体的量。反复次数根据计量室151的容积而变化。
(步骤9)
当通过以上处理供给了规定量的液体后，计算机90对驱动部进行驱动，从液体中提起抽吸管79，使抽吸管79保持不与液体接触的状态。
(步骤10)
计算机90打开第三阀133，在保持为真空的废液贮藏室153中回收暂时贮藏室154和与其连通的第二输送路112、抽吸管79中残留的液体。
(步骤11)
计算机90在经过规定时间后，关闭第三阀133，结束残留液的回收。
(步骤12)
计算机90关闭第二阀132。
(步骤13)
计算机90打开第一阀131，将第一阀131的下游侧残留的液体抽吸到气化室152中。
(步骤14)
计算机90在经过规定时间后，关闭第一阀131。
(步骤15)
计算机90打开第二阀132。由此，计量室151的液体被供给到处理室121。
(步骤16)
计算机90在规定时间后关闭第二阀132。该时间被设定为气化室152等中残留的液体或气体完全抽吸到处理室121内所需要的时间。
这样，根据实施方式1的计量单元101，能够准确计量规定量的液体，能够使其气化而供给到处理室121(例如气体灭菌室)。
3.2：实施方式2
对实施方式2的计量单元201进行说明。
3.2.1：结构
如图11所示，实施方式2的计量单元201与实施方式1的计量单元的不同之处在于不具有暂时贮藏室。
3.2.2：动作
参照图12对计量单元201的动作进行说明。
(步骤1)
计算机90在检测到抽吸管79被插入到容器20内且其前端到达了容器底面或其附近时，关闭第一、二、三、五阀231、232、233、235，打开第四阀234。计算机90还对真空泵223进行驱动，将处理室221、气化室252以及废液贮藏室253设定为规定的真空压。
能够基于来自检测器81、82、83的信号来检测抽吸管79的前端到达了容器底面或其附近。或者，能够基于驱动部72的驱动时间来检测抽吸管79的位置。
(步骤2)
计算机90关闭第四阀234，打开第三阀233。由此，容器20内的液体被抽吸，抽吸管79和从该抽吸管79到第三阀233的第二输送路部分被液体充满。这样，在本实施方式中，第三阀233、第四阀234、第五阀235和废液贮藏室253作为对第二输送路部分进行减压而使其成为真空的减压机构(第三减压机构)发挥功能。
(步骤3)
计算机90打开第二阀232，使计量室251与气化室252以及处理室221连通，抽吸计量室251的空气。
(步骤4)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀232，将计量室251设定为规定的真空压。
(步骤5)
计算机90打开第一阀231。由此，容器20的液体被抽吸到计量室251中。此时，由于抽吸管79以及从该抽吸管79到第三阀233的第二输送路部分被液体充满而不存在空气，所以，规定量的液体被抽吸到计量室251中。
(步骤6)
计算机90在经过规定时间后，关闭第一阀231。该时间被设定为计量室251完全或几乎完全被液体充满所需要的时间。
(步骤7)
计算机90开放第二阀232。其结果是，计量室251的液体被处理室221和气化室252的真空吸引，在气化室252中气化，该气化后的气体被供给到处理室221。
(步骤8)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀232。该时间被设定为计量室251的液体完全或几乎完全供给到处理室221所需要的时间。通过以上步骤，规定量(相当于计量室的容量。)的液体被气化而供给到处理室221，从而用于灭菌处理。
(步骤9)
通过以上处理而从容器20供给到处理室221的液体的量有限，在处理室221所需要的液体的总量比一次的供给量少的情况下，在步骤8之后，反复进行上述步骤3～步骤6。
(步骤10)
为了将之前的步骤6中在计量室251中填充的液体供给到处理室221，计算机90打开第二阀232，送出计量室251的液体。
(步骤11)
计算机90对驱动部72进行驱动，从液体中提起抽吸管79，将抽吸管79保持为不与液体接触的状态。
(步骤12)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀232。
(步骤13)
计算机90打开第一阀231，将提起的抽吸管79中残留的液体抽吸到计量室251中。
(步骤14)
计算机90在经过规定时间后，关闭第一阀231。
(步骤15)
计算机90打开第二阀232，将计量室251的液体从气化室252供给到处理室221。
(步骤16)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀232。
这样，根据实施方式2的计量单元201，在步骤11～16中，从第一阀231到抽吸管79的末端的内腔中存在的液体被回收到计量室中并供给到处理室中。
3.3：实施方式3
对实施方式3的计量单元301进行说明。
3.3.1：结构
如图13所示，实施方式3的计量单元301具有输送液体的第一输送路311、第二输送路312以及第三输送路313。第一输送路311的一端与上述抽吸管79的上端连接，另一端与处理室321连接。处理室321例如在气体灭菌装置的灭菌室内连接有真空泵323，能够使处理室321内的空间322成为真空。虽然没有图示，但是，在处理室321中设置有适当管理灭菌处理所需要的各种器具(例如压力检测器、温度检测器)。
在第一输送路311上，从抽吸管79朝向处理室321依次设置有第一阀331、计量室351、第二阀332以及气化室352。另外，第一输送路311在第一阀与抽吸管79之间具有第一分支部341。第二输送路312的一端与第一分支部341连接，另一端与第二分支部342连接，在从第一分支部341到第二分支部342之间设置有暂时贮藏室354。第三输送路313的一端在大气中开放，另一端与废液贮藏室353连接，在一端与另一端之间配置有第一泵361、第三阀333、第二分支部342、第四阀334以及第二泵362。废液贮藏室353的室内经由排气管371在大气中开放。
上述第一阀331～第四阀334均优选利用电磁阀。真空泵123和第一阀331～第四阀334与计算机90连接，构成为基于计算机90的输出进行动作。
3.3.2：动作
参照图14对计量单元301的动作进行说明。
(步骤1)
计算机90在检测到抽吸管79被插入到容器20内且其前端到达了容器底面或其附近时，关闭第一、二、三阀331、332、333，打开第四阀334。计算机90还对第二泵362进行驱动。由此，经由抽吸管79抽吸容器20内的液体，将其供给到暂时贮藏室354。
(步骤2)
计算机90在经过规定时间后，关闭第四阀334，停止第二泵362。这里的规定时间被设定为在暂时贮藏室354中填充规定量的液体。由此，从抽吸管79到暂时贮藏室354的第二输送路部分被液体充满。
(步骤3)
计算机90打开第二阀332，使计量室351与气化室352以及处理室321连通，抽吸计量室351的空气。
(步骤4)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀332。由此，计量室351被设定为规定的真空压。
(步骤5)
计算机90打开第一阀331。由此，将容器20的液体抽吸到计量室351中。如上所述，由于抽吸管79和到与抽吸管79连接的暂时贮藏室354为止的第一输送路部分被液体充满，所以，空气不会进入计量室351中，能够可靠地在计量室351中填充规定量的液体。
(步骤6)
计算机90在规定时间后关闭第一阀331。该时间被设定为计量室351完全或几乎完全被液体充满所需要的时间。
(步骤7)
计算机90开放第二阀332。其结果是，计量室351的液体被处理室321和气化室352的真空吸引，在气化室352中气化而成为气体，该气体被供给到处理室321。通过以上步骤，规定量(相当于计量室的容量。)的液体被气化而供给到处理室321，从而用于灭菌处理。
在步骤7之后，能够通过反复进行上述步骤4～步骤7来调整供给到处理室321的液体的量。
(步骤8)
当通过以上处理供给了规定量的液体后，计算机90对驱动部进行驱动，从液体中提起抽吸管79，将抽吸管79保持为不与液体接触的状态。
(步骤9)
计算机90打开第三阀333，对第一泵361进行驱动来抽吸大气，使第二输送路312、抽吸管79、第一输送路311中的从第一分支部341到第一阀331之间残留的液体返回容器20。
(步骤10)
计算机90在经过规定时间后，关闭第三阀333，停止第一泵361。
(步骤11)
计算机90关闭第二阀332。
(步骤12)
计算机90打开第一阀331，将第一阀331的上游侧残留的液体、例如从第一分支部341到第一阀331之间残留的液体抽吸到计量室351中。
(步骤13)
计算机90在经过规定时间后，关闭第一阀331。
(步骤14)
计算机90打开第二阀332。由此，将计量室351的液体供给到处理室321。
(步骤15)
计算机90在规定时间后关闭第二阀332。该时间被设定为气化室352等中残留的液体或气体完全抽吸到处理室321内所需要的时间。
这样，根据实施方式3的计量单元301，暂时贮藏室354和第二输送路312中残留的液体全部返回到容器中。
3.4：实施方式4
对实施方式4的计量单元401进行说明。
3.4.1：结构
如图15所示，实施方式4的计量单元401具有输送液体的第一输送路411和第二输送路412。第一输送路411的一端与上述抽吸管79的上端连接，另一端与处理室421连接。处理室421例如在气体灭菌装置的灭菌室内连接有真空泵423，能够使处理室421内的空间422成为真空。虽然没有图示，但是，在处理室421中设置有适当管理灭菌处理所需要的各种器具(例如压力检测器、温度检测器)。
在第一输送路411上，从抽吸管79朝向处理室421依次设置有第一阀431、计量室451、第二阀432和气化室452。另外，第一输送路411在第一阀与抽吸管79之间具有分支部441。第二输送路412的一端与分支部441连接，另一端与废液贮藏室453连接，在从分支部441到废液贮藏室453之间配置有暂时贮藏室454、第三阀333、泵461。废液贮藏室453的室内经由排气管471在大气中开放。
上述第一阀431～第三阀333均优选利用电磁阀。真空泵423和第一阀431～第三阀333与计算机90连接，构成为基于计算机90的输出进行动作。
3.3.2：动作
参照图16对计量单元401的动作进行说明。
(步骤1)
计算机90在检测到抽吸管79被插入到容器20内且其前端到达了容器底面或其附近时，关闭第一、二阀431、432，打开第三阀333。计算机90还对泵461进行驱动。由此，经由抽吸管79抽吸容器20内的液体，将其供给到暂时贮藏室454。
(步骤2)
计算机90在经过规定时间后，关闭第三阀333，停止泵461。这里的规定时间被设定为在暂时贮藏室454中填充规定量的液体。由此，从抽吸管79到暂时贮藏室454的第二输送路部分被液体充满。
(步骤3)
计算机90打开第二阀432，使计量室451与气化室452和处理室421连通，抽吸计量室451的空气。
(步骤4)
计算机90在经过规定时间后，关闭第二阀432。由此，将计量室451设定为规定的真空压。
(步骤5)
计算机90打开第一阀431。由此，将容器20的液体抽吸到计量室451中。如上所述，由于抽吸管79和到与抽吸管79连接的暂时贮藏室454为止的第一输送路部分被液体充满，所以，空气不会进入计量室451中，能够可靠地在计量室451中填充规定量的液体。
(步骤6)
计算机90在规定时间后关闭第一阀431。该时间被设定为计量室451完全或几乎完全被液体充满所需要的时间。
(步骤7)
计算机90开放第二阀432。其结果是，计量室451的液体被处理室421和气化室452的真空吸引，在气化室452中气化而成为气体，该气体被供给到处理室421。通过以上步骤，规定量(相当于计量室的容量。)的液体被气化而供给到处理室421，从而用于灭菌处理。
在步骤7之后，能够通过反复进行上述步骤4～步骤7来调整供给到处理室421的液体的量。
(步骤8)
当通过以上处理供给了规定量的液体后，计算机90对驱动部进行驱动，从液体中提起抽吸管79，将抽吸管79保持为不与液体接触的状态。
(步骤9)
计算机90打开第三阀333，对泵461进行驱动来抽吸大气，使第二输送路412和抽吸管79中残留的液体返回容器20。
(步骤10)
计算机90在经过规定时间后，关闭第三阀333，停止泵461。
(步骤11)
计算机90关闭第二阀432。
(步骤12)
计算机90打开第一阀431，将第一阀431的上游侧残留的液体、例如从分支部441到第一阀431之间残留的液体抽吸到计量室451中。
(步骤13)
计算机90在经过规定时间后，关闭第一阀431。
(步骤14)
计算机90打开第二阀432。由此，计量室451的液体被供给到处理室421。
(步骤15)
计算机90在规定时间后关闭第二阀432。该时间被设定为气化室452等中残留的液体或气体完全抽吸到处理室421内所需要的时间。
这样，根据实施方式4的计量单元401，暂时贮藏室454和第二输送路412中残留的液体全部返回到容器中。
附图标号说明
1：液体供给系统
2：供给单元
10：壳体
11：前壁
12：开口
13：门
14：金属片
15：磁铁
16：基台
20：液体容器
21：主体
22：中心轴
23：盖
24：顶壁
25：中央区域
26：肩部
27：底部
30：容器承受部
31：下部支承部
32：上部支承部
33：工作台
34：下部半圆筒壁
35：上部半圆筒壁
36：垂直部
37：圆筒壁
38：突起
39：垂直轴
40：容器收容室
41：侧壁
42：后壁
43：顶壁
44：窗
45：延长侧壁
46：延长后壁
47：间隙
50：第一移动机构
51：固定托架(第一固定部)
52：驱动部(第一驱动部)
53：滚珠丝杠
54：螺母
55：可动托架(第一可动部)
56：垂直引导件(旋转防止机构)
57：孔
58：中空穿孔针
59：尖塔部
60：锁定机构
61：锁定板
62：第一部分
63：第二部分
64：第三部分(卡合部)
65：被卡合部
70：第二移动机构
71：固定托架(第二固定部)
72：驱动部(第二驱动部)
73：滚珠丝杠
74：螺母
75：可动托架(第二可动部)
76：贯通孔
77：引导杆
78：贯通孔
79：抽吸管
80：保持架
81、82、83：检测器
84、85：检测器
90：计算机(控制部)
101：计量单元(实施方式1)
111：第一输送路
112：第二输送路
113：第三输送路
114：第四输送路
121：处理室
122：空间
123：真空泵(第一减压机构)
131：第一阀
132：第二阀
133：第三阀
134：第四阀
135：第五阀
141：第一分支部
142：第二分支部
143：第三分支部
151：计量室
152：气化室
153：废液贮藏室
154：暂时贮藏室
201：计量单元(实施方式2)
211：第一输送路
212：第二输送路
213：第三输送路
214：第四输送路
221：处理室
222：空间
223：真空泵(第一减压机构)
231：第一阀
232：第二阀
233：第三阀
234：第四阀
235：第五阀
241：第一分支部
242：第二分支部
251：计量室
252：气化室
253：废液贮藏室
301：计量单元(实施方式3)
311：第一输送路
312：第二输送路
313：第三输送路
321：处理室
322：空间
323：真空泵(第一减压机构)
331：第一阀
332：第二阀
333：第三阀
334：第四阀
341：第一分支部
342：第二分支部
351：计量室
352：气化室
353：废液贮藏室
354：暂时贮藏室
361：泵
362：泵
371：排气管
401：计量单元(实施方式4)
411：第一输送路
412：第二输送路
421：处理室
422：空间
423：真空泵(第一减压机构)
431：第一阀
432：第二阀
433：第三阀
441：分支部
451：计量室
452：气化室
453：废液贮藏室
454：暂时贮藏室
461：泵
471：排气管。

Claims (10)

1.一种液体供给系统，其特征在于，
所述液体供给系统具有：
处理室(121)，其具有规定容积的空间(122)；
第一减压机构(123)，其对所述处理室(121)的空间(122)进行减压；
容器(20)，其收容液体；
计量室(151)，其计量所述液体；
第一通路(111)，其经由所述计量室(151)而将所述容器(20)和所述处理室(121)连接；
第一阀(131)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述容器(20)与所述计量室(151)之间；
第二阀(132)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述计量室(151)与所述处理室(121)之间；以及
控制部(90)，其对减压机构、所述第一阀(131)以及所述第二阀(132)进行控制，
所述控制部(90)具有：
a)第一机构，其执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；
b)第二机构，其执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；
c)第三机构，其执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；
d)第四机构，其执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及
e)第五机构，其执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室；
所述液体供给系统具有：
分支部(141)，其位于所述第一通路(111)上，被设置于所述容器(20)与所述第一阀(131)之间；
第二通路(112)，其一端与所述分支部(141)连接；
第二减压机构(153)，其与所述第二通路(112)的另一端连接；以及
暂时贮藏室(154)和第三阀(133)，它们从所述一端朝向所述另一端依次设置在所述第二通路(112)上，
所述液体供给系统具有f)第六机构，该第六机构执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述暂时贮藏室为止的所述第二通路部分。
2.根据权利要求1所述的液体供给系统，其特征在于，
所述液体供给系统具有第七机构，该第七机构执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器(20)到所述第三阀(133)为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器(20)。
3.一种液体供给系统，其特征在于，
所述液体供给系统具有：
处理室(121)，其具有规定容积的空间(122)；
第一减压机构(123)，其对所述处理室(121)的空间(122)进行减压；
容器(20)，其收容液体；
计量室(151)，其计量所述液体；
第一通路(111)，其经由所述计量室(151)而将所述容器(20)和所述处理室(121)连接；
第一阀(131)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述容器(20)与所述计量室(151)之间；
第二阀(132)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述计量室(151)与所述处理室(121)之间；以及
控制部(90)，其对减压机构、所述第一阀(131)以及所述第二阀(132)进行控制，
所述控制部(90)具有：
a)第一机构，其执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；
b)第二机构，其执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；
c)第三机构，其执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；
d)第四机构，其执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及
e)第五机构，其执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室；
所述液体供给系统具有：
分支部(241)，其位于第一通路上，被设置于所述容器(20)与第一阀之间；
第二通路(212)，其一端与所述分支部(241)连接；
第二减压机构(253)，其与所述第二通路(212)的另一端连接；以及
第三阀(233)，其被设置在所述第二通路(212)上，
所述液体供给系统具有f)第六机构，该第六机构执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述第三阀为止的所述第二通路部分。
4.根据权利要求3所述的液体供给系统，其特征在于，
所述液体供给系统具有第七机构，该第七机构执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器(20)到所述第三阀(233)为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器(20)。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的液体供给系统，其特征在于，
所述液体供给系统具有将所述第二处理到所述第五处理重复两次以上的单元。
6.一种液体供给系统的驱动方法，
所述液体供给系统具有：
处理室(121)，其具有规定容积的空间(122)；
第一减压机构(123)，其对所述处理室(121)的空间(122)进行减压；
容器(20)，其收容液体；
计量室(151)，其计量所述液体；
第一通路(111)，其经由所述计量室(151)而将所述容器(20)和所述处理室(121)连接；
第一阀(131)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述容器(20)与所述计量室(151)之间；
第二阀(132)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述计量室(151)与所述处理室(121)之间；以及
控制部(90)，其对所述第一减压机构(123)、所述第一阀(131)、以及所述第二阀(132)进行控制，
所述液体供给系统的驱动方法的特征在于，具有以下工序：
a)第一工序，在该第一工序中执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；
b)第二工序，在该第二工序中执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；
c)第三工序，在该第三工序中执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；
d)第四工序，在该第四工序中执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及
e)第五工序，在该第五工序中执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室；
所述液体供给系统具有：
分支部(141)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述容器(20)与所述第一阀(131)之间；
第二通路(112)，其一端与所述分支部(141)连接；
第二减压机构(153)，其与所述第二通路(112)的另一端连接；以及
暂时贮藏室(154)和第三阀(133)，它们从所述一端朝向所述另一端依次设置在所述第二通路(112)上，
所述液体供给系统的驱动方法具有f)第六工序，在该第六工序中执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述暂时贮藏室为止的所述第二通路部分。
7.根据权利要求6所述的液体供给系统的驱动方法，其特征在于，
所述液体供给系统的驱动方法具有第七工序，在该第七工序中执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器(20)到所述第三阀(133)为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器(20)。
8.一种液体供给系统的驱动方法，
所述液体供给系统具有：
处理室(121)，其具有规定容积的空间(122)；
第一减压机构(123)，其对所述处理室(121)的空间(122)进行减压；
容器(20)，其收容液体；
计量室(151)，其计量所述液体；
第一通路(111)，其经由所述计量室(151)而将所述容器(20)和所述处理室(121)连接；
第一阀(131)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述容器(20)与所述计量室(151)之间；
第二阀(132)，其在所述第一通路(111)上被设置于所述计量室(151)与所述处理室(121)之间；以及
控制部(90)，其对所述第一减压机构(123)、所述第一阀(131)、以及第二阀进行控制，
所述液体供给系统的驱动方法的特征在于，具有以下工序：
a)第一工序，在该第一工序中执行如下的第一处理：在关闭了所述第二阀的状态下，驱动所述第一减压机构对所述处理室进行减压，使所述处理室形成负压；
b)第二工序，在该第二工序中执行如下的第二处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，将所述处理室的负压导入所述计量室中；
c)第三工序，在该第三工序中执行如下的第三处理：在关闭了所述第一阀的状态下关闭所述第二阀，保持被导入所述计量室中的负压；
d)第四工序，在该第四工序中执行如下的第四处理：在关闭了所述第二阀的状态下打开所述第一阀，利用所述计量室的负压，将所述液体从所述容器吸引到所述计量室；以及
e)第五工序，在该第五工序中执行如下的第五处理：在关闭了所述第一阀的状态下打开所述第二阀，利用所述处理室的真空，将所述计量室的所述液体吸引到所述处理室；
所述液体供给系统具有：
分支部(241)，其位于第一通路上，被设置于所述容器(20)与第一阀之间；
第二通路(212)，其一端与所述分支部(241)连接；
第二减压机构(253)，其与所述第二通路(212)的另一端连接；以及
第三阀(233)，其被设置在所述第二通路(212)上，
所述液体供给系统的驱动方法具有f)第六工序，在该第六工序中执行如下的第六处理：在执行所述第一处理之前，在打开了所述第三阀的状态下驱动所述第二减压机构，将所述液体吸引到从所述容器到所述第三阀为止的所述第二通路部分。
9.根据权利要求8所述的液体供给系统的驱动方法，其特征在于，
所述液体供给系统的驱动方法具有第七工序，在该第七工序中执行如下的第七处理：在所述第五处理之后，使残留在从所述容器(20)到所述第三阀(233)为止的所述第二通路部分中的所述液体返回到所述容器(20)。
10.根据权利要求6至9中任一项所述的液体供给系统的驱动方法，其特征在于，
将所述第二处理到所述第五处理重复两次以上。
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