CN108688316A - 清洁单元、丝网印刷装置、生产系统 - Google Patents

Abstract

本发明能够减少运行成本，并且缩短清洁节拍。对丝网印刷用的丝网掩模(80)进行清洁的清洁单元(70)构成为，具有：抽出卷轴(72)，其将卷状的清洁纸(75)以能够抽出的方式支撑；卷绕卷轴(73)，其对从抽出卷轴抽出的清洁纸进行卷绕；以及清洁头(74)，其向丝网掩模推压清洁纸，清洁纸的卷宽度小于丝网掩模，在针对丝网掩模的指定的擦拭部位通过清洁头实施局部清洁。

Description

清洁单元、丝网印刷装置、生产系统

技术领域

本发明涉及将在丝网掩模的背面残留的印刷膏擦拭的清洁单元、丝网印刷装置、生产系统。

背景技术

通常，在丝网印刷装置中，在丝网掩模与基板接触的状态下，供给至丝网掩模的表面的印刷膏通过刮板的滑动而被摊开。在丝网掩模的图案孔中填充印刷膏，将丝网掩模从基板分离，由此印刷膏被转印至基板。在如上所述的丝网印刷装置中设置有清洁单元，该清洁单元使用清洁纸从丝网掩模的背面侧定期地将从丝网掩模的图案孔溢出的印刷膏擦拭(例如，参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2013－129063号公报

然而，在专利文献1记载的清洁单元构成为利用与丝网掩模的掩模宽度同等的清洁纸，使丝网掩模和清洁纸相对移动，由此将丝网掩模一次地擦拭。但是，在丝网掩模的背面并非整体性地残留印刷膏，在丝网掩模的背面存在印刷膏容易残留的部位。由于丝网掩模的局部的污染，存在下述问题，即，清洁纸被多余地消耗而运行成本增大，并且清洁节拍变长。特别地，丝网掩模和清洁纸设定为能够应对大型基板的大小。如果通过用于应对该大型基板的宽幅的清洁纸进行小型基板的清洁，则尽管清洁纸的一半以上没有被使用，也不得不将其废弃而产生大量的浪费。

发明内容

本发明就是鉴于该问题而提出的，其目的之一在于提供能够减少运行成本，并且能够缩短清洁节拍的清洁单元、丝网印刷装置、生产系统。

本发明的一个方式的清洁单元对丝网印刷用的丝网掩模进行清洁，该清洁单元的特征在于，具有：纸支撑部，其对卷状的清洁纸进行支撑；以及清洁头，其向所述丝网掩模推压清洁纸，清洁纸的卷宽度小于所述丝网掩模，在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位通过所述清洁头实施局部清洁。

根据该结构，丝网掩模的印刷膏容易残留的部位被指定为擦拭部位，由此通过清洁头从丝网掩模将印刷膏擦拭而进行局部清洁。由此，能够对印刷膏容易残留的部位进行局部清洁，并且减小清洁纸的卷宽度而抑制清洁纸的消耗量，与其相应地减少运行成本。另外，对丝网掩模局部地擦拭即可，因此，与将丝网掩模整体一同擦拭的结构相比较，能够缩短清洁节拍。

在本发明的一个方式的清洁单元中，具有移动机构，该移动机构将所述清洁头在针对所述丝网掩模的擦拭方向进行移动，通过所述清洁头向擦拭方向的移动，从而在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位实施局部清洁。根据该结构，能够通过清洁头的移动在丝网掩模实施局部清洁。

在本发明的一个方式的清洁单元中，所述纸支撑部由抽出卷轴和卷绕卷轴构成，该抽出卷轴将卷状的清洁纸以能够抽出的方式支撑，该卷绕卷轴对从所述抽出卷轴抽出的清洁纸进行卷绕，通过所述清洁头向擦拭方向的移动、清洁纸的抽出及卷绕，从而在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位实施局部清洁。根据该结构，在清洁头的移动的基础上，能够通过清洁纸的抽出，在丝网掩模良好地实施局部清洁。

在本发明的一个方式的清洁单元中，所述丝网掩模以在与擦拭方向正交的宽度方向移动而支持小型基板及大型基板的方式设定有该宽度方向的行程，清洁纸的卷宽度形成为，能够通过所述丝网掩模的宽度方向的行程而将所述丝网掩模的整个面覆盖的大小。根据该结构，能够通过丝网掩模的与擦拭方向正交的宽度方向的移动，弥补由于减小清洁纸的卷宽度而变窄的清洁范围。

在本发明的一个方式的清洁单元中，除了在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位通过所述清洁头实施局部清洁以外，在所述丝网掩模的整个面通过所述清洁头实施整体清洁。根据该结构，不仅是丝网掩模的局部的污染，也能够对丝网掩模的整体的污染进行清洁。

在本发明的一个方式的清洁单元中，所述整体清洁的清洁时间比丝网印刷的后序处理的等待时间短。根据该结构，通过利用后序处理的等待时间而针对丝网掩模实施整体清洁，从而能够抑制包含丝网印刷及后序处理在内的生产线整体的生产节拍时间的降低。

在本发明的一个方式的清洁单元中，清洁纸的卷宽度小于或等于所述丝网掩模的宽度尺寸的1/2。根据该结构，能够抑制清洁纸的消耗量而将运行成本大宽度地减少。

本发明的一个方式的丝网印刷装置的特征在于，具有：上述的清洁单元、使用所述丝网掩模对基板进行丝网印刷的印刷单元。根据该结构，能够减少丝网印刷所需的运行成本，能够缩短清洁节拍而提高生产率。

本发明的一个方式的生产系统的特征在于，具有：上述的丝网印刷装置、以及在所述丝网印刷装置的后级对基板的印刷状态进行检查的印刷检查装置，基于所述印刷检查装置的检查结果，针对所述丝网掩模指定擦拭部位。根据该结构，从检查装置反馈针对丝网掩模的擦拭部位，因此能够在丝网掩模自动地指定印刷膏容易残留的部位而进行局部清洁。

发明的效果

根据本发明，能够使用卷宽度小的清洁纸，在针对丝网掩模的指定的擦拭部位实施局部清洁，由此能够减少运行成本，并且能够缩短清洁节拍。

附图说明

图1是表示本实施方式的生产系统的示意图。

图2是对比例的丝网印刷的说明图。

图3是本实施方式的丝网印刷装置的斜视图。

图4是本实施方式的针对丝网掩模的清洁范围的说明图。

图5是本实施方式的清洁动作的说明图。

标号的说明

1 生产系统

2 丝网印刷装置

3 印刷检查装置

4 安装装置(处理装置)

10 印刷单元

40 升降单元

55 导轨(移动机构)

70 清洁单元

71 支撑架(移动机构)

72 抽出卷轴(纸支撑部)

73 卷绕卷轴(纸支撑部)

74 清洁头

75 清洁纸

79 控制部

80 丝网掩模

W 基板

具体实施方式

下面，参照附图，对本实施方式的生产系统进行说明。图1是表示本实施方式的生产系统的示意图。此外，本实施方式的生产系统只不过是一个例子，能够适当变更。

如图1所示，生产系统1的生产线经过印刷工序、印刷检查工序、安装工序、安装检查工序、回流焊工序、回流焊检查工序这样的工序而生产出基板W。在印刷工序中通过丝网印刷装置2将焊膏等印刷膏丝网印刷在基板W上的规定位置，在印刷检查工序中利用印刷检查装置3，通过图像处理等对基板W的印刷状态进行检查。在安装工序中通过安装装置4将部件安装于基板W的规定位置，在安装检查工序中利用安装检查装置5，通过图像处理等对基板W上的部件的安装状态进行检查。

在回流焊工序中通过回流焊装置6将规定位置的印刷膏熔融而将部件焊接至基板W，在回流焊检查工序中利用回流焊检查装置7，通过图像处理等对基板W上的部件的焊接状态进行检查。另外，在生产系统1中设置有主计算机8，生产程序从主计算机8被下载至各处理装置，在各处理装置中基于生产程序而针对基板W实施各种处理。此外，生产系统1至少具有丝网印刷装置2和印刷检查装置3即可。

另外，如图2A的对比例所示，在通常的丝网印刷装置中，在丝网掩模91的表面将印刷膏摊开，针对基板转印印刷图案。由于反复进行丝网印刷，从而从丝网掩模91的图案孔92向背面侧溢出印刷膏，因此通过清洁单元93定期地对丝网掩模91进行清洁。在清洁单元93中，通过卷宽度与丝网掩模91同等的清洁纸94，从丝网掩模91将印刷膏擦拭。

但是，在丝网掩模91存在容易被印刷膏污染的部位，由于该丝网掩模91的局部的污染，宽幅的清洁纸94被多余地消耗。特别地，如图2B所示，对于小型基板用的丝网掩模96，图案孔97仅形成于中央，因此容易局部地污染。如上所述，由于丝网掩模91、96的局部的污染，必须进行整体清洁。尽管清洁纸94一半以上没有被使用，也必须废弃清洁纸94而产生大量的浪费。因此，如图4所示，在本实施方式中，将清洁纸75的卷宽度设为小于丝网掩模80，将丝网掩模80的容易污染的部位通过清洁纸75进行局部清洁。

此外，仅通过局部清洁，无法从丝网掩模80(参照图4)整个面将印刷膏擦拭，因此需要针对丝网掩模80定期地实施整体清洁。如上所述通过减小清洁纸75的卷宽度，从而抑制清洁纸75的使用量，减少运行成本，但必须与清洁纸75的卷宽度变小相应地反复擦拭动作。因此，为了利用清洁纸75擦拭丝网掩模80整个面，而使清洁节拍增加。

在这里，在生产线中，在丝网印刷装置的后方设置有安装装置等后序的处理装置，与丝网印刷处理相比在安装处理中针对基板的处理节拍变长。本发明人关注于在丝网印刷装置产生后序处理的等待时间，利用该后序处理的等待时间而针对丝网掩模80实施了整体清洁(参照图5C、D)。由此，使由于清洁纸75变小而引起的整体清洁的清洁节拍的增加吸收于后序处理的等待时间，能够抑制清洁纸75的使用量而不使生产效率降低。

下面，参照图3及图4，对本实施方式的丝网印刷装置进行说明。图3是本实施方式的丝网印刷装置的斜视图。图4是本实施方式的针对丝网掩模的清洁范围的说明图。

如图3所示，丝网印刷装置2构成电路基板的生产线的一部分，构成为将印刷膏丝网印刷在基板W上。在丝网印刷装置2的上侧设置有印刷单元10，该印刷单元10使用丝网掩模80对基板W进行丝网印刷，在丝网印刷装置2的下侧设置有升降单元40，该升降单元40将基板W推压至丝网掩模80。在升降单元40设置有：定位用的照相机单元60、将基板W搬入至丝网掩模80的正下方的搬入单元50、以及对丝网掩模80进行清洁的清洁单元70。

印刷单元10从供给单元30将印刷膏供给至丝网掩模80的表面，在丝网掩模80的表面上通过刮板单元35的滑动而将印刷膏摊开。丝网掩模80在丝网框体81的内侧支撑有不锈钢制的掩模主体82。在掩模主体82的中央区域83(参照图4)贯通形成有与印刷图案相对应的图案孔84，在中央区域83的角部附近的背面侧设置有一对定位标记85(参照图4)。通过定位标记85将丝网掩模80和基板W对位。

另外，丝网掩模80设置为能够对应于基板W的种类而相对于丝网印刷装置2进行更换。丝网掩模80针对基板W的每个种类而图案孔84(参照图4)、形状、尺寸等不同。丝网掩模80由工作台单元20以能够在X轴方向、Y轴方向、绕Z轴移动的方式保持。工作台单元20具有：矩形框状的可动工作台21、以及在可动工作台21的下方对丝网掩模80进行保持的一对保持轨22。此外，在图3中，为了便于说明，将可动工作台21由单点划线表示。

分别在可动工作台21的纸面近端左右侧设置有Y轴驱动机构23、24，在可动工作台21的纸面远端左侧设置有X轴驱动机构25，在可动工作台21的纸面远端右侧设置有XY联动机构26。可动工作台21的四角经由这些Y轴驱动机构23、24、X轴驱动机构25、XY联动机构26而通过支柱(未图示)等从下侧被支撑。Y轴驱动机构23、24通过电动机驱动而使可动工作台21在Y轴方向移动，X轴驱动机构25通过电动机驱动而使可动工作台21在X轴方向移动。XY联动机构26不具有驱动源，但与可动工作台21的XY轴方向的移动联动。

通过这些Y轴驱动机构23、24、X轴驱动机构25、XY联动机构26使一对保持轨22与可动工作台21一起在X轴方向、Y轴方向、绕Z轴移动。一对保持轨22将上板及下板通过侧板连结，在剖视观察时形成为C字状，在Y轴方向平行地延伸而从下侧支撑丝网掩模80的X轴方向的两端。此外，省略详细的说明，但在一对保持轨22设置有夹具部件(未图示)，通过夹具部件在一对保持轨22上将丝网掩模80保持为定位状态。

另外，一对保持轨22经由滑动机构27而设置于可动工作台21的下表面。滑动机构27将一对保持轨22在X轴方向能够滑动地与可动工作台21连结。另外，在一对保持轨22连结有进给螺钉机构(未图示)，通过进给螺钉机构使一对保持轨22在X轴方向滑动而分离或接近。通过滑动机构27及进给螺钉机构对一对保持轨22的X轴方向的间隔进行调整，能够将各种尺寸的丝网掩模80通过一对保持轨22进行保持。

在矩形框状的可动工作台21的内侧设置有供给单元30及刮板单元35。供给单元30是将印刷膏供给至丝网掩模80的表面侧的点胶器，经由移动机构(未图示)在X轴方向能够移动地与可动工作台21连结。刮板单元35具有一对刮板36，经由移动机构(未图示)在Y轴方向能够移动地与可动工作台21连结。一对刮板36能够升降，将一对刮板36交替地使用而将丝网掩模80上的印刷膏摊开。

在印刷单元10的下方设置有使搬入单元50、照相机单元60、清洁单元70升降的升降单元40。在升降单元40，在升降基座41上配置搬入单元50、照相机单元60、清洁单元70，通过升降机构42使各单元50、60、70与升降基座41一起一体地升降。通过搬入单元50的升降使基板W与丝网掩模80的背面分离或接近，通过清洁单元70的升降使清洁纸75与丝网掩模80的背面分离或接近。

搬入单元50由对基板W进行输送的一对传送带51和沿各传送带51对基板W的输送进行引导的输送引导部52形成了输送路径。一对传送带51安装于一对输送引导部52的相对的内侧面，各输送引导部52由多个脚部53从下方支撑。传送带51从X轴方向的一端侧将基板W搬入至印刷位置，将印刷后的基板W向X轴方向的另一端侧搬出。在印刷位置，通过支撑销(未图示)将基板W从下侧抬起，通过输送引导部52将基板W保持为定位状态。

在升降基座41上沿X轴方向的2边设置有一对导轨55，在一对导轨55上经由滑块而设置有照相机单元60的支撑架61、清洁单元70的支撑架71。支撑架61、71以跨越基板W的输送路径的方式设置在一对导轨55上。在支撑架61、71连结有驱动机构(未图示)，通过驱动机构的驱动使照相机单元60及清洁单元70与支撑架61、71一起沿导轨55在X轴方向移动。

照相机单元60将照相机62在Y轴方向能够移动地安装于支撑架61。支撑架61在X轴方向移动，并且照相机62在Y轴方向移动，由此照相机62相对于丝网掩模80及基板W而定位于期望的拍摄位置。照相机62能够对丝网掩模80的背面的定位标记85(参照图4)和基板W的表面的定位标记89分别进行拍摄，通过对2个定位标记85、89进行拍摄，从而将丝网掩模80高精度地相对于基板W进行对位。

清洁单元70将卷状的清洁纸75以能够抽出的方式由支撑架71上的抽出卷轴72支撑，将从抽出卷轴72抽出的清洁纸75卷绕于支撑架71上的卷绕卷轴73。抽出卷轴72及卷绕卷轴73在Y轴方向延伸，在X轴方向将清洁纸75从抽出卷轴72卷绕于卷绕卷轴73。另外，在支撑架61上设置有清洁头74，该清洁头74在抽出卷轴72和卷绕卷轴73之间在Y轴方向延伸。

清洁头74的上表面成为将清洁纸75推压至丝网掩模80的按压面。在通过清洁头74将清洁纸75从下侧推压至丝网掩模80的状态下，通过支撑架71使清洁头74在擦拭方向相对于丝网掩模80移动。此时，通过清洁纸75的抽出及卷绕，将使用完的清洁纸75卷绕于卷绕卷轴73，通过从抽出卷轴72抽出的未使用的清洁纸75对丝网掩模80进行清洁。

此外，在抽出卷轴72连结有制动机构(未图示)，作用有反张力，以使得从抽出卷轴72抽出的清洁纸75不松弛。另外，在卷绕卷轴73连结有驱动机构(未图示)，通过驱动机构的驱动将从抽出卷轴72抽出的清洁纸75自动地卷绕于卷绕卷轴73。并且，在本实施方式中，如上所述，通过支撑架71、驱动机构、导轨55构成了使清洁头74在相对于丝网掩模80的擦拭方向移动的移动机构。

在本实施方式的清洁单元70中使用了卷宽度小于或等于丝网掩模80的宽度尺寸的1/2的清洁纸75。清洁单元70不仅应对整体清洁，也应对局部清洁，在针对丝网掩模80的指定的擦拭部位通过清洁头74实施局部清洁。因此，即使是卷宽度小的清洁纸75，也能够对丝网掩模80的印刷膏容易残留的部位进行清洁。抑制清洁纸75的浪费，因此运行成本减少。

另外，在针对丝网掩模80的局部清洁中能够缩短清洁节拍，但在针对丝网掩模80的整体清洁中清洁节拍增加。但是，整体清洁不是频繁地实施的，如上所述，整体清洁的时间比生产线中的丝网印刷的后序处理的等待时间短。因此，通过利用后序处理的等待时间而实施整体清洁，从而抑制由于整体清洁的清洁节拍的增加而引起的丝网印刷装置2的处理能力的降低。

另外，在丝网印刷装置2中设置有对装置各部进行集中控制的控制部79。控制部79由执行各种处理的处理器、存储器等构成。存储器根据用途由ROM(Read Only Memory)、RAM(Random Access Memory)等一个或多个存储介质构成。在如上所述构成的丝网印刷装置2的控制部79中，接收擦拭部位的指定。例如，除了由操作者手动地指定针对丝网掩模80的擦拭部位以外，根据从后序的印刷检查装置3(参照图1)反馈的检查结果对擦拭部位进行指定。

如图4A所示，在印刷单元10(参照图3)中，构成为丝网掩模80相对于清洁单元70在与擦拭方向(X轴方向)正交的宽度方向(Y轴方向)能够移动。此时，丝网掩模80的宽度方向的移动基准设定于近端侧，以支持大型基板Wa及小型基板Wb的方式设定有宽度方向的行程S。对丝网掩模80的宽度方向的行程S的大小进行调整，以使得形成有图案孔84的丝网掩模80的中央区域83至少与大型基板Wa及小型基板Wb的中央对准。

另外，如图4B所示，清洁单元70的清洁纸75的卷宽度D1形成为通过丝网掩模80的宽度方向的行程S而能够将丝网掩模80的整个面覆盖的大小。例如，与从丝网掩模80的宽度尺寸D2减去行程S而得到的大小D3相比，清洁纸75的卷宽度D1形成得大。即，清洁纸75的卷宽度D1形成为小于丝网掩模80的宽度尺寸D2，大于从宽度尺寸D2减去行程S而得到的宽度尺寸D3。

而且，通过使丝网掩模80在宽度方向移动而改变丝网掩模80和清洁单元70的宽度方向的位置关系，从而能够弥补由于减小了清洁纸75的卷宽度而变窄的清洁范围。由此，能够通过清洁纸75将丝网掩模80的整个范围覆盖，通过清洁单元70针对丝网掩模80不仅实施局部清洁，还实施整体清洁。另外，能够减小清洁纸75的卷宽度D1而抑制清洁纸75的消耗量。

参照图5，对通过清洁单元实现的清洁动作进行说明。图5是本实施方式的清洁动作的说明图。此外，在图5中，适当地使用图3的标号而进行说明。

如图5A所示，在初始状态下清洁单元70在远离丝网掩模80的位置等待。如果局部清洁开始，则通过可动工作台21的移动使丝网掩模80和清洁单元70相对地在宽度方向(Y轴方向)移动。另外，通过支撑架71的移动使丝网掩模80和清洁单元70相对地在擦拭方向(X轴方向)移动。通过丝网掩模80和清洁单元70的相对移动，将清洁单元70定位于丝网掩模80的指定的擦拭部位P的正下方。

如图5B所示，升降基座41上升而清洁单元70接近丝网掩模80，通过清洁头74将清洁纸75推压至丝网掩模80的背面。而且，清洁头74在擦拭方向移动而通过清洁纸75将残留于丝网掩模80的印刷膏擦拭。此时，在抽出卷轴72将清洁纸75抽出，将使用完的清洁纸75卷绕于卷绕卷轴73，因此始终通过新的清洁纸75对丝网掩模80实施局部清洁。

如图5C所示，如果整体清洁开始，则通过可动工作台21的移动，相对于丝网掩模80的沿擦拭方向(X轴方向)的中心线C，将清洁单元70定位于近端侧。另外，通过支撑架61的移动，将清洁单元70定位于丝网掩模80的左端。升降基座41上升而通过清洁头74将清洁纸75推压至丝网掩模80的背面。而且，通过清洁头74在擦拭方向的移动、清洁纸75的抽出及卷绕，对丝网掩模80的第一行(相对于丝网掩模80的中心线C的近端侧)进行清洁。

接下来，在图5D中，相对于清洁单元70使丝网掩模80向近端侧(宽度方向)移动，相对于丝网掩模80的中心线C对后方侧(第二行)进行清洁。通常，在丝网掩模80的中央区域83形成有图案孔84(参照图4)，如上所述通过进行2次清洁的实施，从而能够将图案孔84整体性地清洁。

此外，在图案孔84形成于丝网掩模80的整个面的情况下，从近端侧起依次使丝网掩模80相对于清洁单元70在宽度方向移动，同样地遍及多行的范围而反复清洁，对丝网掩模80实施整体清洁。通过反复进行清洁动作，从而整体清洁的生产节拍时间变长，但由于利用了后级的安装装置4(参照图1)的等待时间，因此生产线整体的生产能力不会降低。如上所述，能够减小清洁纸75的卷宽度而实施局部清洁，而不使生产能力降低。

如以上所述，在本实施方式的清洁单元70中，丝网掩模80的印刷膏容易残留的部位被指定为擦拭部位，由此通过清洁头74从丝网掩模80将印刷膏擦拭而进行局部清洁。由此，能够对印刷膏容易残留的部位进行局部清洁，并且减小清洁纸75的卷宽度而抑制清洁纸75的消耗量，与其相应地减少运行成本。另外，对丝网掩模80局部地擦拭即可，因此能够缩短清洁节拍。

此外，在本实施方式中，作为纸支撑部例示出抽出卷轴及卷绕卷轴而进行了说明，但纸支撑部只要是能够对卷状的清洁纸进行支撑的结构，则可以任意地构成。

另外，在本实施方式中，构成为清洁头配置在抽出卷轴和卷绕卷轴之间，但并不限定于该结构。清洁头配置在能够将清洁纸推压至丝网掩模的位置即可。另外，清洁头的形状及材质等并不特别受到限定。

另外，在本实施方式中，构成为基于操作者的输入操作或印刷检查装置的检查结果，针对丝网掩模对擦拭部位进行指定，但并不限定于该结构。丝网印刷装置本身可以通过拍摄单元对丝网掩模进行拍摄，对擦拭部位进行指定。

另外，在本实施方式中，对清洁纸的卷宽度小于或等于丝网掩模的1/2的结构进行了说明，但并不限定于该结构。清洁纸的卷宽度小于丝网掩模的宽度尺寸即可。

另外，在本实施方式中，构成为局部清洁及整体清洁是通过清洁头向擦拭方向的移动、清洁纸的抽出及卷绕而实施的，但并不限定于该结构。通过清洁头向擦拭方向的移动、清洁纸的抽出及卷绕的任意者实施局部清洁及整体清洁即可。

另外，在本实施方式中，构成为通过支撑架(移动机构)使清洁单元相对于丝网掩模在擦拭方向移动，但并不限定于该结构。丝网掩模和清洁单元相对地在擦拭方向移动即可，也可以是丝网掩模相对于清洁单元在擦拭方向移动。

另外，在本实施方式中，构成为通过可动工作台使丝网掩模相对于清洁单元在与擦拭方向正交的宽度方向移动，但并不限定于该结构。丝网掩模和清洁单元相对地在宽度方向移动即可，也可以是清洁单元相对于丝网掩模在宽度方向移动。

另外，在本实施方式中，构成为通过升降基座使清洁单元与丝网掩模分离或接近，但并不限定于该结构。丝网掩模和清洁单元相对地分离或接近即可，也可以是丝网掩模相对于清洁单元分离或接近。

另外，在本实施方式中，构成为在丝网掩模的整个面通过清洁头实施整体清洁，但在这里所说的丝网掩模的整个面并不限定于掩模的背面整个区域。丝网掩模的整个面是至少包含形成有图案孔的中央区域的范围，是包含作为掩模起作用的范围的整个面的概念。

另外，在本实施方式中，构成为清洁单元实施局部清洁及整体清洁，但并不限定于该结构。构成为清洁单元至少实施局部清洁即可。

另外，对本发明的实施方式及变形例进行了说明，但作为本发明的其他实施方式，可以将上述实施方式及变形例整体或局部地组合。

另外，本发明的实施方式并不限定于上述的实施方式及变形例，在不脱离本发明的技术思路的主旨的范围可以进行各种变更、置换、变形。并且如果能够通过技术的进步或派生出的其他技术，通过其他方式实现本发明的技术思路，则可以使用该方法进行实施。因此，权利要求书涵盖可包含于本发明的技术思路的范围内的全部实施方式。

另外，在本发明的实施方式中，对将本发明应用于丝网印刷装置的结构进行了说明，但也能够应用于需要局部清洁的其他处理装置。

并且，在上述实施方式中，一种对丝网印刷用的丝网掩模进行清洁的清洁单元70，其具有：对卷状的清洁纸75进行支撑的纸支撑部、向丝网掩模80推压清洁纸75的清洁头74，清洁纸75的卷宽度小于丝网掩模80，在针对丝网掩模80的指定的擦拭部位通过清洁头74实施局部清洁。通过将丝网掩模80的印刷膏容易残留的部位指定为擦拭部位，从而通过清洁头74从丝网掩模80将印刷膏擦拭而进行局部清洁。由此，能够对印刷膏容易残留的部位进行局部清洁，并且减小清洁纸75的卷宽度而抑制清洁纸75的消耗量，与其相应地减少运行成本。另外，对丝网掩模80局部地进行擦拭即可，因此，与将丝网掩模80整体一同进行擦拭的结构相比较，能够缩短清洁节拍。

工业实用性

如以上说明所述，本发明具有能够减少运行成本，并且能够缩短清洁节拍这样的效果，特别适用于在基板的生产线配置的清洁单元、丝网印刷装置、生产系统。

Claims (9)

1.一种清洁单元，其对丝网印刷用的丝网掩模进行清洁，

该清洁单元的特征在于，具有：

纸支撑部，其对卷状的清洁纸进行支撑；以及

清洁头，其向所述丝网掩模推压清洁纸，

清洁纸的卷宽度小于所述丝网掩模，在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位通过所述清洁头实施局部清洁。

2.根据权利要求1所述的清洁单元，其特征在于，

具有移动机构，该移动机构将所述清洁头在针对所述丝网掩模的擦拭方向进行移动，

通过所述清洁头向擦拭方向的移动，从而在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位实施局部清洁。

3.根据权利要求2所述的清洁单元，其特征在于，

所述纸支撑部由抽出卷轴和卷绕卷轴构成，该抽出卷轴将卷状的清洁纸以能够抽出的方式支撑，该卷绕卷轴对从所述抽出卷轴抽出的清洁纸进行卷绕，

通过所述清洁头向擦拭方向的移动、清洁纸的抽出及卷绕，从而在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位实施局部清洁。

4.根据权利要求3所述的清洁单元，其特征在于，

所述丝网掩模以在与擦拭方向正交的宽度方向移动而支持小型基板及大型基板的方式设定有该宽度方向的行程，

清洁纸的卷宽度形成为，能够通过所述丝网掩模的宽度方向的行程而将所述丝网掩模的整个面覆盖的大小。

5.根据权利要求4所述的清洁单元，其特征在于，

除了在针对所述丝网掩模的指定的擦拭部位通过所述清洁头实施局部清洁以外，在所述丝网掩模的整个面通过所述清洁头实施整体清洁。

6.根据权利要求5所述的清洁单元，其特征在于，

所述整体清洁的清洁时间比丝网印刷的后序处理的等待时间短。

7.根据权利要求6所述的清洁单元，其特征在于，

清洁纸的卷宽度小于或等于所述丝网掩模的宽度尺寸的1/2。

8.一种丝网印刷装置，其特征在于，具有：

权利要求1至7中任一项记载的清洁单元；以及

印刷单元，其使用所述丝网掩模对基板进行丝网印刷。

9.一种生产系统，其特征在于，具有：

权利要求8记载的丝网印刷装置；以及

印刷检查装置，其在所述丝网印刷装置的后级对基板的印刷状态进行检查，

基于所述印刷检查装置的检查结果，针对所述丝网掩模指定擦拭部位。